CN111890235A - 一种旋转射流抛光装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种旋转射流抛光装置，包括射流喷嘴部件，射流喷嘴部件包括旋转接头、转动主轴、抛光喷嘴和贯穿式电机；转动主轴为空心轴，转动主轴的两端分别与旋转接头的输出端和抛光喷嘴相连；贯穿式电机包括中空转子和定子，中空转子转动时，通过转动主轴带动抛光喷嘴旋转；抛光加工时，首先，将射流喷嘴部件安装与运动平台或是工业机器人机械臂上，供液***依次通过供液管路、旋转接头的输入端、输出端和转动主轴的空心内腔，最终将抛光液到达抛光喷嘴，并以一定压力和速度喷射到工件表面。本发明可以减小射流抛光产生的高频误差，保证射流冲击工件表面形成的去除函数是回转对称且中心去除量最大的类高斯型去除函数，同时提高射流抛光的效率。

Description

一种旋转射流抛光装置及方法

技术领域

本发明涉及一种表面抛光加工装置及方法，一种旋转射流抛光装置及方法。

背景技术

随着现代光学工业和光学技术的发展，非球面光学元件由于其优良的光学特性被广泛应用于先进光学望远、高灵敏度传感和高分辨率摄像等领域。高性能高质量的复杂型面光学元件的需求量在不断增长，这对复杂型面零件的加工设备和加工工艺要求越来越高。目前已经有许多针对复杂型面器件的抛光方法，比如磨料水射流抛光，但是现有技术有很多不足。当射流垂直入射时，在射流冲击的驻点区域，虽然抛光液射流冲击压力很大，但由于射流速度发生急剧变化，由初始垂直于工件表面变成平行于工件表面，并且向径向方向迅速扩展，因此在射流束到达驻点瞬间，磨粒速度接近于零，此时剪切力为零，因此没有材料去除，当磨粒离开驻点位置后，速度急剧增大，材料去除量也增大，当射流进一步沿径向方向扩展时，速度逐渐减小，压力也逐渐减小至零，因此剪切力逐渐减小，导致材料去除量也逐渐减小至零，去除函数是一个规则的圆环形。当入射角度为75°时，去除函数由圆环形变成弯月牙形，靠近射流入射一侧存在最大材料去除深度，另一侧材料去除量较小。当入射角度为60°时，去除函数进一步弯曲成马蹄形，且整体是椭圆形。当去除函数为圆环形，即中心去除量近似为零，虽然也能进行工件表面抛光，但是容易增加工件表面的高频误差，因此不适合加工光学零件。为满足高精度抛光修形，去除函数应该尽量是回转对称，且中心去除量最大。此外，当前的射流抛光技术还有一个缺点，为保证射流冲击工件时有足够的压力，喷嘴口径较小，射流束很细，所以去除函数斑点很小，抛光效率也很低。

发明内容

针对上述现有技术，本发明提出一种旋转射流抛光装置及方法，可以减小射流抛光产生的高频误差，保证射流冲击工件表面形成的去除函数是回转对称且中心去除量最大的类高斯型去除函数，同时提高射流抛光的效率。

为了解决上述技术问题，本发明提出的一种旋转射流抛光装置，包括射流喷嘴部件和供液***，所述射流喷嘴部件包括旋转接头、转动主轴、抛光喷嘴和贯穿式电机；所述转动主轴为空心轴，所述转动主轴的一端与所述旋转接头的输出端相连，所述转动主轴的另一端与所述抛光喷嘴相连；所述贯穿式电机包括中空转子和定子，所述中空转子套在所述转动主轴上，并通过螺纹连接与所述转动主轴固连；所述定子的上下两端分别固定有上端盖和下端盖；所述上端盖和所述下端盖与所述转动主轴之间均分别设有滚动轴承；所述中空转子转动时，将动力传递给所述转动主轴，从而带动和所述抛光喷嘴旋转；与此同时，所述旋转接头的输出端跟随所述转动主轴旋转，所述旋转接头的输入端是固定的；抛光加工时，首先，将射流喷嘴部件安装与运动平台或是工业机器人机械臂上，所述供液***通过供液管路将抛光液输送到所述旋转接头的输入端，再通过所述旋转接头的输出端进入所述转动主轴的空心内腔，所述抛光液通过所述转动主轴的空心腔到达所述抛光喷嘴，以一定压力和速度通过所述抛光喷嘴的喷孔喷射到工件表面。

进一步讲，本发明所述的旋转射流抛光装置，其中，所述下端盖上设有螺纹孔，用于通过更换部件将射流喷嘴部件安装在运动平台或是工业机器人机械臂上。或是：所述上端盖和下端盖均设有安装支撑台，用于将所述射流喷嘴部件安装在运动平台或是工业机器人机械臂上。

所述抛光喷嘴的转速范围为10～1000rpm。

本发明所述的旋转射流抛光装置，其中，所述抛光喷嘴包括主体，所述主体内自上而下的设有与所述转动主轴的空心腔同轴贯通的抛光液通道和集液腔，所述集液腔的底部设有射流喷孔；根据设置在所述集液腔底部的射流喷孔的结构形式，所述抛光喷嘴具有以下几种情形：

1)偏心单孔结构的抛光喷嘴：射流喷孔的个数是一个，所述射流喷孔的中心相对所述抛光液通道的轴心是偏心的，所述射流喷孔的轴线倾斜于所述抛光喷嘴的下端面；抛光加工时，在所述转动主轴的带动下，所述偏心单孔结构的抛光喷嘴旋转，所述偏心单孔结构的射流喷嘴喷射出的射流围绕在工件上形成的去除斑点旋转，从而使抛光液射流形成类高斯型去除函数；

2)偏心多孔结构的抛光喷嘴：射流喷孔的个数是多个，多个射流喷孔的轴线延长线交于O点，所述O点在抛光液通道轴线上，所述O点位于多个射流喷嘴的下方；抛光加工时，先通过调整抛光喷嘴与工件之间的距离，使所述O点落在工件表面上，然后，在所述转动主轴的带动下，所述偏心多孔结构的抛光喷嘴旋转，从而使抛光液射流形成高斯型去除函数，以提高抛光效率；

3)非偏心多孔结构的抛光喷嘴：射流喷孔的个数是多个，多个射流喷孔的轴线均垂直于所述抛光喷嘴的下端面，抛光加工时，在所述转动主轴的带动下，所述非偏心多孔结构的抛光喷嘴旋转，所述非偏心多孔结构的抛光喷嘴对工件表面进行匀化去除，实现高效抛光。

所述抛光喷嘴的射流喷孔的孔径为0.05～5mm。

对于上述的偏心多孔结构的抛光喷嘴和非偏心多孔结构的抛光喷嘴，其中，射流喷孔的个数为一个或多个。

对于上述的偏心单孔结构的抛光喷嘴和偏心多孔结构的抛光喷嘴，其中，所述抛光喷嘴的射流喷孔的轴线与所述抛光喷嘴的下端面的夹角为30～90°。

本发明中同时还提供了利用上述旋转射流抛光进行抛光方法，该抛光方法步骤如下：

步骤1：选择合适的抛光喷嘴，将其安装在转动主轴的下端，装配好射流喷嘴部件，通过更换部件将射流喷嘴部件安装在运动平台或是工业机器人机械臂上，待抛光工件装夹在工作台合适位置上，卡紧工件，调整好抛光喷嘴和工件的相对位置；

步骤2：加入适量调配好的抛光液，启动供液***；根据待抛光工件材料、面形、尺寸特征，通过转速控制***设定抛光喷嘴合适的转速，喷嘴开始转动；

步骤3：待抛光液的压力、浓度、流量和温度稳定后，启动运动平台或是工业机器人机械臂，运行加工程序，开始抛光；通过控制喷嘴驻留时间和运行轨迹，实现精确抛光；

步骤4：抛光液在冲击工件表面后回收，循环利用。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

(1)本发明提出的旋转射流抛光装置，采用旋转喷嘴，使射流围绕其在工件表面形成的去除斑点旋转，从而产生回转对称且中心去除量最大的类高斯型去除函数，减小射流抛光会产生的高频误差，提高工件表面的加工质量。

(2)本发明提出的旋转射流抛光装置，旋转喷嘴喷射出的旋转射流可增强磨粒对工件材料的剪切效应，从而提高材料去除效率，进一步提高了抛光效率

(3)本发明提出的旋转射流抛光装置的喷嘴可以更换，对于不同尺寸、材料以及面形的工件，可以适当选择有不同倾角、数量、口径喷孔的喷嘴，在保证加工质量的而同时，极大的提高抛光效率。

(4)本发明提出的旋转射流抛光装置，通过转速控制***，可以调节喷嘴转速，对不同材料的工件的选取恰当的喷嘴转速，进一步提高了抛光质量。

附图说明

图1为本发明旋转射流抛光装置中的旋转喷嘴实施例一的三维结构示意图；

图2为本发明旋转射流抛光装置中的旋转喷嘴实施例二的三维结构示意图；

图3为本发明旋转射流抛光装置中的旋转喷嘴内部结构示意图；

图4为本发明中的偏心单孔喷头的结构图；

图5为本发明中的多孔偏心喷头的结构图；

图6为本发明中的多孔非偏心喷头的结构图；

图7为本发明旋转射流抛光装置安装在运动平台上的示意图。

图中：

1-旋转接头 2-中空转轴 3-上端盖 4-第一滚动轴承

5-转子 6-定子 7-第二滚动轴承 8-下端盖

9-密封垫片 10-抛光喷嘴 11-供液*** 12-转速控制***

13-运动平台 14-更换装置 15-射流喷嘴部件 16-安装支撑台

101-抛光液通道 102-集液腔 103-射流喷孔 104-环形槽

具体实施方式

在本发明的描述中，需要说明的是，术语、“上”、“下”、“内”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面结合附图及具体实施例对本发明做进一步的说明，但下述实施例绝非对本发明有任何限制。

本发明提出的一种旋转射流抛光装置，包括射流喷嘴部件和供液***11，所述射流喷嘴部件15包括旋转接头1、转动主轴2、抛光喷嘴10和贯穿式电机；所述转动主轴2为空心轴，所述转动主轴2的上端与所述旋转接头1的输出端相连，所述转动主轴2的下端通过螺纹连接与所述抛光喷嘴10相连，所述抛光喷嘴10与所述空心的转动主轴2之间有密封垫片9，以防止抛光液泄露。如图1、图2、图3和图7所示。

如图3所示，所述贯穿式电机包括中空转子5和定子6，所述中空转子5套在所述转动主轴2上，并通过螺纹连接与所述转动主轴2固连；所述定子6的上下两端分别固定有上端盖3和下端盖8；所述上端盖3和所述下端盖8与所述转动主轴之间均分别设有滚动轴承，具体结构如图3所示，所述上端盖3和下端盖8均设有中心孔，所述上端盖3与第一滚动轴承4的外环配合，所述下端盖8与第二滚动轴承7的外环配合，所述空心的转动主轴2的两端轴颈分别与第一滚动轴承4的内环和第二滚动轴承7的内环配合，从而在中空转子5带动转动主轴2转动时，所述上端盖3和下端盖8及其与上下端盖连接的定子6是不动的，因此，所述中空转子5转动时，将动力传递给所述转动主轴2，从而带动和所述抛光喷嘴10旋转；与此同时，所述旋转接头1的输出端跟随所述转动主轴2旋转，所述旋转接头1的输入端是固定的。

如图7所示，抛光加工时，首先，将射流喷嘴部件15安装与运动平台13或是工业机器人机械臂上，所述供液***11通过供液管路将抛光液输送到所述旋转接头1的输入端，再通过所述旋转接头1的输出端进入所述转动主轴2的空心内腔，所述抛光液通过所述转动主轴2的空心腔到达所述抛光喷嘴10，以一定压力和速度通过所述抛光喷嘴10的喷孔喷射到工件表面。

为了便于将射流喷嘴部件15安装于运动平台13或是工业机器人机械臂上，本发明中所述的贯穿式电机的端盖有两种结构，如图1和图7所示，一种是，所述下端盖8的下端面设有螺纹孔，本发明中的所述更换部件为弯板结构，该弯板的竖直板与运动平台13或是工业机器人机械臂固定，该弯板的水平板通过螺纹连接将射流喷嘴部件15安装在运动平台13或是工业机器人机械臂上。如图2和图7所示，另一种是，在所述上端盖3和下端盖8的侧面均设有安装支撑台16，使得所述射流喷嘴部件15可以直接安装在运动平台13或是工业机器人机械臂上，可以在多种场合工作。

如图4、图5和图6所示，本发明中的所述的抛光喷嘴10包括主体，所述主体内自上而下的设有与所述转动主轴2的空心腔同轴贯通的抛光液通道101和集液腔102，所述集液腔102的底部设有射流喷孔103，所述主体的上端面设有用于安装密封垫片9的环形槽104，根据设置在所述集液腔底部的射流喷孔的结构形式，所述抛光喷嘴具有以下几种情形：

1)偏心单孔结构的抛光喷嘴：如图4所示，射流喷孔103的个数是一个，所述射流喷孔10的中心相对所述抛光液通道101的轴心是偏心的，所述射流喷孔103的轴线倾斜于所述抛光喷嘴的下端面；根据待加工工件的材料、尺寸以及面形特征选取不同孔径、不同偏心距、不同倾角的偏心单孔喷嘴，抛光加工时，在所述转动主轴2的带动下，所述偏心单孔结构的抛光喷嘴10旋转，通过调节喷嘴与工件的距离，使射流喷嘴10喷射出的射流围绕在工件上形成的去除斑点旋转，从而使抛光液射流形成类高斯型去除函数。

2)偏心多孔结构的抛光喷嘴：如图5所示，射流喷孔103的个数是多个，多个射流喷孔103的轴线延长线交于O点，所述O点在抛光液通道101的轴线上，同时，所述O点位于多个射流喷嘴103的下方；抛光加工时，根据待加工工件的材料、尺寸以及面形特征选取有不同数量、不同倾角的射流喷孔的多孔喷嘴，通过调整抛光喷嘴与工件之间的距离，使所述O点落在工件表面上，在所述转动主轴2的带动下，所述偏心多孔结构的抛光喷嘴旋转，从而使抛光液射流形成高斯型去除函数，可以极大的提高抛光效率。

3)非偏心多孔结构的抛光喷嘴：如图6所示，射流喷孔103的个数是多个，多个射流喷孔103的轴线均垂直于所述非偏心多孔结构的抛光喷嘴的下端面，抛光加工时，针对不同材料、尺寸的工件，设计不同的多孔阵列排布，在所述转动主轴2的带动下，所述非偏心多孔结构的抛光喷嘴10旋转，从而对工件表面进行匀化去除，实现高效抛光。

所述抛光喷嘴的射流喷孔的孔径为0.05～5mm。

对于上述的偏心多孔结构的抛光喷嘴和非偏心多孔结构的抛光喷嘴10，其中，射流喷孔103的个数为一个或多个。

对于上述的偏心单孔结构的抛光喷嘴和偏心多孔结构的抛光喷嘴，其中，所述抛光喷嘴的射流喷孔103的轴线与所述抛光喷嘴的下端面的夹角为30～90°。

本发明中，对于射流喷孔103的孔径及具体的个数还有所述抛光喷嘴的射流喷孔103的轴线与所述抛光喷嘴的下端面的夹角的具体数值，本领域技术人员可以根据需求来确定。

本发明中，所述抛光喷嘴10的转速范围为10～1000rpm，实际加工时，所述抛光喷嘴10的转速可以根据工件的材料、尺寸以及面形特征通过转速控制***进行调整，选取恰当的喷嘴转速，可以极大提高工件抛光质量。

利用本发明提出的一种旋转射流抛光装置进行抛光加工的步骤如下：

步骤1：选择合适的抛光喷嘴10，将其安装在转动主轴2的下端，装配好射流喷嘴部件15，通过设备的更换部件14将射流喷嘴部件15安装在运动平台13或是工业机器人机械臂上，待抛光工件装夹在工作台合适位置上，卡紧工件，调整好抛光喷嘴10和工件的相对位置，避免一启动供液***时射流就喷射到工件上，因为，此时射流还不稳定，会影响去除精度。

步骤2：加入适量调配好的抛光液，启动供液***11；根据待抛光工件材料、面形、尺寸特征，通过转速控制***12设定抛光喷嘴10合适的转速，喷嘴开始转动；

步骤3：待抛光液的压力、浓度、流量、温度等稳定后，启动运动平台13或是工业机器人机械臂，运行加工程序，开始抛光。通过控制喷嘴驻留时间和运行轨迹，实现精确抛光；

步骤4：抛光液在冲击工件表面后回收，循环利用。

利用本发明旋转射流抛光装置进行抛光加工过程中，供液***11输送的抛光液，通过旋转的抛光喷嘴射出形成旋转射流，其在工件表面形成类高斯型去除函数，可提高面形收敛效率。同时，上述的旋转射流可以增强磨粒对工件材料的剪切效应，从而提高材料去除效率，进一步提高了抛光效率。

实施例1：

本实施例中，可以将本发明中的旋转式的射流喷嘴部件15安装在多轴运动平台13上，所述的运动平台13有X、Y、Z三个直线运动自由度和一个绕A轴的转动自由度，如图7所示，射流喷嘴部件15通过更换装置14安装在运动平台13的Z轴滑块上，将待加工工件固定在工作台上。射流喷嘴部件15被运动平台13的Z轴滑块带动，运动到合适的位置，供液***11通过供液管路把抛光液输送到至抛光喷嘴10的集液腔102，再通过射流喷孔103喷射到工件表面，抛光液射流围绕其去除斑点转动，形成高斯型去除函数。通过转速控制***12，可以调节抛光喷嘴10的转速，射流喷嘴部件15在运动平台带动下，对工件表面进行精确抛光。

实施例2：

本实施例中，可以将本发明中的射流喷嘴部件15安装在工业机器人机械臂上。旋转喷嘴作为工业机器人的末端执行机构，通过控制机械臂运动，可以调节喷嘴与工件表面的距离以及喷嘴和工件的相对姿态。抛光工件时，需事先规划好机械臂的运动轨迹，生成数控加工程序，供液***通过供液管路把抛光液输送到旋转喷嘴，在机械臂带动下，喷射到工件表面，可对复杂曲面进行抛光。

尽管上面结合附图对本发明进行了描述，但是本发明并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨的情况下，还可以做出很多变形，这些均属于本发明的保护之内。

Claims (10)

1.一种旋转射流抛光装置，包括射流喷嘴部件和供液***(11)，其特征在于，所述射流喷嘴部件(15)包括旋转接头(1)、转动主轴(2)、抛光喷嘴(10)和贯穿式电机；所述转动主轴(2)为空心轴，所述转动主轴(2)的一端与所述旋转接头(1)的输出端相连，所述转动主轴(2)的另一端与所述抛光喷嘴(10)相连；

所述贯穿式电机包括中空转子(5)和定子(6)，所述中空转子(5)套在所述转动主轴(2)上，并通过螺纹连接与所述转动主轴(2)固连；所述定子(6)的上下两端分别固定有上端盖(3)和下端盖(8)；所述上端盖(3)和所述下端盖(8)与所述转动主轴之间均分别设有滚动轴承；所述中空转子(5)转动时，将动力传递给所述转动主轴(2)，从而带动和所述抛光喷嘴(10)旋转；与此同时，所述旋转接头(1)的输出端跟随所述转动主轴(2)旋转，所述旋转接头(1)的输入端是固定的；

抛光加工时，首先，将射流喷嘴部件(15)安装于运动平台(13)或是工业机器人机械臂上，所述供液***(11)通过供液管路将抛光液输送到所述旋转接头(1)的输入端，再通过所述旋转接头(1)的输出端进入所述转动主轴(2)的空心内腔，所述抛光液通过所述转动主轴(2)的空心腔到达所述抛光喷嘴(10)，以一定压力和速度通过所述抛光喷嘴(10)的喷孔喷射到工件表面。

2.根据权利要求1所述的旋转射流抛光装置，其特征在于，所述下端盖(8)上设有螺纹孔，用于通过更换部件将射流喷嘴部件(15)安装在运动平台(13)或是工业机器人机械臂上；或是：所述上端盖(3)和下端盖(8)均设有安装支撑台(16)，用于将所述射流喷嘴部件(15)安装在运动平台(13)或是工业机器人机械臂上。

3.根据权利要求1所述的旋转射流抛光装置，其特征在于，所述抛光喷嘴(10)包括主体，所述主体内自上而下的设有与所述转动主轴(2)的空心腔同轴贯通的抛光液通道(101)和集液腔(102)，所述集液腔(102)的底部设有射流喷孔(103)；

射流喷孔(103)的个数是一个，所述射流喷孔(103)的中心相对所述抛光液通道(101)的轴心是偏心的，所述射流喷孔(103)的轴线倾斜于所述抛光喷嘴的下端面；抛光加工时，在所述转动主轴(2)的带动下，所述抛光喷嘴(10)旋转，所述射流喷嘴(10)喷射出的射流围绕在工件上形成的去除斑点旋转，从而使抛光液射流形成类高斯型去除函数。

4.根据权利要求1所述的旋转射流抛光装置，其特征在于，所述抛光喷嘴(10)包括主体，所述主体内自上而下的设有与所述转动主轴(2)的空心腔同轴贯通的抛光液通道(101)和集液腔(102)，所述集液腔(102)的底部设有射流喷孔(103)；

射流喷孔(103)的个数是多个，多个射流喷孔(103)的轴线延长线交于O点，所述O点在所述抛光液通道(101)的轴线上，所述O点位于多个射流喷孔(103)的下方；抛光加工时，通过调整抛光喷嘴与工件之间的距离，使所述O点落在工件表面上，在所述转动主轴(2)的带动下，所述抛光喷嘴(10)旋转，从而使抛光液射流形成高斯型去除函数，以提高抛光效率。

5.根据权利要求1所述的旋转射流抛光装置，其特征在于，所述抛光喷嘴(10)包括主体，所述主体内自上而下的设有与所述转动主轴(2)的空心腔同轴贯通的抛光液通道(101)和集液腔(102)，所述集液腔(102)的底部设有射流喷孔(103)；

射流喷孔(103)的个数是多个，多个射流喷孔(103)的轴线均垂直于所述抛光喷嘴的下端面，抛光加工时，在所述转动主轴(2)的带动下，所述抛光喷嘴(10)旋转，从而对工件表面进行匀化去除，实现高效抛光。

6.根据权利要求4或5所述的旋转射流抛光装置，其特征在于，所述抛光喷嘴(10)的射流喷孔的个数为一个或多个。

7.根据权利要求1所述的旋转射流抛光装置，其特征在于，所述抛光喷嘴(10)的转速范围为10～1000rpm。

8.根据权利要求1所述的旋转射流抛光装置，其特征在于，所述抛光喷嘴(10)的射流喷孔的孔径为0.05-5mm。

9.根据权利要求3或4所述的旋转射流抛光装置，其特征在于，所述抛光喷嘴(10)的射流喷孔的轴线与所述抛光喷嘴的下端面的夹角为30～90°。

10.一种旋转射流抛光方法，其特征在于，该抛光方法步骤如下：

步骤1：选择合适的抛光喷嘴(10)，将其安装在转动主轴(2)的下端，装配好射流喷嘴部件(15)，通过更换部件(14)将射流喷嘴部件(15)安装在运动平台(13)或是工业机器人机械臂上，待抛光工件装夹在工作台合适位置上，卡紧工件，调整好抛光喷嘴(10)和工件的相对位置；

步骤2：加入适量调配好的抛光液，启动供液***(11)；根据待抛光工件材料、面形、尺寸特征，通过转速控制***(12)设定抛光喷嘴(10)合适的转速，喷嘴开始转动；

步骤3：待抛光液的压力、浓度、流量和温度稳定后，启动运动平台(13)或是工业机器人机械臂，运行加工程序，开始抛光；通过控制喷嘴驻留时间和运行轨迹，实现精确抛光；

步骤4：抛光液在冲击工件表面后回收，循环利用。

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