CN111879481A

CN111879481A - 一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法

Info

Publication number: CN111879481A
Application number: CN202010663737.7A
Authority: CN
Inventors: 刘汝强; 王殿春; 王建新; 窦松德; 周清波
Original assignee: Shandong Guojing New Material Co ltd
Current assignee: Shandong Guojing New Material Co ltd
Priority date: 2020-07-10
Filing date: 2020-07-10
Publication date: 2020-11-03

Abstract

本发明涉及一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，属于真空气相沉积炉技术领域，本发明只需要利用真空炉本身自带的设备通过压升率对其进行检测，无需其他辅助设备，利用正常使用状态下的压升率M1与无水状态下的压升率M2进行对比，当M1＞M2时，则可判断出该炉盖夹层的水对其压升率有影响，说明有渗水点；当M1≤M2时，则可确定该炉盖无渗水点。该方法可以快速、准确地去判断是否真空炉内是否渗水并判断出真空炉的渗水部件，从而有效的避免了拆炉而带来的，盲目且无效的劳动力。

Description

一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法

技术领域

本发明涉及一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，属于真空气相沉积炉技术领域。

背景技术

真空气相沉积炉中多处采用双层水冷夹层结构，如炉盖、炉体和炉底，均有其单独的双层水冷夹层，水冷夹层中有独立的水冷环路，双层水冷夹层均包括内层和外层，真空气相沉积炉在高温下工作，内层结构受温度和其他因素的影响容易产生很微小的裂纹，导致夹层中的水渗入炉内，由于炉内的环境为真空状态，水在真空炉内的真空环境中会直接气化，间接影响到的是炉内的压力的变动，目前用来检测真空炉渗水的方法是拆炉用肉眼观察，这样既费时又费力，还无法判断渗水位置，因此设计一种检测方法专用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法是非常有必要的。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，利用升压率对比可以最大限度地去判断是否真空炉内渗水，并判断渗水部件。

本发明采用以下技术方案：

一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，包括：

步骤1：首先对炉盖进行渗水检测，具体为：

1.1：用真空泵对真空炉进行抽真空操作，使其达到最终压力即最低压力，然后将连接真空炉与真空泵的真空阀门关闭，即将真空炉与真空泵隔离开，在一定时间t1内测得真空炉的压升率为M1＝△P1/t1，其中，△P1为在时间t1内的压力变化值，此步骤为获得正常使用状态下的压升率M1；

1.2：关闭炉盖夹层内的水冷环路的进水阀门，并用高压氮气对炉盖的夹层中水进行吹扫，从进水阀门处吹扫，使其炉盖夹层中的水从出水管道排出，等炉盖夹层中的水完全吹扫干净，再次在时间t2内测得压升率为M2＝△P2/t2，△P2为在时间t2内的压力变化值，此步骤为获得炉盖水冷环路内无水状态下的压升率；

1.3：当M1＞M2时，则可判断出该炉盖夹层的水对其压升率有影响，说明有渗水点；

1.4：当M1≤M2时，则可确定该炉盖无渗水点；

步骤2：炉盖炉件检测完毕，重复步骤1，以同样的检测方法检测其他真空的部件(如：炉体，炉底等)是否渗水；

本发明的真空气相沉积炉，简称真空炉，其炉盖、炉体和炉底，均有其单独的双层水冷夹层，水冷夹层中有独立的水冷环路，双层水冷夹层均包括内层和外层，且炉盖、炉体和炉底受温度和其他因素的影响下，其夹层内的水均可渗入炉内，引起炉内的压力的变化，优选的，内层材质为不锈钢，外层材质为碳钢。

优选的，t2＝t1，即：

步骤1.3中，当△P1＞△P2时，则可判断出该炉盖夹层的水对其压升率有影响，说明有渗水点，根据压升率数据之间的差值的大小(△P1与△P2的差值)，判断出该渗水点的大小，△P1-△P2越大，则渗水点越大；

步骤1.4中，当△P1≤△P2时，则可确定该炉盖无渗水点。

优选的，t1、t2均为10-30min。

优选的，在检测过程中，真空炉内的温差控制在±15℃，温差过大会对压升率产生影响，因此两次测得压升率M1、M2时均要维持在一定的温差范围内。

优选的，步骤1.2中，高压氮气的压力为0.2-0.3MPa。

本发明未详尽之处，均可参见现有技术。

本发明的有益效果为：

本发明专用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，只需要利用真空炉本身自带的设备通过压升率对其进行检测，无需其他辅助设备，利用压升率对比可以快速、准确地去判断是否真空炉内是否渗水并判断出真空炉的渗水部件，从而有效的避免了拆炉而带来的，盲目且无效的劳动力。

附图说明

图1为本发明的检测方法流程图。

具体实施方式：

为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述，但不仅限于此，本发明未详尽说明的，均按本领域常规技术。

实施例1：

一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，如图1所示，包括：

步骤1：首先对炉盖进行渗水检测，具体为：

1.1：用真空泵对真空炉进行抽真空操作，使其达到最终压力即最低压力，将连接真空炉与真空泵的真空阀门关闭，即将真空炉与真空泵隔离开，在一定时间t1内测得真空炉的压升率为M1＝△P1/t1，其中，△P1为在时间t1内的压力变化值，此步骤为获得正常使用状态下的压升率M1；

1.4：当M1≤M2时，则可确定该炉盖无渗水点；

步骤2：炉盖炉件检测完毕，重复步骤1，以同样的检测方法检测其他真空的部件(如：炉体，炉底等)是否渗水。

实施例2：

一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，如实施例1所示，所不同的是，本发明的真空气相沉积炉，简称真空炉，其炉盖、炉体和炉底，均有其单独的双层水冷夹层，水冷夹层中有独立的水冷环路，双层水冷夹层均包括内层和外层，且炉盖、炉体和炉底受温度和其他因素的影响下，其夹层内的水均可渗入炉内，引起炉内的压力的变化，其内层材质为不锈钢，外层材质为碳钢。

实施例3：

一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，结构如实施例1所示，所不同的是，t2＝t1＝20min，即：

步骤1.4中，当△P1≤△P2时，则可确定该炉盖无渗水点；

在检测过程中，本实施例的真空炉内的温差控制在±5℃；

步骤1.2中，高压氮气的压力为0.2-0.3MPa。

实验例：

采用实施例3的方法对一批真空炉(20个)进行渗水检测，再采用现有的方法拆炉验证，验证发现，采用实施例3检测的结果中，20个样本中有19个样本检测结果准确，准确率高达95％。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims

1.一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，其特征在于，包括：

步骤1：首先对炉盖进行渗水检测，具体为：

1.1：用真空泵对真空炉进行抽真空操作，然后将连接真空炉与真空泵的真空阀门关闭，即将真空炉与真空泵隔离开，在一定时间t1内测得真空炉的压升率为M1＝△P1/t1，其中，△P1为在时间t1内的压力变化值；

1.2：关闭炉盖夹层内的水冷环路的进水阀门，并用高压氮气对炉盖的夹层中水进行吹扫，从进水阀门处吹扫，使其炉盖夹层中的水从出水管道排出，等炉盖夹层中的水完全吹扫干净，再次在时间t2内测得压升率为M2＝△P2/t2，△P2为在时间t2内的压力变化值；

1.3：当M1＞M2时，则判断出该炉盖夹层的水对其压升率有影响，说明有渗水点；

1.4：当M1≤M2时，则确定该炉盖无渗水点；

步骤2：炉盖炉件检测完毕，重复步骤1，以同样的检测方法检测其他真空的部件是否渗水。

2.根据权利要求1所述的用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，其特征在于，真空炉的内层材质为不锈钢，外侧材质为碳钢。

3.根据权利要求1所述的用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，其特征在于，t2＝t1，即：

步骤1.3中，当△P1＞△P2时，则判断出该炉盖夹层的水对其压升率有影响，说明有渗水点，根据压升率数据之间的差值的大小，判断出该渗水点的大小，△P1-△P2越大，则渗水点越大；

步骤1.4中，当△P1≤△P2时，则确定该炉盖无渗水点。

4.根据权利要求3所述的用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，其特征在于，t1、t2均为10-30min。

5.根据权利要求4所述的用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，其特征在于，在检测过程中，真空炉内的温差控制在±15℃。

6.根据权利要求1所述的用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，其特征在于，步骤1.2中，高压氮气的压力为0.2-0.3MPa。