CN111868908A - 基板收纳容器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板收纳容器，其具备不使用金属制的构件就能够控制气体流通的阀体。在本发明中，安装于基板收纳容器(1)上的阀体(40)具有：筒体(41)，其形成有开放端部(411)，并具有内部空间(412)；以及栓部(42)，其将内部空间(412)分隔成第一空间(413)与第二空间(414)，并到达开放端部(411)；以及弹性体(43)，其覆盖开放端部(411)以及栓部(42)；其中，第一空间(413)具有连通至容器主体(10)的外部的第一连通孔(416)；并且第二空间(414)具有连通至容器主体(10)的内部的第二连通孔(417)；弹性体(43)通过与栓部(42)紧密相接或与栓部(42)分离，从而控制气体向容器主体(10)的流通。

Description

基板收纳容器
技术领域
本发明涉及一种基板收纳容器，该基板收纳容器具备控制气体向容器主体的流通的阀体。
背景技术
收纳基板的基板收纳容器具备：容器主体；以及封闭容器主体的开口的盖体；以及控制气体向容器主体的流通的阀体。该阀体具有止回阀功能，具有阀芯、使阀芯开闭的金属制的弹性构件(例如，参照专利文献1以及专利文献2)。
由于阀体的止回阀功能为控制一个方向上的气体的流通，因此需要根据气体的流通方向更换阀体本身，或重新组装阀体以及弹性构件。
现有技术
专利文献
专利文献1：日本特许公开2008-066330号公报
专利文献2：日本特许公开2004-179449号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
然而，基板收纳容器为了以气密状态收纳基板，气体从阀体供给，并经由阀体排出，但是，在加工收纳的基板时，附着于基板的残留物质有时也会随着所供给的气体被一并排出。因此，存在阀体的金属制的弹性构件等被残留物质腐蚀的情况。
因此，本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种基板收纳容器，该基板收纳容器具备不使用金属制的构件就能够控制气体流通的阀体。
另外，本发明的目的在于提供一种基板收纳容器，该基板收纳容器具备阀体，该阀体能够控制气体的供给或排出的两个方向上的气体的流通。
解决技术问题的技术手段
(1)本发明所涉及的一个实施方式是一种基板收纳容器，其具备：容器主体，其收纳基板；以及盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及阀体，其控制气体向所述容器主体的流通；其中，所述阀体具有：筒体，其形成有开放端部，并具有内部空间；以及栓部，其将所述内部空间分隔成第一空间与第二空间，并到达所述开放端部；以及弹性体，其覆盖所述开放端部以及所述栓部；其中，所述第一空间具有连通至所述容器主体的外部的第一连通孔；并且所述第二空间具有连通至所述容器主体的内部的第二连通孔；所述弹性体通过与所述栓部紧密相接或与所述栓部分离，从而控制气体向所述容器主体的流通。
(2)在上述(1)的实施方式中也可以为，所述弹性体为板状，且以使所述气体仅在所述第一空间、所述第二空间流动的方式，将所述第一空间侧的开放端部与所述栓部之间、以及所述栓部与所述第二空间侧的开放端部之间分别密封。
(3)在上述(1)或者(2)的实施方式中也可以为，在对所述第一空间或所述第二空间施加正压的情况时，所述弹性体通过膨胀而与所述栓部之间形成间隙，从而允许所述气体向所述容器主体的流通，且在没有对所述第一空间以及所述第二空间施加正压的情况时，所述弹性体与所述栓部紧密相接，从而阻断所述气体向所述容器主体的流通。
(4)在上述(1)～(3)的任一实施方式中也可以为，所述弹性体以可拆卸的状态安装于所述筒体。
(5)在上述(1)～(4)的任一实施方式中也可以为，所述阀体安装于设置在所述容器主体的气体流路的中途。
(6)在上述(1)～(4)的任一实施方式中也可以为，所述第一连通孔与固定筒连通，所述固定筒嵌合于形成在所述容器主体上的贯通孔，所述第二连通孔与被组合到所述固定筒上的保持筒连通。
(7)在上述(1)～(4)的任一实施方式中也可以为，所述第一连通孔与固定筒连通，所述固定筒嵌合于形成在所述容器主体上的贯通孔，所述第二连通孔与中盖筒连通，所述中盖筒与被组合到所述固定筒上的保持筒连结。
(8)在上述(6)或者(7)的实施方式中也可以为，所述阀体具有过滤所述气体的过滤片。
发明效果
根据本发明，可以提供一种基板收纳容器，该基板收纳容器具备不使用金属制的构件就能够控制气体流通的阀体。
附图说明
图1是表示本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器的分解立体示意图。
图2是表示容器主体中的阀体的剖面示意图。
图3(a)是表示阀体的结构的剖面透视图，图3(b)是表示阀体的结构的剖面图。
图4(a)是表示安装于基板收纳容器的阀体的阻断气体流通的状态的剖面示意图，图4(b)是表示安装于基板收纳容器的阀体的允许气体流通的状态的剖面示意图。
图5是表示变形例的栓部的前端的形状的示意图。
图6是表示变形例的栓部的配置的剖面图。
图7是表示第二实施方式的容器主体的阀体的剖面图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。在本说明书的实施方式的整个内容中，对相同的部件标注相同的附图标记。
图1是表示本发明的实施方式所涉及的基板收纳容器1的分解立体示意图。如图1所示，基板收纳容器1包括用于收纳基板W的容器主体10，用于封闭容器主体10的开口11的盖体20，以及设置在容器主体10和盖体20之间的环形密封件30。
容器主体10为箱状体，并且是开口11形成在正面的前开口型。开口11以朝向外侧扩展的方式形成为带有台阶的弯曲形状，并且该台阶部的面作为与密封件30接触的密封面12，形成在开口11的正面的内周边缘处。此外，从容易进行直径为300mm或450mm的基板W的***操作考虑，容器主体10优选为前开口型，但是也可以为开口11形成在下表面的底开口型。
在容器主体10的内部的左右两侧配置有支撑体13。支撑体13具有载置以及定位基板W的功能。在支撑体13中，沿高度方向形成有两个以上的凹槽，以构成所谓的凹槽齿。并且，基板W载置于相同高度的左右两处的凹槽齿上。支撑体13的材料可以与容器主体10的材料相同，但是也可以使用不同的材料以提高清洁性能和滑动性能。
另外，在容器主体10内部的后侧(里侧)配置有后保持器(未图示)。在盖体20被封闭的情况时，后保持器与后述的前保持器成对地保持基板W。然而，也可以如本实施方式这样不具备后保持器，而使支撑体13在凹槽齿的里侧具有例如呈“く”形状或直线形状的基板保持部，从而利用前保持器与基板保持部保持基板W。这里的支撑体13和后保持器等通过嵌件成型或嵌合等设置在容器主体10。
基板W由该支撑体13支撑并收纳在容器主体10中。此外，作为基板W的一个例子，可以列举出硅晶圆，但是没有特别的限制，例如可以是石英晶圆、砷化镓晶圆等。
在容器主体10的顶部的中央部，可拆装地设置有机器人凸缘14。以清洁状态气密性收纳基板W的基板收纳容器1由工厂中的搬运机器人夹持机器人凸缘14，从而被搬运到加工基板W的每个工序的加工装置。
另外，在容器主体10的两侧部的外表面中央部，分别可拆装地安装有供作业者把持的手动握柄15。
图2是表示容器主体10的阀体40的剖面示意图。
如图2所示，在容器主体10的内侧底面部101设置有供气部16和排气部17，且在容器主体10的外侧底板102设置有与供气部16相对应的气体导入部50和与排气部17相对应的气体排出部51。此外，在供气部16或排气部17配置有过滤气体的过滤片44。
在内侧底面部101和外侧底板102之间设置有用于连通供气部16和气体导入部50的供气流路60(气体流路)以及用于连通排气部17和气体排出部51的排气流路70(气体流路)。此外，后述的阀体40安装在作为气体流路(配管)的供气流路60以及排气流路70的中途。
供气流路60具有连通气体导入部50以及阀体40的第一供气流路61，和连通供气部16以及阀体40的第二供气流路62，同样，排气流路70具有连通气体排出部51以及阀体40的第一排气流路71，和连通排气部17以及阀体40的第二排气流路72。
此时，各配管可以是具有高刚性的树脂制的配管，也可以是具有可挠性的软管。另外，第一供气流路61或者第一排气流路71，优选以使气体导入部50侧或者气体排出部51侧降低的方式设置供气流路60或排气流路70。
关于这些，如下下述，从气体导入部50经由供气流路60以及供气部16向由盖体20封闭的基板收纳容器1的内部供给氮气等的惰性气体或者干燥空气，并根据需要通过从排气部17经由排气流路70以及气体排出部51排出气体，由此置换基板收纳容器1的内部的气体、或维持低湿度的气密状态、或吹掉基板W上的杂质，从而保持基板收纳容器1的内部的清洁性。
进一步，通过检测从排气部17所排出的气体，可以确认基板收纳容器1的内部是否已被所导入的气体置换。此外，优选供气部16以及排气部17位于与基板W投影于底面上的位置偏离的位置，但是供气部16以及排气部17的数量或位置不限于图中所示的数量或位置，也可以位于容器主体10的底面的四个角部。另外，供气部16以及排气部17也可以安装在盖体20侧。
另一方面，盖体20安装在容器主体10的开口11的正面，并且具有大致矩形的形状。盖体20具有未图示的锁定机构，通过将锁定爪嵌合到形成在容器主体10的锁定孔(未图示)中而被锁定。另外，盖体20具有可拆装地安装或一体地形成在中央部的弹性前保持器(未图示)，用于水平地保持基板W的前部周缘。
由于前保持器与支撑体13的凹槽齿以及基板保持部等相同，是直接与晶圆接触的部位，因此使用具有良好的清洁性和滑动性的材料。前保持器也可以通过嵌件成型或嵌合等设置在盖体20上。
并且，在盖体20上形成有用于安装密封件30的安装槽21。更具体地说，在盖体20的容器主体10侧的面上，通过环状地形成比开口11的台阶部小的凸部22，从而环状地形成剖面为大致U形的安装槽21。当将盖体20安装在容器主体10上时，该凸部22进入到比开口11的台阶部更靠里的位置。
作为该等容器主体10以及盖体20的材料，例如可以列举：聚碳酸酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚醚醚酮、液晶聚合物等的热塑性树脂。该热塑性树脂中进一步可以适当地添加含有导电性碳、导电纤维、金属纤维、导电聚合物等组成的导电剂、各种抗静电剂、紫外线吸收剂等。
然后，密封件30是与盖体20的正面形状(以及容器主体10的开口11的形状)相对应的环状的密封件，在本实施方式中为矩形框形状。然而，环形密封件30在安装到盖体20之前的状态下，也可以为圆环状(环形)。
密封件30配置于容器主体10的密封面12与盖体20之间，在将盖体20安装于容器主体10时，与密封面12和盖体20紧密相接，确保基板收纳容器1的气密性，减少来自外部的尘埃、湿气等向基板收纳容器1的侵入，并且减少气体从内部向外部的泄漏。
作为密封件30的材料，可以使用由聚酯类弹性体、聚烯烃类弹性体、氟类弹性体、聚氨酯类弹性体等构成的热塑性弹性体、氟橡胶、乙丙橡胶、硅酮类橡胶等的弹性材料。从改善紧密相接性的观点出发，可以向这些材料中选择性地添加规定量的诸如由碳、玻璃纤维、云母、滑石、二氧化硅、碳酸钙等构成的填充剂、聚乙烯，聚酰胺，聚缩醛，氟树脂、硅树脂等的树脂。
并且，过滤片44用于过滤供给或排出的气体，其为选自由四氟乙烯、聚酯纤维、氟树脂等构成的多孔膜，由玻璃纤维等构成的分子过滤过滤片，使化学吸附剂保持在活性碳纤维等的过滤材料的化学过滤片等。
在供气部16或排气部17保持有一片或两片以上的过滤片44。此外，在使用两片以上的过滤片44的情况时，可以使用相同种类的过滤片，但是更优选组合不同性质的过滤片，因为除了颗粒之外，还可以防止有机物的污染等。例如，过滤片44亦具有抑制液体透过的功能，以防止水或清洗液等液体在清洗容器主体10时滞留，因此，过滤片44的其中之一可以使用疏水性或亲水性材料，以进一步抑制液体透过。
这里，对阀体40进行说明。
阀体40控制气体向容器主体10的流通，被安装在作为气体流路的供气流路60或排气流路70的中途。
图3(a)是表示阀体40的结构的剖面透视图，图3(b)是表示阀体40的结构的剖面图。
如图3所示，阀体40具有：筒体41，其形成有开放端部411，并具有内部空间412；以及栓部42，其将内部空间412分隔成第一空间413和第二空间414，并到达开放端部411；以及弹性体43，其覆盖开放端部411以及栓部42。
在筒体41的壁面上，设置有朝向外侧凸出的圆环状的凸缘415，圆环状的凸缘415的内缘形成贯通筒体41的壁面的圆形的开放端部411。在本实施方式中，由圆环状的凸缘415所形成的圆形的开口端部411被设置在筒体41的上壁面，但并不限于此，例如也可以设置在筒体41的下壁面。
栓部42是将内部空间412分隔成位于容器主体10的外部侧的第一空间413，以及与第一空间413相比位于容器主体10的靠内部侧的第二空间414的板状物，并直立设置在筒体41的与开放端部411对向的壁面418(下壁面)上。此外，在本实施方式中，在俯视时，栓部42以将开放端部411均等地分割成两部分并沿径向延伸的方式，设置在开放端部411的中央位置。另外，栓部42具有平坦的前端421。
第一空间413具有连通到容器主体10的外部的第一连通孔416(内径:Φ6左右)，且第二空间414具有连通到容器主体10内部的第二连通孔417(内径:Φ6左右)。此外，在本实施方式中，第一连通孔416以及第二连通孔417分别形成在筒体41的一端侧以及另一端侧，但并不限于此，例如，也可以形成在筒体41的壁面418上。在这种情况时，筒体41的两端侧被盖等封闭。
第一连通孔416连通到与容器主体10的外部连通的第一供气流路61或第一排气流路71的一端侧，第二连通孔417连通到与容器主体10的内部连通的第二供气流路62或第二排气流路72的一端侧。
上述筒体41以及栓部42例如通过使用聚碳酸酯、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮、液晶聚合物等的热塑性树脂作为非金属材料而成形。
弹性体43通过与栓部42的前端421紧密相接或离开栓部42的前端421，从而控制气体向容器主体10的流通，其包含覆盖开放端部411以及栓部42的圆板形状的基座431构成。
并且，设置在内侧底面部101上的圆环状的按压部1011为了将弹性体43按压在筒体41上，从而以可拆卸的状态隔着弹性体43被安装到筒体41。此外，在本实施方式中，弹性体43通过按压部1011可拆卸地安装在筒体41上，但并不限于此，例如也可以通过粘接或熔接等直接安装在筒体41上。
另外，弹性体43以紧密相接于栓部42的前端421的状态下，与容器主体10的内侧底面部101之间具有间隙的方式设置。因此，弹性体43可以通过膨胀而与栓部42的前端421分离。
并且，弹性体43以使所供气或者排气的气体仅在第一空间413和第二空间414中流动的方式，将第一空间413侧的开放端部411和栓部42的前端421之间，以及栓部42的前端421和第二空间414侧的开放端部411之间切实地密封。
弹性体43可以由非金属材料形成，作为非金属材料，可以使用各种橡胶或者热塑性弹性体等。例如，可以使用由聚酯类弹性体、聚烯烃类弹性体、氟类弹性体、聚氨酯类弹性体等构成的热塑性弹性体、氟橡胶、乙丙橡胶、硅酮类橡胶等。
最后，对阀体40控制气体流通的状态进行说明。
图4(a)是表示安装于基板收纳容器1的阀体40的阻断气体流通的状态的剖面示意图，图4(b)是表示安装于基板收纳容器1的阀体40的允许气体流通的状态的剖面示意图。
在图4(a)中，如果未对第一空间413以及第二空间414施加正压，则弹性体43紧密相接于栓部42的前端421上，阻断气体的流通。
例如，如图4(b)的箭头所示，通过对第一空间413施加规定值以上的正压时，弹性体43根据正压的大小而弹性变形并膨胀，从而与栓部42的前端421之间形成间隙C。并且，来自第一空间413侧的气体通过该间隙C流通到第二空间414侧，从而供给到容器主体10的内部。
相反，对第二空间414施加规定值以上的正压时，弹性体43也同样地膨胀，从而与栓部42的前端421之间形成间隙C。并且，来自第二空间414侧的气体通过该间隙C流通到第一空间413侧，从而排出到容器主体10的外部。
这样，本实施方式的阀体40不仅可以阻断或允许来自任一侧的气体的流通，而且可以阻断或允许两个方向的气体的流通。并且，通过改变弹性体43的材料、硬度或厚度等、栓部42在筒体41的延伸方向上的位置，以及栓部42的前端421的形状，可以调节能够使气体流通的压力的规定值。
如上所述，本发明的实施方式所涉及的基板收纳容器1具备：容器主体10，其收纳基板W；以及盖体20，其封闭容器主体10的开口11；以及阀体40，其控制气体向容器主体10的流通；其中，阀体40安装在设置于容器主体10的气体流路的中途，其具有：筒体41，其形成有开放端部411，且具有内部空间412；以及栓部42，其将内部空间412分隔成第一空间413以及第二空间414，并到达开放端部411；以及弹性体43，其覆盖开放端部411以及栓部42；其中，第一空间413具有连通至容器主体10的外部的第一连通孔416，第二空间414具有连通至容器主体10的内部的第二连通孔417，弹性体43通过与栓部42紧密相接或与栓部42分离，从而控制气体向容器主体10的流通。
由此，从阀体40的第一空间413或第二空间414中的一个空间导入气体(变成正压)，当达到规定的压力值时，则弹性体43膨胀，从而与栓部42的前端421之间形成间隙C，因此导入的气体被供给到阀体40的第一空间413或第二空间414中的另一个空间。
另外，由于基板收纳容器1具备不使用金属构件的阀体40，因此即使在收纳的基板W中存在金属腐蚀性的残留物质，也不会发生金属腐蚀问题，从而不易发生阀体40不工作的情况。
进一步，由于基板收纳容器1具备控制双向的气体流通的阀体40，因此，仅通过在容器主体10的气体流路的中途适当安装相同的阀体40，则不论供气部16还是排气部17的位置以及个数如何，均可应对所有气体的供气以及排气路径。
另外，使用本实施方式的基板收纳容器1进行了湿度保持试验，然而与传统的基板收纳容器相比，随着时间的推移而引起的湿度降低并没有发现显著的差异。
此外，由于从气体导入部50或供气流路60经由第一供气流路61或第一排气流路71到达阀体40的距离较长，因此即便在使用液体清洗容器主体10的情况时，液体也不易到达阀体40，从而可以防止容器主体10干燥后的水分残留。并且，液体不会到达比阀体40(栓部42)更靠里侧的供气部16或排气部17。
以上，对本发明的优选实施方式进行了详细说明，但本发明并不限于上述的实施方式，在权利要求书中记载的本发明要旨的范围内，能够进行各种变形、变更。
(变形例)
以下，对实施方式的变形例进行说明。
图5是表示变形例中的栓部2的前端21的形状的示意图。图6是表示变形例中的栓部2的配置的剖面图。
在上述实施方式中，第一空间413以及第二空间414分别具有一个第一连通孔416以及一个第二连通孔417，但并不限于此，例如，也可以根据阀体40的用途，分别具有两个以上的第一连通孔416以及/或者两个以上的第二连通孔417。
另外，在上述实施方式中，开放端部411为圆形，但并不限于此，例如，也可以为椭圆形、三角形或四边形，在该情况时，弹性体43的形状也可以配合开放端部411的形状而适当变更。
进一步，在上述实施方式中，栓部42的前端421为平面，但并不限于此，例如，如图5所示，其中央部分也可以为朝向弹性体43侧***的曲面等形状面，在该情况时，弹性体43被中央部分***的前端421朝向上方推压，因此，与前端421为平面的情况相比，可以提高能使气体流通的压力的规定值。
并且，在上述实施方式中，栓部42设置于开放端部411的中央位置，但并不限于此，例如，如图6所示，也可以设置为从开放端部411的中央位置向筒体41的延伸方向偏移，在此情况时，能使气体流通的压力的规定值得到调节。
(第二实施方式)
然而，在上述实施方式中，阀体40构成为安装于设置在容器主体10的气体流路的中途，但并不限于此，例如，也可以构成为安装于容器主体10以及盖体20的至少一方。
图7是表示第二实施方式的容器主体10的阀体40的剖面图。
如图7所示，阀体40具有：固定筒46，其从下方嵌入由容器主体10的肋部180形成的贯通孔18中；以及保持筒48，其隔着密封构件45从上方嵌入贯通孔18中，且从上方通过螺纹连接可拆装地组合到固定筒46。
固定筒46形成为容器主体10的内部侧开口的有底圆筒状，并且在固定筒46的内周面螺纹形成有用于安装保持筒48的安装用螺纹槽462。另外，在固定筒46的外周面上，以与肋部180的开口周缘部接触的方式，在周向设置有沿径向向外延伸的环状的凸缘463。进一步，固定筒46在底部中心形成有与筒体41的第一连通孔416连通的气体流通用的通气口461。
另一方面，保持筒48形成为容器主体10的外部侧开口的有底圆筒状，并且在保持筒48的外周面上设置有沿径向向外延伸的环状的凸缘483，凸缘483与贯通孔18的开口周缘接触。进一步，在保持筒48的外周面上螺纹形成有用于安装到固定筒46上的螺纹槽482，并且该螺纹槽482与固定筒46的螺纹槽462螺纹连接。但是，固定筒46和保持筒48也可以不采用螺纹连接，而是通过例如压入或卡止等的其它方法相互安装。
另外，保持筒48在容器主体10(底面)的内部侧，呈格子状或放射状地配设有区划气体流通用的两个以上的通气口(未图示)的区划肋部(未图示)，并且在该区划肋部的背面形成有收纳过滤片44的收纳空间。
此外，保持筒48在外周面上安装有密封构件45，能够阻断从保持筒48和贯通孔18的内周面之间向容器主体10的内部侵入的外部空气或清洗液，另外，能够阻断从容器主体10的内部泄漏的气体。
另外，阀体40隔着密封构件47安装于保持筒48的内周壁，并且在与保持筒48之间具有保持过滤片44的中盖筒49。
中盖筒49形成为容器主体10的外部侧开口的有底圆筒形状，并且在容器主体10的内部侧载置有过滤片44。另外，在中盖筒49的外周面上形成有突起，并且中盖筒49通过与形成在保持筒48的内周面侧的卡止槽卡止，从而连结并安装到保持筒48。该中间盖筒49在底部中心形成有与筒体41的第二连通孔417连通的气体流通用通气口491。
并且，阀体40具有：筒体41，其被配置在固定筒46和中盖筒49之间，形成开放端部411，并且具有内部空间412；以及栓部42，其将内部空间412分隔成第一空间413和第二空间414，并且到达开放端部411；以及弹性体43，其覆盖开放端部411以及栓部42。此外，在本实施方式中，关于筒体41、栓部42以及弹性体43，由于与上述实施方式相同，因此省略对其说明。
上述固定筒46、保持筒48以及中盖筒49例如由聚碳酸酯、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮、液晶聚合物等的热塑性树脂作为材料而形成。另外，密封构件45、47使用例如由氟橡胶、NBR橡胶、聚氨酯橡胶、EPDM橡胶、硅橡胶等的材料形成的O型环等。
由于第二实施方式的基板收纳容器1也配备不使用金属性的构件的阀体40，因此即使金属腐蚀性的残留物质存在于要收纳的基板W中，也不会发生金属腐蚀的问题，从而不易发生阀体40不工作的情况。
(第二实施方式的变形例)
进一步，在上述实施方式中，也可以为：保持筒48组合在嵌入贯通孔18中的固定筒46的内侧，相反，固定筒46可以组合在嵌入贯通孔18中的保持筒48的内侧。另外，在上述实施方式中，阀体40具有中盖筒49，但也可以不具有中盖筒49，而使第二连通孔417与保持筒48连通。在这种情况时，过滤片44可以直接粘接或熔接到保持筒48。
附图标记说明
1 基板收纳容器
2 容器主体
11 开口
12 密封面
13 支撑体
14 机器人凸缘
15 手动握柄
16 供气部
17 排气部
18 贯通孔
101 内侧底面部
102 外侧底板
180 肋部
1011 按压部
20 盖体
21 安装槽
22 凸部
30 密封件
40 阀体
41 筒体
411 开放端部
412 内部空间
413 第一空间
414 第二空间
415 凸缘
416 第一连通孔
417 第二连通孔
418 壁面
42 栓部
421 前端
43 弹性体
431 基座
44 过滤片
45 密封构件
46 固定筒
461 通气口
462 螺纹槽
463 凸缘
47 密封构件
48 保持筒
482 螺纹槽
483 凸缘
49 中盖筒
491 通气口
50 气体导入部
51 气体排出部
60 供气流路
61 第一供气流路
62 第二供气流路
70 排气流路
71 第一排气流路
72 第二排气流路
W 基板
C 间隙

Claims (8)

1.一种基板收纳容器，其特征在于具备：
容器主体，其收纳基板；以及
盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及
阀体，其控制气体向所述容器主体的流通；
其中，所述阀体具有：
筒体，其形成有开放端部，并具有内部空间；以及
栓部，其将所述内部空间分隔成第一空间与第二空间，并到达所述开放端部；
以及弹性体，其覆盖所述开放端部以及所述栓部；
其中，所述第一空间具有连通至所述容器主体的外部的第一连通孔；并且所述第二空间具有连通至所述容器主体的内部的第二连通孔；
所述弹性体通过与所述栓部紧密相接或与所述栓部分离，从而控制气体向所述容器主体的流通。
2.如权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，所述弹性体为板状，且以使所述气体仅在所述第一空间、所述第二空间流动的方式，将所述第一空间侧的开放端部与所述栓部之间、以及所述栓部与所述第二空间侧的开放端部之间分别密封。
3.如权利要求1或者2所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，在对所述第一空间或所述第二空间施加正压的情况时，所述弹性体通过膨胀而与所述栓部之间形成间隙，从而允许所述气体向所述容器主体的流通，且在没有对所述第一空间以及所述第二空间施加正压的情况时，所述弹性体与所述栓部紧密相接，从而阻断所述气体向所述容器主体的流通。
4.如权利要求1-3中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，所述弹性体以可拆卸的状态安装于所述筒体。
5.如权利要求1-4中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，所述阀体安装于设置在所述容器主体的气体流路的中途。
6.如权利要求1-4中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，所述第一连通孔与固定筒连通，所述固定筒嵌合于形成在所述容器主体上的贯通孔，
所述第二连通孔与被组合到所述固定筒上的保持筒连通。
7.如权利要求1-4中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，所述第一连通孔与固定筒连通，所述固定筒嵌合于形成在所述容器主体上贯通孔，
所述第二连通孔与中盖筒连通，所述中盖筒与被组合到所述固定筒上的保持筒连结。
8.如权利要求6或者7所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述阀体具有过滤所述气体的过滤片。
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