CN111834283A - 一种晶圆抓取机械手 - Google Patents
一种晶圆抓取机械手 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111834283A CN111834283A CN202010853890.6A CN202010853890A CN111834283A CN 111834283 A CN111834283 A CN 111834283A CN 202010853890 A CN202010853890 A CN 202010853890A CN 111834283 A CN111834283 A CN 111834283A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- side wall
- wafer
- arc
- plate
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 15
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 12
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
本发明公开一种晶圆抓取机械手,包括机械手固定板,所述机械手固定板的右端中部成型有弧形槽,弧形槽的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽,中心通槽的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽,伸缩臂插套在中心通槽中,伸缩臂的前后两个侧壁上成型有导向凸起条,导向凸起条插套在对应的中部导向槽中。本发明通过伸缩臂伸缩可以将抓取板伸入抓取处进行接料,其伸缩臂体积小,方便伸入抓取处抓取,而且其可以自动将晶圆提升,方便后续其他机械手抓取,非常方便。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制作技术领域,更具体的说涉及一种晶圆抓取机械手。
背景技术
现有的半导体加工中,其晶圆加工设备中,其需要将晶圆进行多次抓取和输送,现有的抓取方式最常用的是真空吸盘吸附,其效果好,但是,在一些抓取机构中,无法安装真空吸盘时,就只能采用托盘方式托起晶圆,其一般是需要整个机械手移动,而机械手由于体积过大,抓取并不方便。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术之不足,而提供一种晶圆抓取机械手,它通过伸缩臂伸缩可以将抓取板伸入抓取处进行接料,其伸缩臂体积小,方便伸入抓取处抓取,而且其可以自动将晶圆提升,方便后续其他机械手抓取,非常方便。
本发明的技术解决措施如下:
一种晶圆抓取机械手,包括机械手固定板,所述机械手固定板的右端中部成型有弧形槽,弧形槽的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽,中心通槽的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽,伸缩臂插套在中心通槽中,伸缩臂的前后两个侧壁上成型有导向凸起条,导向凸起条插套在对应的中部导向槽中;
所述机械手固定板的底面固定有无杆气缸,无杆气缸的滑动块固定在伸缩臂的左端底面上;
所述伸缩臂的右侧壁上固定有抓取板,抓取板的顶面的左部和右部均成型有向上延伸的弧形阻挡部,晶圆放置在抓取板上并处于两个弧形阻挡部之间,晶圆的左部处于弧形槽中;
所述弧形槽的内侧壁的下部固定有下水平支撑板,抓取板处于下水平支撑板的顶面上方,抓取板的底面靠近下水平支撑板的顶面。
所述下水平支撑板的底面固定有多个推动气缸,推动气缸的推杆插套在下水平支撑板上具有的导向通孔中,推动气缸的推杆的上部插套在抓取板的中部成型有的上通孔中,推动气缸的推杆的顶端对着晶圆。
所述导向通孔的内侧壁上固定有导向套,推动气缸的推杆插套在导向套中,推动气缸的推杆的外侧壁紧贴导向套的内侧壁。
所述推动气缸的推杆的顶端固定有弹性块。
所述机械手固定板的左侧壁上固定有竖直连接板。
所述中心通槽的右端内侧壁成型有内凹槽,内凹槽与弧形槽相通,内凹槽的内侧壁上成型有过渡导向槽,过渡导向槽的左端与中部导向槽相通,伸缩臂的右端的前后两个侧壁成型有延伸部,延伸部插套在内凹槽中,延伸部的外侧壁上成型有过渡凸起部,过渡凸起部插套在过渡导向槽中。
所述弧形阻挡部的内侧壁的下部成型有底部延伸凸起部,晶圆的边部压靠在底部延伸凸起部的顶面上。
本发明的有益效果在于:其通过伸缩臂伸缩可以将抓取板伸入抓取处进行接料,其伸缩臂体积小,方便伸入抓取处抓取,而且其可以自动将晶圆提升,方便后续其他机械手抓取,非常方便。
附图说明
图1为本发明的局部俯视图;
图2为本发明的局部剖视图;
图3为图2的局部放大图;
图4为图1的局部剖视状态的结构示意图。
具体实施方式
实施例:见图1至4所示,一种晶圆抓取机械手,包括机械手固定板10,所述机械手固定板10的右端中部成型有弧形槽11,弧形槽11的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽12,中心通槽12的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽13,伸缩臂20插套在中心通槽12中,伸缩臂20的前后两个侧壁上成型有导向凸起条21,导向凸起条21插套在对应的中部导向槽13中;
所述机械手固定板10的底面固定有无杆气缸30,无杆气缸30的滑动块固定在伸缩臂20的左端底面上;
所述伸缩臂20的右侧壁上固定有抓取板22,抓取板22的顶面的左部和右部均成型有向上延伸的弧形阻挡部23,晶圆100放置在抓取板22上并处于两个弧形阻挡部23之间,晶圆100的左部处于弧形槽11中;
所述弧形槽11的内侧壁的下部固定有下水平支撑板14,抓取板22处于下水平支撑板14的顶面上方,抓取板22的底面靠近下水平支撑板14的顶面。
进一步的说,所述下水平支撑板14的底面固定有多个推动气缸15,推动气缸15的推杆插套在下水平支撑板14上具有的导向通孔141中,推动气缸15的推杆的上部插套在抓取板22的中部成型有的上通孔221中,推动气缸15的推杆的顶端对着晶圆100。
进一步的说,所述导向通孔141的内侧壁上固定有导向套142,推动气缸15的推杆插套在导向套142中,推动气缸15的推杆的外侧壁紧贴导向套142的内侧壁。
进一步的说,所述推动气缸15的推杆的顶端固定有弹性块1。
进一步的说,所述机械手固定板10的左侧壁上固定有竖直连接板2。
进一步的说,所述中心通槽12的右端内侧壁成型有内凹槽16,内凹槽16与弧形槽11相通,内凹槽16的内侧壁上成型有过渡导向槽161,过渡导向槽161的左端与中部导向槽13相通,伸缩臂20的右端的前后两个侧壁成型有延伸部24,延伸部24插套在内凹槽16中,延伸部24的外侧壁上成型有过渡凸起部241,过渡凸起部241插套在过渡导向槽16中。
进一步的说,所述弧形阻挡部23的内侧壁的下部成型有底部延伸凸起部231,晶圆100的边部压靠在底部延伸凸起部231的顶面上。
本实施例其可以安装固定在输送机械人的机械手的连接端处,其可以通过无杆气缸30的滑动块推动,将伸缩臂20向右移动,伸入抓取处,将晶圆100接收放置到底部延伸凸起部231的顶面上,并处于两个弧形阻挡部23之间,然后,通过无杆气缸30的滑动块回缩,将抓取板22回缩使得晶圆100的左部处于弧形槽11中,完成抓取;
当其他机械手需要从此抓取板22取料时,通过所有推动气缸15的推杆推动,使得弹性块1提升,将晶圆100提升,方便其他机械手抓取,本实施例中其下水平支撑板14的中部的前后左右设置有四个推动气缸15,保证晶圆100提升稳定。
Claims (7)
1.一种晶圆抓取机械手,包括机械手固定板(10),其特征在于:所述机械手固定板(10)的右端中部成型有弧形槽(11),弧形槽(11)的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽(12),中心通槽(12)的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽(13),伸缩臂(20)插套在中心通槽(12)中,伸缩臂(20)的前后两个侧壁上成型有导向凸起条(21),导向凸起条(21)插套在对应的中部导向槽(13)中;
所述机械手固定板(10)的底面固定有无杆气缸(30),无杆气缸(30)的滑动块固定在伸缩臂(20)的左端底面上;
所述伸缩臂(20)的右侧壁上固定有抓取板(22),抓取板(22)的顶面的左部和右部均成型有向上延伸的弧形阻挡部(23),晶圆(100)放置在抓取板(22)上并处于两个弧形阻挡部(23)之间,晶圆(100)的左部处于弧形槽(11)中;
所述弧形槽(11)的内侧壁的下部固定有下水平支撑板(14),抓取板(22)处于下水平支撑板(14)的顶面上方,抓取板(22)的底面靠近下水平支撑板(14)的顶面。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取机械手,其特征在于:所述下水平支撑板(14)的底面固定有多个推动气缸(15),推动气缸(15)的推杆插套在下水平支撑板(14)上具有的导向通孔(141)中,推动气缸(15)的推杆的上部插套在抓取板(22)的中部成型有的上通孔(221)中,推动气缸(15)的推杆的顶端对着晶圆(100)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆抓取机械手,其特征在于:所述导向通孔(141)的内侧壁上固定有导向套(142),推动气缸(15)的推杆插套在导向套(142)中,推动气缸(15)的推杆的外侧壁紧贴导向套(142)的内侧壁。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆抓取机械手,其特征在于:所述推动气缸(15)的推杆的顶端固定有弹性块(1)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取机械手,其特征在于:所述机械手固定板(10)的左侧壁上固定有竖直连接板(2)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取机械手,其特征在于:所述中心通槽(12)的右端内侧壁成型有内凹槽(16),内凹槽(16)与弧形槽(11)相通,内凹槽(16)的内侧壁上成型有过渡导向槽(161),过渡导向槽(161)的左端与中部导向槽(13)相通,伸缩臂(20)的右端的前后两个侧壁成型有延伸部(24),延伸部(24)插套在内凹槽(16)中,延伸部(24)的外侧壁上成型有过渡凸起部(241),过渡凸起部(241)插套在过渡导向槽(16)中。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取机械手,其特征在于:所述弧形阻挡部(23)的内侧壁的下部成型有底部延伸凸起部(231),晶圆(100)的边部压靠在底部延伸凸起部(231)的顶面上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010853890.6A CN111834283B (zh) | 2020-08-24 | 2020-08-24 | 一种晶圆抓取机械手 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010853890.6A CN111834283B (zh) | 2020-08-24 | 2020-08-24 | 一种晶圆抓取机械手 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111834283A true CN111834283A (zh) | 2020-10-27 |
CN111834283B CN111834283B (zh) | 2024-05-03 |
Family
ID=72918285
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010853890.6A Active CN111834283B (zh) | 2020-08-24 | 2020-08-24 | 一种晶圆抓取机械手 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111834283B (zh) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130309048A1 (en) * | 2012-05-16 | 2013-11-21 | Lam Research Ag | Apparatus and method for transporting wafer-shaped articles |
CN107351095A (zh) * | 2017-07-31 | 2017-11-17 | 华南理工大学 | 一种涡流焊接机械臂 |
CN109449097A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-03-08 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种晶圆检测方法 |
CN208787405U (zh) * | 2018-09-09 | 2019-04-26 | 济南飞迈数控科技有限公司 | 冲压机器人自动上下料*** |
-
2020
- 2020-08-24 CN CN202010853890.6A patent/CN111834283B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130309048A1 (en) * | 2012-05-16 | 2013-11-21 | Lam Research Ag | Apparatus and method for transporting wafer-shaped articles |
CN107351095A (zh) * | 2017-07-31 | 2017-11-17 | 华南理工大学 | 一种涡流焊接机械臂 |
CN208787405U (zh) * | 2018-09-09 | 2019-04-26 | 济南飞迈数控科技有限公司 | 冲压机器人自动上下料*** |
CN109449097A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-03-08 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种晶圆检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111834283B (zh) | 2024-05-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20220025579A1 (en) | Pulp molding production line and processing method | |
US12031271B2 (en) | Transfer device applied to pulp molded manipulator, and production line | |
CN210456569U (zh) | 一种机电自动化十字架式动作器 | |
CN212558227U (zh) | 一种输送定位装置 | |
JP2013039644A (ja) | 物品保持装置 | |
CN106395376A (zh) | 一种新能源汽车用圆形薄板加工抓取机构 | |
CN107089511B (zh) | 一种柔性放料的夹取机构 | |
CN111731862A (zh) | 一种料盘供料机构 | |
CN111834283A (zh) | 一种晶圆抓取机械手 | |
CN211766673U (zh) | 一种取袋装置 | |
CN209905896U (zh) | 一种pcb板、装料盘取放装置 | |
CN210504632U (zh) | 一种夹持稳定的智能搬运机器人 | |
CN209478221U (zh) | 一种柔性抓取装置 | |
CN218195181U (zh) | 一种基于3d视觉引导的机器人上下料装置 | |
CN113213146B (zh) | 一种抓取机构及升降式循环生产线 | |
CN217076189U (zh) | 一种可移动的机械吸盘装置 | |
CN210594295U (zh) | 物料盘拆分机器人 | |
CN110587646B (zh) | 一种智能抓取机械臂 | |
CN108555898B (zh) | 一种水果分拣机械手 | |
CN216917706U (zh) | 一种风能发电控制机柜铆接上料装置 | |
CN218024128U (zh) | 一种木板抓取上料装置 | |
CN212892772U (zh) | 一种智能升降式码垛机器人 | |
CN218778321U (zh) | 一种抓取装置 | |
CN213227396U (zh) | 一种注塑机机械手吸盘治具 | |
CN221111814U (zh) | 柔性化机器人工作站料盘 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
TA01 | Transfer of patent application right | ||
TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20240327 Address after: 1/F, Building 10, No. 85 Hong'an Road, Fangshan District, Beijing, 102402 Applicant after: ZHANSHIWANG (BEIJING) TECHNOLOGY CO.,LTD. Country or region after: China Address before: 318050 side of Changpu village vegetable market, Lunan street, Luqiao District, Taizhou City, Zhejiang Province Applicant before: Taizhou Laolin Decoration Co.,Ltd. Country or region before: China |
|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |