CN111829981B - 一种基于tdlas的气体外差检测装置及检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于TDLAS的气体外差检测装置及检测方法,具体包括:DFB激光器、光纤模式耦合器、光纤声光装置、气体吸收池、第一单模光纤耦合器、第二单模光纤耦合器、光电探测器、除法电路和解调分析模块;本发明提供一种基于TDLAS的气体外差检测装置,该检测装置将外差干涉应用于TDLAS气体检测,同时利用除法电路消除激光器强度调制的影响,显著提高了抗噪能力和测量精度,实现气体浓度检测的目的。
Description
技术领域
本发明涉及气体检测技术领域,特别是涉及一种基于TDLAS的气体外差检测装置。
背景技术
气体的浓度进行检测时,都希望能够快速准确地测量气体成分及其对应的浓度。其中可调谐半导体激光吸收光谱技术(TDLAS)作为一种检测气体浓度的方法是通过调节窄线宽激光器的输出波长,使其连续扫描待测气体的特征吸收谱线,利用朗伯-比尔定律即可求出待测气体的浓度信息。但TDLAS***中通过注入电流实现激光器输出波长扫描的同时,也会引起激光功率的变化,产生强度调制。另一方面,TDLAS检测采用直接检测的方式,只能检测光波的振幅信息。
外差检测技术是一种光频相干检测技术,是基于相干的参考光和入射信号光混频的原理实现的,非常适用于一些微弱信号的探测,灵敏度比直接探测提高了几个数量级,且不仅能响应信号的振幅信息,还可以响应信号的频率和相位信息。但外差检测技术不仅仅要求载波光束与探测光束之间偏振方向平行,传输方向一致,还要两光束频率不相同,即两光束之间有频移量。传统的外差检测一般需要一个空间光移频器或其他移频设备,使整个外差***复杂繁琐。
综上所述,寻找一种高效紧凑的基于TDLAS的气体外差检测装置成为研究人员关注的问题。
发明内容
为了解决上述技术问题,提供一种基于TDLAS的气体外差检测装置及检测方法,该检测装置将外差干涉应用于TDLAS气体检测,同时利用除法电路消除激光器强度调制的影响,显著提高了抗噪能力和测量精度,实现气体浓度检测的目的。
为实现上述目的,本发明提供一种基于TDLAS的气体外差检测装置,其特征在于,包括:DFB激光器、光纤模式耦合器、光纤声光装置、单模光纤耦合器和光电探测器;
所述DFB激光器与光纤模式耦合器相连,所述光纤模式耦合器包括单模光纤和少模光纤,所述DFB激光器经光纤模式耦合器分为两路L1和L2,一路经所述单模光纤进入L1路,另一路经所述少模光纤进入L2路后再连接光纤声光装置,所述L2路通过所述单模光纤耦合器与所述光电探测器相连。
优选地,所述单模光纤包括单模光纤输入端和单模光纤输出端;所述少模光纤包括少模光纤输入端和少模光纤输出端;所述单模光纤输入端与DFB激光器相连;所述少模光纤输出端与所述光纤声光装置相连。
优选地,所述DFB激光器作为气体检测光源,不同中心波长的DFB激光器能够检测不同气体。
优选地,所述光纤模式耦合器中的单模光纤和少模光纤的分光比在不同所述DFB激光器的输出波长时,通过衰减法兰调整所述L1路功率使所述L1路与经所述光纤声光装置的输出功率比达到1:1;所述L1路的光信号工作模式为LP01模式;所述L2路的光信号工作模式为LP11模式,经过所述光纤声光装置后,LP11模式转换为LP01模式;所述单模光纤在工作波段只支持一个模式,即基模,也就是LP01模;
优选地,所述单模光纤输出端和单模光纤耦合器之间设有气体吸收池。
优选地,所述光纤声光装置包括铝制圆锥、振动产生装置、射频信号发射装置;所述射频信号发射装置连接振动产生装置后再与所述铝制圆锥相连;所述射频信号发射装置包括信号发生器和电压放大器,所述信号发生器产生射频信号,经过所述电压放大器放大后加载到所述振动产生装置当中;所述的振动产生装置为压电陶瓷片,所述电压陶瓷片振动带动所述铝制圆锥的振动,引起声致光栅效应。
优选地,所述单模光纤耦合器分为第一单模光纤耦合器和第二单模光纤耦合器。
优选地,所述单模光纤输出端与气体吸收池相连,所述L1和L2两路的光信号具有相同的偏振方向,两路光信号输入到第二单模光纤耦合器产生外差干涉。
优选地,所述L2路光信号经过光纤声光装置后再经过所述第一单模光纤耦合器分为两路L3和L4,所述L4路连接光电探测器;
优选地,所述L1路光信号经单模光纤进入气体吸收池,所述L2路光信号经少模光纤后进入所述光纤声光装置,所述光纤声光装置具有设定的光信号频移,再经过第一单模光纤耦合器又分为两路L3和L4;
所述L3路光信号和经过气体吸收池的L1路光信号都与第二单模光纤耦合器输入端连接,产生外差干涉,所述第二单模光纤耦合器输出端和L4路的输出端分别与一个所述光电探测器连接;
所述的光电探测器具有滤波放大的功能,将光信号转换为电信号;所述气体外差检测装置还包括除法电路和解调分析模块,所述第二单模耦合器输出端和L4两路转换为电信号连接除法电路后再经过解调分析模块处理,反演出不同气体的浓度信息。
本发明的有益效果在于:
(1)本发明在传统外差检测的方式上结合了TDLAS,两束光路传输方向一致,具有高的转换增益、良好的滤波特性和偏振鉴别能力,而且外差检测不仅能响应信号的振幅信息,还可以响应信号的频率和相位信息,为今后的气体检测提供了另一种思路。
(2)发明装置为全光纤结构,成本低,且相对制作过程简单、敏感性好。
(3)增加了除法电路,消除TDLAS技术中光源强度调制的影响,使解调结果更加精准。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例1提供的一种基于TDLAS的气体外差检测装置示意图;
图2为本发明实施例1中所述光纤声光装置的模式转换示意图;
图3为本发明实施例2提供的一种基于TDLAS的气体外差检测装置示意图;
图4为本发明实施例3提供的一种基于TDLAS的气体外差检测装置示意图;
图5为本发明实施例1中氨气的外差检测输出波形图;
图6为本发明实施例2中第一单模光纤耦合器分路后下路光信号输出波形图;
图7为本发明实施例3中除法电路的输出波形图和解调后二次谐波图;
图中:1-DFB激光器、2-光纤模式耦合器、3-光纤声光装置、4-铝制圆锥、5-振动产生装置、6-射频信号发射装置、7-气体吸收池、8-第一单模光纤耦合器、9-第二单模光纤耦合器、10-光电探测器、11-除法电路、12-解调分析模块、2.1-单模光纤输入端、2.2-单模光纤输出端、2.3-少模光纤输入端、2.4-少模光纤输出端。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
实施例1
参照图1-2所示,本实施例1提供一种基于TDLAS的气体外差检测装置,具体包括:
DFB激光器1、光纤模式耦合器2、光纤声光装置3、气体吸收池7、第二单模光纤耦合器9和光电探测器10;其中,2.1为单模光纤的输入端,2.2为单模光纤的输出端,2.3为少模光纤的输入端,2.4为少模光纤的输出端。光纤模式耦合器2是由单模光纤和少模光纤以设定纤芯模式耦合而成;DFB激光器1输出的激光束经光纤模式耦合器2分为两路光信号,一路由单模光纤输出端2.2输出为LP01模式,其作为信号光传输至气体吸收池7,如图1中的L1路;另一路由少模光纤输出端2.4输出为LP11模式,其作为载波光传输至光纤声光装置3又转换成LP01模式,如图1中的L2路;所述气体吸收池7和所述光纤声光装置3输出端分别与第二单模光纤耦合器9输入端连接,第二单模光纤耦合器9输出端再连接光电探测器。所述光纤声光装置3包括铝制圆锥4、振动产生装置5、射频信号发射装置6;射频信号发射装置包括信号发生器和电压放大器,信号发生器产生射频信号经过电压放大器放大后加载到振动产生装置5。
所述的振动产生装置5为压电陶瓷片,其振动带动铝制圆锥4的振动,引起声致光栅效应,最终实现LP11模式到LP01模式的转换,并具有设定的光信号频移,形成外差干涉条件。
其操作步骤具体包括:
1)DFB激光器1输出的激光束经光纤模式耦合器2分为两路光信号,这两路光信号具有相同的偏振方向,一路LP01模式作为信号光,用于检测气体吸收光谱信号。
DFB激光器作为气体检测光源,线宽窄,不同中心波长的DFB激光器可以检测不同气体。
所述光纤模式耦合器2的输出分光比为1:1。
2)另一路LP11模式作为载波光经光纤声光装置3转换为LP01模式,具有设定的光信号频移,两路LP01模式的光信号输入到第二单模光纤耦合器9产生外差干涉,第二单模光纤耦合器9再与光电探测器10连接将光信号转换为电信号。
所述外差干涉经过光电探测器10,其通过中频带通滤波器的电流为:
其中,和表示信号光和载波光的振幅,和表示信号光和载波光的频率,和表示信号光和载波光的初始相位;若某一特定频率的光通过气体被吸收后,值会变小,从而整体电流值会变小;和随着激光器注入电流不同而线性变化,但差值不会变。该外差检测装置同时响应了信号的振幅信息和频率信息,其中t为时间量,m为一个比例系数,由光电探测器性能决定。一般初始相位为零,则未经气体吸收的外差检测其探测器响应信号为:
I1=mEL1EL2cos[2π(fL1-fL2)t] (2)
实施例2
参照图3所示,本发明实施例2提供的一种基于TDLAS的气体外差检测装置。如图3所示,包括DFB激光器1、光纤模式耦合器2、光纤声光装置3、第一单模光纤耦合器8和光电探测器10。所述光纤模式耦合器2是由单模光纤和少模光纤以设定纤芯模式耦合而成;所述DFB激光器1输出的激光束经光纤模式耦合器2分为两路光信号,一路由少模光纤输出端2.4输出为LP11模式,其作为载波光传输至光纤声光装置3又转换成LP01模式;LP01模式信号光经过第一单模光纤耦合器8分为两路,上路为图3中的L3路,分光后的下路光束L4连接光电探测器,而第一单模光纤耦合器8分光比为1:1,故其探测器响应信号与L3路一样为:
实施例3
参照图4所示,
本发明实施例3提供的一种基于TDLAS的气体外差检测装置。如图4所示,所述的气体外差检测装置,包括DFB激光器1、光纤模式耦合器2、光纤声光装置3、气体吸收池7、第一单模光纤耦合器8、第二单模光纤耦合器9、光电探测器10、除法电路11和解调分析模块12。
所述光纤模式耦合器2和第一单模光纤耦合器8分光比都为1:1。
所述解调分析模块12包括示波器、锁相放大器和计算机。
Iout=I1/I2=4cos[2π(fL1-fL2)t] (4)
由上式可知,除法电路可将激光器强度调制的影响消除。光经过气体吸收后,满足朗伯-比尔定律,其表达式为:
It=exp[-σ(λ)CL]I0 (5)
其中,It为透射光强度,σ(λ)为气体的吸收截面,与气体吸收池内温度、压强和吸收光频率有关,C为气体吸收池内待测气体的浓度,L为气体吸收的光程长,I0为入射光强。故经过气体吸收后除法电路的输出为:
滤波放大后的电信号先经过除法电路消除激光器强度调制的影响,然后接入解调分析模块,连接示波器查看外差检测后气体的吸收峰,保存数据;再输入到锁相放大器中,设置锁相放大器参考频率为即可解调出二次谐波,可以根据谐波幅值反演出气体的浓度信息。
如图4所示,实现基于TDLAS的气体外差检测装置是由DFB激光器1输出的中心波长为1512.20nm,经光纤模式耦合器2分为两路光信号,且两路光信号分光比为1:1;一路作为信号光连接气体吸收池,其内部含有500ppm浓度的氨气;另一路作为载波光连接光纤声光装置,具有设定的光信号频移;光纤声光装置输出连接第一单模光纤耦合器分为两路光束,其上路光束与经过气体吸收池吸收的光束具有特定的频移,且两路光信号具有相同的偏振方向,通过第二单模光纤耦合器合在一起,实现对氨气的光外差检测。
经过光电探测器后,滤波放大后的电信号与下路光束转换后的电信号连接除法电路,输出接入解调分析模块,保存具体数据,然后将得到1200个采样点进行线性拟合,获得连续信号,并用其对应的激光器输出波长表示。实施例1中氨气的外差检测输出波形如图5所示,实施例2中第一单模光纤耦合器8分路后下路光信号输出波形如图6所示,DFB激光器1在1512.25nm附近的吸收波长处有一个吸收峰,对应波形中明显的一个凹陷,根据实施例3,除法电路的输出波形和解调后二次谐波如图7中的①和②所示。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
以上所述的实施例仅是对本发明的优选方式进行描述,并非对本发明的范围进行限定,在不脱离本发明设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本发明的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。
Claims (5)
1.一种基于TDLAS的气体外差检测装置,其特征在于,包括:DFB激光器(1)、光纤模式耦合器(2)、光纤声光装置(3)、单模光纤耦合器和光电探测器(10);
所述DFB激光器(1)与光纤模式耦合器(2)相连,所述光纤模式耦合器(2)包括单模光纤和少模光纤,所述DFB激光器(1)经光纤模式耦合器(2)分为两路L1和L2,一路经所述单模光纤进入L1路,另一路经所述少模光纤进入L2路后再连接光纤声光装置(3),所述L2路通过所述单模光纤耦合器与所述光电探测器(10)相连;
所述单模光纤输出端(2.2)和单模光纤耦合器之间设有气体吸收池(7);
所述单模光纤耦合器分为第一单模光纤耦合器(8)和第二单模光纤耦合器(9);
所述单模光纤输出端(2.2)与气体吸收池(7)相连,所述L1和L2两路的光信号具有相同的偏振方向,两路光信号输入到第二单模光纤耦合器(9)产生外差干涉;
所述L2路光信号经过光纤声光装置(3)后再经过所述第一单模光纤耦合器(8)分为两路L3和L4,所述L4路连接光电探测器(10);
其特征在于所述L1路光信号经单模光纤进入气体吸收池(7),所述L2路光信号经少模光纤后进入所述光纤声光装置(3),所述光纤声光装置(3)具有设定的光信号频移,再经过第一单模光纤耦合器(8)又分为两路L3和L4;
所述L3路光信号和经过气体吸收池(7)的L1路光信号都与第二单模光纤耦合器(9)输入端连接,产生外差干涉,所述第二单模光纤耦合器(9)输出端和L4路的输出端分别与一个所述光电探测器(10)连接;
所述的光电探测器(10)具有滤波放大的功能,将光信号转换为电信号;所述气体外差检测装置还包括除法电路(11)和解调分析模块(12),所述第二单模光纤耦合器(9)输出端和L4两路转换为电信号连接除法电路(11)后再经过解调分析模块(12)处理,反演出不同气体的浓度信息。
2.根据权利要求1所述的一种基于TDLAS的气体外差检测装置,其特征在于,所述单模光纤包括单模光纤输入端(2.1)和单模光纤输出端(2.2);所述少模光纤包括少模光纤输入端(2.3)和少模光纤输出端(2.4);所述单模光纤输入端(2.1)与DFB激光器(1)相连;所述少模光纤输出端(2.4)与所述光纤声光装置(3)相连。
3.根据权利要求1所述的一种基于TDLAS的气体外差检测装置,其特征在于,所述DFB激光器(1)作为气体检测光源,不同中心波长的DFB激光器(1)能够检测不同气体。
4.根据权利要求1所述的一种基于TDLAS的气体外差检测装置,其特征在于,所述光纤模式耦合器(2)中的单模光纤和少模光纤的分光比在不同所述DFB激光器(1)的输出波长时,通过衰减法兰调整所述L1路功率使所述L1路与经所述光纤声光装置(3)的输出功率比达到1:1;所述L1路的光信号工作模式为LP01模式;所述L2路的光信号工作模式为LP11模式,经过所述光纤声光装置(3)后,LP11模式转换为LP01模式;所述单模光纤在工作波段只支持一个模式,即基模,也就是LP01模。
5.根据权利要求1所述的一种基于TDLAS的气体外差检测装置,其特征在于,所述光纤声光装置(3)包括铝制圆锥(4)、振动产生装置(5)、射频信号发射装置(6);所述射频信号发射装置(6)连接振动产生装置(5)后再与所述铝制圆锥(4)相连;所述射频信号发射装置(6)包括信号发生器和电压放大器,所述信号发生器产生射频信号,经过所述电压放大器放大后加载到所述振动产生装置(5)当中;所述的振动产生装置(5)为压电陶瓷片,所述压电陶瓷片振动带动所述铝制圆锥(4)的振动,引起声致光栅效应。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010766558.6A CN111829981B (zh) | 2020-08-03 | 2020-08-03 | 一种基于tdlas的气体外差检测装置及检测方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010766558.6A CN111829981B (zh) | 2020-08-03 | 2020-08-03 | 一种基于tdlas的气体外差检测装置及检测方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111829981A CN111829981A (zh) | 2020-10-27 |
CN111829981B true CN111829981B (zh) | 2023-05-12 |
Family
ID=72920869
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010766558.6A Active CN111829981B (zh) | 2020-08-03 | 2020-08-03 | 一种基于tdlas的气体外差检测装置及检测方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111829981B (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112394014A (zh) * | 2020-11-02 | 2021-02-23 | 河北地质大学 | 实时烟气氨逃逸浓度监测装置及方法 |
CN113686812B (zh) * | 2021-07-23 | 2022-08-19 | 复旦大学 | 一种消除异路干涉噪声的气体传感方法及*** |
CN114184568A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-03-15 | 合肥学院 | 一种全光纤中红外激光外差辐射计*** |
CN114069377B (zh) * | 2021-11-17 | 2023-12-26 | 上海大学 | 一种基于声光装置的模式控制*** |
CN114034660B (zh) * | 2021-12-03 | 2024-03-08 | 福建美营自动化科技有限公司 | 一种基于tdlas的气体检测***与方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1022549B1 (en) * | 1999-01-21 | 2005-08-31 | European Space Agency | Dynamic light scattering method and apparatus |
CN101201243B (zh) * | 2007-11-29 | 2010-12-08 | 北京航空航天大学 | 基于光纤延时自外差法的测量窄线宽激光器线宽装置及其测量方法 |
CN104596996B (zh) * | 2015-01-06 | 2017-05-03 | 香港理工大学深圳研究院 | 基于空芯光纤光热效应的气体检测方法和*** |
CN104568835A (zh) * | 2015-01-21 | 2015-04-29 | 山东大学 | 一种消除光纤传感***中二次谐波剩余幅度调制的方法 |
CN109696418B (zh) * | 2019-02-27 | 2021-08-10 | 南京科远智慧科技集团股份有限公司 | 一种应用于低信噪比下的tdlas直接吸收法的外差平衡探测***及探测方法 |
CN110429988B (zh) * | 2019-09-19 | 2020-12-08 | 上海大学 | 一种基于光纤模式转换的全光纤外差检测器件 |
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2020
- 2020-08-03 CN CN202010766558.6A patent/CN111829981B/zh active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN111829981A (zh) | 2020-10-27 |
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