CN111812760A - 一种光栅结构、光波导及近眼显示*** - Google Patents
一种光栅结构、光波导及近眼显示*** Download PDFInfo
- Publication number
- CN111812760A CN111812760A CN202010784688.2A CN202010784688A CN111812760A CN 111812760 A CN111812760 A CN 111812760A CN 202010784688 A CN202010784688 A CN 202010784688A CN 111812760 A CN111812760 A CN 111812760A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- grating
- coupling
- optical waveguide
- cylindrical
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 39
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical compound Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 abstract description 4
- 230000003190 augmentative effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 3
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000000276 deep-ultraviolet lithography Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000025 interference lithography Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1842—Gratings for image generation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/01—Head-up displays
- G02B27/0101—Head-up displays characterised by optical features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1814—Diffraction gratings structurally combined with one or more further optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms or other diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1814—Diffraction gratings structurally combined with one or more further optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms or other diffraction gratings
- G02B5/1819—Plural gratings positioned on the same surface, e.g. array of gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1866—Transmission gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
本发明实施例涉及光学技术领域，特别涉及一种光栅结构、光波导及近眼显示***。本发明实施例中提供了一种光栅结构，应用于光波导及近眼显示***，该光栅结构包括：光栅本体，所述光栅本体内设有通孔，该光栅结构相比于圆柱结构光栅和菱形结构光栅，可调节参数较多、设计自由度高，易于调节光栅的衍射效率，故本发明实施例提供的光栅结构衍射效率较好。
Description
技术领域
本发明实施例涉及光学技术领域，特别涉及一种光栅结构、光波导及近眼显示***。
背景技术
增强现实是一种将虚拟信息和真实世界相融合的技术，其中近眼显示***设计是增强现实技术中的关键环节，而对于便携性较佳的小体积的增强现实眼镜，市面上的主要方案是采用光波导作为光线的传输介质，而光波导又分为几何阵列波导、衍射光栅波导和体全息波导，其中，衍射光栅波导由于纳米压印加工的便利性，衍射光栅设计的高自由度，越来越受到重视，衍射光栅的作用如同阵列波导中的薄膜，主要是改变光线的传播方向。
目前，采用二维衍射光栅的光波导方案中，普遍采用圆柱结构或者菱形结构，其结构非常简单，可调节参数较少且设计自由度低，不利于调节衍射效率，导致整个衍射波导的衍射效率不佳。
发明内容
针对现有技术的上述缺陷，本发明实施例的目的是提供一种衍射效率较好的光栅结构、光波导及近眼显示***。
本发明实施例的目的是通过如下技术方案实现的：
为解决上述技术问题，第一方面，本发明实施例中提供了一种光栅，其特征在于，包括：光栅本体，所述光栅本体内设有通孔。
在一些实施例中，所述光栅本体为柱状。
在一些实施例中，所述光栅结构为中空环形柱状结构；所述光栅本体为圆柱状，所述通孔为圆柱孔。
在一些实施例中，所述光栅本体的高度为10nm-1μm，所述光栅本体的外直径尺寸为20nm-1μm，所述光栅本体的内直径尺寸为10nm-800nm。
在一些实施例中，所述光栅本体的表面设置有镀膜层，所述镀膜层的折射率高于所述光栅本体的折射率，所述镀膜层的厚度为10nm-200nm。
为解决上述技术问题，第二方面，本发明实施例提供了一种光波导，包括：波导基底，耦入区域，耦出区域，以及，如上述任一项所述的光栅；所述光栅设于所述耦入区域和/或所述耦出区域，所述耦入区域和/或所述耦出区域至少包括一个光栅周期，每一所述光栅周期内至少包括一个完整的光栅。
在一些实施例中，每一所述光栅周期的长边尺寸为200nm-2μm。
在一些实施例中，每一所述光栅周期的长边尺寸与短边尺寸的比例为
在一些实施例中，所述耦入区域和/或所述耦出区域的光栅呈现六边形分布，所述六边形顶点及中心均分布有一个完整的光栅。
为解决上述技术问题，第三方面，本发明实施例提供了一种近眼显示***，其特征在于，包括：微投影光机，以及，如第二方面所述的光波导。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明实施例中提供了一种光栅结构，应用于光波导及近眼显示***，该光栅结构包括：光栅本体，所述光栅本体内设有通孔，该光栅结构相比于圆柱结构光栅和菱形结构光栅，可调节参数较多、设计自由度高，易于调节光栅的衍射效率，故本发明实施例提供的光栅结构衍射效率较好。
附图说明
一个或多个实施例中通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件/模块和步骤表示为类似的元件/模块和步骤，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
图1是本发明实施例提供的一种光栅的光学结构示意图；
图2是本发明实施例提供的一种光波导的结构示意图；
图3是本发明实施例提供的一个周期的光栅光学结构俯视图；
图4是本发明实施例提供的一种光栅结构内半径和衍射效率关系图；
图5是本发明实施例提供的一种近眼显示***的光学结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。
为了便于理解本申请，下面结合附图和具体实施例，对本申请进行更详细的说明。除非另有定义，本说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是用于限制本申请。本说明书所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。此外，在本说明书所使用的术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所述的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
需要说明的是，如果不冲突，本发明实施例中的各个特征可以相互结合，均在本申请的保护范围之内。另外，虽然在装置示意图中进行了功能模块划分，但是在某些情况下，可以以不同于装置中的模块划分。此外，本文所采用的“第一”、“第二”等字样并不对数据和执行次序进行限定，仅是对功能和作用基本相同的相同项或相似项进行区分。
本发明实施例提供了一种光栅，请参阅图1，包括：光栅本体10，所述光栅本体10内设有通孔11。
本发明实施例提供的光栅结构，不仅可以调节光栅本体10的尺寸，还可以调节通孔11的大小，可调节参数较多、设计自由度高，易于调节光栅的衍射效率，故该光栅结构衍射效率较好。
在其中一些实施例中，所述光栅为中空柱状结构，其光栅本体10为柱状，通孔11可为棱柱孔、锥孔或者是圆柱孔，同时光栅本体10的中心与通孔11中心可以重叠，也可以不重叠。
其中，在一些实施例中，所述光栅为中空环形柱状结构，为中空环形柱状光栅，其光栅本体10为圆柱状，通孔11为圆柱孔，且光栅本体10的中心与通孔11中心重叠。在其中一些实施例中，所述光栅本体10的高度为10nm-1μm，外直径尺寸为20nm-1μm，内直径尺寸为10nm-800nm，由此可见所述光栅的可调节参数多，例如可以调节中空环形柱状光栅的高度、外直径以及内直径等参数，设计自由度高，并且衍射效率较好。
同时，为了进一步提高光栅的衍射率，还可以在光栅本体10的表面设置有镀膜层，镀膜层的折射率高于光栅本体10的折射率。镀膜层采用高折射率材料，例如可以采用二氧化钛等材料。在其中一些实施例中，所述镀膜层的厚度为10nm-200nm。本发明实施例提供的光栅不仅可以调整内直径、外直径以及高度等尺寸，还可以调整镀膜情况，从而能够有效调节各个衍射级次的效率，使其优化应用于光波导中。
在实际应用中，可通过采用电子束/离子束设备，极/深紫外光刻设备，或者干涉光刻设备等衍射光栅加工设备来加工晶圆，并使用纳米压印设备进行压印复制量产本发明实施例所述的光栅结构。
本发明实施例还提供了一种光波导，请参阅图2，所述光波导包括波导基底1，耦入区域2，耦出区域3，以及，如上述实施例中任一项所述的光栅。所述耦入区域2和所述耦出区域3设置在波导基底1上，所述光栅设置于所述耦入区域2和/或所述耦出区域3，在所述耦入区域和/或所述耦出区域3内至少包括一个光栅周期，每一所述光栅周期内至少包括一个完整的光栅。所述光栅的具体技术细节请参照上述实施例，在此不再赘述。
为进一步提高衍射效率，在其他一些实施例中，请参阅图3，在每一所述光栅周期内，中间设置有一个完整的光栅10，在四角分别设置有四分之一的光栅10。在实际应用中，每一所述光栅周期内的光栅数量及分布均可根据实际需要进行设置，不需要拘泥与本发明实施例的限定。
其中，在一些实施例中，请再次参阅图3，每一所述光栅周期的长边尺寸L为200nm-2μm，长边尺寸L与短边尺寸W的比例为
在其中一些实施例中，所述光栅在耦入区域2和/或耦出区域3经周期排布后，光栅呈现六边形分布，在所述六边形顶点及中心均分布有一个完整的光栅。例如，请参阅图1和图3，在图3所示的一个光栅周期内，中间设置有一个完整的中空环形柱状光栅10，在四角分别设置有四分之一的中空环形柱状光栅10，再将图3所示的一个光栅周期经周期化排布后可得到图1的结构，在图1中，所述光栅呈现六边形分布，如虚线C所示，在六边形的顶点及中心均分布有一个完整的中空环形柱状光栅，需要说明的是，虚线C仅为参考线，在光栅结构中并不真实存在。在其他实施例中，进行周期化排布的光栅可使用其他中空光栅或者是其他中空柱状光栅，所述光栅结构经周期化排布后可呈现其他规律，并不一定呈现六边形分布，在实际应用中可根据需要进行周期排布，不需要拘泥于本发明实施例的限定。同时在实际应用中，每一光栅周期内光栅的数量及分布均可根据实际需要进行设置，不需要拘泥于本发明实施例的限定。
同时在本发明实施例提供的光波导中，其使用的光栅在光栅本体内设有通孔，该光栅结构相比于圆柱结构光栅、棱柱结构光栅等其他二维衍射光栅结构，设计自由度高、衍射效率可根据实际需要进行设计，且衍射效率与上述其他衍射光栅结构的衍射效率基本一致。下面结合附图及具体实施例阐述该光栅应用在光波导中的衍射效率。
实施例一：在本实施例中，所述光波导中使用的光栅为中空环形柱状光栅，每一个中空环形柱状光栅的内直径为90nm，外直径为300nm，高度为100nm，同时在每一个光栅周期内，请参阅图3，中间分布有一个完整的中空环形柱状光栅10，四角分别分布有四分之一的中空环形柱状光栅10，每一光栅周期的长边尺寸L为200nm-2μm，长边尺寸L与短边尺寸W的比例为
同时对本实施例所示的光栅进行仿真，请参阅图2，将所述光栅周期周期排布在光波导的耦入区域2以及耦出区域3，得到光栅层的折射率为1.8、前传级次衍射效率为62.53％、扩展级次衍射效率为8.35％以及耦出级次衍射效率为1.04％，由此可见其光栅折射率以及衍射效率可以满足在光波导中的应用。
实施例二：为了观察中空环形柱状光栅在不同内直径尺寸下衍射效率的变化，请参阅图4，我们还提供了一种光栅结构内半径和衍射效率关系图。在本实施例中，与实施例一所示光栅结构相同的是每一个中空环形柱状光栅的外直径为300nm，高度为100nm，且在每一个光栅周期内，请参阅图3，中间分布有一个完整的中空环形柱状光栅10，四角分别分布有四分之一的中空环形柱状光栅10，每一光栅周期的长边尺寸L为200nm-2μm，长边尺寸L与短边尺寸W的比例为
与实施例一所示光栅结构不同的是在本实施例中，对中空环形柱状光栅的内直径值做不同的优化，观察中空环形柱状光栅的衍射效率随内直径的变化而变化。在本实施例中，分别对中空环形柱状光栅的内直径值从60nm到200nm进行仿真，请参阅图2和图3，分别依次对不同内直径的光栅按照所述光栅周期进行排布，再分别依次对不同内直径的光栅周期周期排布在光波导的耦入区域2以及耦出区域3。需要说明的是，在图4中的横坐标值为中空环形柱状光栅的内半径值，从图4中可以看出本实施例中的中空环形柱状光栅可以很好的控制前传效率、扩展效率和耦出效率，由此可见该光栅同样可以满足在光波导中的应用。
在其他一些实施例中，所述光栅可使用其他中空光栅或是其他中空柱状光栅，同时，在实际应用中，光波导中的光栅尺寸、周期以及方向都可以根据实际需要进行设置，不需要拘泥于上述实施例的限定。
综上可知，本发明实施例提供的光栅的调节参数多、设计自由度高且衍射效率较好，同时应用于光波导中可实现较好的成像效果。所述光栅可以设置在衍射光波导的耦入区域时，可用于耦入光线，或者，所述光栅可以设置在衍射光波导的耦出区域，用于扩瞳和耦出光线。
为了进一步提高光波导的衍射效率，在其他一些实施例中，还可以在波导基底1的表面也设置有镀膜层，同样地，镀膜层采用折射率高的材料，使镀膜层的折射率高于光栅层的折射率，厚度也为10nm-200nm。
在实际应用中，波导基底1的形状并不限定于图中所示的矩形，可以为其他多边形或者不规则形状；耦入区域2的形状并不限定于图中所示的圆形，可以为多边形或者不规则形状；同时耦出区域3的形状也不限定于图中所示的四边形，可以为其他多边形或者不规则形状，波导基底1、耦入区域2以及耦出区域3的形状都可以根据实际需要进行设置，不需要拘泥于本发明实施例中的限定。
在其他一些实施例中，耦入区域2、耦出区域3也可以不设置如上述任一实施例所述的光栅结构，也可以设置为超表面结构、共振光栅结构、体全息结构、二维光栅结构，或者倾斜光栅、梯形光栅、闪耀光栅和矩形光栅等一维光栅结构，具体地，可根据实际需要设置耦入区域2、耦出区域3的光栅结构，例如耦入区域2和耦出区域3皆可采用如上述任意实施例所述的光栅结构，也可以仅有耦入区域2或耦出区域3采用如上述任意实施例所述的光栅结构，未采用如上述任意实施例所述的光栅结构的耦入区域2或耦出区域3可采用其他光栅结构，在实际应用中可以根据实际需要进行设置，不需要拘泥于本发明实施例的限定。
本发明实施例还提供了一种近眼显示***，包括：微投影光机4，以及，如上述任一项所述的光波导，该光波导的具体技术细节请参照上述实施例，在此不再赘述，其中，所述微投影光机4中的图像源可以是LCOS、DMD、OLED和MEMS中的一种，用于出射用于成像的光线。
在本发明实施例中，所述微投影光机4所出射的光线，通过耦入区域2耦入到波导基底1中，耦入到波导基底1中的光线会在波导基底1中发生全反射传播，当光线传播到耦出区域3时，会通过耦出区域3耦出波导基底1，从而可以传播到人眼5中成像。
本发明实施例中提供了一种光栅结构，应用于光波导及近眼显示***，该光栅结构包括：光栅本体，所述光栅本体内设有通孔，该光栅结构相比于圆柱结构光栅和菱形结构光栅，可调节参数较多、设计自由度高，易于调节光栅的衍射效率，故本发明实施例提供的光栅结构衍射效率较好。
需要说明的是，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；在本发明的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本发明的不同方面的许多其它变化，为了简明，它们没有在细节中提供；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种光栅，其特征在于，包括：
光栅本体；
所述光栅本体内设有通孔。
2.根据权利要求1所述的光栅，其特征在于，所述光栅本体为柱状。
3.根据权利要求2所述的光栅，其特征在于，所述光栅为中空环形柱状结构；所述光栅本体为圆柱状，所述通孔为圆柱孔。
4.根据权利要求3所述的光栅，其特征在于，所述光栅本体的高度为10nm-1μm，所述光栅本体的外直径尺寸为20nm-1μm，所述光栅本体的内直径尺寸为10nm-800nm。
5.根据权利要求4所述的光栅，其特征在于，所述光栅本体的表面设置有镀膜层；所述镀膜层的折射率高于所述光栅本体的折射率，所述镀膜层的厚度为10nm-200nm。
6.一种光波导，其特征在于，包括：波导基底、耦入区域、耦出区域、以及如上述权利要求1-5任一项所述的光栅；
所述光栅设于所述耦入区域和/或所述耦出区域，所述耦入区域和/或所述耦出区域至少包括一个光栅周期，每一所述光栅周期内至少包括一个完整的光栅。
7.根据权利要求6所述的光波导，其特征在于，每一所述光栅周期的长边尺寸为200nm-2μm。
8.根据权利要求7所述的光波导，其特征在于，每一所述光栅周期的长边尺寸与短边尺寸的比例为
9.根据权利要求8所述的光波导，其特征在于，所述耦入区域和/或所述耦出区域的光栅呈现六边形分布，所述六边形顶点及中心均分布有一个完整的光栅。
10.一种近眼显示***，其特征在于，包括：微投影光机，以及，如权利要求6-9任一项所述的光波导。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010784688.2A CN111812760B (zh) | 2020-08-06 | 2020-08-06 | 一种光栅结构、光波导及近眼显示*** |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010784688.2A CN111812760B (zh) | 2020-08-06 | 2020-08-06 | 一种光栅结构、光波导及近眼显示*** |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111812760A true CN111812760A (zh) | 2020-10-23 |
| CN111812760B CN111812760B (zh) | 2024-01-30 |
Family
ID=72864203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010784688.2A Active CN111812760B (zh) | 2020-08-06 | 2020-08-06 | 一种光栅结构、光波导及近眼显示*** |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111812760B (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114527537A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-05-24 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
| CN114624802A (zh) * | 2022-05-13 | 2022-06-14 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
| CN114660692A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-06-24 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
| CN114994819A (zh) * | 2022-08-04 | 2022-09-02 | 北京亮亮视野科技有限公司 | 基于多基元的二维超表面光栅、光波导和头戴式设备 |
| CN115128810A (zh) * | 2022-06-01 | 2022-09-30 | 上海蜃微科技有限公司 | 光栅结构、波导装置以及显示*** |
| WO2024001830A1 (zh) * | 2022-06-28 | 2024-01-04 | 珠海莫界科技有限公司 | 一种衍射光波导结构、光学装置以及近眼显示设备 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102305959A (zh) * | 2011-09-05 | 2012-01-04 | 上海交通大学 | 具有光栅结构的聚光*** |
| CN109459813A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-03-12 | 上海鲲游光电科技有限公司 | 一种基于二维光栅的平面光波导 |
| CN213042024U (zh) * | 2020-08-06 | 2021-04-23 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种光栅、光波导及近眼显示*** |
-
2020
- 2020-08-06 CN CN202010784688.2A patent/CN111812760B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102305959A (zh) * | 2011-09-05 | 2012-01-04 | 上海交通大学 | 具有光栅结构的聚光*** |
| CN109459813A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-03-12 | 上海鲲游光电科技有限公司 | 一种基于二维光栅的平面光波导 |
| CN213042024U (zh) * | 2020-08-06 | 2021-04-23 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种光栅、光波导及近眼显示*** |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114527537A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-05-24 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
| CN114527537B (zh) * | 2022-03-07 | 2024-01-30 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
| CN114660692A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-06-24 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
| CN114660692B (zh) * | 2022-03-23 | 2024-01-30 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
| CN114624802A (zh) * | 2022-05-13 | 2022-06-14 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
| WO2023216493A1 (zh) * | 2022-05-13 | 2023-11-16 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
| CN115128810A (zh) * | 2022-06-01 | 2022-09-30 | 上海蜃微科技有限公司 | 光栅结构、波导装置以及显示*** |
| WO2024001830A1 (zh) * | 2022-06-28 | 2024-01-04 | 珠海莫界科技有限公司 | 一种衍射光波导结构、光学装置以及近眼显示设备 |
| CN114994819A (zh) * | 2022-08-04 | 2022-09-02 | 北京亮亮视野科技有限公司 | 基于多基元的二维超表面光栅、光波导和头戴式设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN111812760B (zh) | 2024-01-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111812760A (zh) | 一种光栅结构、光波导及近眼显示*** | |
| EP3787999B1 (en) | Diffraction gratings for beam redirection | |
| US20220082739A1 (en) | Techniques for manufacturing variable etch depth gratings using gray-tone lithography | |
| CN111512189B (zh) | 谐振波导光栅及其应用 | |
| US10866419B2 (en) | Optical combiner and applications thereof | |
| TWI764107B (zh) | 繞射光導板以及眼用佩戴品 | |
| JP2005234538A (ja) | ディスプレイ用光学フィルム | |
| CN114859555B (zh) | 光栅、用于近眼显示的光波导及近眼显示设备 | |
| CN213042024U (zh) | 一种光栅、光波导及近眼显示*** | |
| US11815853B2 (en) | PVH in-band chromatic correction using metasurface | |
| US11852833B2 (en) | Metasurface waveguide couplers | |
| WO2023216493A1 (zh) | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 | |
| CN111522084A (zh) | 一种光栅结构及近眼显示*** | |
| Song et al. | Retinal Projection Near‐Eye Displays with Huygens’ Metasurfaces | |
| CN114994819A (zh) | 基于多基元的二维超表面光栅、光波导和头戴式设备 | |
| US20220357578A1 (en) | Two-dimensional optical waveguide, virtual and real light wave beam combiner, and ar apparatus | |
| Kamali et al. | Metasurface-based compact light engine for AR headsets | |
| CN115453676B (zh) | 叉形二维光栅、二维衍射光波导和近眼显示设备 | |
| CN115469389A (zh) | 二维耦出光栅、超表面光波导和近眼显示设备 | |
| CN111221064A (zh) | 一种光栅结构及近眼显示*** | |
| CN116299816B (zh) | 抑制高级光的叉形超表面光栅、光波导及近眼显示设备 | |
| Guo et al. | Design and fabrication of polygonal grating waveguide display with full-color 2D eye-box expansion | |
| US20240019703A1 (en) | Shock absorbers in an optical assembly for a wearable display device | |
| KR20230172526A (ko) | 증강 현실 또는 가상 현실 디스플레이를 위한 도파관 및 회절 격자 | |
| CN117031757A (zh) | 一种用于增强现实显示的超透镜光机装置及其运行方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |