CN111805495A - 一种高精度角度微调机构 - Google Patents
一种高精度角度微调机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111805495A CN111805495A CN202010575176.5A CN202010575176A CN111805495A CN 111805495 A CN111805495 A CN 111805495A CN 202010575176 A CN202010575176 A CN 202010575176A CN 111805495 A CN111805495 A CN 111805495A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- block
- sliding
- air
- tensioning
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 239000010438 granite Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25H—WORKSHOP EQUIPMENT, e.g. FOR MARKING-OUT WORK; STORAGE MEANS FOR WORKSHOPS
- B25H1/00—Work benches; Portable stands or supports for positioning portable tools or work to be operated on thereby
- B25H1/14—Work benches; Portable stands or supports for positioning portable tools or work to be operated on thereby with provision for adjusting the bench top
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
本发明适用于转台微调定位技术领域，具体是一种高精度角度微调机构，包括转盘；该机构还包括基础台；所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有可以为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块；所述配轴气浮块通过转轴安装在所述转盘上；可以绕着转盘中心轴转动的转盘，在张紧机构提供张紧力后，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块，在转盘只能绕着转盘中心轴转动的限制下滑动气浮块沿Y轴方向纵向位移，转轴参照转盘沿逆时针方向做微角度运动，将简单的微直线运动转换成复杂的微角度运动，达成了角度微调的高精度性及高稳定性的目的。
Description
技术领域
本发明涉及转台微调定位技术领域，具体是一种高精度角度微调机构。
背景技术
气吸附台为精密运动平台设计的理想选择，配合高精度气浮导轨，能够提供较高的直线或旋转基准，相比传统的线轨机械式结构具有超低摩擦、高稳定性的特点。
其中传统的微直线运动转换方式，比较简单，其稳定性和精度都较低，造成调节效果差。
发明内容
本发明的目的在于提供一种高精度角度微调机构，以解决传统的微直线运动转换方式，比较简单，其稳定性和精度都较低，造成调节效果差的问题。为实现上述目的，具体提供如下技术方案：
一种高精度角度微调机构，包括可以绕着转盘中心轴转动的转盘；
该机构还包括基础台；
所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有可以为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块；
所述配轴气浮块通过转轴安装在所述转盘上。
可以绕着转盘中心轴转动的转盘，在张紧机构提供张紧力后，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块，在转盘只能绕着转盘中心轴转动的限制下滑动气浮块沿Y轴方向纵向位移，转轴参照转盘沿逆时针方向做微角度运动，将简单的微直线运动转换成复杂的微角度运动，达成了角度微调的高精度性及高稳定性的目的；同时配轴气浮块和滑动气浮块产生的相对运动，保证了机构的超低摩擦、高稳定性。
本发明中：所述滑台结构为气浮滑台，并X轴方向横向滑动连接在基础台提供的滑轨上。
本发明中：所述张紧机构安装在张紧块，并利用张紧块安装在滑台结构上，张紧块可为张紧机构在提供张紧力的过程中提供支撑力；
所述张紧机构在远离张紧块一端设置在L型气浮滑块上；
所述L型气浮滑块通过自身设置的两个气浮面分别与滑动气浮块和滑台结构接触，可以进行相对滑台结构沿X轴方向横向位移。
进一步的方案：所述张紧机构利用张紧块可拆卸式安装在滑台结构上。
本发明中：所述滑动气浮块与配轴气浮块的接触面为气浮面，可以进行沿Y轴方向纵向位移。
本发明中：所述配轴气浮块通过自身设置的两个气浮面分别于滑动气浮块和挤压块接触，而挤压块安装在滑台结构上。
进一步的方案：所述挤压块通过螺丝可拆卸式安装在滑台结构上。
本发明中：所述转轴通过夹轴机构安装在转盘上，而夹轴机构通过螺栓可拆卸式安装在转盘上。
进一步的方案：所述转轴转动连接在夹轴机构上。
本发明中：所述基础台的材质为花岗石。
本发明高精度角度微调机构，包括可以绕着转盘中心轴转动的转盘；该机构还包括基础台；所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有可以为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块；所述配轴气浮块通过转轴安装在所述转盘上；可以绕着转盘中心轴转动的转盘，在张紧机构提供张紧力后，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块，在转盘只能绕着转盘中心轴转动的限制下滑动气浮块沿Y轴方向纵向位移，转轴参照转盘沿逆时针方向做微角度运动，将简单的微直线运动转换成复杂的微角度运动，达成了角度微调的高精度性及高稳定性的目的；同时配轴气浮块和滑动气浮块产生的相对运动，保证了机构的超低摩擦、高稳定性。
附图说明
图1为本发明高精度角度微调机构的立体结构示意图。
图2为本发明高精度角度微调机构的俯视结构示意图。
图3为本发明高精度角度微调机构的主视结构示意图。
图中：1-转盘；2-基础台；3-挤压块；4-气浮滑台；5-配轴气浮块；6-滑动气浮块；7-L型气浮滑块；8-张紧机构；9-张紧块；10-夹轴机构；11-转轴；12-转盘中心轴。
具体实施方式
本发明的目的在于提供一种高精度角度微调机构，以解决传统的微直线运动转换方式，比较简单，其稳定性和精度都较低，造成调节效果差的问题。为实现上述目的，具体提供如下技术方案：
本发明实施例中，如图1-3所示，一种高精度角度微调机构，包括可以绕着转盘中心轴12转动的转盘1；该机构还包括基础台2；所述基础台2上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有可以为滑动气浮块6提供张紧力的张紧机构8，滑动气浮块6可利用张紧机构8提供的张紧力挤压配轴气浮块5；所述配轴气浮块5通过转轴11安装在所述转盘1上。
本发明实施例中，可以绕着转盘中心轴12转动的转盘1，在张紧机构8提供张紧力后，滑动气浮块6可利用张紧机构8提供的张紧力挤压配轴气浮块5，在转盘1只能绕着转盘中心轴12转动的限制下滑动气浮块6沿Y轴方向纵向位移，转轴11参照转盘1沿逆时针方向做微角度运动，将简单的微直线运动转换成复杂的微角度运动，达成了角度微调的高精度性及高稳定性的目的；同时配轴气浮块5和滑动气浮块6产生的相对运动，保证了机构的超低摩擦、高稳定性。
本发明实施例中，如图1所示，所述滑台结构为气浮滑台4，并X轴方向横向滑动连接在基础台2提供的滑轨上。而气浮滑台4产生的相对运动，保证了机构的超低摩擦、高稳定性。其中，提供气浮滑台4在基础台2上X轴方向横向滑动的结构并不局限于滑轨，只要能满足提供气浮滑台4横向滑动即可；优选的，基础台2提供有气浮滑台4沿X轴方向横向滑动的滑轨。
本发明实施例中，如图1-3所示，所述张紧机构8安装在张紧块9，并利用张紧块9安装在滑台结构上，张紧块9可为张紧机构8在提供张紧力的过程中提供支撑力；所述张紧机构8在远离张紧块9一端设置在L型气浮滑块7上；所述L型气浮滑块7通过自身设置的两个气浮面分别与滑动气浮块6和滑台结构接触，可以进行相对滑台结构沿X轴方向横向位移。进一步的方案，所述张紧机构8利用张紧块9可拆卸式安装在滑台结构上；其中张紧机构8可以利用张紧块9和螺丝配合可拆卸式安装在滑台结构上，也可以是利用张紧块9和螺栓配合可拆卸式安装在滑台结构上等等，具体为哪种可拆卸式安装方式并不作限制只能满足张紧机构8利用张紧块9可拆卸式安装在滑台结构上即可。
本发明实施例中，如图1-3所示，所述滑动气浮块6与配轴气浮块5的接触面为气浮面，可以进行沿Y轴方向纵向位移；所述配轴气浮块通过自身设置的两个气浮面分别于滑动气浮块6和挤压块3接触，而挤压块3安装在滑台结构上。进一步的方案，所述挤压块3通过螺丝可拆卸式安装在滑台结构上；其中，挤压块3也可通过螺栓可拆卸式安装在滑台结构上，或者通过固定钉可拆卸式安装在滑台结构上具体为哪种可拆卸式安装方式并不作限制只能满足所述挤压块3可拆卸式安装在滑台结构上即可，优选的所述挤压块3通过螺丝可拆卸式安装在滑台结构上。
本发明实施例中，如图1所示，所述转轴11通过夹轴机构10安装在转盘1上，而夹轴机构10通过螺栓可拆卸式安装在转盘1上。进一步的方案：所述转轴11转动连接在夹轴机构10上。
本发明实施例中，如图1所示，所述基础台2的材质为花岗石。其中，花岗石可替换为金属材料，或者高分子合成材料等等，具体为何种材料不做限制。优选的所述基础台2的材质为花岗石。
本发明高精度角度微调机构，包括可以绕着转盘中心轴12转动的转盘1；该机构还包括基础台2；所述基础台2上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有可以为滑动气浮块6提供张紧力的张紧机构8，滑动气浮块6可利用张紧机构8提供的张紧力挤压配轴气浮块5；所述配轴气浮块5通过转轴11安装在所述转盘1上；可以绕着转盘中心轴12转动的转盘1，在张紧机构8提供张紧力后，滑动气浮块6可利用张紧机构8提供的张紧力挤压配轴气浮块5，在转盘1只能绕着转盘中心轴12转动的限制下滑动气浮块6沿Y轴方向纵向位移，转轴11参照转盘1沿逆时针方向做微角度运动，将简单的微直线运动转换成复杂的微角度运动，达成了角度微调的高精度性及高稳定性的目的；同时配轴气浮块5和滑动气浮块6产生的相对运动，保证了机构的超低摩擦、高稳定性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
上面对本发明的较佳实施方式作了详细说明，但是本发明并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。
Claims (9)
1.一种高精度角度微调机构，其特征在于，
包括绕着转盘中心轴转动的转盘；
该机构还包括基础台；
所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块；
所述配轴气浮块通过转轴安装在所述转盘上。
2.根据权利要求1所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述滑台结构为气浮滑台，并X轴方向横向滑动连接在基础台提供的滑轨上。
3.根据权利要求1所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，
所述张紧机构安装在张紧块，并利用张紧块安装在滑台结构上，张紧块可为张紧机构在提供张紧力的过程中提供支撑力；
所述张紧机构在远离张紧块一端设置在L型气浮滑块上；
所述L型气浮滑块通过自身设置的两个气浮面分别与滑动气浮块和滑台结构接触，进行相对滑台结构沿X轴方向横向位移。
4.根据权利要求3所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述张紧机构利用张紧块可拆卸式安装在滑台结构上。
5.根据权利要求1所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述滑动气浮块与配轴气浮块的接触面为气浮面，进行沿Y轴方向纵向位移。
6.根据权利要求1所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述配轴气浮块通过自身设置的两个气浮面分别于滑动气浮块和挤压块接触，而挤压块安装在滑台结构上。
7.根据权利要求6所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述挤压块通过螺丝可拆卸式安装在滑台结构上。
8.根据权利要求1-7任一所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，
所述转轴通过夹轴机构安装在转盘上，而夹轴机构通过螺栓可拆卸式安装在转盘上。
9.根据权利要求8所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述转轴11转动连接在夹轴机构上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010575176.5A CN111805495A (zh) | 2020-06-22 | 2020-06-22 | 一种高精度角度微调机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010575176.5A CN111805495A (zh) | 2020-06-22 | 2020-06-22 | 一种高精度角度微调机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111805495A true CN111805495A (zh) | 2020-10-23 |
Family
ID=72846408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010575176.5A Pending CN111805495A (zh) | 2020-06-22 | 2020-06-22 | 一种高精度角度微调机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111805495A (zh) |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6279645A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-04-13 | Canon Inc | 回転微動ステ−ジ |
| CN101081506A (zh) * | 2007-06-20 | 2007-12-05 | 重庆大学 | 气悬浮柔性空间对接平台 |
| KR20120097566A (ko) * | 2011-02-25 | 2012-09-05 | 서정복 | 용접용 턴테이블 |
| JP2013125795A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Panasonic Corp | 基板位置決め装置及び基板位置決め方法 |
| CN203141227U (zh) * | 2012-11-20 | 2013-08-21 | 北京海普瑞森科技发展有限公司 | 一种超精密气浮调整转台 |
| CN103983402A (zh) * | 2014-05-27 | 2014-08-13 | 北京卫星环境工程研究所 | 直线型三坐标转换机用的旁轴倾斜式转台 |
| CN105157661A (zh) * | 2015-05-15 | 2015-12-16 | 广东工业大学 | 一种大行程亚微米级平面精度测量*** |
| CN205057431U (zh) * | 2015-10-16 | 2016-03-02 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 | 一种xyz方向自由度可调的平台机构 |
| CN105865712A (zh) * | 2016-06-12 | 2016-08-17 | 哈尔滨工业大学 | 三轴挠性气浮台调平衡状态判定方法 |
| CN109015546A (zh) * | 2018-10-16 | 2018-12-18 | 天津中精微仪器设备有限公司 | 气浮四维调整台 |
| CN208992649U (zh) * | 2018-10-16 | 2019-06-18 | 天津中精微仪器设备有限公司 | 气浮二维角度调整台 |
| CN110370352A (zh) * | 2019-05-31 | 2019-10-25 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种纠偏平台 |
-
2020
- 2020-06-22 CN CN202010575176.5A patent/CN111805495A/zh active Pending
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6279645A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-04-13 | Canon Inc | 回転微動ステ−ジ |
| CN101081506A (zh) * | 2007-06-20 | 2007-12-05 | 重庆大学 | 气悬浮柔性空间对接平台 |
| KR20120097566A (ko) * | 2011-02-25 | 2012-09-05 | 서정복 | 용접용 턴테이블 |
| JP2013125795A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Panasonic Corp | 基板位置決め装置及び基板位置決め方法 |
| CN203141227U (zh) * | 2012-11-20 | 2013-08-21 | 北京海普瑞森科技发展有限公司 | 一种超精密气浮调整转台 |
| CN103983402A (zh) * | 2014-05-27 | 2014-08-13 | 北京卫星环境工程研究所 | 直线型三坐标转换机用的旁轴倾斜式转台 |
| CN105157661A (zh) * | 2015-05-15 | 2015-12-16 | 广东工业大学 | 一种大行程亚微米级平面精度测量*** |
| CN205057431U (zh) * | 2015-10-16 | 2016-03-02 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 | 一种xyz方向自由度可调的平台机构 |
| CN105865712A (zh) * | 2016-06-12 | 2016-08-17 | 哈尔滨工业大学 | 三轴挠性气浮台调平衡状态判定方法 |
| CN109015546A (zh) * | 2018-10-16 | 2018-12-18 | 天津中精微仪器设备有限公司 | 气浮四维调整台 |
| CN208992649U (zh) * | 2018-10-16 | 2019-06-18 | 天津中精微仪器设备有限公司 | 气浮二维角度调整台 |
| CN110370352A (zh) * | 2019-05-31 | 2019-10-25 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种纠偏平台 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 刘通通等: "高精度大型转台微调***的优化设计", 《机械科学与技术》 * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108731617B (zh) | 一种用于多边形球座细长组件的测量装置 | |
| CN116221582B (zh) | 一种雷达检测装置 | |
| CN111805495A (zh) | 一种高精度角度微调机构 | |
| CN213319314U (zh) | 一种光学镜片圆弧表面自动磨削装置 | |
| CN113933548A (zh) | 一种芯片测试夹具 | |
| CN113579898A (zh) | 一种精密铸件用打磨装置及其定位夹持机构 | |
| CN112756963A (zh) | 一种电机转子装配流水线的轴承压装设备 | |
| CN112540434A (zh) | 一种光学俯仰调整装置 | |
| CN219234414U (zh) | 运输架拼焊工装 | |
| CN217229433U (zh) | 一种床垫生产用转运设备 | |
| CN215393900U (zh) | 工件夹紧装置 | |
| CN116931380A (zh) | 一种伺服调整*** | |
| CN214519285U (zh) | 一种齿轮生产用打磨装置 | |
| CN108215458B (zh) | 一种smt印刷机平台的r角旋转微调机构 | |
| CN212603986U (zh) | 绝缘定位陶瓷表面金属化辅助装置 | |
| CN114054296A (zh) | 一种倾斜装置及点胶机 | |
| CN102788607A (zh) | 一种高精度端齿盘定位转台 | |
| CN210605150U (zh) | 一种光学俯仰调整装置 | |
| CN221248243U (zh) | 一种用于铜铝复合排的抛磨装置 | |
| CN112718946B (zh) | 一种高灵活性的便于角度调节的折弯机 | |
| CN220915109U (zh) | 一种电机组装用夹持装置 | |
| CN210318398U (zh) | 一种平板的复合运动机构 | |
| CN211681972U (zh) | 一种机电设备维修用定位装置 | |
| CN220944277U (zh) | 调角器旋转臂钻孔用定位夹具 | |
| CN117644342B (zh) | 一种钢结构桥梁u肋加工用焊接装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20201023 |