CN111780256A - 用于洁净室的净化空调*** - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于洁净室的净化空调***，包括第一夹层空间、过滤装置以及冷却盘管装置，第一夹层空间设置在洁净室外，第一夹层空间为内部具有容纳空间的箱式结构，第一夹层空间与洁净室的进风口连通，洁净室的出风口通过设置在洁净室外的回风夹道与第一夹层空间连通，第一夹层空间通过回风夹道与洁净室建立空气循环回路；过滤装置设置在洁净室的进风口；冷却盘管装置设置于空气循环回路的空气流经路径上，冷却盘管装置位于第一夹层空间内或者回风夹道内，冷却盘管装置内部具有冷媒流通。本发明的用于洁净室的净化空调***，能耗低，空间占用小，温湿度和洁净度控制精度高，使用效果理想，能够适用于高精度恒温恒湿超净洁净室。

Description

用于洁净室的净化空调***

技术领域

本发明涉及空调技术领域，尤其涉及一种用于洁净室的净化空调***。

背景技术

随着精密仪器、电子工业技术的迅猛发展，为了保证产品的性能、良率等，某些高尖端产品的生产工艺和实验室，对环境空气的洁净度等级和温度、湿度控制精度提出了非常苛刻的要求。

目前，对于高精度恒温恒湿超净洁净室，其净化空调***一般采用送风管道与送风末端相连，送风末端设置电加热器进行精调温度的全空气***，这种全空气净化空调***存在风量和温湿度调节单一，风管数量多，风管管道长，风量输送耗电量大，且洁净室第一夹层空间需求大，电加热器采用电直接加热能耗高等问题。

发明内容

本发明实施例提供一种用于洁净室的净化空调***，以解决洁净室净化空调***的能耗高，空间占用大的问题。

本发明实施例提出了一种用于洁净室的净化空调***，包括第一夹层空间、过滤装置以及冷却盘管装置，所述第一夹层空间设置在洁净室外，所述第一夹层空间为内部具有容纳空间的箱式结构，所述第一夹层空间与洁净室的进风口连通，洁净室的出风口通过设置在洁净室外的回风夹道与所述第一夹层空间连通，所述第一夹层空间通过所述回风夹道与洁净室建立空气循环回路；所述过滤装置设置在洁净室的进风口；所述冷却盘管装置设置于所述空气循环回路的空气流经路径上，所述冷却盘管装置位于所述第一夹层空间内或者所述回风夹道内，所述冷却盘管装置内部具有冷媒流通。

根据本发明实施例的一个方面，还包括新风装置，所述新风装置与所述第一夹层空间连通，所述新风装置用于为所述第一夹层空间提供新风。

根据本发明实施例的一个方面，所述冷却盘管装置设置在所述回风夹道与所述第一夹层空间的交接处。

根据本发明实施例的一个方面，所述过滤装置的出风口朝向洁净室的进风口设置，所述冷却盘管装置设置在所述过滤装置的进风口，或者，所述冷却盘管装置设置在所述过滤装置的出风口与洁净室的进风口之间。

根据本发明实施例的一个方面，所述冷却盘管装置连接有冷媒供给组件，所述冷媒供给组件设置在所述第一夹层空间外，所述冷媒供给组件用于为所述冷却盘管装置提供调温后的冷媒。

根据本发明实施例的一个方面，所述冷媒供给组件包括依次连通的第一供给管道和第二供给管道，依次连通的第一回流管道和第二回流管道，以及旁通管道；所述第一供给管道和所述第一回流管道用于与冷媒源连通，所述第二供给管道和所述第二回流管道与所述冷却盘管装置连通，所述旁通管道的一端与所述第二回流管道连通，所述旁通管道的另一端与所述第二供给管道连通。

根据本发明实施例的一个方面，所述冷媒供给组件包括换热器，连接在所述换热器一侧的第一供给管道和第一回流管道，以及连接在所述换热器另一侧的第二供给管道和第二回流管道；所述第一供给管道和所述第一回流管道用于与冷媒源连通，冷媒源与所述换热器通过所述第一供给管道和所述第一回流管道建立第一冷媒循环回路，所述第二供给管道和所述第二回流管道与所述冷却盘管装置连通，所述冷却盘管装置与所述换热器通过所述第二供给管道和所述第二回流管道建立第二冷媒循环回路，所述换热器用于实现所述第一冷媒循环回路内的冷媒与所述第二冷媒循环回路内的冷媒换热。

根据本发明实施例的一个方面，所述第二供给管道上设置有第一调节阀，所述第一调节阀用于调节进入所述冷却盘管装置的冷媒流量。

根据本发明实施例的一个方面，还包括控制器及设置在洁净室内的第一温度传感器，所述第一温度传感器与所述控制器电性连接，所述第一调节阀与所述控制器电性连接。

根据本发明实施例的一个方面，所述第一回流管道上设置有第二调节阀，所述第二调节阀与所述控制器电性连接；所述第二供给管道上设置有第二温度传感器，所述第二温度传感器与所述控制器电性连接。

本发明实施例提供的用于洁净室的净化空调***，过滤装置为空气循环提供动力，将第一夹层空间内的空气进行净化、加压后送入洁净室，保证送入洁净室的空气的洁净度，冷却盘管装置内部具有冷媒，与洁净室内的空气进行换热，实现对洁净室内温度的调节，相较于现有的净化空调***，能耗低，空间占用小，温湿度和洁净度控制精度高，使用效果理想，能够适用于高精度恒温恒湿超净洁净室，解决了洁净室净化空调***的能耗高，空间占用大的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例的用于洁净室的净化空调***的组成示意图。

图2为本发明另一实施例的用于洁净室的净化空调***的组成示意图。

图3为本发明实施例的用于洁净室的净化空调***的冷媒供给组件的组成示意图。

图4为本发明实施例的用于洁净室的净化空调***的冷媒供给组件的另一组成示意图。

附图中：

1-第一夹层空间，2-新风装置，3-冷却盘管装置，4-过滤装置，6-第一调节阀，7-第一温度传感器，8-控制器，9-相对湿度传感器，10-压力传感器，11-洁净室，12-第二夹层空间，13-回风夹道，20-混合泵，22-第二调节阀，23-第二温度传感器，30-换热器，31-循环泵，32-冷媒补给装置，51-第二供给管道，52-第二回流管道，211-第一供给管道，212-第一回流管道。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本发明的原理，但不能用来限制本发明的范围，即本发明不限于所描述的实施例。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有说明，术语“第一”和“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；“多个”的含义是两个或两个以上；术语“内”、“外”、“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

请参阅图1，本发明实施例的用于洁净室的净化空调***，包括第一夹层空间1、过滤装置4以及冷却盘管装置3，第一夹层空间1设置在洁净室11外，第一夹层空间1为内部具有容纳空间的箱式结构，第一夹层空间1与洁净室11的进风口连通，洁净室11的出风口通过设置在洁净室11外的回风夹道13与第一夹层空间1连通，第一夹层空间1通过回风夹道13与洁净室11建立空气循环回路；过滤装置4设置在洁净室11的进风口；冷却盘管装置3设置于空气循环回路的空气流经路径上，冷却盘管装置3位于第一夹层空间1内或者回风夹道13内，冷却盘管装置3内部具有冷媒流通。在本实施例中，过滤装置4为空气循环提供动力，将第一夹层空间1内的空气进行净化、加压后送入洁净室11，保证送入洁净室11的空气的洁净度及相对湿度，冷却盘管装置3内部具有冷媒，与洁净室11内的空气进行换热，实现对洁净室11内温度的调节，相较于现有的净化空调***，能耗低，空间占用小，温湿度和洁净度控制精度高，使用效果理想，能够适用于高精度恒温恒湿超净洁净室11。

作为一个可选实施例，还包括新风装置2，新风装置2与第一夹层空间1连通，新风装置2用于为第一夹层空间1提供新风。

在本实施例中，新风装置2将室外空气进行相对湿度及温度处理后送入第一夹层空间1，进而为洁净室11提供新风，实现洁净室11内相对湿度的调节。新风装置2也可与回风夹道13连通，为回风夹道13提供新风。

本实施例的新风装置2能够对空气进行加湿或者除湿，以达到洁净室11内的相对湿度要求，适用于对相对湿度、温度及洁净度有精细控制要求的高精度恒温恒湿超净洁净室11。

作为一个可选实施例，冷却盘管装置3设置在回风夹道13与第一夹层空间1的交接处。

本实施例的冷却盘管装置3可设置在回风夹道13与第一夹层空间1的交接处，具体可设置在第一夹层空间1的进风口处，回风夹道13内的空气经过冷却盘管装置3冷却后进入第一夹层空间1，再经过过滤装置4净化、加压后送入洁净室11。

结合图2，作为一个可选实施例，过滤装置4的出风口朝向洁净室11的进风口设置，冷却盘管装置3设置在过滤装置4的进风口，或者，冷却盘管装置3设置在过滤装置4的出风口与洁净室11的进风口之间。

本实施例的冷却盘管装置3可设置在过滤装置4的进风口，也可设置在过滤装置4的出风口，也就是说，相对于过滤装置4而言，冷却盘管装置3可设置在空气流经路径的上游，也可设置在空气流经路径的下游，回风夹道13内的空气进入第一夹层空间1，经过冷却盘管装置3冷却及过滤装置4净化、加压后送入洁净室11。

作为一个可选实施例，冷却盘管装置3连接有冷媒供给组件，冷媒供给组件设置在第一夹层空间1外，冷媒供给组件用于为冷却盘管装置3提供调温后的冷媒。

在本实施例中，冷媒经过冷媒供给组件调温后送入冷却盘管装置3，冷却盘管装置3对洁净室11内的温度进行调节。

请参阅图3，作为一个可选实施例，冷媒供给组件包括依次连通的第一供给管道211和第二供给管道51，依次连通的第一回流管道212和第二回流管道52，以及旁通管道；第一供给管道211和第一回流管道212用于与冷媒源连通，第二供给管道51和第二回流管道52与冷却盘管装置3连通，旁通管道的一端与第二回流管道52连通，旁通管道的另一端与第二供给管道51连通。

在本实施例中，第二回流管道52的回流冷媒与第一供给管道211的供给冷媒混合后，进入第一供给管道211，进而进入冷却盘管装置3，实现对冷却盘管装置3温度的调节，采用冷媒相互混合方式，实现洁净室11内温度的调节。

其中，第二供给管道51上可连接有混合泵20，第二回流管道52的回流冷媒与第一供给管道211的供给冷媒混合后，经过混合泵20加压后，进入冷却盘管装置3；混合泵20的数量可为多个，相互并联连接。

请参阅图4，作为一个可选实施例，冷媒供给组件包括换热器30，连接在换热器30一侧的第一供给管道211和第一回流管道212，以及连接在换热器30另一侧的第二供给管道51和第二回流管道52；第一供给管道211和第一回流管道212用于与冷媒源连通，冷媒源与换热器30通过第一供给管道211和第一回流管道212建立第一冷媒循环回路，第二供给管道51和第二回流管道52与冷却盘管装置3连通，冷却盘管装置3与换热器30通过第二供给管道51和第二回流管道52建立第二冷媒循环回路，换热器30用于实现第一冷媒循环回路内的冷媒与第二冷媒循环回路内的冷媒换热。

在本实施例中，冷却盘管装置3回流冷媒与冷媒源供给冷媒通过换热器30进行换热，实现对冷却盘管装置3温度的调节，采用冷媒相互换热方式，实现洁净室11内温度的调节。换热器30可为水-水换热器，冷却盘管装置3回流冷媒与冷媒源供给冷媒分别流经换热器30内部管道的内外，互不流通，进行换热。

其中，第二供给管道51上可连接有循环泵31，用于促进第二冷媒循环回路内的冷媒循环，加快换热，实现洁净室11内温度的快速调节；循环泵31的数量可为多个，相互并联连接。

并且，第二供给管道51上还可连接有冷媒补给装置32，用于补充第二冷媒循环回路内的冷媒，也能够起到调节冷却盘管装置3温度的作用；冷媒补给装置32可设置在换热器30与循环泵31之间。

可以理解，冷却盘管装置3温度的调节，可采用上述的冷媒相互混合方式，也可采用上述的冷媒相互换热方式，可根据实际需求进行选择；优选地，应能够使得第二供给管道51的冷媒供给温度与洁净室11需要的环境温度相差不大，从而能够更有效地保证洁净室11内温度的精确调节。

作为一个可选实施例，第二供给管道51上设置有第一调节阀6，第一调节阀6用于调节进入冷却盘管装置3的冷媒流量。

在本实施例中，通过调节第一调节阀6的开度实现对进入冷却盘管装置3的冷媒流量的调节，实现冷却盘管装置3内冷媒温度的调节，从而实现洁净室11内温度的调节。

作为一个可选实施例，还包括控制器8及设置在洁净室11内的第一温度传感器7，第一温度传感器7与控制器8电性连接，第一调节阀6与控制器8电性连接。

在本实施例中，第一温度传感器7检测洁净室11内的温度，控制器8接收第一温度传感器7感应到的检测信号，控制器8根据检测信号调节第一调节阀6的开度，实现对冷却盘管装置3的冷却程度进行调节，从而实现对洁净室11内温度的控制。

并且，洁净室11内还可设置有相对湿度传感器9，以及压力传感器10，均与控制器8电性连接，以便对洁净室11内相对湿度及压力进行实时监控和调节。

作为一个可选实施例，第一回流管道212上设置有第二调节阀22，第二调节阀22与控制器8电性连接；第二供给管道51上设置有第二温度传感器23，第二温度传感器23与控制器8电性连接。

在本实施例中，第二温度传感器23用于检测第二供给管道51的冷媒温度，第二温度传感器23与控制器8电性连接，从而控制器8能够根据第二温度传感器23的检测信号控制第二调节阀22的开度，以便进一步调节进入冷却盘管装置3的冷媒温度。

结合上述，在工作时，***控制新风装置2向洁净室11提供新风，控制冷媒供给组件对进入冷却盘管装置3的冷媒温度进行调节，控制冷却盘管装置3对洁净室11内的温度进行调节，并控制过滤装置4将第一夹层空间1内的空气净化、加压后送入洁净室11，实现对洁净室11内温度、洁净度及相对湿度的实时监控及全自动控制。

具体地，过滤装置4可采用过滤效率为H14、U15、U16、U17或更高过滤效率的超高效空气过滤器；过滤装置4的滤纸可采用PTFE材质，以降低空气流经过滤装置4的阻力，降低空气输送能耗。冷却盘管装置3可采用干冷却盘管。控制器8可以选用PLC控制器8或DDC控制器8。第一调节阀6可为气动调节阀或电动调节阀，第二调节阀22也可为气动调节阀或电动调节阀；第一调节阀6可为二通调节阀或三通调节阀，第二调节阀22也可为二通调节阀或三通调节阀；第一调节阀6的数量可为一个或并联的多个，第二调节阀22的数量也可为一个或并联的多个。可采用水作为冷媒。

此外，洁净室11外还可设置有第二夹层空间12，用于设置其他必要元器件，第二夹层空间12、回风夹道13及第一夹层空间1相通，洁净室11内空气可流经第二夹层空间12后进入回风夹道13，再进入第一夹层空间1；冷却盘管装置3也可设置在第二夹层空间12内；新风装置2也可与第二夹层空间12连通，为第二夹层空间12提供新风；第一夹层空间1可设置在洁净室11的上部，第二夹层空间12可设置在洁净室11的下部，回风夹道13可设置在洁净室11的侧部。

本领域内的技术人员应明白，以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此。显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种用于洁净室的净化空调***，其特征在于，包括：

第一夹层空间，所述第一夹层空间设置在洁净室外，所述第一夹层空间为内部具有容纳空间的箱式结构，所述第一夹层空间与洁净室的进风口连通，洁净室的出风口通过设置在洁净室外的回风夹道与所述第一夹层空间连通，所述第一夹层空间通过所述回风夹道与洁净室建立空气循环回路；

过滤装置，所述过滤装置设置在洁净室的进风口；以及

冷却盘管装置，所述冷却盘管装置设置于所述空气循环回路的空气流经路径上，所述冷却盘管装置位于所述第一夹层空间内或者所述回风夹道内，所述冷却盘管装置内部具有冷媒流通。

2.根据权利要求1所述的用于洁净室的净化空调***，其特征在于，还包括新风装置，所述新风装置与所述第一夹层空间连通，所述新风装置用于为所述第一夹层空间提供新风。

3.根据权利要求1所述的用于洁净室的净化空调***，其特征在于，所述冷却盘管装置设置在所述回风夹道与所述第一夹层空间的交接处。

4.根据权利要求1所述的用于洁净室的净化空调***，其特征在于，所述过滤装置的出风口朝向洁净室的进风口设置，所述冷却盘管装置设置在所述过滤装置的进风口，或者，所述冷却盘管装置设置在所述过滤装置的出风口与洁净室的进风口之间。

5.根据权利要求1所述的用于洁净室的净化空调***，其特征在于，所述冷却盘管装置连接有冷媒供给组件，所述冷媒供给组件设置在所述第一夹层空间外，所述冷媒供给组件用于为所述冷却盘管装置提供调温后的冷媒。

6.根据权利要求5所述的用于洁净室的净化空调***，其特征在于，所述冷媒供给组件包括依次连通的第一供给管道和第二供给管道，依次连通的第一回流管道和第二回流管道，以及旁通管道；

所述第一供给管道和所述第一回流管道用于与冷媒源连通，所述第二供给管道和所述第二回流管道与所述冷却盘管装置连通，所述旁通管道的一端与所述第二回流管道连通，所述旁通管道的另一端与所述第二供给管道连通。

7.根据权利要求5所述的用于洁净室的净化空调***，其特征在于，所述冷媒供给组件包括换热器，连接在所述换热器一侧的第一供给管道和第一回流管道，以及连接在所述换热器另一侧的第二供给管道和第二回流管道；

所述第一供给管道和所述第一回流管道用于与冷媒源连通，冷媒源与所述换热器通过所述第一供给管道和所述第一回流管道建立第一冷媒循环回路，所述第二供给管道和所述第二回流管道与所述冷却盘管装置连通，所述冷却盘管装置与所述换热器通过所述第二供给管道和所述第二回流管道建立第二冷媒循环回路，所述换热器用于实现所述第一冷媒循环回路内的冷媒与所述第二冷媒循环回路内的冷媒换热。

8.根据权利要求6或7所述的用于洁净室的净化空调***，其特征在于，所述第二供给管道上设置有第一调节阀，所述第一调节阀用于调节进入所述冷却盘管装置的冷媒流量。

9.根据权利要求8所述的用于洁净室的净化空调***，其特征在于，还包括控制器及设置在洁净室内的第一温度传感器，所述第一温度传感器与所述控制器电性连接，所述第一调节阀与所述控制器电性连接。

10.根据权利要求9所述的用于洁净室的净化空调***，其特征在于，所述第一回流管道上设置有第二调节阀，所述第二调节阀与所述控制器电性连接；

所述第二供给管道上设置有第二温度传感器，所述第二温度传感器与所述控制器电性连接。

Images