CN111747897A - 一种六芳基双咪唑类光引发剂及其应用 - Google Patents
一种六芳基双咪唑类光引发剂及其应用 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111747897A CN111747897A CN201910248688.8A CN201910248688A CN111747897A CN 111747897 A CN111747897 A CN 111747897A CN 201910248688 A CN201910248688 A CN 201910248688A CN 111747897 A CN111747897 A CN 111747897A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- meth
- photosensitive resin
- acrylate
- compound
- resin composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims abstract description 67
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims abstract description 57
- -1 benzil compound Chemical class 0.000 claims description 134
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 102
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 44
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 44
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 44
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Substances C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 33
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 26
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 25
- 150000003934 aromatic aldehydes Chemical class 0.000 claims description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 21
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 21
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 20
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 18
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 claims description 15
- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 claims description 15
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 12
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 12
- AZUHIVLOSAPWDM-UHFFFAOYSA-N 2-(1h-imidazol-2-yl)-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2NC=CN=2)=N1 AZUHIVLOSAPWDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 10
- 239000000852 hydrogen donor Substances 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- RKYJPYDJNQXILT-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethoxycarbonyl)benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCOC(=O)C=C RKYJPYDJNQXILT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 claims description 7
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 7
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 7
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 claims description 7
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 239000000975 dye Substances 0.000 claims description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 6
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical group [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 claims description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical group [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 5
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 claims description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 5
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 claims description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 5
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 claims description 5
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011593 sulfur Chemical group 0.000 claims description 5
- 150000007934 α,β-unsaturated carboxylic acids Chemical class 0.000 claims description 5
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims description 4
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 4
- 125000001841 imino group Chemical group [H]N=* 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 claims description 4
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 claims description 3
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 claims description 3
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 3
- 150000002898 organic sulfur compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 claims description 3
- 125000006374 C2-C10 alkenyl group Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 2
- 239000002671 adjuvant Substances 0.000 claims description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 claims description 2
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 claims description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 2
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000011161 development Methods 0.000 abstract description 20
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 11
- 239000010802 sludge Substances 0.000 abstract description 6
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 abstract description 4
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 238000004064 recycling Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 description 43
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 36
- 239000010408 film Substances 0.000 description 31
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 31
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N dimethylmethane Natural products CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 24
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 23
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 19
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 18
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 17
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N acetic acid Substances CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 15
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 15
- HUMNYLRZRPPJDN-UHFFFAOYSA-N benzaldehyde Chemical compound O=CC1=CC=CC=C1 HUMNYLRZRPPJDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 14
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 13
- FPYUJUBAXZAQNL-UHFFFAOYSA-N 2-chlorobenzaldehyde Chemical compound ClC1=CC=CC=C1C=O FPYUJUBAXZAQNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000004128 high performance liquid chromatography Methods 0.000 description 12
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical class CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 10
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 125000004182 2-chlorophenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(Cl)=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 8
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229960000583 acetic acid Drugs 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 8
- 125000003762 3,4-dimethoxyphenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(OC([H])([H])[H])=C(OC([H])([H])[H])C([H])=C1* 0.000 description 7
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 7
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 7
- 239000012362 glacial acetic acid Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- QNGNSVIICDLXHT-UHFFFAOYSA-N para-ethylbenzaldehyde Natural products CCC1=CC=C(C=O)C=C1 QNGNSVIICDLXHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 7
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 6
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 6
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 6
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 6
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 6
- OEIJHBUUFURJLI-UHFFFAOYSA-N octane-1,8-diol Chemical compound OCCCCCCCCO OEIJHBUUFURJLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000004201 2,4-dichlorophenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C(Cl)C([H])=C1Cl 0.000 description 5
- NSWNXQGJAPQOID-UHFFFAOYSA-N 2-(2-chlorophenyl)-4,5-diphenyl-1h-imidazole Chemical compound ClC1=CC=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)N1 NSWNXQGJAPQOID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004895 liquid chromatography mass spectrometry Methods 0.000 description 5
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 5
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 5
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 5
- YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazole-2-thiol Chemical compound C1=CC=C2SC(S)=NC2=C1 YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 2-methylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC=C3C(=O)C2=C1 NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 4
- OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N Leucocrystal Violet Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)N(C)C)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 4
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N butyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FXLOVSHXALFLKQ-UHFFFAOYSA-N p-tolualdehyde Chemical compound CC1=CC=C(C=O)C=C1 FXLOVSHXALFLKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 4
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 4
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011160 research Methods 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- GMIUUCWUOPOETN-UHFFFAOYSA-N 2,4,5-triphenyl-1-(2,4,5-triphenylimidazol-2-yl)imidazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NC(N2C(=C(N=C2C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)(C=2C=CC=CC=2)N=C1C1=CC=CC=C1 GMIUUCWUOPOETN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000004198 2-fluorophenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(F)=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical class [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 244000172533 Viola sororia Species 0.000 description 3
- MZVQCMJNVPIDEA-UHFFFAOYSA-N [CH2]CN(CC)CC Chemical group [CH2]CN(CC)CC MZVQCMJNVPIDEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001251 acridines Chemical class 0.000 description 3
- WURBFLDFSFBTLW-UHFFFAOYSA-N benzil Chemical class C=1C=CC=CC=1C(=O)C(=O)C1=CC=CC=C1 WURBFLDFSFBTLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N benzo-alpha-pyrone Natural products C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N butan-2-ol Chemical compound CCC(C)O BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Chemical class 0.000 description 3
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 3
- 150000004775 coumarins Chemical class 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 3
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 3
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 3
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 3
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 3
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical class C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000003918 triazines Chemical class 0.000 description 3
- 150000003673 urethanes Chemical class 0.000 description 3
- YHMYGUUIMTVXNW-UHFFFAOYSA-N 1,3-dihydrobenzimidazole-2-thione Chemical compound C1=CC=C2NC(S)=NC2=C1 YHMYGUUIMTVXNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KIJPZYXCIHZVGP-UHFFFAOYSA-N 2,3-dimethylanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C(C)C(C)=C2 KIJPZYXCIHZVGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YSFBEAASFUWWHU-UHFFFAOYSA-N 2,4-dichlorobenzaldehyde Chemical compound ClC1=CC=C(C=O)C(Cl)=C1 YSFBEAASFUWWHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JTMBCYAUSCBSEY-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-2-sulfanylpropanoic acid Chemical compound CC(C)(S)C(O)=O JTMBCYAUSCBSEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHRDCHHESNJQIS-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-3-sulfanylpropanoic acid Chemical compound SCC(C)C(O)=O MHRDCHHESNJQIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 2-naphthol Chemical compound C1=CC=CC2=CC(O)=CC=C21 JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WRMNZCZEMHIOCP-UHFFFAOYSA-N 2-phenylethanol Chemical compound OCCC1=CC=CC=C1 WRMNZCZEMHIOCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PMNLUUOXGOOLSP-UHFFFAOYSA-M 2-sulfanylpropanoate Chemical compound CC(S)C([O-])=O PMNLUUOXGOOLSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- RQPNXPWEGVCPCX-UHFFFAOYSA-N 3-sulfanylbutanoic acid Chemical compound CC(S)CC(O)=O RQPNXPWEGVCPCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PTPQZNNAUUSACC-UHFFFAOYSA-N 3-sulfanylpentanoic acid Chemical compound CCC(S)CC(O)=O PTPQZNNAUUSACC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NEAFWRKPYYJETG-UHFFFAOYSA-N 4-sulfanylpentanoic acid Chemical compound CC(S)CCC(O)=O NEAFWRKPYYJETG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUQPZRLQQYSMEQ-UHFFFAOYSA-N CI Basic red 9 Chemical compound [Cl-].C1=CC(N)=CC=C1C(C=1C=CC(N)=CC=1)=C1C=CC(=[NH2+])C=C1 JUQPZRLQQYSMEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N Dodecane Natural products CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IPRJXAGUEGOFGG-UHFFFAOYSA-N N-butylbenzenesulfonamide Chemical compound CCCCNS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 IPRJXAGUEGOFGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RVWADWOERKNWRY-UHFFFAOYSA-N [2-(dimethylamino)phenyl]-phenylmethanone Chemical compound CN(C)C1=CC=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 RVWADWOERKNWRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 2
- 150000008365 aromatic ketones Chemical class 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229940092714 benzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 2
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- RTIXKCRFFJGDFG-UHFFFAOYSA-N chrysin Chemical compound C=1C(O)=CC(O)=C(C(C=2)=O)C=1OC=2C1=CC=CC=C1 RTIXKCRFFJGDFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 2
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- ZXJXZNDDNMQXFV-UHFFFAOYSA-M crystal violet Chemical compound [Cl-].C1=CC(N(C)C)=CC=C1[C+](C=1C=CC(=CC=1)N(C)C)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 ZXJXZNDDNMQXFV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N cyclopentanone Chemical compound O=C1CCCC1 BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JQCXWCOOWVGKMT-UHFFFAOYSA-N diheptyl phthalate Chemical compound CCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCC JQCXWCOOWVGKMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- DMBHHRLKUKUOEG-UHFFFAOYSA-N diphenylamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1NC1=CC=CC=C1 DMBHHRLKUKUOEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol monomethyl ether acetate Natural products COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 2
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 2
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 2
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 229940107698 malachite green Drugs 0.000 description 2
- FDZZZRQASAIRJF-UHFFFAOYSA-M malachite green Chemical compound [Cl-].C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)=C1C=CC(=[N+](C)C)C=C1 FDZZZRQASAIRJF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DWCZIOOZPIDHAB-UHFFFAOYSA-L methyl green Chemical compound [Cl-].[Cl-].C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)[N+](C)(C)C)=C1C=CC(=[N+](C)C)C=C1 DWCZIOOZPIDHAB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- STZCRXQWRGQSJD-GEEYTBSJSA-M methyl orange Chemical compound [Na+].C1=CC(N(C)C)=CC=C1\N=N\C1=CC=C(S([O-])(=O)=O)C=C1 STZCRXQWRGQSJD-GEEYTBSJSA-M 0.000 description 2
- 229940012189 methyl orange Drugs 0.000 description 2
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- KPSSIOMAKSHJJG-UHFFFAOYSA-N neopentyl alcohol Chemical compound CC(C)(C)CO KPSSIOMAKSHJJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LQNUZADURLCDLV-UHFFFAOYSA-N nitrobenzene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=CC=C1 LQNUZADURLCDLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- RZXMPPFPUUCRFN-UHFFFAOYSA-N p-toluidine Chemical compound CC1=CC=C(N)C=C1 RZXMPPFPUUCRFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940059574 pentaerithrityl Drugs 0.000 description 2
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 2
- CPJSUEIXXCENMM-UHFFFAOYSA-N phenacetin Chemical compound CCOC1=CC=C(NC(C)=O)C=C1 CPJSUEIXXCENMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KJFMBFZCATUALV-UHFFFAOYSA-N phenolphthalein Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C1(C=2C=CC(O)=CC=2)C2=CC=CC=C2C(=O)O1 KJFMBFZCATUALV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LCPDWSOZIOUXRV-UHFFFAOYSA-N phenoxyacetic acid Chemical compound OC(=O)COC1=CC=CC=C1 LCPDWSOZIOUXRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 description 2
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 229960004063 propylene glycol Drugs 0.000 description 2
- 235000013772 propylene glycol Nutrition 0.000 description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 2
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 2
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N triphenyl phosphate Chemical compound C=1C=CC=CC=1OP(OC=1C=CC=CC=1)(=O)OC1=CC=CC=C1 XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 1
- XMNDMAQKWSQVOV-UHFFFAOYSA-N (2-methylphenyl) diphenyl phosphate Chemical compound CC1=CC=CC=C1OP(=O)(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 XMNDMAQKWSQVOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHOZNOZYMBRCBL-OUKQBFOZSA-N (2E)-2-Tetradecenal Chemical compound CCCCCCCCCCC\C=C\C=O WHOZNOZYMBRCBL-OUKQBFOZSA-N 0.000 description 1
- JIRHAGAOHOYLNO-UHFFFAOYSA-N (3-cyclopentyloxy-4-methoxyphenyl)methanol Chemical compound COC1=CC=C(CO)C=C1OC1CCCC1 JIRHAGAOHOYLNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYNQKSJRFHJZTK-UHFFFAOYSA-N (3-methoxy-3-methylbutyl) acetate Chemical compound COC(C)(C)CCOC(C)=O RYNQKSJRFHJZTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WXPWZZHELZEVPO-UHFFFAOYSA-N (4-methylphenyl)-phenylmethanone Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 WXPWZZHELZEVPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N (R)-(-)-Propylene glycol Chemical compound C[C@@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N 0.000 description 1
- CDUQMGQIHYISOP-RMKNXTFCSA-N (e)-2-cyano-3-phenylprop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C(\C#N)=C\C1=CC=CC=C1 CDUQMGQIHYISOP-RMKNXTFCSA-N 0.000 description 1
- FWUIHQFQLSWYED-ARJAWSKDSA-N (z)-4-oxo-4-propan-2-yloxybut-2-enoic acid Chemical compound CC(C)OC(=O)\C=C/C(O)=O FWUIHQFQLSWYED-ARJAWSKDSA-N 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M .beta-Phenylacrylic acid Natural products [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 1
- XKSUVRWJZCEYQQ-UHFFFAOYSA-N 1,1-dimethoxyethylbenzene Chemical compound COC(C)(OC)C1=CC=CC=C1 XKSUVRWJZCEYQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUDVPELGFZKOMD-UHFFFAOYSA-N 1,2-di(propan-2-yl)thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=C(C(C)C)C(C(C)C)=CC=C3SC2=C1 SUDVPELGFZKOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDCYWAQPCXBPJA-UHFFFAOYSA-N 1,3-dinitrobenzene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=CC([N+]([O-])=O)=C1 WDCYWAQPCXBPJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000005208 1,4-dihydroxybenzenes Chemical class 0.000 description 1
- 229940008841 1,6-hexamethylene diisocyanate Drugs 0.000 description 1
- ALVZNPYWJMLXKV-UHFFFAOYSA-N 1,9-Nonanediol Chemical compound OCCCCCCCCCO ALVZNPYWJMLXKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ILVWNAMWRGLVJO-UHFFFAOYSA-N 1-(2-methyl-2-sulfanylpropanoyl)oxybutyl 2-methyl-2-sulfanylpropanoate Chemical compound CC(S)(C)C(=O)OC(CCC)OC(=O)C(C)(C)S ILVWNAMWRGLVJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RQQLOWXQARLAAX-UHFFFAOYSA-N 1-(2-methyl-3-sulfanylpropanoyl)oxybutyl 2-methyl-3-sulfanylpropanoate Chemical compound SCC(C)C(=O)OC(CCC)OC(=O)C(C)CS RQQLOWXQARLAAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VIBNCKNEGZJBHA-UHFFFAOYSA-N 1-(2-sulfanylpropanoyloxy)butyl 2-sulfanylpropanoate Chemical compound CC(S)C(=O)OC(CCC)OC(=O)C(C)S VIBNCKNEGZJBHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UYWJYQBUSUMZDF-UHFFFAOYSA-N 1-(3-sulfanylbutanoyloxy)butyl 3-sulfanylbutanoate Chemical compound CC(S)CC(=O)OC(CCC)OC(=O)CC(C)S UYWJYQBUSUMZDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNPCVQRRYRVUOC-UHFFFAOYSA-N 1-(3-sulfanylpentanoyloxy)butyl 3-sulfanylpentanoate Chemical compound CCC(S)CC(=O)OC(CCC)OC(=O)CC(S)CC NNPCVQRRYRVUOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PESCXBALTVVUFX-UHFFFAOYSA-N 1-(4-sulfanylpentanoyloxy)butyl 4-sulfanylpentanoate Chemical compound CC(S)CCC(=O)OC(CCC)OC(=O)CCC(C)S PESCXBALTVVUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFJFGMLKAISFOZ-UHFFFAOYSA-N 1-amino-3-iminourea Chemical compound NN=C(O)N=N WFJFGMLKAISFOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPAKMTXUBMZECX-UHFFFAOYSA-N 1-buta-1,3-dienyl-2h-1,3,5-triazine Chemical compound C=CC=CN1CN=CN=C1 FPAKMTXUBMZECX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTZVZZJJVJQZHV-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-4-ethenylbenzene Chemical compound ClC1=CC=C(C=C)C=C1 KTZVZZJJVJQZHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VKQJCUYEEABXNK-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-4-propoxythioxanthen-9-one Chemical compound S1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C(OCCC)=CC=C2Cl VKQJCUYEEABXNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOCJQSFSGAZAPQ-UHFFFAOYSA-N 1-chloroanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2Cl BOCJQSFSGAZAPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYJCNNFQNIAISZ-UHFFFAOYSA-N 1-cyclopentylpropan-2-one Chemical compound CC(=O)CC1CCCC1 YYJCNNFQNIAISZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxybutane Chemical compound CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHFHDVDXYKOSKI-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-4-ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=C(C=C)C=C1 WHFHDVDXYKOSKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JWYVGKFDLWWQJX-UHFFFAOYSA-N 1-ethenylazepan-2-one Chemical compound C=CN1CCCCCC1=O JWYVGKFDLWWQJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMLNYLURSAKWRC-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O.CCOCC(C)O DMLNYLURSAKWRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCOCC(C)OC(C)=O LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UYVDGHOUPDJWAZ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O.COCC(C)O UYVDGHOUPDJWAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUFPHBVGCFYCNW-UHFFFAOYSA-N 1-naphthylamine Chemical compound C1=CC=C2C(N)=CC=CC2=C1 RUFPHBVGCFYCNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GHRYSOFWKRRLMI-UHFFFAOYSA-N 1-naphthyloxyacetic acid Chemical compound C1=CC=C2C(OCC(=O)O)=CC=CC2=C1 GHRYSOFWKRRLMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 1-propan-2-ylthioxanthen-9-one Chemical compound S1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2C(C)C YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IGGDKDTUCAWDAN-UHFFFAOYSA-N 1-vinylnaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C=C)=CC=CC2=C1 IGGDKDTUCAWDAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WJFKNYWRSNBZNX-UHFFFAOYSA-N 10H-phenothiazine Chemical compound C1=CC=C2NC3=CC=CC=C3SC2=C1 WJFKNYWRSNBZNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFNKZQNIXUFLBC-UHFFFAOYSA-N 2',7'-dichlorofluorescein Chemical compound O1C(=O)C2=CC=CC=C2C21C1=CC(Cl)=C(O)C=C1OC1=C2C=C(Cl)C(O)=C1 VFNKZQNIXUFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004206 2,2,2-trifluoroethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C(F)(F)F 0.000 description 1
- GAGZMZMLWYGJJJ-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(2-sulfanylpropanoyloxymethyl)butyl 2-sulfanylpropanoate Chemical compound CC(S)C(=O)OCC(CC)(COC(=O)C(C)S)COC(=O)C(C)S GAGZMZMLWYGJJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIJSCOPBBPNHFC-UHFFFAOYSA-N 2,2-dichloro-2-phenylethanethioic s-acid Chemical compound SC(=O)C(Cl)(Cl)C1=CC=CC=C1 UIJSCOPBBPNHFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAMXITINZBKDFX-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylethanethioic S-acid Chemical compound COC(C(=S)O)(C1=CC=CC=C1)OC XAMXITINZBKDFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZWVPGJPVCYAOC-UHFFFAOYSA-N 2,3-diphenylanthracene-9,10-dione Chemical compound C=1C=CC=CC=1C=1C=C2C(=O)C3=CC=CC=C3C(=O)C2=CC=1C1=CC=CC=C1 LZWVPGJPVCYAOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRKORVYTKKLNKX-UHFFFAOYSA-N 2,4-di(propan-2-yl)thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C(C)C)=CC(C(C)C)=C3SC2=C1 BRKORVYTKKLNKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 2,4-diethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC(CC)=C3SC2=C1 BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LCHAFMWSFCONOO-UHFFFAOYSA-N 2,4-dimethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC(C)=C3SC2=C1 LCHAFMWSFCONOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ASUQXIDYMVXFKU-UHFFFAOYSA-N 2,6-dibromo-9,9-dimethylfluorene Chemical compound C1=C(Br)C=C2C(C)(C)C3=CC=C(Br)C=C3C2=C1 ASUQXIDYMVXFKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACUGAGLDFIVSBR-UHFFFAOYSA-N 2,6-dimethylheptan-4-one Chemical compound CC(C)CC(=O)CC(C)C.CC(C)CC(=O)CC(C)C ACUGAGLDFIVSBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQECNJBUYKDLGS-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methyl-2-sulfanylpropanoyl)oxyethyl 2-methyl-2-sulfanylpropanoate Chemical compound CC(C)(S)C(=O)OCCOC(=O)C(C)(C)S WQECNJBUYKDLGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZUWFDHPIBGDTSU-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methyl-2-sulfanylpropanoyl)oxypropyl 2-methyl-2-sulfanylpropanoate Chemical compound CC(S)(C)C(=O)OC(C)COC(=O)C(C)(C)S ZUWFDHPIBGDTSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUKSUBINMNCBNL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methyl-3-sulfanylpropanoyl)oxyethyl 2-methyl-3-sulfanylpropanoate Chemical compound SCC(C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)CS JUKSUBINMNCBNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OUNXABDTPQONBC-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methyl-3-sulfanylpropanoyl)oxypropyl 2-methyl-3-sulfanylpropanoate Chemical compound SCC(C)C(=O)OC(C)COC(=O)C(C)CS OUNXABDTPQONBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDOLXVNBYQTXKO-UHFFFAOYSA-N 2-(2-sulfanylpropanoyloxy)ethyl 2-sulfanylpropanoate Chemical compound CC(S)C(=O)OCCOC(=O)C(C)S SDOLXVNBYQTXKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYOPQPVSBDLOBR-UHFFFAOYSA-N 2-(2-sulfanylpropanoyloxy)propyl 2-sulfanylpropanoate Chemical compound CC(S)C(=O)OCC(C)OC(=O)C(C)S YYOPQPVSBDLOBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 2-(3-bromo-2-fluorophenyl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=CC(Br)=C1F PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UBFKIKQPFXKIFS-UHFFFAOYSA-N 2-(3-methyl-4-sulfanylbutanoyl)oxypropyl 3-methyl-4-sulfanylbutanoate Chemical compound SCC(C)CC(=O)OCC(C)OC(=O)CC(C)CS UBFKIKQPFXKIFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXJZAWRTHMZECY-UHFFFAOYSA-N 2-(3-sulfanylbutanoyloxy)ethyl 3-sulfanylbutanoate Chemical compound CC(S)CC(=O)OCCOC(=O)CC(C)S TXJZAWRTHMZECY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KQBUONNTLMDRIE-UHFFFAOYSA-N 2-(3-sulfanylbutanoyloxy)propyl 3-sulfanylbutanoate Chemical compound CC(S)CC(=O)OCC(C)OC(=O)CC(C)S KQBUONNTLMDRIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDVVGHWJTSBTSL-UHFFFAOYSA-N 2-(3-sulfanylpentanoyloxy)ethyl 3-sulfanylpentanoate Chemical compound CCC(S)CC(=O)OCCOC(=O)CC(S)CC LDVVGHWJTSBTSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZVLHJMYLLYRAED-UHFFFAOYSA-N 2-(3-sulfanylpentanoyloxy)propyl 3-sulfanylpentanoate Chemical compound CCC(S)CC(=O)OCC(C)OC(=O)CC(S)CC ZVLHJMYLLYRAED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XJVUIQYBEPGDTH-UHFFFAOYSA-N 2-(4-sulfanylpentanoyloxy)ethyl 4-sulfanylpentanoate Chemical compound CC(S)CCC(=O)OCCOC(=O)CCC(C)S XJVUIQYBEPGDTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJSGODDTWRXQRH-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)ethyl benzoate Chemical compound CN(C)CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 KJSGODDTWRXQRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIVZFLKJXSKCGT-UHFFFAOYSA-N 2-(naphthalen-1-ylamino)acetic acid Chemical compound C1=CC=C2C(NCC(=O)O)=CC=CC2=C1 SIVZFLKJXSKCGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTUVQQKHBMGYEH-UHFFFAOYSA-N 2-(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C1=NC=NC=N1 QTUVQQKHBMGYEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 2-Methylbenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDLXTDLGTWNUFM-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-methylpropan-2-yl)oxy]ethanol Chemical compound CC(C)(C)OCCO BDLXTDLGTWNUFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCNPOZMLKGDJGP-QPJJXVBHSA-N 2-[(e)-2-(4-methoxyphenyl)ethenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1\C=C\C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 MCNPOZMLKGDJGP-QPJJXVBHSA-N 0.000 description 1
- BDFCMWSEFUNUCA-UHFFFAOYSA-N 2-[10-(2-hydroxyethylsulfanyl)anthracen-9-yl]sulfanylethanol Chemical compound OCCSC=1C2=CC=CC=C2C(=C2C=CC=CC=12)SCCO BDFCMWSEFUNUCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVOUKWFJRHALDD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-acetyloxyethoxy)ethoxy]ethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCOCCOCCOC(C)=O OVOUKWFJRHALDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LCZVSXRMYJUNFX-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-hydroxypropoxy)propoxy]propan-1-ol Chemical compound CC(O)COC(C)COC(C)CO LCZVSXRMYJUNFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVOWEXPQXNYTLG-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methyl-2-sulfanylpropanoyl)oxyethoxy]ethyl 2-methyl-2-sulfanylpropanoate Chemical compound CC(C)(S)C(=O)OCCOCCOC(=O)C(C)(C)S LVOWEXPQXNYTLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQVMFULYAVKKQJ-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methyl-3-sulfanylpropanoyl)oxyethoxy]ethyl 2-methyl-3-sulfanylpropanoate Chemical compound SCC(C)C(=O)OCCOCCOC(=O)C(C)CS DQVMFULYAVKKQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJVMLVYWDWJACR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-sulfanylpropanoyloxy)ethoxy]ethyl 2-sulfanylpropanoate Chemical compound CC(S)C(=O)OCCOCCOC(=O)C(C)S IJVMLVYWDWJACR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZAOTLOVASMEHW-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(3-sulfanylbutanoyloxy)ethoxy]ethyl 3-sulfanylbutanoate Chemical compound CC(S)CC(=O)OCCOCCOC(=O)CC(C)S SZAOTLOVASMEHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SOXVWNSYWOAERH-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(3-sulfanylpentanoyloxy)ethoxy]ethyl 3-sulfanylpentanoate Chemical compound CCC(S)CC(=O)OCCOCCOC(=O)CC(S)CC SOXVWNSYWOAERH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFBWSGKQKVHHBF-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(4-sulfanylpentanoyloxy)ethoxy]ethyl 4-sulfanylpentanoate Chemical compound CC(S)CCC(=O)OCCOCCOC(=O)CCC(C)S DFBWSGKQKVHHBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DXYGJDUJLDXFOD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-acetyloxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCOCCOCCOCCOC(C)=O DXYGJDUJLDXFOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SSKNCQWPZQCABD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-heptanoyloxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl heptanoate Chemical compound CCCCCCC(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)CCCCCC SSKNCQWPZQCABD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEQAICDLOKRSRL-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-[2-(2-dodecoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethanol Chemical compound CCCCCCCCCCCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCOCCO IEQAICDLOKRSRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NREFJJBCYMZUEK-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[4-[2-[4-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethoxy]phenyl]propan-2-yl]phenoxy]ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C1=CC(OCCOCCOC(=O)C(=C)C)=CC=C1C(C)(C)C1=CC=C(OCCOCCOC(=O)C(C)=C)C=C1 NREFJJBCYMZUEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BYCFRIATIOXYQB-UHFFFAOYSA-N 2-chloro-2-phenylethanethioic s-acid Chemical compound SC(=O)C(Cl)C1=CC=CC=C1 BYCFRIATIOXYQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AKCRQHGQIJBRMN-UHFFFAOYSA-N 2-chloroaniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1Cl AKCRQHGQIJBRMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 2-chlorothioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(Cl)=CC=C3SC2=C1 ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCJJPMPLYYESTQ-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol 3-sulfanylpentanoic acid Chemical compound CCC(S)CC(O)=O.CCC(S)CC(O)=O.CCC(S)CC(O)=O.CCC(CO)(CO)CO PCJJPMPLYYESTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IIRMVAAETYZDSP-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol 4-sulfanylpentanoic acid Chemical compound CC(S)CCC(O)=O.CC(S)CCC(O)=O.CC(S)CCC(O)=O.CCC(CO)(CO)CO IIRMVAAETYZDSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFGWEGUVPBZOEA-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;2-methyl-2-sulfanylpropanoic acid Chemical compound CC(C)(S)C(O)=O.CC(C)(S)C(O)=O.CC(C)(S)C(O)=O.CCC(CO)(CO)CO HFGWEGUVPBZOEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IYGAVZICZNAMTF-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;2-methyl-3-sulfanylpropanoic acid Chemical compound SCC(C)C(O)=O.SCC(C)C(O)=O.SCC(C)C(O)=O.CCC(CO)(CO)CO IYGAVZICZNAMTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBEKRAXYEBAHQF-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;3-sulfanylbutanoic acid Chemical compound CC(S)CC(O)=O.CC(S)CC(O)=O.CC(S)CC(O)=O.CCC(CO)(CO)CO WBEKRAXYEBAHQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 2-ethylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC=C3C(=O)C2=C1 SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPXVRLXJHPTCPW-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-(4-propan-2-ylphenyl)propan-1-one Chemical compound CC(C)C1=CC=C(C(=O)C(C)(C)O)C=C1 QPXVRLXJHPTCPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012957 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropanone Substances 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AIEYAQYHZORRJA-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-2-phenylethanethioic s-acid Chemical compound COC(C(S)=O)C1=CC=CC=C1 AIEYAQYHZORRJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004204 2-methoxyphenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C(OC([H])([H])[H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- FLECPOVKQFMGCC-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-2-phenylbutanethioic s-acid Chemical compound CCC(C)(C(S)=O)C1=CC=CC=C1 FLECPOVKQFMGCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNPDWKCPNKYNSI-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-2-phenylpropanethioic s-acid Chemical compound SC(=O)C(C)(C)C1=CC=CC=C1 SNPDWKCPNKYNSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VNJOEUSYAMPBAK-UHFFFAOYSA-N 2-methylbenzenesulfonic acid;hydrate Chemical compound O.CC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O VNJOEUSYAMPBAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTWDKFNVVLAELH-UHFFFAOYSA-N 2-methylcyclohexa-2,5-diene-1,4-dione Chemical compound CC1=CC(=O)C=CC1=O VTWDKFNVVLAELH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXYQEGMSGMXGGK-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C(C=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 AXYQEGMSGMXGGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CEXQWAAGPPNOQF-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOC1=CC=CC=C1 CEXQWAAGPPNOQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTZCFGZBDDCNHI-UHFFFAOYSA-N 2-phenylanthracene-9,10-dione Chemical compound C=1C=C2C(=O)C3=CC=CC=C3C(=O)C2=CC=1C1=CC=CC=C1 NTZCFGZBDDCNHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PPBXTDYPAMPILJ-UHFFFAOYSA-N 2-phenylbutanethioic s-acid Chemical compound CCC(C(S)=O)C1=CC=CC=C1 PPBXTDYPAMPILJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IXOFPUCWZCAFJX-UHFFFAOYSA-N 2-phenylethanethioic s-acid Chemical compound SC(=O)CC1=CC=CC=C1 IXOFPUCWZCAFJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCICNMFOICNGHZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpropanethioic s-acid Chemical compound SC(=O)C(C)C1=CC=CC=C1 FCICNMFOICNGHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HZMJCHSMVMYFFN-UHFFFAOYSA-N 2-propan-2-yl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound CC(C)C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 HZMJCHSMVMYFFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SYTQFBVTZCYXOV-UHFFFAOYSA-N 3,5,5-trimethylcyclohex-2-en-1-one Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1.CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 SYTQFBVTZCYXOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNUBVUNDVKOGQI-UHFFFAOYSA-N 3-[10-(3-hydroxypropylsulfanyl)anthracen-9-yl]sulfanylpropan-1-ol Chemical compound C(SC1=C2C=CC=CC2=C(SCCCO)C2=CC=CC=C12)CCO NNUBVUNDVKOGQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WMNZQSCQLQGZSW-UHFFFAOYSA-N 3-[4-[4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazin-2-yl]-2-chlorophenyl]sulfanylpropanoic acid Chemical compound C1=C(Cl)C(SCCC(=O)O)=CC=C1C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 WMNZQSCQLQGZSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBMHNOGBPBPWTN-UHFFFAOYSA-N 3-[4-[4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazin-2-yl]phenyl]sulfanylpropanoic acid Chemical compound C1=CC(SCCC(=O)O)=CC=C1C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 WBMHNOGBPBPWTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPVJWBWVJUAOMV-UHFFFAOYSA-N 3-benzoyl-7-(diethylamino)chromen-2-one Chemical compound O=C1OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C2C=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 CPVJWBWVJUAOMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYORIVUCOQKMOC-UHFFFAOYSA-N 3-benzoyl-7-methoxychromen-2-one Chemical compound O=C1OC2=CC(OC)=CC=C2C=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 HYORIVUCOQKMOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 3-tert-butylbenzene-1,2-diol Chemical class CC(C)(C)C1=CC=CC(O)=C1O JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VBNIYPOGDJUMEM-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(4-methoxyphenyl)ethenyl]-6-(trichloromethyl)-1,3,5-triazin-2-amine Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1C=CC1=NC(N)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 VBNIYPOGDJUMEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGUKYHHAGPFJMC-UHFFFAOYSA-N 4-[3-(4-hydroxy-2,5-dimethylphenyl)-1,1-dioxo-2,1$l^{6}-benzoxathiol-3-yl]-2,5-dimethylphenol Chemical compound C1=C(O)C(C)=CC(C2(C3=CC=CC=C3S(=O)(=O)O2)C=2C(=CC(O)=C(C)C=2)C)=C1C MGUKYHHAGPFJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LYCNQAIOLGIAFA-UHFFFAOYSA-N 4-[bis[4-(dimethylamino)-2-methylphenyl]methyl]-n,n,3-trimethylaniline Chemical compound CC1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C(=CC(=CC=1)N(C)C)C)C1=CC=C(N(C)C)C=C1C LYCNQAIOLGIAFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2h-benzotriazole Chemical compound CC1=CC=CC2=NNN=C12 CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IICHURGZQPGTRD-UHFFFAOYSA-N 4-phenyldiazenylnaphthalen-1-amine Chemical compound C12=CC=CC=C2C(N)=CC=C1N=NC1=CC=CC=C1 IICHURGZQPGTRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NYCXYKOXLNBYID-UHFFFAOYSA-N 5,7-Dihydroxychromone Natural products O1C=CC(=O)C=2C1=CC(O)=CC=2O NYCXYKOXLNBYID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SANIRTQDABNCHF-UHFFFAOYSA-N 7-(diethylamino)-3-[7-(diethylamino)-2-oxochromene-3-carbonyl]chromen-2-one Chemical compound C1=C(N(CC)CC)C=C2OC(=O)C(C(=O)C3=CC4=CC=C(C=C4OC3=O)N(CC)CC)=CC2=C1 SANIRTQDABNCHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCEYMOIPAHPDOR-UHFFFAOYSA-N 7-(diethylamino)-4-methylchromen-2-one Chemical compound CC1=CC(=O)OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C21.CC1=CC(=O)OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C21 ZCEYMOIPAHPDOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODRDTKMYQDXVGG-UHFFFAOYSA-N 8-methoxycoumarin Natural products C1=CC(=O)OC2=C1C=CC=C2OC ODRDTKMYQDXVGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MFFWRRIKDHUQPI-UHFFFAOYSA-N 9,10-bis(3-chloropropoxy)anthracene Chemical compound ClCCCOC=1C2=CC=CC=C2C(=C2C=CC=CC=12)OCCCCl MFFWRRIKDHUQPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KSMGAOMUPSQGTB-UHFFFAOYSA-N 9,10-dibutoxyanthracene Chemical compound C1=CC=C2C(OCCCC)=C(C=CC=C3)C3=C(OCCCC)C2=C1 KSMGAOMUPSQGTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQLYYXFSXAIGJZ-UHFFFAOYSA-N 9-(2-chlorophenyl)acridine Chemical compound ClC1=CC=CC=C1C1=C(C=CC=C2)C2=NC2=CC=CC=C12 XQLYYXFSXAIGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDICMNZFWDQDTB-UHFFFAOYSA-N 9-(2-fluorophenyl)acridine Chemical compound FC1=C(C=CC=C1)C=1C2=CC=CC=C2N=C2C=CC=CC=12 KDICMNZFWDQDTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTPOHTDATNALFV-UHFFFAOYSA-N 9-(3-chlorophenyl)acridine Chemical compound ClC1=CC=CC(C=2C3=CC=CC=C3N=C3C=CC=CC3=2)=C1 KTPOHTDATNALFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOGGTYYFTFGYQM-UHFFFAOYSA-N 9-(3-methylphenyl)acridine Chemical compound CC1=CC=CC(C=2C3=CC=CC=C3N=C3C=CC=CC3=2)=C1 DOGGTYYFTFGYQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGWGFYSRASGBKP-UHFFFAOYSA-N 9-(4-bromophenyl)acridine Chemical compound C1=CC(Br)=CC=C1C1=C(C=CC=C2)C2=NC2=CC=CC=C12 KGWGFYSRASGBKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KORJZGKNZUDLII-UHFFFAOYSA-N 9-(4-methylphenyl)acridine Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1C1=C(C=CC=C2)C2=NC2=CC=CC=C12 KORJZGKNZUDLII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YDTZWEXADJYOBJ-UHFFFAOYSA-N 9-(7-acridin-9-ylheptyl)acridine Chemical compound C1=CC=C2C(CCCCCCCC=3C4=CC=CC=C4N=C4C=CC=CC4=3)=C(C=CC=C3)C3=NC2=C1 YDTZWEXADJYOBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MTRFEWTWIPAXLG-UHFFFAOYSA-N 9-phenylacridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=C(C=CC=C2)C2=NC2=CC=CC=C12 MTRFEWTWIPAXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001817 Agar Polymers 0.000 description 1
- USFZMSVCRYTOJT-UHFFFAOYSA-N Ammonium acetate Chemical compound N.CC(O)=O USFZMSVCRYTOJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005695 Ammonium acetate Substances 0.000 description 1
- MRABAEUHTLLEML-UHFFFAOYSA-N Butyl lactate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)O MRABAEUHTLLEML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N Butylhydroxytoluene Chemical compound CC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHXPTFGQSUMQNF-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.C(C)N1C2=CC=C(C=C2C=2C=C(C=CC12)C(C)=NO)C(C1=C(C=CC=C1)C)=O Chemical compound C(C)(=O)O.C(C)N1C2=CC=C(C=C2C=2C=C(C=CC12)C(C)=NO)C(C1=C(C=CC=C1)C)=O BHXPTFGQSUMQNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GXYJPQYGRHFJMX-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.C(CCC)C1(C2=CC(=CC=C2C=2C=CC(=CC12)C(CCC1CCCCC1)=NO)[N+](=O)[O-])CCCC Chemical compound C(C)(=O)O.C(CCC)C1(C2=CC(=CC=C2C=2C=CC(=CC12)C(CCC1CCCCC1)=NO)[N+](=O)[O-])CCCC GXYJPQYGRHFJMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVBCGLVDLXRUKZ-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.C1(=CC=CC=C1)SC1=CC=C(C=C1)C(C(=NO)C1=C(C=CC=C1)C)=O Chemical compound C(C)(=O)O.C1(=CC=CC=C1)SC1=CC=C(C=C1)C(C(=NO)C1=C(C=CC=C1)C)=O VVBCGLVDLXRUKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJIJKYJTDFOOQC-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.C1(=CC=CC=C1)SC1=CC=C(C=C1)C(C(CC1CCCCC1)=NO)=O Chemical compound C(C)(=O)O.C1(=CC=CC=C1)SC1=CC=C(C=C1)C(C(CC1CCCCC1)=NO)=O SJIJKYJTDFOOQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFIPIKDUNSGUBE-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.C1(=CC=CS1)C(=O)C=1C=C2C=3C=C(C=CC3N(C2=CC1)CC)C(C(CC1CCCCC1)=NO)=O Chemical compound C(C)(=O)O.C1(=CC=CS1)C(=O)C=1C=C2C=3C=C(C=CC3N(C2=CC1)CC)C(C(CC1CCCCC1)=NO)=O DFIPIKDUNSGUBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RRHNQCQIQKWBLE-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C2=CC=C3C=4C=CC(=CC4C(C3=C2)(CCCC)CCCC)C(C(CC2CCCCC2)=NO)=O)C=CC=C1 Chemical compound C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C2=CC=C3C=4C=CC(=CC4C(C3=C2)(CCCC)CCCC)C(C(CC2CCCCC2)=NO)=O)C=CC=C1 RRHNQCQIQKWBLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXFGKDKPAXPYBR-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(C(C)C2CCCC2)=NO)C=CC=C1 Chemical compound C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(C(C)C2CCCC2)=NO)C=CC=C1 VXFGKDKPAXPYBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FMXCONCRTOSNNT-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(C(CC2CCCC2)=NO)=O)C=CC=C1 Chemical compound C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(C(CC2CCCC2)=NO)=O)C=CC=C1 FMXCONCRTOSNNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MIECRBHCCIQDIF-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(CC)=NO)C=CC=C1 Chemical compound C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(CC)=NO)C=CC=C1 MIECRBHCCIQDIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PRTGJNAYWSECJB-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(CCC)=NO)C=CC=C1 Chemical compound C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(CCC)=NO)C=CC=C1 PRTGJNAYWSECJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGAXQDNOPNZIBF-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(CCC2CCCCC2)=NO)C=CC=C1 Chemical compound C(C)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(CCC2CCCCC2)=NO)C=CC=C1 QGAXQDNOPNZIBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AWDWACHFDFNAMC-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)O.O1C(=CC=C1)C(=O)C=1C=C2C=3C=C(C=CC3N(C2=CC1)CC)C(C(CC1CCCCC1)=NO)=O Chemical compound C(C)(=O)O.O1C(=CC=C1)C(=O)C=1C=C2C=3C=C(C=CC3N(C2=CC1)CC)C(C(CC1CCCCC1)=NO)=O AWDWACHFDFNAMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXGZJMKNYHIKRW-UHFFFAOYSA-N C(C1=CC=CC=C1)(=O)C1=CC2C(C(=O)C3=CC=C(C=C3)C)(C=C1)S2 Chemical compound C(C1=CC=CC=C1)(=O)C1=CC2C(C(=O)C3=CC=C(C=C3)C)(C=C1)S2 XXGZJMKNYHIKRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBQXJPBWTVMZDV-UHFFFAOYSA-N C(C1=CC=CC=C1)(=O)O.C(C(CCCCCC)=NO)=O Chemical compound C(C1=CC=CC=C1)(=O)O.C(C(CCCCCC)=NO)=O LBQXJPBWTVMZDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OBDVWDXRTLWZKV-UHFFFAOYSA-N C(C1=CC=CC=C1)(=O)O.C1(=CC=CC=C1)SC1=CC=C(C=C1)C(C(CC1CCCC1)=NO)=O Chemical compound C(C1=CC=CC=C1)(=O)O.C1(=CC=CC=C1)SC1=CC=C(C=C1)C(C(CC1CCCC1)=NO)=O OBDVWDXRTLWZKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YRJKLMYJXYTWTC-UHFFFAOYSA-N C(C1=CC=CC=C1)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(C(CC2CCCC2)=NO)=O)C=CC=C1 Chemical compound C(C1=CC=CC=C1)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(C(CC2CCCC2)=NO)=O)C=CC=C1 YRJKLMYJXYTWTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJPWEJCOTPPPGD-UHFFFAOYSA-N C(C1=CC=CC=C1)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(CCC2CCCC2)=NO)C=CC=C1 Chemical compound C(C1=CC=CC=C1)(=O)O.CC1=C(C(=O)C=2C=C3C=4C=C(C=CC4N(C3=CC2)CC)C(CCC2CCCC2)=NO)C=CC=C1 AJPWEJCOTPPPGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YHQPYZHIDCBSSY-UHFFFAOYSA-N C(C1=CC=CC=C1)C(C(=O)O)(C)SC1=CC=C(C=C1)C1=NC(=NC(=N1)C(Cl)(Cl)Cl)C(Cl)(Cl)Cl Chemical compound C(C1=CC=CC=C1)C(C(=O)O)(C)SC1=CC=C(C=C1)C1=NC(=NC(=N1)C(Cl)(Cl)Cl)C(Cl)(Cl)Cl YHQPYZHIDCBSSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOIKZRNPUAFMPJ-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CS1)C(=O)C=1C=C2C=3C=C(C=CC3N(C2=CC1)CC)CC(=O)CC1CCCCC1 Chemical compound C1(=CC=CS1)C(=O)C=1C=C2C=3C=C(C=CC3N(C2=CC1)CC)CC(=O)CC1CCCCC1 QOIKZRNPUAFMPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UVUAKCFULYOWNS-UHFFFAOYSA-N C1(CCCCC1)C(=O)O.CC1=C(C=CC=C1)C(C=1C=C2C=3C=C(C=CC3N(C2=CC1)CC)CC(=O)CC1CCCC1)=NO Chemical compound C1(CCCCC1)C(=O)O.CC1=C(C=CC=C1)C(C=1C=C2C=3C=C(C=CC3N(C2=CC1)CC)CC(=O)CC1CCCC1)=NO UVUAKCFULYOWNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUHDDDKXEYOEQH-UHFFFAOYSA-N CC(CCO)(C)OC.CC(CCC)(O)OC Chemical compound CC(CCO)(C)OC.CC(CCC)(O)OC RUHDDDKXEYOEQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXXAATZBKVPDOR-UHFFFAOYSA-N COC(CCCC(=O)O)C.C(C)(=O)OCCCCOC Chemical compound COC(CCCC(=O)O)C.C(C)(=O)OCCCCOC AXXAATZBKVPDOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229920000298 Cellophane Polymers 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N Cinnamic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N 0.000 description 1
- 241000675108 Citrus tangerina Species 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004641 Diallyl-phthalate Substances 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYMOEINVGRTEX-ARJAWSKDSA-N Ethyl hydrogen fumarate Chemical compound CCOC(=O)\C=C/C(O)=O XLYMOEINVGRTEX-ARJAWSKDSA-N 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 239000005058 Isophorone diisocyanate Substances 0.000 description 1
- WWKGVZASJYXZKN-UHFFFAOYSA-N Methyl violet 2B Chemical compound [Cl-].C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC(N)=CC=1)=C1C=CC(=[N+](C)C)C=C1 WWKGVZASJYXZKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFBPFSWMIHJQDM-UHFFFAOYSA-N N-methyl-N-phenylamine Natural products CNC1=CC=CC=C1 AFBPFSWMIHJQDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPKSPKHJBVJUKB-UHFFFAOYSA-N N-phenylglycine Chemical compound OC(=O)CNC1=CC=CC=C1 NPKSPKHJBVJUKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AKYGGDFKUPZINQ-UHFFFAOYSA-N O1C(=CC=C1)C(=O)C=1C=C2C=3C=C(C=CC3N(C2=CC1)CC)CC(=O)CC1CCCCC1 Chemical compound O1C(=CC=C1)C(=O)C=1C=C2C=3C=C(C=CC3N(C2=CC1)CC)CC(=O)CC1CCCCC1 AKYGGDFKUPZINQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFSAUHSCHWRZKM-UHFFFAOYSA-N Padimate A Chemical compound CC(C)CCOC(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 OFSAUHSCHWRZKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYWZRNAHINYAEF-UHFFFAOYSA-N Padimate O Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 WYWZRNAHINYAEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010034960 Photophobia Diseases 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005708 Sodium hypochlorite Substances 0.000 description 1
- YSMRWXYRXBRSND-UHFFFAOYSA-N TOTP Chemical compound CC1=CC=CC=C1OP(=O)(OC=1C(=CC=CC=1)C)OC1=CC=CC=C1C YSMRWXYRXBRSND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDKDGDIWEUUXSH-UHFFFAOYSA-N Thymophthalein Chemical compound C1=C(O)C(C(C)C)=CC(C2(C3=CC=CC=C3C(=O)O2)C=2C(=CC(O)=C(C(C)C)C=2)C)=C1C LDKDGDIWEUUXSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001660693 Trapezia Species 0.000 description 1
- WOURXYYHORRGQO-UHFFFAOYSA-N Tri(3-chloropropyl) phosphate Chemical compound ClCCCOP(=O)(OCCCCl)OCCCCl WOURXYYHORRGQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRQDZJMEHSJOPU-UHFFFAOYSA-N Triethylene glycol bis(2-ethylhexanoate) Chemical compound CCCCC(CC)C(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C(CC)CCCC FRQDZJMEHSJOPU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLINHMUFWFWBMU-UHFFFAOYSA-N Triisopropanolamine Chemical compound CC(O)CN(CC(C)O)CC(C)O SLINHMUFWFWBMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000005811 Viola adunca Nutrition 0.000 description 1
- 240000009038 Viola odorata Species 0.000 description 1
- 235000013487 Viola odorata Nutrition 0.000 description 1
- 235000002254 Viola papilionacea Nutrition 0.000 description 1
- 229930003451 Vitamin B1 Natural products 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- XMIUBXSAXBARCO-UHFFFAOYSA-N [(1-oxo-1-phenylpropan-2-ylidene)amino] 2-oxoacetate Chemical compound O=CC(=O)ON=C(C(=O)C1=CC=CC=C1)C XMIUBXSAXBARCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNZDJSGUWLGTLA-UHFFFAOYSA-N [(1-oxo-1-phenylpropan-2-ylidene)amino] benzoate Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C(C)=NOC(=O)C1=CC=CC=C1 ZNZDJSGUWLGTLA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDAHDQGVJHDLHQ-UHFFFAOYSA-N [2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C=CC=CC=2)C=1C1(O)CCCCC1 BDAHDQGVJHDLHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWENYJIXMBIZBB-UHFFFAOYSA-N [3-(2-methyl-2-sulfanylpropanoyl)oxy-2,2-bis[(2-methyl-2-sulfanylpropanoyl)oxymethyl]propyl] 2-methyl-2-sulfanylpropanoate Chemical compound CC(C)(S)C(=O)OCC(COC(=O)C(C)(C)S)(COC(=O)C(C)(C)S)COC(=O)C(C)(C)S OWENYJIXMBIZBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UEUSKMPCQXJIGH-UHFFFAOYSA-N [3-(2-methyl-3-sulfanylpropanoyl)oxy-2,2-bis[(2-methyl-3-sulfanylpropanoyl)oxymethyl]propyl] 2-methyl-3-sulfanylpropanoate Chemical compound SCC(C)C(=O)OCC(COC(=O)C(C)CS)(COC(=O)C(C)CS)COC(=O)C(C)CS UEUSKMPCQXJIGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTLHIRNKQSFSJS-UHFFFAOYSA-N [3-(3-sulfanylbutanoyloxy)-2,2-bis(3-sulfanylbutanoyloxymethyl)propyl] 3-sulfanylbutanoate Chemical compound CC(S)CC(=O)OCC(COC(=O)CC(C)S)(COC(=O)CC(C)S)COC(=O)CC(C)S VTLHIRNKQSFSJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXLPVPOXGHGHGN-UHFFFAOYSA-N [3-(3-sulfanylpentanoyloxy)-2,2-bis(3-sulfanylpentanoyloxymethyl)propyl] 3-sulfanylpentanoate Chemical compound CCC(S)CC(=O)OCC(COC(=O)CC(S)CC)(COC(=O)CC(S)CC)COC(=O)CC(S)CC AXLPVPOXGHGHGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOBBTVPTPXRUBP-UHFFFAOYSA-N [3-(3-sulfanylpropanoyloxy)-2,2-bis(3-sulfanylpropanoyloxymethyl)propyl] 3-sulfanylpropanoate Chemical compound SCCC(=O)OCC(COC(=O)CCS)(COC(=O)CCS)COC(=O)CCS JOBBTVPTPXRUBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLXXAJNNPVGNPJ-UHFFFAOYSA-N [3-(4-sulfanylpentanoyloxy)-2,2-bis(4-sulfanylpentanoyloxymethyl)propyl] 4-sulfanylpentanoate Chemical compound CC(S)CCC(=O)OCC(COC(=O)CCC(C)S)(COC(=O)CCC(C)S)COC(=O)CCC(C)S WLXXAJNNPVGNPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBHQYYNDKZDVTN-UHFFFAOYSA-N [4-(4-methylphenyl)sulfanylphenyl]-phenylmethanone Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1SC1=CC=C(C(=O)C=2C=CC=CC=2)C=C1 DBHQYYNDKZDVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CULWTPQTPMEUMN-UHFFFAOYSA-J [Ni](Cl)Cl.S(=O)(=O)([O-])[O-].[Ni+2] Chemical compound [Ni](Cl)Cl.S(=O)(=O)([O-])[O-].[Ni+2] CULWTPQTPMEUMN-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- VJHCJDRQFCCTHL-UHFFFAOYSA-N acetic acid 2,3,4,5,6-pentahydroxyhexanal Chemical compound CC(O)=O.OCC(O)C(O)C(O)C(O)C=O VJHCJDRQFCCTHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003926 acrylamides Chemical class 0.000 description 1
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008272 agar Substances 0.000 description 1
- HFVAFDPGUJEFBQ-UHFFFAOYSA-M alizarin red S Chemical compound [Na+].O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C(S([O-])(=O)=O)C(O)=C2O HFVAFDPGUJEFBQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000004996 alkyl benzenes Chemical class 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940043376 ammonium acetate Drugs 0.000 description 1
- 235000019257 ammonium acetate Nutrition 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- JPIYZTWMUGTEHX-UHFFFAOYSA-N auramine O free base Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=N)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 JPIYZTWMUGTEHX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006701 autoxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229940052223 basic fuchsin Drugs 0.000 description 1
- SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N benzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008366 benzophenones Chemical class 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- FAJDWNKDRFAWLS-UHFFFAOYSA-N benzyl-[9-(diethylamino)benzo[a]phenoxazin-5-ylidene]azanium;chloride Chemical compound [Cl-].O1C2=CC(N(CC)CC)=CC=C2N=C(C2=CC=CC=C22)C1=CC2=[NH+]CC1=CC=CC=C1 FAJDWNKDRFAWLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IFVTZJHWGZSXFD-UHFFFAOYSA-N biphenylene Chemical group C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C2=C1 IFVTZJHWGZSXFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJDUHBRBJZYLBM-UHFFFAOYSA-N bis(1-sulfanylethyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound CC(S)OC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OC(C)S AJDUHBRBJZYLBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GBWNXMASAKCHQP-UHFFFAOYSA-N bis(2-sulfanylpropyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound CC(S)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(C)S GBWNXMASAKCHQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFOLPWIGJLXQPE-UHFFFAOYSA-N bis(3-sulfanylbutyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound CC(S)CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCC(C)S CFOLPWIGJLXQPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC=C QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001506 brilliant green Drugs 0.000 description 1
- HXCILVUBKWANLN-UHFFFAOYSA-N brilliant green cation Chemical compound C1=CC(N(CC)CC)=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)=C1C=CC(=[N+](CC)CC)C=C1 HXCILVUBKWANLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001246 bromo group Chemical group Br* 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- 239000001191 butyl (2R)-2-hydroxypropanoate Substances 0.000 description 1
- BNMJSBUIDQYHIN-UHFFFAOYSA-N butyl dihydrogen phosphate Chemical compound CCCCOP(O)(O)=O BNMJSBUIDQYHIN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229950008138 carmellose Drugs 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- VYXSBFYARXAAKO-WTKGSRSZSA-N chembl402140 Chemical compound Cl.C1=2C=C(C)C(NCC)=CC=2OC2=C\C(=N/CC)C(C)=CC2=C1C1=CC=CC=C1C(=O)OCC VYXSBFYARXAAKO-WTKGSRSZSA-N 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- 229940043370 chrysin Drugs 0.000 description 1
- 235000015838 chrysin Nutrition 0.000 description 1
- 229930016911 cinnamic acid Natural products 0.000 description 1
- 235000013985 cinnamic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 229940125904 compound 1 Drugs 0.000 description 1
- 229940125782 compound 2 Drugs 0.000 description 1
- 229940126214 compound 3 Drugs 0.000 description 1
- 229940125898 compound 5 Drugs 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- IQFVPQOLBLOTPF-HKXUKFGYSA-L congo red Chemical compound [Na+].[Na+].C1=CC=CC2=C(N)C(/N=N/C3=CC=C(C=C3)C3=CC=C(C=C3)/N=N/C3=C(C4=CC=CC=C4C(=C3)S([O-])(=O)=O)N)=CC(S([O-])(=O)=O)=C21 IQFVPQOLBLOTPF-HKXUKFGYSA-L 0.000 description 1
- 230000021615 conjugation Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L copper(ii) acetate Chemical compound [Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- AFYCEAFSNDLKSX-UHFFFAOYSA-N coumarin 460 Chemical compound CC1=CC(=O)OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C21 AFYCEAFSNDLKSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 1
- 229940045803 cuprous chloride Drugs 0.000 description 1
- 238000007766 curtain coating Methods 0.000 description 1
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- FOTKYAAJKYLFFN-UHFFFAOYSA-N decane-1,10-diol Chemical compound OCCCCCCCCCCO FOTKYAAJKYLFFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- LBXQUCHUHCBNTC-UHFFFAOYSA-N dibutyl octanedioate Chemical compound CCCCOC(=O)CCCCCCC(=O)OCCCC LBXQUCHUHCBNTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PEVJCYPAFCUXEZ-UHFFFAOYSA-J dicopper;phosphonato phosphate Chemical compound [Cu+2].[Cu+2].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O PEVJCYPAFCUXEZ-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical class OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GGSUCNLOZRCGPQ-UHFFFAOYSA-N diethylaniline Chemical compound CCN(CC)C1=CC=CC=C1 GGSUCNLOZRCGPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MZRQZJOUYWKDNH-UHFFFAOYSA-N diphenylphosphoryl-(2,3,4-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=C(C)C(C)=CC=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 MZRQZJOUYWKDNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N dodecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCCS WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- YQGOJNYOYNNSMM-UHFFFAOYSA-N eosin Chemical compound [Na+].OC(=O)C1=CC=CC=C1C1=C2C=C(Br)C(=O)C(Br)=C2OC2=C(Br)C(O)=C(Br)C=C21 YQGOJNYOYNNSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- LDLDYFCCDKENPD-UHFFFAOYSA-N ethenylcyclohexane Chemical compound C=CC1CCCCC1 LDLDYFCCDKENPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N ethyl methyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OC JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JVICFMRAVNKDOE-UHFFFAOYSA-M ethyl violet Chemical compound [Cl-].C1=CC(N(CC)CC)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)N(CC)CC)=C1C=CC(=[N+](CC)CC)C=C1 JVICFMRAVNKDOE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000000031 ethylamino group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])N([H])[*] 0.000 description 1
- SFNALCNOMXIBKG-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol monododecyl ether Chemical compound CCCCCCCCCCCCOCCO SFNALCNOMXIBKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- FWQHNLCNFPYBCA-UHFFFAOYSA-N fluoran Chemical compound C12=CC=CC=C2OC2=CC=CC=C2C11OC(=O)C2=CC=CC=C21 FWQHNLCNFPYBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYMOEINVGRTEX-UHFFFAOYSA-N fumaric acid monoethyl ester Natural products CCOC(=O)C=CC(O)=O XLYMOEINVGRTEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKHAVTQWNUWKEO-UHFFFAOYSA-N fumaric acid monomethyl ester Natural products COC(=O)C=CC(O)=O NKHAVTQWNUWKEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 210000004209 hair Anatomy 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIIALPBMIOVAHH-UHFFFAOYSA-N herniarin Chemical compound C1=CC(=O)OC2=CC(OC)=CC=C21 LIIALPBMIOVAHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHGVLAHJJNKSAW-UHFFFAOYSA-N herniarin Natural products C1CC(=O)OC2=CC(OC)=CC=C21 JHGVLAHJJNKSAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004029 hydroxymethyl group Chemical group [H]OC([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 125000000879 imine group Chemical group 0.000 description 1
- 238000011534 incubation Methods 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N iso-butyl acetate Natural products CC(C)COC(C)=O GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M isocaproate Chemical compound CC(C)CCC([O-])=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N isophorone diisocyanate Chemical compound CC1(C)CC(N=C=O)CC(C)(CN=C=O)C1 NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid methyl ester Natural products COC(=O)CC(C)C OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 238000002386 leaching Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000013469 light sensitivity Diseases 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- BHQQXAOBIZQEGI-UHFFFAOYSA-N methyl 2-chlorobutanoate Chemical compound CCC(Cl)C(=O)OC BHQQXAOBIZQEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CRVGTESFCCXCTH-UHFFFAOYSA-N methyl diethanolamine Chemical compound OCCN(C)CCO CRVGTESFCCXCTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKHAVTQWNUWKEO-IHWYPQMZSA-N methyl hydrogen fumarate Chemical compound COC(=O)\C=C/C(O)=O NKHAVTQWNUWKEO-IHWYPQMZSA-N 0.000 description 1
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N methyl p-hydroxycinnamate Natural products OC(=O)C=CC1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- ISGXOWLMGOPVPB-UHFFFAOYSA-N n,n-dibenzylaniline Chemical compound C=1C=CC=CC=1CN(C=1C=CC=CC=1)CC1=CC=CC=C1 ISGXOWLMGOPVPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMNKZBIFPJNNIO-UHFFFAOYSA-N n-(2-methyl-4-oxopentan-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)NC(=O)C=C OMNKZBIFPJNNIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DUWWHGPELOTTOE-UHFFFAOYSA-N n-(5-chloro-2,4-dimethoxyphenyl)-3-oxobutanamide Chemical compound COC1=CC(OC)=C(NC(=O)CC(C)=O)C=C1Cl DUWWHGPELOTTOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L nickel(2+);disulfamate Chemical compound [Ni+2].NS([O-])(=O)=O.NS([O-])(=O)=O KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229920000847 nonoxynol Polymers 0.000 description 1
- 125000001400 nonyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- SNQQPOLDUKLAAF-UHFFFAOYSA-N nonylphenol Chemical class CCCCCCCCCC1=CC=CC=C1O SNQQPOLDUKLAAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KSCKTBJJRVPGKM-UHFFFAOYSA-N octan-1-olate;titanium(4+) Chemical compound [Ti+4].CCCCCCCC[O-].CCCCCCCC[O-].CCCCCCCC[O-].CCCCCCCC[O-] KSCKTBJJRVPGKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 1
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 description 1
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006353 oxyethylene group Chemical class 0.000 description 1
- NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N p-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC=C(O)C=C1 NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZUGPQWGEGAKET-UHFFFAOYSA-N parbenate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 FZUGPQWGEGAKET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960003893 phenacetin Drugs 0.000 description 1
- CMCWWLVWPDLCRM-UHFFFAOYSA-N phenidone Chemical compound N1C(=O)CCN1C1=CC=CC=C1 CMCWWLVWPDLCRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940044654 phenolsulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 229950000688 phenothiazine Drugs 0.000 description 1
- WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N phenyl(114C)methanol Chemical compound O[14CH2]C1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N 0.000 description 1
- HPAFOABSQZMTHE-UHFFFAOYSA-N phenyl-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 HPAFOABSQZMTHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SFBKDPQFRNGBDX-UHFFFAOYSA-N phosphanyl 2,4,6-trimethylbenzoate Chemical compound CC1=CC(C)=C(C(=O)OP)C(C)=C1 SFBKDPQFRNGBDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000003021 phthalic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- ILVGAIQLOCKNQA-UHFFFAOYSA-N propyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)O ILVGAIQLOCKNQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000008213 purified water Substances 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical class OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004053 quinones Chemical class 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003335 steric effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 150000003440 styrenes Chemical group 0.000 description 1
- 238000000967 suction filtration Methods 0.000 description 1
- PMEXQRWUNFVELX-UHFFFAOYSA-N sulfamoylsulfonylbenzene Chemical class NS(=O)(=O)S(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 PMEXQRWUNFVELX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 1
- JRMUNVKIHCOMHV-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium bromide Chemical compound [Br-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC JRMUNVKIHCOMHV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UGNWTBMOAKPKBL-UHFFFAOYSA-N tetrachloro-1,4-benzoquinone Chemical compound ClC1=C(Cl)C(=O)C(Cl)=C(Cl)C1=O UGNWTBMOAKPKBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KYMBYSLLVAOCFI-UHFFFAOYSA-N thiamine Chemical compound CC1=C(CCO)SCN1CC1=CN=C(C)N=C1N KYMBYSLLVAOCFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960003495 thiamine Drugs 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- PRZSXZWFJHEZBJ-UHFFFAOYSA-N thymol blue Chemical compound C1=C(O)C(C(C)C)=CC(C2(C3=CC=CC=C3S(=O)(=O)O2)C=2C(=CC(O)=C(C(C)C)C=2)C)=C1C PRZSXZWFJHEZBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUELTTOHQODFPA-UHFFFAOYSA-N toluene 2,6-diisocyanate Chemical compound CC1=C(N=C=O)C=CC=C1N=C=O RUELTTOHQODFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LMYRWZFENFIFIT-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonamide Chemical compound CC1=CC=C(S(N)(=O)=O)C=C1 LMYRWZFENFIFIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 125000003866 trichloromethyl group Chemical group ClC(Cl)(Cl)* 0.000 description 1
- DQWPFSLDHJDLRL-UHFFFAOYSA-N triethyl phosphate Chemical compound CCOP(=O)(OCC)OCC DQWPFSLDHJDLRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WVLBCYQITXONBZ-UHFFFAOYSA-N trimethyl phosphate Chemical compound COP(=O)(OC)OC WVLBCYQITXONBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N triphenylamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHYQWBKCXBXPKM-UHFFFAOYSA-N tris[3-bromo-2,2-bis(bromomethyl)propyl] phosphate Chemical compound BrCC(CBr)(CBr)COP(=O)(OCC(CBr)(CBr)CBr)OCC(CBr)(CBr)CBr BHYQWBKCXBXPKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002948 undecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- JEVGKYBUANQAKG-UHFFFAOYSA-N victoria blue R Chemical compound [Cl-].C12=CC=CC=C2C(=[NH+]CC)C=CC1=C(C=1C=CC(=CC=1)N(C)C)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 JEVGKYBUANQAKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ROVRRJSRRSGUOL-UHFFFAOYSA-N victoria blue bo Chemical compound [Cl-].C12=CC=CC=C2C(NCC)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)N(CC)CC)=C1C=CC(=[N+](CC)CC)C=C1 ROVRRJSRRSGUOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011691 vitamin B1 Substances 0.000 description 1
- 235000010374 vitamin B1 Nutrition 0.000 description 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D233/00—Heterocyclic compounds containing 1,3-diazole or hydrogenated 1,3-diazole rings, not condensed with other rings
- C07D233/54—Heterocyclic compounds containing 1,3-diazole or hydrogenated 1,3-diazole rings, not condensed with other rings having two double bonds between ring members or between ring members and non-ring members
- C07D233/66—Heterocyclic compounds containing 1,3-diazole or hydrogenated 1,3-diazole rings, not condensed with other rings having two double bonds between ring members or between ring members and non-ring members with hetero atoms or with carbon atoms having three bonds to hetero atoms with at the most one bond to halogen, e.g. ester or nitrile radicals, directly attached to ring carbon atoms
- C07D233/88—Nitrogen atoms, e.g. allantoin
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D233/00—Heterocyclic compounds containing 1,3-diazole or hydrogenated 1,3-diazole rings, not condensed with other rings
- C07D233/54—Heterocyclic compounds containing 1,3-diazole or hydrogenated 1,3-diazole rings, not condensed with other rings having two double bonds between ring members or between ring members and non-ring members
- C07D233/64—Heterocyclic compounds containing 1,3-diazole or hydrogenated 1,3-diazole rings, not condensed with other rings having two double bonds between ring members or between ring members and non-ring members with substituted hydrocarbon radicals attached to ring carbon atoms, e.g. histidine
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/46—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
- C08F2/48—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light
- C08F2/50—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light with sensitising agents
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/04—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements made of organic materials, e.g. plastics
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
本发明公开一种六芳基双咪唑类光引发剂,红移取代基在其所有可取代位点中的摩尔占比为6‑16%。该光引发剂应用于感光性树脂组合物时感光度适中、溶解性好、分辨率和显影性优异,不会在显影时出现倒梯形,并且具有较好的亲水性,能显著减少循环使用时显影液中的淤渣量,使得显影液可重复多次、有效使用。本发明还提供包含上述光引发剂的感光性树脂组合物,以及该组合物的应用。
Description
技术领域
本发明属于有机化学领域,具体涉及一种六芳基双咪唑类光引发剂,含有该光引发剂的感光性树脂组合物及其应用。
背景技术
随着精密电子设备的微小化,感光性树脂组合物成为研究热点,其中光引发剂对感光性树脂组合物的感光度、溶解性、亲水性、分辨率和显影性的影响是研究的重中之重。光引发剂作为感光性树脂组合物中必不可少的组分,通常要求具有高的引发效率、优良的溶解性、优良的亲水性等。但是应用发现,并非所有理化指标都是越高越好,例如随着应用越来越精细化,光引发剂感光度过高就容易带来制造精度不够、次品率高的问题。
六芳基双咪唑类化合物是一类已知的光引发剂,目前相关研究主要集中在:改变芳基上的取代基团以增加亲水性,进而降低显影垃圾;改变芳基上的取代基团以增加感光度;增加变色基团以改善显影识别等等。研究发现,低感光度的六芳基双咪唑类光引发剂(如BCIM)会使得感光性树脂组合物用于具有较窄线宽的光刻时,虽然具有优异的分辨率和解析度,但是显影液中的淤渣量较多,影响显影液的重复使用;而高感光度的六芳基双咪唑类光引发剂(如TCDM-HABI)会使得感光性树脂组合物用于具有较窄线宽的光刻时,底部固化不完全,进而在显影时出现倒梯形,使得产品不符合应用要求。市场中现有的六芳基双咪唑光引发剂,由于组分不稳定、差异性大且显影垃圾量大,在精细线路中应用时成品率低,严重影响产品质量和客户使用感受。
申请人在现有六芳基双咪唑类化合物的基础上,进一步研究六芳基双咪唑类光引发剂中芳基上引入的取代基、取代基中红移基团的占比量和组成情况,进而对感光度、溶解性、亲水性、分辨率和显影性等性能做出综合调控,以使得应用该光引发剂的感光性树脂组合物在应用中既具有合适的固化速率而不影响显影制得所需的光刻图形,还能兼具低显影垃圾的优点,从而拓宽六芳基双咪唑类光引发剂的实际应用。
发明内容
本发明的目的首先在于提供一种六芳基双咪唑类光引发剂,以解决现有该类光引发剂在高精密线路中使用时出现倒梯形等不符合应用要求、显影垃圾不能有效降低等问题。本发明的光引发剂应用于感光性树脂组合物时感光度适中、溶解性好、分辨率和显影性优异,不会在显影时出现倒梯形,并且具有较好的亲水性,能显著减少循环使用时显影液中的淤渣量,使得显影液可重复多次、有效使用。
具体来说,本发明的六芳基双咪唑类光引发剂,通过以下步骤制备而成:
(1)通式(Ⅰ)所示的芳香醛和通式(Ⅱ)所示的芳香醛通过缩合、氧化反应,得到苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与通式(Ⅲ)所示的芳香醛通过成环反应生成单咪唑化合物M;
(2)通式(Ⅳ)所示的芳香醛和通式(Ⅴ)所示的芳香醛通过缩合、氧化反应,得到苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与通式(Ⅵ)所示的芳香醛通过成环反应生成单咪唑化合物N;
(3)单咪唑化合物M和N通过氧化反应,生成六芳基双咪唑类光引发剂;
其中,R1-R30各自独立地表示氢、卤素、硝基、氰基、胺基、羟基、C1-C10的烷基、C1-C10的烷氧基、或C2-C10的链烯基,且各基团中的亚甲基可以任选地被氧、硫、亚胺基所取代;
前提是,红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂的所有可取代位点即R1-R30中的摩尔占比为6-16%。
本发明的目的还在于提供包含上述光引发剂的感光性树脂组合物,以及该组合物在制造印刷电路板、保护图案、导体图案、引框线、半导体封装等方面的应用。
本发明的另一个目的在于提供上述感光性树脂组成物在制造彩色滤光片中的应用、彩色滤光片及含有彩色滤光片的液晶显示组件。
发明详述
基于本发明的目的,以下对各方面进行更详细的说明。
本申请中的术语“淤渣”和“显影垃圾”是指在显影液中积累起来的物质,它不溶于显影液并会再沉积于已显影的基底上,从而降低显影液的效率。
<六芳基双咪唑类光引发剂>
如上所述,本发明的六芳基双咪唑类光引发剂,通过以下步骤制备而成:
(1)通式(Ⅰ)所示的芳香醛和通式(Ⅱ)所示的芳香醛通过缩合、氧化反应,得到苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与通式(Ⅲ)所示的芳香醛通过成环反应生成单咪唑化合物M;
(2)通式(Ⅳ)所示的芳香醛和通式(Ⅴ)所示的芳香醛通过缩合、氧化反应,得到苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与通式(Ⅵ)所示的芳香醛通过成环反应生成单咪唑化合物N;
(3)单咪唑化合物M和N通过氧化反应,生成六芳基双咪唑类光引发剂;
其中,R1-R30各自独立地表示氢、卤素、硝基、氰基、胺基、羟基、C1-C10的烷基、C1-C10的烷氧基、或C2-C10的链烯基,且各基团中的亚甲基可以任选地被氧、硫、亚胺基所取代;
前提是,红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂的所有可取代位点即R1-R30中的摩尔占比为6-16%。
本发明所述的红移取代基,是指芳香环上引入的取代基团使得六芳基双咪唑结构的共轭度变大,进而导致紫外吸收波长向着长波长的方向移动(即产生红移现象)的基团。优选地,红移取代基包括氯、溴、硝基、氰基、胺基、羟基、C2-C10的链烯基、C1-C10的烷氧基,其中各基团中的亚甲基可以任选地被氧、硫、亚胺基所取代。进一步优选地,红移取代基选自氯、溴、羟基、胺基、和C1-C5的烷氧基。
红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂的所有可取代位点(即R1-R30)中的摩尔占比为6-16%。如果红移取代基的摩尔占比大于16%,存在由于感光度过高使得容易出现表面固化完全但内部还未完全固化的情况,这就使得进行光刻的窄线条在显影后会呈现倒梯形,从而使制得的产品不符合应用要求;如果红移取代基的摩尔占比小于6%,则感光度偏低,固化速度慢,降低了制备效率。
应用表明,本发明的六芳基双咪唑类光引发剂应用于感光性树脂组合物时,组合物的感光度适中、溶解性好、分辨率和显影性优异,不会在显影时出现倒梯形。此外,还具有较好的亲水性,能显著减少循环使用时显影液中的淤渣量,使得显影液可重复多次、有效使用。
本申请中,红移取代基的摩尔占比计算方法如下:
(1)a mol通式(Ⅰ)所示的芳香醛(R1-R5中红移取代基的个数为A)和b mol通式(Ⅱ)所示的芳香醛(R6-R10中红移取代基的个数为B)通过缩合、氧化反应,得到(a+b)/2mol的苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与(a+b)/2mol通式(Ⅲ)所示的芳香醛(R11-R15中红移取代基的个数为C)通过成环反应生成单咪唑化合物M,M中红移取代基的个数为m;
(2)a’mol通式(Ⅳ)所示的芳香醛(R16-R20中红移取代基的个数为A’)和b’mol通式(Ⅴ)所示的芳香醛(R21-R25中红移取代基的个数为B’)通过缩合、氧化反应,得到(a’+b’)/2mol的苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与(a’+b’)/2mol通式(Ⅵ)所示的芳香醛(R26-R30中红移取代基的个数为C’)通过成环反应生成单咪唑化合物N,N中红移取代基的个数为n;
(3)e mol单咪唑化合物M和f mol单咪唑化合物N通过氧化反应,生成六芳基双咪唑类光引发剂,红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂的所有可取代位点(即R1-R30)中的摩尔占比为p。
<感光性树脂组合物>
如上文所述,本发明的六芳基双咪唑类光引发剂应用于感光性树脂组合物时具有优异的性能表现。因此相应地,本发明还提供一种感光性树脂组合物,其特征在于,包含下列组分:
(A)如上所述的六芳基双咪唑类光引发剂;
(B)碱可溶性聚合物;
(C)具有烯属不饱和双键的化合物;
(D)供氢体;
(E)其它任选的助剂。
以下将对各组分进行更加详细的说明。
六芳基双咪唑类光引发剂(A)
在如上文所述的特征限定范围内,本发明的六芳基双咪唑类光引发剂对双咪唑的连接位不做限定。示例性地,所述六芳基双咪唑类光引发剂可选自或包括下列化合物中的至少一种:
化合物1(红移取代基的摩尔占比为10%):
(1)1mol苯甲醛与1mol邻氯苯甲醛通过自身缩合、氧化反应,得到1mol的苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与1mol邻氯苯甲醛通过成环反应生成单咪唑化合物M1,M1中红移取代基的个数为2。
(2)2mol苯甲醛通过自身缩合、氧化反应,得到1mol的苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与1mol邻氯苯甲醛通过成环反应生成单咪唑化合物N1,N1中红移取代基的个数为1。
(3)1mol单咪唑化合物M1和1mol单咪唑化合物N1通过氧化反应,生成六芳基双咪唑类光引发剂,红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为10%。
化合物2(红移取代基的摩尔占比为7.3%):
1mol单咪唑化合物M1和9mol单咪唑化合物N1通过氧化反应,生成六芳基双咪唑类光引发剂,红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为7.3%。
化合物3(红移取代基的摩尔占比为12.7%):
9mol单咪唑化合物M1和1mol单咪唑化合物N1通过氧化反应,生成六芳基双咪唑类光引发剂,红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为12.7%。
化合物4(红移取代基的摩尔占比为13.3%):
(1)1mol对甲基苯甲醛和1mol邻氯苯甲醛通过缩合、氧化反应,得到1mol的苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与1mol 2,4-二氯苯甲醛通过成环反应生成单咪唑化合物M2,M2中红移取代基的个数为3。
(2)1mol单咪唑化合物M2和1mol单咪唑化合物N1通过氧化反应,生成六芳基双咪唑类光引发剂,红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为13.3%。
化合物5(红移取代基的摩尔占比为15.6%):
2mol单咪唑化合物M2和1mol单咪唑化合物N1通过氧化反应,生成六芳基双咪唑类光引发剂,红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为15.6%。
化合物6(红移取代基的摩尔占比为6.7%):
(1)1mol对甲基苯甲醛和1mol苯甲醛通过缩合、氧化反应,得到1mol的苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与1mol邻氯苯甲醛通过成环反应生成单咪唑化合物M3,M3中红移取代基的个数为1。
(2)2mol单咪唑化合物M3通过自身氧化反应,生成六芳基双咪唑类光引发剂,红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为6.7%。
在100质量份感光性树脂组合物中,六芳基双咪唑类光引发剂(A)的含量为1-20质量份,优选1-10质量份。若含量过小,存在光致灵敏度下降的缺陷;如果含量过大,则存在光阻图案趋于变宽超过光掩模线宽的缺陷。
碱可溶性聚合物(B)
碱可溶性聚合物可赋予感光性树脂组合物成膜功能。作为碱可溶性聚合物,只要是具有这样特性的聚合物就可以没有特别限制地适用。
示例性地,适用的碱可溶性聚合物可以是(甲基)丙烯酸系聚合物、苯乙烯系聚合物、环氧系聚合物、脂肪族聚氨酯(甲基)丙烯酸酯聚合物、芳香族聚氨酯(甲基)丙烯酸酯聚合物、酰胺系树脂、酰胺环氧系树脂、醇酸系树脂以及酚醛系树脂等。
进一步地,碱可溶性聚合物可经由聚合性单体进行自由基聚合而得到。作为聚合性单体,可例举出:苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、对乙基苯乙烯、对氯苯乙烯等在α-位或在芳香族环上被取代的可聚合的苯乙烯衍生物;丙烯酰胺、双丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺衍生物;丙烯腈、乙烯基正丁基醚等乙烯基醇的醚类衍生物;(甲基)丙烯酸、α-溴代(甲基)丙烯酸、α-氯代(甲基)丙烯酸、β-呋喃基(甲基)丙烯酸、β-苯乙烯基(甲基)丙烯酸等(甲基)丙烯酸衍生物;(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、2,2,2-三氟乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2,3,3-四氟丙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等(甲基)丙烯酸酯类化合物;马来酸、马来酸酐、马来酸单甲酯、马来酸单乙酯、马来酸单异丙酯等马来酸单酯;富马酸、肉桂酸、α-氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸、丙醇酸、N-乙烯基己内酰胺;N-乙烯基吡咯烷酮等。这些聚合性单体可以单独使用,也可以两种以上组合使用。
进一步地,从碱显影性和密合性的角度考虑,优选使用含羧基的碱可溶性聚合物。具有羧基的碱可溶性聚合物可以为包含(甲基)丙烯酸作为单体单元的丙烯酸树脂,其通过使用(甲基)丙烯酸作为单体单元导入羧基;可以为除(甲基)丙烯酸以外进一步包含(甲基)丙烯酸烷基酯作为单体单元的共聚物;也可以为除(甲基)丙烯酸以外进一步含有除(甲基)丙烯酸和(甲基)丙烯酸烷基酯以外的聚合性单体(如具有乙烯性不饱和基团的单体)作为单体成分的共聚物。
进一步地,含羧基的碱可溶性聚合物可通过具有羧基的聚合性单体与其它聚合性单体进行自由基聚合而得到,特别是由(甲基)丙烯酸酯、乙烯性不饱和羧酸和其它可共聚单体共聚而成的(甲基)丙烯酸酯系聚合物。
所述的(甲基)丙烯酸酯可以是(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苄基酯、(甲基)丙烯酸二乙胺基乙酯、(甲基)丙烯酸酯二甲胺基乙酯、(甲基)丙烯酸羟乙酯、(甲基)丙烯酸羟丙酯、(甲基)丙烯酸糠基酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等。这些(甲基)丙烯酸酯可以单独使用,也可以两种以上组合使用。
所述的乙烯性不饱和羧酸可以是丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸、马来酸、富马酸、衣康酸,特别优选丙烯酸、甲基丙烯酸。这些乙烯性不饱和羧酸可以单独使用,也可以两种以上组合使用。
所述的其它可共聚单体可以是(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸正丁酯、苯乙烯、乙烯基萘、(甲基)丙烯晴、乙酸乙烯基酯、乙烯基环己烷等。这些其它可共聚单体可以单独使用,也可以两种以上组合使用。
碱可溶性聚合物可以单独一种使用,也可以两种以上组合使用。作为组合两种以上使用的碱可溶性聚合物,可列举出由不同共聚成分构成的两种以上的碱可溶性聚合物、不同重均分子量的两种以上的碱可溶性聚合物、不同分散度的两种以上的碱可溶性聚合物等。
在本发明的感光性树脂组合物中,对碱可溶性聚合物的重均分子量没有特别限制,其应与具体应用环境相适应。从机械强度与碱显影性方面综合考虑,重均分子量优选为15000-200000,更优选为30000-150000,特别优选为30000-120000。当重均分子量大于15000时,曝光后耐显影液性有进一步提高的倾向,当该重均分子量小于200000时,显影时间有变得更短的倾向,且可以保持与光引发剂等其它组分的相容性。碱可溶性聚合物的重均分子量通过凝胶渗透色谱法(GPC)进行测定,通过使用标准聚苯乙烯的标准曲线进行换算而得到。
进一步地,从碱显影性良好的角度考虑,碱可溶性聚合物的酸值优选为50-300mgKOH/g,更优选为50-250mgKOH/g,进一步优选为70-250mgKOH/g,特别优选为100-250mgKOH/g。当碱可溶性树脂的酸值低于50mgKOH/g时,难以确保充分的显影速度,当超过300mgKOH/g时,密合性减小,容易发生图案短路,且易出现组合物贮存稳定性降低、粘度上升的问题。
碱可溶性树脂的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]优选为1.5-6.0,特别优选为1.8-3.7。当分子量分布处于所述范围时,显影性优异。
在100质量份感光性树脂组合物中,碱可溶性聚合物在组合物中的含量优选20-70质量份,更优选30-60质量份。当碱可溶性聚合物的含量在20质量份以上,可确保感光性树脂组合物对于镀敷处理、蚀刻处理等的耐久性得到提高,当含量在70质量份以下,有利于提高感光性树脂组合物的灵敏度。
具有烯属不饱和双键的化合物(C)
具有烯属不饱和双键的化合物可促进感光性树脂组合物成膜。
对具有烯属不饱和双键的化合物没有特别限定,只要在分子内具有至少一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物就可以使用。示例性地,可列举出:α,β-不饱和羧酸与多元醇反应而得的化合物、双酚A类(甲基)丙烯酸酯化合物、α,β-不饱和羧酸与含缩水甘油基的化合物反应而得的化合物、分子内具有氨酯键的(甲基)丙烯酸酯化合物等氨基甲酸酯单体、壬基苯氧基多乙烯氧基丙烯酸酯、γ-氯-β-羟基丙基-β’-(甲基)丙烯酰氧基乙基-邻苯二甲酸酯、β-羟基乙基-β’-(甲基)丙烯酰氧基乙基-邻苯二甲酸酯、β-羟基丙基-β’-(甲基)丙烯酰氧基乙基-邻苯二甲酸酯、苯二甲酸类化合物、(甲基)丙烯酸烷基酯等。这些化合物可以单独使用,也可两种以上组合使用。
作为上述α,β-不饱和羧酸与多元醇反应而得的化合物,可例举出:亚乙基数为2-14的聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亚丙基数为2-14的聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亚乙基数为2-14且亚丙基数为2-14的聚亚乙基·聚亚丙基二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、EO改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、PO改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、EO,PO改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯等。这些化合物可以单独使用,也可两种以上组合使用。在这里,“EO”表示环氧乙烷,经EO改性的化合物是指具有氧化乙烯基的嵌段结构的化合物。“PO”表示环氧丙烷,经PO改性的化合物是指具有氧化丙烯基的嵌段结构的化合物。
作为上述双酚A类(甲基)丙烯酸酯化合物,可例举出:2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基多乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基多丙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基多丁氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基多乙氧基多丙氧基]苯基}丙烷等。作为上述2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基多乙氧基]苯基}丙烷,可例举出:2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基二乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基三乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基四乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基五乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基六乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基七乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基八乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基九乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基十乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基十一乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基十二乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基十三乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基十四乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基十五乙氧基]苯基}丙烷、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基十六乙氧基]苯基}丙烷等。上述2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基多乙氧基]苯基}丙烷的1分子内的氧化乙烯基数优选为4-20,更优选为8-15。这些化合物可以单独使用,也可两种以上组合使用。
作为上述分子内具有氨酯键的(甲基)丙烯酸酯化合物,可例举出:在β位具有OH基的(甲基)丙烯酸类单体和二异氰酸酯化合物(异佛尔酮二异氰酸酯、2,6-甲苯二异氰酸酯、2,4-甲苯二异氰酸酯、1,6-六亚甲基二异氰酸酯等)的加成反应产物、三[(甲基)丙烯酰氧基四亚乙基二醇异氰酸酯]六亚甲基异氰脲酸酯、EO改性氨酯二(甲基)丙烯酸酯、PO改性氨酯二(甲基)丙烯酸酯、EO,PO改性氨酯二(甲基)丙烯酸酯等。这些化合物可以单独使用,也可两种以上组合使用。
作为上述壬基苯氧基多乙烯氧基丙烯酸酯,可例举出:壬基苯氧基四乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基五乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基六乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基七乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基八乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基九乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基十乙烯氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基十一乙烯氧基丙烯酸酯等。这些化合物可以单独使用,也可两种以上组合使用。
作为上述苯二甲酸类化合物,可例举出:γ-氯-β-羟基丙基-β’-(甲基)丙烯酰氧基乙基邻苯二甲酸酯、β-羟基烷基-β’-(甲基)丙烯酰氧基烷基邻苯二甲酸酯等。这些化合物可以单独使用,也可两种以上组合使用。
作为上述(甲基)丙烯酸烷基酯,可例举出:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸羟甲酯、(甲基)丙烯酸羟乙酯、(甲基)丙烯酸羟丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸苄基酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、乙氧基化壬基酚(甲基)丙烯酸酯、丙二醇聚丙烯醚二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,10-癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化聚四氢呋喃二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯等。其中,优选为(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、乙氧化季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯。这些化合物可以单独使用,也可两种以上组合使用。
从提高分辨率、耐镀覆性、密合性的角度来看,所述具有烯属不饱和双键的化合物优选双酚A类(甲基)丙烯酸酯化合物和分子内具有氨酯键的(甲基)丙烯酸酯化合物。从可以提高灵敏度和解析度的角度来看,优选双酚A类(甲基)丙烯酸酯化合物。作为双酚A类(甲基)丙烯酸酯化合物的市售品,示例性地,有2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基多乙氧基]苯基}丙烷(新中村化学工业株式会社制,BPE-200)、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基多丙氧基]苯基)丙烷(新中村化学工业株式会社制,BPE-5000;日立化成株式会社制,FA-321M)、2,2-双{4-[(甲基)丙烯酰氧基多丁氧基]苯基}丙烷(新中村化学工业株式会社,BPE-1300)等。
在100质量份感光性树脂组合物中,具有烯属不饱和双键的化合物的含量优选20-50质量份,更优选25-45质量份。当所述具有烯属不饱和双键的化合物的含量在20质量份以上时,感光性树脂组合物的灵敏度和解析度会进一步提高;当其含量在50质量份以下,感光性树脂组合物更易薄膜化,且对于蚀刻处理的耐久性进一步提高。
供氢体(D)
本发明的感光性树脂组合物还包括供氢体,以便改善感光度。双咪唑类化合物经光照后裂解,产生的单咪唑自由基体积较大,位阻效应使得活性较小,很难单独引发单体聚合,而如果和供氢体配合使用,则单咪唑自由基容易夺取供氢体上的活泼氢,产生新的活性自由基,进而引发单体聚合。
只要是具有上述特性的供氢体,在具体种类方面就没有特别限制,可以包括(但不限于):胺类化合物、羧酸类化合物、含有巯基的有机硫化合物或醇类化合物等。这些化合物可单独使用,或以其中的两种以上组合使用。
胺类化合物没有特别限制,可以包括(但不限于):脂肪族胺化合物,如三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺等;芳香族胺化合物,如4-二甲氨基苯甲酸甲酯、4-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲氨基苯甲酸2-乙基己酯、2-二甲氨基乙基苯甲酸酯、N,N-二甲基对甲苯胺、4,4’-双(二甲氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙氨基)二苯甲酮等。
羧酸类化合物没有特别限制,可以包括(但不限于):芳香族杂乙酸、苯基硫代乙酸、甲基苯基硫代乙酸、乙基苯基硫代乙酸、甲基乙基苯基硫代乙酸、二甲基苯基硫代乙酸、甲氧基苯基硫代乙酸、二甲氧基苯基硫代乙酸、氯苯基硫代乙酸、二氯苯基硫代乙酸、N-苯基甘氨酸、苯氧基乙酸、萘基硫代乙酸、N-萘基甘氨酸、萘氧基乙酸等。
含有巯基的有机硫化合物没有特别限制,可以包括(但不限于):2-巯基苯并噻唑(MBO)、2-巯基苯并咪唑(MBI)、十二烷基硫醇、乙二醇双(3-巯基丁酸酯)、1,2-丙二醇双(3-巯基丁酸酯)、二乙二醇双(3-巯基丁酸酯)、丁二醇双(3-巯基丁酸酯)、辛二醇双(3-巯基丁酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基丁酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)、二季戊四醇六(3-巯基丁酸酯)、乙二醇双(2-巯基丙酸酯)、丙二醇双(2-巯基丙酸酯)、二乙二醇双(2-巯基丙酸酯)、丁二醇双(2-巯基丙酸酯)、辛二醇双(2-巯基丙酸酯)、三羟甲基丙烷三(2-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)、二季戊四醇六(2-巯基丙酸酯)、乙二醇双(3-巯基异丁酸酯)、1,2-丙二醇双(3-巯基异丁酸酯)、二乙二醇双(3-巯基异丁酸酯)、丁二醇双(3-巯基异丁酸酯)、辛二醇双(3-巯基异丁酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基异丁酸酯)、季戊四醇四(3-巯基异丁酸酯)、二季戊四醇六(3-巯基异丁酸酯)、乙二醇双(2-巯基异丁酸酯)、1,2-丙二醇双(2-巯基异丁酸酯)、二乙二醇双(2-巯基异丁酸酯)、丁二醇双(2-巯基异丁酸酯)、辛二醇双(2-巯基异丁酸酯)、三羟甲基丙烷三(2-巯基异丁酸酯)、季戊四醇四(2-巯基异丁酸酯)、二季戊四醇六(2-巯基异丁酸酯)、乙二醇双(4-巯基戊酸酯)、1,2-丙二醇双(4-巯基异戊酸酯)、二乙二醇双(4-巯基戊酸酯)、丁二醇双(4-巯基戊酸酯)、辛二醇双(4-巯基戊酸酯)、三羟甲基丙烷三(4-巯基戊酸酯)、季戊四醇四(4-巯基戊酸酯)、二季戊四醇六(4-巯基戊酸酯)、乙二醇双(3-巯基戊酸酯)、1,2-丙二醇双(3-巯基戊酸酯)、二乙二醇双(3-巯基戊酸酯)、丁二醇双(3-巯基戊酸酯)、辛二醇双(3-巯基戊酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基戊酸酯)、季戊四醇四(3-巯基戊酸酯)、二季戊四醇六(3-巯基戊酸酯)等脂肪族二级多官能硫醇化合物;芳香族二级多官能硫醇化合物,如邻苯二甲酸二(1-巯基乙酯)、邻苯二甲酸二(2-巯基丙酯)、邻苯二甲酸二(3-巯基丁酯)、邻苯二甲酸二(3-巯基异丁酯)等。
醇类化合物没有特别限制,可以包括(但不限于):甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、1-丁醇、2-丁醇、新戊醇、正己醇、环已醇、乙二醇、1,2-丙二醇、1,2,3-丙三醇、苯甲醇、苯乙醇等。
在100质量份感光性树脂组合物中,供氢体(D)的含量可以为0.01-20重量份,优选0.01-10重量份。当供氢体的含量在上述范围内,对调控感光性树脂组合物的感光度是有利的。
其它任选的助剂(E)
除了上述各组分,任选地,本发明的感光性树脂组合物中还可以根据需要包含适量的其它助剂。示例性地,助剂可以包括其它光引发剂和/或增感剂、有机溶剂、染料、颜料、光显色剂、填充剂、增塑剂、稳定剂、涂布助剂、剥离促进剂等中的至少一种。
所述其它光引发剂和/或增感剂可包括(但不限于):双咪唑类、芳香族酮类、蒽醌类、苯偶姻和苯偶姻烷基醚类、肟酯类、三嗪类、香豆素类、噻吨酮类、吖啶类及其它本领域技术人员已知的光引发剂。
示例性地,双咪唑类化合物包括:2,2’-二(邻氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-二咪唑、2,2’,5-三(邻氯苯基)-4-(3,4-二甲氧基苯基)-4’,5’-二苯基-1,1’-二咪唑、2,2’,5-三(2-氟苯基)-4-(3,4-二甲氧基苯基)-4’,5’-二苯基-二咪唑、2,2’-二(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-二咪唑、2,2’-二(2-氟苯基)-4-(邻氯苯基)-5-(3,4-二甲氧基苯基)-4’,5’-二苯基-二咪唑、2,2’-二(2-氟苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-二咪唑、2,2’-二(2-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-二咪唑、2,2’-二(2-氯-5-硝基苯基)-4,4’-二(3,4-二甲氧基苯基)-5,5’-二(邻氯苯基)-二咪唑、2,2’-二(2-氯-5-硝基苯基)-4-(3,4-二甲氧基苯基)-5-(邻氯苯基)-4’,5’-二苯基-二咪唑、2,2’-二(2,4-二氯苯基)-4,4’-二(3,4-二甲氧基苯基)-5,5’-二(邻氯苯基)-二咪唑、2-(2,4-二氯苯基)-4-(3,4-二甲氧基苯基)-2’,5-二(邻氯苯基)-4’,5’-二苯基-二咪唑、2-(2,4-二氯苯基)-2’-(邻氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-二咪唑、2,2’-二(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-二咪唑及其相似物。这些双咪唑类化合物可以单独使用或两种以上组合使用。
示例性地,芳香族酮类化合物包括:苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、1,1-二氯苯乙酮、二苯甲酮、4-苯甲酰基二苯硫醚、4-苯甲酰基-4’-甲基二苯硫醚、4-苯甲酰基-4’-乙基二苯硫醚、4-苯甲酰基-4’-丙基二苯硫醚、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4-对甲苯巯基二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、4,4’-双(二甲氨基)二苯甲酮、4,4’-双(甲基、乙基氨基)二苯甲酮、苯乙酮二甲基缩酮、苯偶酰二甲基缩酮、α,α’-二甲基苯偶酰缩酮、α,α’-二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙酮、1-羟基环己基苯甲酮、2-羟基-2-甲基-1-对羟乙基醚基苯基丙酮、2-甲基1-(4-甲巯基苯基)-2-吗啉1-丙酮、2-苄基-2-二甲氨基-1-(4-吗啉苯基)1-丁酮、苯基双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)氧膦、2,4,6(三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦、2-羟基-1-{3-[4-(2-羟基-2-甲基-丙酰基)-苯基]-1,1,3-三甲基-茚-5-基}-2-甲基丙酮、2-羟基-1-{1-[4-(2-羟基-2-甲基-丙酰基)-苯基]-1,3,3-三甲基-茚-5-基}-2-甲基丙酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙-1-酮、4-(2-羟基乙氧基)-苯基-(2-羟基-2-丙基)酮及其相似物。这些芳香族酮类化合物可以单独使用或两种以上组合使用。
示例性地,蒽醌类化合物包括:2-苯基蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、2,3-二甲基蒽醌、2-乙基蒽-9,10-二乙酯、1,2,3-三甲基蒽-9,10-二辛脂、2-乙基蒽-9,10-二(4-氯丁酸甲酯)、2-{3-[(3-乙基氧杂环丁烷-3-基)甲氧基]-3-氧代丙基}蒽-9,10-二乙酯、9,10-二丁氧基蒽、9,10-二乙氧基-2-乙基蒽、9,10-二(3-氯丙氧基)蒽、9,10-二(2-羟基乙巯基)蒽、9,10-二(3-羟基-1-丙巯基)蒽及其相似物。这些蒽醌类化合物可以单独使用或两种以上组合使用。
示例性地,苯偶姻和苯偶姻烷基醚类化合物包括:苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻苯基醚及其相似物。这些苯偶姻和苯偶姻烷基醚类化合物可以单独使用或两种以上组合使用。
示例性地,肟酯类化合物可以包括:1-(4-苯硫基苯基)-正辛烷-1,2-二酮-2-苯甲酸肟酯、1-[6-(2-甲基苯甲酰基)-9-乙基咔唑-3-基]-乙烷-1-酮-乙酸肟酯、1-[6-(2-甲基苯甲酰基)-9-乙基咔唑-3-基]-丁烷-1-酮-乙酸肟酯、1-[6-(2-甲基苯甲酰基)-9-乙基咔唑-3-基]-丙烷-1-酮-乙酸肟酯、1-[6-(2-甲基苯甲酰基)-9-乙基咔唑-3-基]-1-环己基-甲烷-1-酮-乙酸肟酯、1-[6-(2-甲基苯甲酰基)-9-乙基咔唑-3-基]-(3-环戊基)-丙烷-1-酮-乙酸肟酯、1-(4-苯硫基苯基)-(3-环戊基)-丙烷-1,2-二酮-2-苯甲酸肟酯、1-(4-苯硫基苯基)-(3-环己基)-丙烷-1,2-二酮-2-环己基甲酸肟酯、1-[6-(2-甲基苯甲酰基)-9-乙基咔唑-3-基]-(3-环戊基)-丙烷-1,2-二酮-2-乙酸肟酯、1-(6-邻甲基苯甲酰基-9-乙基咔唑-3-基)-(3-环戊基)-丙烷-1,2-二酮-2-苯甲酸肟酯、1-(4-苯甲酰基二苯硫醚)-(3-环戊基丙酮)-1-肟乙酸酯、1-(6-邻甲基苯甲酰基-9-乙基咔唑-3-基)-(3-环戊基丙酮)-1-肟环己基甲酸酯、1-(4-苯甲酰基二苯硫醚)-3-环戊基丙酮)-1-肟环己基甲酸酯、1-(6-邻甲基苯甲酰基-9-乙基咔唑-3-基)-(3-环戊基)-丙烷-1,2-二酮-2-邻甲基苯甲酸肟酯、1-(4-苯硫基苯基)-(3-环戊基)-丙烷-1,2-二酮-2-环己基甲酸肟酯、1-(4-噻吩甲酰基-二苯硫醚-4’-基)-3-环戊基-丙烷-1-酮-乙酸肟酯、1-(4-苯甲酰基二苯硫醚)-(3-环戊基)-丙烷-1,2-二酮-2-肟乙酸酯、1-(6-硝基-9-乙基咔唑-3-基)-3-环己基-丙烷-1-酮-乙酸肟酯、1-(6-邻甲基苯甲酰基-9-乙基咔唑-3-基)-3-环己基-丙烷-1-酮-乙酸肟酯、1-(6-噻吩甲酰基-9-乙基咔唑-3-基)-(3-环己基丙酮)-1-肟乙酸酯、1-(6-呋喃糠甲酰基-9-乙基咔唑-3-基)-(3-环戊基丙酮)-1-肟乙酸酯、1,4-二苯基丙烷-1,3-二酮-2-乙酸肟酯、1-(6-糠酰基-9-乙基咔唑-3-基)-(3-环己基)-丙烷-1,2-二酮-2-乙酸肟酯、1-(4-苯硫基苯基)-(3-环已基)-丙烷-1,2-二酮-2-乙酸肟酯、1-(6-呋喃糠甲酰基-9-乙基咔唑-3-基)-(3-环己基丙酮)-1-肟乙酸酯、1-(4-苯硫基苯基)-(3-环已基)-丙烷-1,2-二酮-3-苯甲酸肟酯、1-(6-噻吩甲酰基-9-乙基咔唑-3-基)-(3-环己基)-丙烷-1,2-二酮-2-乙酸肟酯、2-[(苯甲酰氧基)亚氨基]-1-苯基丙烷-1-酮、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(氧代乙酰基)肟、1-(4-苯硫基苯基)-2-(2-甲基苯基)-乙烷-1,2-二酮-2-乙酸肟酯、1-(9,9-二丁基-7-硝基芴-2-基)-3-环己基-丙烷-1-酮-乙酸肟酯、1-{4-[4-(噻吩-2-甲酰基)苯硫基]苯基}-3-环戊基丙烷-1,2-二酮-2-乙酸肟酯、1-[9,9-二丁基-2-基]-3-环己基丙基丙烷-1,2-二酮-2-乙酸肟酯、1-[6-(2-苯甲酰氧基亚氨基)-3-环己基丙基-9-乙基咔唑-3-基]辛烷-1,2-二酮-2-苯甲酸肟酯、1-(7-硝基-9,9-二烯丙基芴-2-基)-1-(2-甲基苯基)甲酮-乙酸肟酯、1-[6-(2-甲基苯甲酰基)-9-乙基咔唑-3-基]-3-环戊基-丙烷-1-酮-苯甲酸肟酯、1-[7-(2-甲基苯甲酰基)-9,9-二丁基芴-2-基]-3-环己基丙烷-1,2-二酮-2-乙酸肟酯、1-[6-(呋喃-2-甲酰基)-9-乙基咔唑-3-基]-3-环己基丙烷-1,2-二酮-2-乙氧甲酰肟酯及其相似物。这些肟酯类化合物可以单独使用或两种以上组合使用。
示例性地,三嗪类化合物包括:2-(4-乙基联苯)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(3,4-亚甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、3-{4-[2,4-双(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}丙酸、1,1,1,3,3,3-六氟异丙基-3-{4-[2,4-双(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}丙酸酯、乙基-2-{4-[2,4-双(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}乙酸酯、2-乙氧基乙基-2-{4-[2,4-双(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}乙酸酯、环己基-2-{4-[2,4-双(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}乙酸酯、芐基-2-{4-[2,4-双(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}乙酸酯、3-{氯-4-[2,4-双(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}丙酸、3-{4-[2,4-双(三氯甲基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}丙醯胺、2,4-双(三氯甲基)-6-p-甲氧基苯乙烯基-s-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(1-p-二甲基胺基苯基)-1,3-丁二烯基-s-三嗪、2-三氯甲基-4-胺基-6-p-甲氧基苯乙烯基-s-三嗪及其相似物。这些三嗪类化合物可以单独使用或两种以上组合使用。
示例性地,香豆素类化合物包括:3,3’-羰基双(7-二乙胺香豆素)、3-苯甲酰基-7-二乙胺香豆素、3,3’-羰基双(7-甲氧基香豆素)、7-二乙氨基-4-甲基香豆素、3-(2-苯并噻唑)-7-(二乙基胺基)香豆素、7-(二乙氨基)-4-甲基-2H-1-苯并吡喃-2-酮[7-(二乙氨基)-4-甲基香豆素]、3-苯甲酰基-7-甲氧基香豆素及其相似物。这些香豆素类化合物可以单独使用或两种以上组合使用。
示例性地,噻吨酮类化合物包括:噻吨酮、2,4-二甲基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、异丙基噻吨酮、二异丙基噻吨酮及相似物。这些噻吨酮类化合物可以单独使用或两种以上组合使用。
示例性地,吖啶类化合物包括:9-苯基吖啶、9-对甲基苯基吖啶、9-间甲基苯基吖啶、9-邻氯苯基吖啶、9-邻氟苯基吖啶、1,7-二(9-吖啶基)庚烷、9-乙基吖啶、9-(4-溴苯基)吖啶、9-(3-氯苯基)吖啶、1,7-双(9-吖啶)庚烷、1,5-双(9-吖啶戊烷)、1,3-双(9-吖啶)丙烷及其相似物。这些吖啶类化合物可以单独使用或两种以上组合使用。
有机溶剂只要能够溶解前述各组分即可,示例性地,可以是二醇醚系溶剂、醇系溶剂、酯系溶剂、酮系溶剂、酰胺系溶剂、含氯溶剂等,优选特别考虑着色剂、碱可溶性聚合物的溶解性、涂布性、安全性等因素来进行选择。优选地,有机溶剂可以是乙基溶纤剂(乙二醇单乙基醚)、甲基溶纤剂(乙二醇单甲基醚)、丁基溶纤剂(乙二醇单丁基醚)、甲基甲氧基丁醇(3-甲基-3-甲氧基丁醇)、丁基卡必醇(二甘醇单丁基醚)、乙二醇单乙基醚乙酸酯、乙二醇单叔丁基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚(1-甲氧基-2-丙醇)、丙二醇单乙基醚(1-乙氧基-2-丙醇)、丙二醇单乙基醚乙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、乙酸溶纤剂(乙二醇单甲基醚乙酸酯)、乙酸甲氧基丁酯(乙酸3-甲氧基丁酯)、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯(EEP)、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、2-丁酮(MEK)、甲基异丁基酮(MIBK)、环己酮、环戊酮、二丙酮醇(4-羟基-4-甲基-2-戊酮)、异佛尔酮(3,5,5-三甲基-2-环己烯-1-酮)、二异丁基酮(2,6-二甲基-4-庚酮)、N-甲基吡咯烷酮(4-甲基氨基内酰胺或NMP)、甲醇、乙醇、异丙醇、正丙醇、异丁醇、正丁醇等。这些溶剂可单独使用,或以其中两种以上组合使用。
示例性地,染料、颜料及光显色剂包括:三(4-二甲基氨基苯基)甲烷、三(4-二甲基氨基-2甲基苯基)甲烷、荧烷染料、甲苯磺酸一水合物、碱性品红、酞菁绿及酞菁蓝等酞菁系、金胺碱、副品红、结晶紫、甲基橙、尼罗蓝2B、维多利亚蓝、孔雀绿、金刚绿、碱性蓝20、艳绿、伊红、乙基紫、赤藓红钠盐B、甲基绿、苯酚酞、茜素红S、百里香酚酞、甲基紫2B、喹那定红、玫瑰红钠琼脂、米塔尼尔黄、百里香酚磺酞、二甲苯酚蓝、甲基橘、橘IV、二苯基流卡巴腙、2,7-二氯荧光素、泛甲基红、刚果红、本佐红紫4B、α-萘基红、非那西汀、甲基紫、维多利亚纯蓝BOH、罗丹明6G、二苯基胺、二苄基苯胺、三苯基胺、二乙基苯胺、二-对伸二胺、对甲苯胺、苯并三氮唑、甲基苯丙***、4,4’-联二胺、邻氯苯胺、白色结晶紫、白色孔雀绿、白色苯胺、白色甲基紫、偶氮系等有机颜料,二氧化钛等无机颜料。在具有良好对比度的考量下,优选使用三(4-二甲基氨基苯基)甲烷(即隐色结晶紫,LCV)。这些染料、颜料及光显色剂可以单独一种使用,也可两种以上混合使用。
示例性地,填充剂包括:二氧化硅、氧化铝、滑石、碳酸钙、硫酸钡等填充剂(不包含上述无机颜料)。填充剂可以单独一种使用,也可两种以上混合使用。
示例性地,增塑剂包括:邻苯二甲酸二丁酯、邻苯二甲酸二庚酯、邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二烯丙酯等邻苯二甲酸酯,三甘醇二乙酸酯、四乙二醇二乙酸酯等乙二醇酯,对甲苯磺酰胺、苯磺酰胺、正丁基苯磺酰胺等磺酰胺类,磷酸三苯酯、三甲基磷酸酯、三乙基磷酸酯、三苯基磷酸酯、三甲苯基磷酸酯、三二甲苯基磷酸酯、甲苯基二苯基磷酸酯、三二甲苯基磷酸酯、2-萘基二苯基磷酸酯、甲苯基二2,6-二甲苯基磷酸酯、芳香族缩合磷酸酯、三(氯丙基)磷酸酯、三(三溴新戊基)磷酸酯、含卤缩合磷酸酯,二辛酸三甘醇酯,二(2-乙基己酸)三甘醇酯、二庚酸四甘醇酯、癸二酸二乙酯、辛二酸二丁酯、磷酸三(2-乙基乙酯)、Brij30[C12H25(OCH2CH2)4OH]、和Brij35[C12H25(OCH2CH2)20OH]等。增塑剂可以单独一种使用,也可两种以上混合使用。
示例性地,稳定剂包括:氢醌、1,4,4-三甲基-重氮二环(3.2.2)-壬-2-烯-2,3-二氧化物、1-苯基-3-吡唑烷酮、对甲氧基苯酚、烷基和芳基取代的氢醌和醌、叔丁基邻苯二酚、1,2,3-苯三酚、树脂酸铜、萘胺、β-萘酚、氯化亚铜、2,6-二叔丁基对甲酚、吩噻嗪、吡啶、硝基苯、二硝基苯、对甲苯醌和氯醌等。稳定剂可以单独一种使用,也可两种以上混合使用。
示例性地,涂布助剂包括:丙酮、甲醇、甲基醇、乙基醇、异丙基醇、甲基乙基酮、丙二醇单甲基醚乙酸酯、乳酸乙酯、环己酮、γ-丁内酯、二氯甲烷等。涂布助剂可以单独一种使用,也可两种以上混合使用。
示例性地,剥离促进剂包括:苯磺酸、甲苯磺酸、二甲苯磺酸、苯酚磺酸,甲基、丙基、庚基、辛基、癸基、十二烷基等烷基苯磺酸等。剥离促进剂可以单独一种使用,也可两种以上混合使用。
<干膜和湿膜应用>
本发明的感光性树脂组合物可以制备成干膜,即感光性树脂层叠体,并应用于印刷电路板、保护图案、导体图案、引框线、半导体封装的制造中,经过不同的工序在不同的基材上形成所需要的图案。
本发明的感光性树脂组合物也可以通过湿膜涂布机涂布至各对应制造步骤中对应的基材上,即作为湿膜应用于印刷电路板、保护图案、导体图案、引框线、半导体封装的制造中,经过不同的工序在不同的基材上形成所需要的图案。
干膜应用
本发明的干膜即感光性树脂层叠体,其包含:感光性树脂组合物形成的感光性树脂层以及支撑该感光性树脂层的支撑体。
通常,干膜的制作包括:将感光性树脂组合物涂布在支撑体上,干燥以形成感光性树脂层;任选地,根据需要贴合覆盖膜(保护层)。较佳地,干燥条件是60-100℃下干燥0.5-15min。感光性树脂层的厚度优选为5-95μm,再优选为10-50μm,更优选为15-30μm。若感光性树脂层的厚度小于5μm,则绝缘性不佳,而若感光性树脂层的厚度超过95μm,则解析度可能会较差。
作为支撑体,具体实例可以是各种类型的塑胶膜,如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯萘二酸酯、聚丙烯、聚乙烯、纤维素乙酸酯、聚甲基丙烯酸烷酯、甲基丙烯酸酯共聚物、聚氯乙烯、聚乙烯醇、聚碳酸酯、聚苯乙烯、玻璃纸、氯乙烯共聚物、聚酰胺、聚亚酰胺、乙烯氯-乙酸乙烯酯共聚物、聚四氟乙烯、聚三氟乙烯及其相似物。此外,亦可使用由两种或以上材料所组成的复合材料。优选地,使用的是具有极佳光穿透性的聚对苯二甲酸乙二醇酯。支撑体的厚度优选为5-150μm,更优选为10-50μm。
对感光性树脂组合物的涂布并无特殊限制,例如可使用喷涂法、滚筒式涂布法、旋转式涂布法、狭缝式涂布法、压缩涂布法、帘涂法、染料涂布法、线条涂布法、刮刀涂布法、辊涂法、刮涂法、喷涂法、浸涂法等常规方法。
进一步地,本发明提供上述干膜在制造印刷电路板中的应用,包括:
(1)层叠工序:将感光性树脂层叠体层叠于覆铜层叠板或柔性基板上;
(2)曝光工序:对感光性树脂层叠体中的感光性树脂层进行曝光,以图像状照射活性光线使曝光部分进行光固化;
(3)显影工序:将感光性树脂层的未曝光部分用显影液去除,以形成保护图案;
(4)导体图案形成工序:对覆铜层叠板或柔性基板表面的未被保护图案覆盖的部分进行刻蚀或镀覆;
(5)剥离工序:将保护图案从该覆铜层叠板或柔性基板剥离。
进一步地,本发明提供上述干膜在制造保护图案中的应用,包括如上所述的层叠工序、曝光工序和显影工序,不同在于:层叠工序中感光性树脂层叠体可层叠于各种不同材质的基板上。
进一步地,本发明提供上述干膜在制造导体图案中的应用,包括如上所述的层叠工序、曝光工序、显影工序和导体图案形成工序,不同在于:层叠工序中感光性树脂层叠体层叠于金属板或金属覆膜绝缘板上。
进一步地,本发明提供上述干膜在制造引框线中的应用,包括如上所述的层叠工序、曝光工序、显影工序、和导体图案形成工序,不同在于:层叠工序中感光性树脂层叠体层叠于金属板上,导体图案形成工序中对未被保护图案覆盖的部分进行刻蚀。
进一步地,本发明提供上述干膜在制造半导体封装中的应用,包括如上所述的层叠工序、曝光工序、显影工序、和导体图案形成工序,不同在于:层叠工序中感光性树脂层叠体层叠于具有大规模集成电路的晶片上,导体图案形成工序中对未被保护图案覆盖的部分进行镀覆。
湿膜应用
本发明的感光性树脂组合物可以湿膜方式直接涂布在基板上使用,以用于印刷电路板、保护图案、导体图案、引框线、半导体封装等的制造。
非限制性地,可利用辊涂、刮涂、喷涂、浸涂等常规方法将感光性树脂组合物涂布于基板上,干燥后形成感光性树脂层。
在基板上形成感光性树脂层后,后续工序如曝光工序、显影工序、导体图案形成工序和剥离工序,均可参照干膜应用的方式进行。
曝光工序中,曝光可以列举出掩模曝光法(布线图的负或正掩模图形将活性光线呈图像状地照射的方法)、投影曝光法,也可以采用通过激光直接成像曝光法、数字光学处理曝光法等直接描画曝光法将活性光线呈图像状地照射的方法。作为活性光线的光源,可使用公知的光源,如碳弧灯、汞蒸气弧灯、超高压示灯、高压示灯、氙灯、氩气激光等气体激光、YAG激光等固体激光、半导体激光和氮化镓系蓝紫色激光等有效放射出紫外线的光源。此外,还可以使用照相用泛光灯、日光灯等有效放射出可见光的光源。本发明的感光性树脂组合物对活性光线的光源种类没有特别限制,曝光量优选为10-1000mJ/cm2。
显影工序中,将感光性树脂层的未曝光部分用显影液去除。在感光性树脂层上存在支撑体的情况下,可利用自动剥离器等先除去支撑体,然后再使用碱性水溶液、水系显影液、有机溶剂等显影液除去未曝光部分。碱性水溶液的例子可以是0.1-5质量%的碳酸钠溶液、0.1-5质量%的碳酸钾溶液、0.1-5质量%的氢氧化钠溶液等,pH值优选为9-11。碱性水溶液中还可以加入表面活性剂、消泡剂、有机溶剂等。显影的方式可以是浸渍、喷雾、刷洗等常规方式。
刻蚀处理中,以形成于基板上的抗蚀图案(即保护图案)作为掩模,将未被覆盖的电路形成用基板的导体层刻蚀除去,从而形成导体图案。刻蚀处理的方法可以根据待去除的导体层而选择。例如,作为蚀刻液可以列举出氧化铜溶液、氧化铁溶液、碱蚀刻溶液、过氧化氢系蚀刻液等。
镀敷处理中,以形成于基板上的抗蚀图案为掩模,在未被覆盖的电路形成用基板的绝缘板上镀覆铜和焊锡等。镀敷处理后,除去抗蚀图案从而形成导体图案。作为镀敷处理的方法,既可以是电镀处理,也可以是无电解镀覆处理,优选无电解镀覆处理。作为无电解镀覆处理,可以列举出:硫酸铜镀敷和焦磷酸铜镀敷等铜镀敷、高均匀焊锡(high-throwsolder)镀敷等焊锡镀敷、瓦特浴(硫酸镍-氯化镍)镀敷和氨基磺酸镍镀敷等镍镀敷、硬质金镀敷和软质金镀敷等金镀敷。
抗蚀图案的除去可以通过比显影工序中使用的碱性水溶液碱性更强的水溶液来进行剥离。作为强碱性水溶液的实例,可使用例如1-10质量%的氢氧化钠水溶液。
<彩色滤光片及其制造方法>
本发明还涉及上述感光性树脂组合物在制造彩色滤光片的应用、彩色滤光片以及含有彩色滤光片的液晶显示组件。
利用上述感光性树脂组合物制成的彩色滤光片,包括:支撑体,以及在支撑体上使用感光性树脂组合物形成的着色图案。
利用感光性树脂组合物通过光固化和光刻工艺制备RGB、BM、光间隔物等的技术已经为本领域的技术人员所熟知。通常包括以下步骤:在支撑体上涂布感光性树脂组合物来形成感光性树脂层的工序(简称为“形成工序”);将感光性树脂层通过掩模曝光的工序(简称为“曝光工序”);和将曝光后的感光性树脂层显影来形成着色图案的工序(简称为“显影工序”)。
具体而言,将本发明的感光性树脂组合物直接或间隔其它层而涂布在支撑体(基板)上,形成感光性树脂层;通过规定的掩模图案进行曝光,仅使被光照射的涂布膜部分固化;用显影液显影,由此形成由各色(3色或4色)的像素构成的图案状被膜,从而制造本发明的彩色滤光片。
下面,对本发明的制造方法中的各工序进行说明。
形成工序
感光性树脂层形成工序是在支撑体上涂布本发明的感光性树脂组合物,形成感光性树脂层。
作为适用的支撑体,例如可以举出液晶显示元件等中所用的钠钙玻璃、无碱玻璃、派瑞克斯(pyrex)玻璃、石英玻璃、塑料基板、以及在上述支撑体上附着有透明导电膜而得到的支撑体、摄像元件等中所用的光电转换元件基板例如硅基板等、互补性金属氧化膜半导体(CMOS)等。上述基板有时形成有隔离各像素的黑色矩阵(black matrix)。
另外,支撑体上可以根据需要设置下涂层,以改良与上部的层的粘附性、防止物质扩散或将基板表面平坦化。
作为在支撑体上涂布本发明的感光性树脂组合物的方法,可以适用狭缝涂布、喷墨法、旋涂、辊涂、丝网印刷法等各种涂布方法。
作为感光性树脂组合物的涂布膜厚,优选为0.1-10μm,进一步优选为0.5-3μm。
涂布在支撑体上的感光性树脂组合物的烘干温度为70-110℃,烘干时间为2-4分钟。
曝光工序
曝光工序是将在上述感光性树脂层形成工序中形成的感光性树脂层通过掩模曝光,仅固化被光照射的涂布膜部分。
曝光优选通过照射放射线来进行,作为曝光时能用的放射线,特别优选使用g线、i线等紫外线,较优选高压汞灯。照射强度优选为5-1500mJ/cm2,进一步优选为10-500mJ/cm2。
显影工序
曝光工序之后进行碱性显影处理(显影工序),使曝光工序中的未曝光部分溶出于碱性水溶液。由此,仅残留光固化的部分。
显影温度,通常为20-30℃,显影时间为20-90秒。
本发明的制造方法中,进行了上述感光性树脂层形成工序、曝光工序、及显影工序后,根据需要也可以增加通过加热及/或曝光使形成的着色图案进一步固化的后固化工序。
根据所希望的色调数,重复上述感光性树脂层形成工序、曝光工序、及显影工序(以及根据需要增加的后固化工序),即可制作由所希望的色调组成的彩色滤光片。
附图说明
附图1是化合物a1的高效液相谱图。
具体实施方式
以下通过实施例对本发明作进一步详细说明,但不应将其理解为对本发明保护范围的限制。
1.六芳基双咪唑类光引发剂的制备
1.1六芳基双咪唑类光引发剂a1
1.1.1单咪唑化合物a1-3的制备
在1L四口烧瓶中加入66g维生素B1、195g纯水和195g乙醇,开启搅拌,冰浴冷却至内温0-10℃时,滴加99g 10%NaOH水溶液,约20分钟滴加完毕,此时pH为8-9。然后滴加75g苯甲醛(0.7mol)和99g邻氯苯甲醛(0.7mol)的混合溶液,约40分钟滴加完毕,升温至内温65℃保温反应(期间通过补加10%NaOH水溶液以控制pH为8-9)。取样HPLC中控至苯甲醛和邻氯苯甲醛均小于1%,结束保温,分去水层。先用200g纯水洗涤一次,再用100mL 10%NaHSO3水溶液洗涤一次,最后用200g纯水洗涤两次,得到156g褐色液体a1-1。
在1L四口烧瓶中加入300g冰醋酸、0.8g醋酸铜和157g硝酸铵,开启搅拌,升温至内温100℃后,将上述反应得到的156g褐色液体a1-1用150g冰醋酸溶清后,约30分钟滴加入反应体系中。取样HPLC中控至a1-1小于1%,结束保温。常压蒸馏除去冰醋酸后,先用200mL10%NaOH水溶液洗涤一次,再用200g纯水洗涤两次,得到134g褐色液体a1-2。
使用LCMS确认a1-2结构,质谱分析借助仪器附带软件得到211与212分子碎片峰,产品a1-2a的分子量为210,与T+1和T+2吻合;得到245与246分子碎片峰,产品a1-2b的分子量为244,与T+1和T+2吻合;得到279与280分子碎片峰,产品a1-2c的分子量为278,与T+1和T+2吻合。LCMS证明褐色液体a1-2是由a1-2a、a1-2b和a1-2c三个组分组成。
在1L四口烧瓶中加入134g褐色液体a1-2、75g邻氯苯甲醛(0.7mol)、118g醋酸铵和500g冰醋酸,开启搅拌,升温至内温115℃后,保温反应3小时。取样HPLC中控至a1-2和邻氯苯甲醛均小于1%后,常压蒸馏冰醋酸,剩余50g左右冰醋酸后降温至内温100℃,缓慢滴加200g纯水,约40分钟完成,趁热分去水层,用10%NaOH水溶液将pH调至7-8。用100mL 10%NaHSO3水溶液洗涤一次,最后用200g纯水洗涤两次,得到褐色油状液体。用50mL甲醇将褐色油状液体溶清,随后滴加到500mL纯水中,滴加完成后继续搅拌30分钟,抽滤得到350g黄色固体a1-3。
使用LCMS确认a1-3结构,质谱分析借助仪器附带软件得到311与312分子碎片峰,产品a1-3a的分子量为330,与T+1和T+2吻合;得到365与366分子碎片峰,产品a1-3b的分子量为364,与T+1和T+2吻合;得到399与400分子碎片峰,产品a1-3c的分子量为398,与T+1和T+2吻合。LCMS证明褐色液体a1-3是由a1-3a、a1-3b和a1-3c三个组分组成。
根据上文中公式计算,a1-3中红移取代基的个数为2(其中a=0.7,b=0.7,A=0,B=1,C=1)。
1.1.2单咪唑化合物INC的制备
参照a1-3的制备工艺制备INC,不同在于:2mol苯甲醛通过自身缩合、氧化反应,得到1mol的苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与1mol邻氯苯甲醛通过成环反应生成单咪唑化合物INC。使用LCMS确认INC结构,质谱分析借助仪器附带软件得到311与312分子碎片峰,产品INC的分子量为330,与T+1和T+2吻合。
根据上文中公式计算,INC中红移取代基的个数为1(其中a’=1,b’=1,A’=0,B’=0,C’=1)。
1.1.3六芳基双咪唑类光引发剂a1的制备
氮气保护下,向500mL的四口烧瓶中投入13.0g黄色固体a1-3(0.036mol)、11.9g2-(邻氯苯基)-4,5-二苯基-咪唑(INC)(0.036mol)、0.5g 30%液碱、0.5g四丁基溴化铵和100g甲苯,加热搅拌,并在内温60-65℃时滴加40g次氯酸钠(11%的水溶液),滴加结束后保温反应,取样通过HPLC中控,至a1-3和INC均小于1%,反应完全,结束保温。保温反应结束后,用50g纯水洗涤四次,然后用20g甲苯萃取一次水层,将有机层进行减压蒸馏。向蒸馏得到的物料中加入20g甲醇,加热搅拌至溶清,再将溶清液滴加至由20g甲醇和200g纯水配置而成的溶液中,滴加结束后进行过滤、淋洗、烘干,得到23.4g产物a1。
使用高效液相色谱对产物a1进行分析,结果如附图1所示,产物a1中双咪唑的总含量为94.5%。
产物a1在丁酮中的溶解度为23.1%。
根据上文中公式计算,产物a1的红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂的所有可取代位点中的摩尔占比为10.0%(其中e=0.036,f=0.036,m=2,n=1)。
1.2六芳基双咪唑类光引发剂a2
参照a1的制备工艺,使用0.0072mol的a1-3与0.0648mol的INC反应,其它参数条件不变,得到产物a2。使用高效液相色谱对产物a2进行分析,产物a2中双咪唑的总含量为93.6%。
产物a2在丁酮中的溶解度为19.8%。
根据上文中公式计算,产物a2的红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为7.3%(其中e=0.0072,f=0.0648,m=2,n=1)。
1.3六芳基双咪唑类光引发剂a3
参照a1的制备工艺,使用0.0648mol的a1-3与0.0072mol的INC反应,其它参数条件不变,得到产物a3。使用高效液相色谱对产物a3进行分析,产物a3中双咪唑的总含量为94.9%。
产物a3在丁酮中的溶解度为25.2%。
根据上文中公式计算,产物a3的红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为12.7%(其中e=0.0648,f=0.0072,m=2,n=1)。
1.4六芳基双咪唑类光引发剂a4
参照a1-3的制备工艺制备a4-1,不同在于:1mol对甲基苯甲醛和1mol邻氯苯甲醛通过缩合、氧化反应,得到1mol的苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与1mol 2,4-二氯苯甲醛通过成环反应生成单咪唑化合物a4-1。
根据上文中公式计算,a4-1中红移取代基的个数为3(其中a=1,b=1,A=0,B=1,C=2)。
参照a1的制备工艺,使用0.036mol的a4-1与0.036mol的INC反应,其它参数条件不变,得到产物a4。使用高效液相色谱对产物a4进行分析,产物a4中双咪唑的总含量为93.9%。
产物a4在丁酮中的溶解度为35.7%。
根据上文中公式计算,产物a4的红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为13.3%(其中e=0.036,f=0.036,m=3,n=1)。
1.5六芳基双咪唑类光引发剂a5
参照a1的制备工艺,使用0.048mol的a4-1与0.024mol的INC反应,其它参数条件不变,得到产物a5。使用高效液相色谱对产物a5进行分析,产物a5中双咪唑的总含量为95.2%。
产物a5在丁酮中的溶解度为43.4%。
根据上文中公式计算,产物a5的红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为15.6%(其中e=0.048,f=0.024,m=3,n=1)。
1.6六芳基双咪唑类光引发剂a6
参照a1-3的制备工艺制备a6-1,不同在于:1mol对甲基苯甲醛和1mol苯甲醛通过缩合、氧化反应,得到1mol的苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与1mol邻氯苯甲醛通过成环反应生成单咪唑化合物a6-1。
根据上文中公式计算,a6-1中红移取代基的个数为1(其中a=1,b=1,A=0,B=0,C=1)。
参照a1的制备工艺,使用0.04mol的a6-1反应,其它参数条件不变,得到产物a6。使用高效液相色谱对产物a6进行分析,产物a6中双咪唑的总含量为93.4%。
产物a6在丁酮中的溶解度为25.1%。
根据上文中公式计算,产物a6的红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为6.7%(其中e=0.02,f=0.02,m=1,n=1)。
1.7六芳基双咪唑类光引发剂a7(比较例)
参照a1的制备工艺,使用0.0648mol的a4-1与0.0072mol的INC反应,其它参数条件不变,得到产物a7。使用高效液相色谱对产物a7进行分析,产物a7中双咪唑的总含量为94.1%。
产物a7在丁酮中的溶解度为48.1%。
根据上文中公式计算,产物a7的红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为18.7%(其中e=0.0648,f=0.0072,m=3,n=1)。
1.7六芳基双咪唑类光引发剂a8、a9和a10(比较例)
a8是常州强力电子新材料股份有限公司生产的BCIM(单一结构的HABI),其中红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为6.7%。
a9是常州强力电子新材料股份有限公司生产的TR-HABI-104(单一结构的HABI),其中红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为13.3%。
a10是常州强力电子新材料股份有限公司生产的TCDM(混合HABI),其中红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂所有可取代位点中的摩尔占比为16.7%。
2.感光性树脂组合物的制备
参照表1-2-1中所示配方,将各组分混合均匀制得感光性树脂组合物。如无特别说明,表1-2-1中所示份数均为质量份。
表1-2-1
表1-2-1中各组分代号表示的含义如表1-2-2中所示。
表1-2-2
碱可溶性聚合物B的制备:在氮气氛围下,向配有搅拌器、回流冷却器、温度计和滴液漏斗的烧瓶中,加入甲基溶纤剂和甲苯(质量比3:2)的混合溶剂500g,搅拌加热至80℃后,将甲基丙烯酸100g、甲基丙烯酸乙酯200g、丙烯酸乙酯100g、苯乙烯100g和偶氮双异丁腈0.8g混合制得的溶液慢慢滴加至烧瓶中,滴加时间为4小时,滴加结束后继续反应2小时。接着,向烧瓶内滴加溶解有1.2g偶氮双异丁腈的混合溶剂(组成同上)100g,滴加时间为10分钟,滴加结束后,在80℃下进一步反应3小时,再升温至90℃继续反应2小时。反应结束后,过滤得到碱可溶性聚合物B,酸值为196mgKOH/g,重均分子量约为80000。
参照表1-2-3中所示配方,将各组分混合均匀制得感光性树脂组合物。如无特别说明,表中所示份数均为质量份。
表1-2-3
其中,表1-2-3中各组分代表的含义如表1-2-4中所示。
表1-2-4
3.性能评价
3.1感光度
对于感光性树脂组合物,利用旋转涂布机将液态组合物涂覆在玻璃基板上,然后在100℃下干燥5min除去溶剂,形成膜厚为10μm的涂膜;为获得上述厚度的涂膜,涂覆过程可以是一次完成也可以分多次进行;将带有涂膜的基板冷却至室温。使用i线缩小投影曝光装置,以365nm的波长,通过纵20μm×横20μm的遮罩且以曝光量为50mJ/cm2的方式对涂布膜进行了照射。照射后,使用显影液(商品名:CD-2000,60%,富士软片电子材料制造)将涂布膜在23℃下进行60秒显影。继而,利用流水淋洗20秒后,进行喷射干燥而获得图案画像。画像形成是利用光学显微镜来确认。所得画素图案的宽度大者为高感光度,故而较佳。
以下述判定基准来判定所得画素图案的宽度,判定基准如下:
○:35μm以上;
◎:20μm以上且小于35μm;
●:小于20μm。
3.2分辨率
利用具有Line/Space=10:10-150:150(单位:μm)的布线图案的光掩模进行曝光显影后,测量分辨率。分辨率是在曝光后显影形成的抗蚀图案中,未曝光部分被清除干净后的图案的最小值,进行如下分级:
○:分辨率值在30μm以下;
◎:分辨率值在30μm-50μm,不包括端值;
●:分辨率值在50μm以上。
3.3显影性
显影之后通过扫描电子显微镜(SEM)观察光刻胶图案,以评价显影性。显影性根据以下标准评价:
□:在未曝光部分未观察到残留物;
△:在未曝光部分观察到少量残留物,但残留量可以接受;
×:在未曝光部分观察到明显残留物。
3.4抗蚀图案形状
使用扫描型电子显微镜(SEM)(株式会社日立高新技术制,产品名“SU-1500”),以加速电压15kV、倍率3000倍、倾角60度观察抗蚀图案形状,按照以下基准进行判断:
□:抗蚀图案形状未确认到底切、抗蚀图案上部的缺失,并且图案轮廓的直线性良好;
△:抗蚀图案形状确认到底切、抗蚀图案上部的缺失,并且图案轮廓的直线性较差。
3.5亲水性
通过感光性树脂层溶解后的沉淀量来评价亲水性。将感光性树脂组合物充分搅拌,使用棒涂布器均匀地涂布于作为支撑体的25μm厚的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜的表面上。在干燥机中95℃干燥4min,形成感光性树脂层,层厚约为30.5μm,层重约为3.2g。将20g碳酸钠溶于2L水中,加1.5ml的P1uronic RPG3110(BASF,Mt.Olive,NJ,此试剂是聚氧乙烯和聚氧丙烯共聚物增塑剂),制得显影液。将上述附有感光性树脂层的薄膜放入100g显影液中,试样静置直至树脂层溶解,沉淀量按下列等级确定:
0=沉淀量低于0.005g;
1=少量的细分散浅黄物,沉淀量在0.005-0.01g之间;
5=中等量浅黄物(通常较细),沉淀量在0.05-0.08g之间;
10=有大量固体层浅黄物(通常呈薄片状),沉淀量在0.1g以上。
评价结果如表2-1中所示。
表2-1
评价项目 | 感光度 | 分辨率 | 显影性 | 抗蚀图案形状 | 亲水性 |
实施例1 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
实施例2 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
实施例3 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
实施例4 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
实施例5 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
实施例6 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
实施例7 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
实施例8 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
实施例9 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
实施例10 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
实施例11 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
实施例12 | ◎ | ○ | □ | □ | 0级 |
比较例1 | ○ | ◎ | △ | △ | 1级 |
比较例2 | ◎ | ◎ | △ | △ | 5级 |
比较例3 | ◎ | ◎ | △ | △ | 5级 |
比较例4 | ○ | ◎ | □ | △ | 1级 |
比较例5 | ○ | ◎ | △ | △ | 1级 |
比较例6 | ◎ | ◎ | △ | △ | 5级 |
比较例7 | ◎ | ◎ | △ | △ | 5级 |
比较例8 | ○ | ◎ | □ | △ | 1级 |
本发明的感光性树脂组合物的感光度适中、溶解性好、分辨率和显影性优异,不会在显影时出现倒梯形。此外,还具有较好的亲水性,能显著减少循环使用时显影液中的淤渣量,使得显影液可重复多次、有效使用。
该感光性树脂组合物能够以干膜和湿膜的方式在制造印刷电路板、保护图案、导体图案、引框线、半导体封装等方面得到广泛应用,还可应用于彩色滤光片及液晶显示组件的制造。
上述实施例为本发明较佳的实施方式,但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制,其它的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本发明的保护范围之内。
Claims (15)
1.一种六芳基双咪唑类光引发剂,通过以下步骤制备而成:
(1)通式(Ⅰ)所示的芳香醛和通式(Ⅱ)所示的芳香醛通过缩合、氧化反应,得到苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与通式(Ⅲ)所示的芳香醛通过成环反应生成单咪唑化合物M;
(2)通式(Ⅳ)所示的芳香醛和通式(Ⅴ)所示的芳香醛通过缩合、氧化反应,得到苯偶酰类化合物;该苯偶酰类化合物与通式(Ⅵ)所示的芳香醛通过成环反应生成单咪唑化合物N;
(3)单咪唑化合物M和N通过氧化反应,生成六芳基双咪唑类光引发剂;
其中,R1-R30各自独立地表示氢、卤素、硝基、氰基、胺基、羟基、C1-C10的烷基、C1-C10的烷氧基、或C2-C10的链烯基,且各基团中的亚甲基可以任选地被氧、硫、亚胺基所取代;
前提是,红移取代基在六芳基双咪唑类光引发剂的所有可取代位点即R1-R30中的摩尔占比为6-16%。
2.根据权利要求1所述的六芳基双咪唑类光引发剂,其特征在于:红移取代基包括氯、溴、硝基、氰基、胺基、羟基、C2-C10的链烯基、C1-C10的烷氧基,其中各基团中的亚甲基可以任选地被氧、硫、亚胺基所取代;优选地,红移取代基选自氯、溴、羟基、胺基、和C1-C5的烷氧基。
3.感光性树脂组合物,包含下列组分:
(A)权利要求1或2所述的六芳基双咪唑类光引发剂;
(B)碱可溶性聚合物;
(C)具有烯属不饱和双键的化合物;
(D)供氢体;
(E)其它任选的助剂。
4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,其特征在于:所述碱可溶性聚合物是(甲基)丙烯酸系聚合物、苯乙烯系聚合物、环氧系聚合物、脂肪族聚氨酯(甲基)丙烯酸酯聚合物、芳香族聚氨酯(甲基)丙烯酸酯聚合物、酰胺系树脂、酰胺环氧系树脂、醇酸系树脂以及酚醛系树脂。
5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物,其特征在于:所述碱可溶性聚合物是含羧基的碱可溶性聚合物;优选地,含羧基的碱可溶性聚合物是由(甲基)丙烯酸酯、乙烯性不饱和羧酸和其它可共聚单体共聚而成的(甲基)丙烯酸酯系聚合物。
6.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,其特征在于:所述碱可溶性聚合物的重均分子量为15000-200000,优选为30000-150000,特别优选为30000-120000;酸值为50-300mgKOH/g,优选为50-250mgKOH/g,进一步优选为70-250mgKOH/g,特别优选为100-250mgKOH/g。
7.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,其特征在于:所述具有烯属不饱和双键的化合物选自下列化合物中的至少一种:
α,β-不饱和羧酸与多元醇反应而得的化合物、双酚A类(甲基)丙烯酸酯化合物、α,β-不饱和羧酸与含缩水甘油基的化合物反应而得的化合物、分子内具有氨酯键的(甲基)丙烯酸酯化合物、壬基苯氧基多乙烯氧基丙烯酸酯、γ-氯-β-羟基丙基-β’-(甲基)丙烯酰氧基乙基-邻苯二甲酸酯、β-羟基乙基-β’-(甲基)丙烯酰氧基乙基-邻苯二甲酸酯、β-羟基丙基-β’-(甲基)丙烯酰氧基乙基-邻苯二甲酸酯、苯二甲酸类化合物、(甲基)丙烯酸烷基酯。
8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物,其特征在于:所述具有烯属不饱和双键的化合物选自双酚A类(甲基)丙烯酸酯化合物和分子内具有氨酯键的(甲基)丙烯酸酯化合物。
9.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,其特征在于:所述供氢体选自胺类化合物、羧酸类化合物、含有巯基的有机硫化合物或醇类化合物中的至少一种。
10.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,其特征在于:还包括其它光引发剂和/或增感剂、有机溶剂、染料、颜料、光显色剂、填充剂、增塑剂、稳定剂、涂布助剂、剥离促进剂中的至少一种。
11.感光性树脂层叠体,包含:权利要求3-10中任一项所述的感光性树脂组合物形成的感光性树脂层以及支撑该感光性树脂层的支撑体。
12.权利要求3-10中任一项所述的感光性树脂组合物或权利要求11所述的感光性树脂层叠体在制造印刷电路板、保护图案、导体图案、引框线、半导体封装中的应用。
13.权利要求3-10中任一项所述的感光性树脂组合物或权利要求11所述的感光性树脂层叠体在制造彩色滤光片中的应用。
14.彩色滤光片,包括:支撑体,以及在支撑体上使用权利要求3-10中任一项所述的感光性树脂组合物或权利要求11所述的感光性树脂层叠体形成的着色图案。
15.液晶显示组件,包含权利要求14所述的彩色滤光片。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910248688.8A CN111747897A (zh) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | 一种六芳基双咪唑类光引发剂及其应用 |
PCT/CN2020/081293 WO2020200020A1 (zh) | 2019-03-29 | 2020-03-26 | 一种六芳基双咪唑类光引发剂及其应用 |
JP2021558511A JP7212971B2 (ja) | 2019-03-29 | 2020-03-26 | ヘキサアリールビスイミダゾール類光開始剤及びその使用 |
KR1020217035296A KR20210143909A (ko) | 2019-03-29 | 2020-03-26 | 헥사아릴비스이미다졸계 광개시제 및 이의 응용 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910248688.8A CN111747897A (zh) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | 一种六芳基双咪唑类光引发剂及其应用 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111747897A true CN111747897A (zh) | 2020-10-09 |
Family
ID=72664928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910248688.8A Pending CN111747897A (zh) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | 一种六芳基双咪唑类光引发剂及其应用 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7212971B2 (zh) |
KR (1) | KR20210143909A (zh) |
CN (1) | CN111747897A (zh) |
WO (1) | WO2020200020A1 (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112062721A (zh) * | 2019-05-23 | 2020-12-11 | 常州正洁智造科技有限公司 | 能够提升体系稳定性的habi类光引发剂及其应用 |
WO2022199625A1 (zh) * | 2021-03-26 | 2022-09-29 | 常州正洁智造科技有限公司 | 一种具有提升的体系色相稳定性的感光性树脂组合物 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113637027B (zh) * | 2021-07-22 | 2022-04-05 | 海南师范大学 | 一种苯基三氮唑二羧酸-罗丹明b衍生物荧光探针及其制备方法与应用 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1705646A (zh) * | 2002-10-15 | 2005-12-07 | 昭和电工株式会社 | 六芳基二咪唑化合物和含有该化合物的光聚合引发剂组合物 |
CN101386599A (zh) * | 2008-10-31 | 2009-03-18 | 上海优佰信息科技有限公司 | 六芳基二咪唑类化合物及其制备方法和用途及含其组合物 |
CN101418051A (zh) * | 2008-12-01 | 2009-04-29 | 常州强力电子新材料有限公司 | 一种含有不对称性六芳基双咪唑光引发剂及其制备方法 |
CN111258180A (zh) * | 2018-11-30 | 2020-06-09 | 常州格林感光新材料有限公司 | 六芳基双咪唑类混合光引发剂及应用 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE635804A (zh) * | 1962-03-21 | |||
CN101233435A (zh) * | 2005-07-29 | 2008-07-30 | 富士胶片株式会社 | 液晶显示元件用感光性树脂组合物、使用其的滤色片及其制造方法以及液晶显示元件 |
JP2007332045A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Showa Denko Kk | ヘキサアリールビイミダゾール化合物および該化合物を含む光重合性組成物 |
WO2009135678A2 (en) * | 2008-05-08 | 2009-11-12 | Detrey Gmbh Dentsply | Radical polymerisation inhibitors for light-curable dental materials |
JP5639096B2 (ja) * | 2012-02-02 | 2014-12-10 | 富士フイルム株式会社 | 感光性着色組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置、有機el表示装置、及び固体撮像素子 |
TWI544278B (zh) * | 2014-05-28 | 2016-08-01 | 奇美實業股份有限公司 | 感光性樹脂組成物及其應用 |
-
2019
- 2019-03-29 CN CN201910248688.8A patent/CN111747897A/zh active Pending
-
2020
- 2020-03-26 JP JP2021558511A patent/JP7212971B2/ja active Active
- 2020-03-26 KR KR1020217035296A patent/KR20210143909A/ko not_active Application Discontinuation
- 2020-03-26 WO PCT/CN2020/081293 patent/WO2020200020A1/zh active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1705646A (zh) * | 2002-10-15 | 2005-12-07 | 昭和电工株式会社 | 六芳基二咪唑化合物和含有该化合物的光聚合引发剂组合物 |
CN101386599A (zh) * | 2008-10-31 | 2009-03-18 | 上海优佰信息科技有限公司 | 六芳基二咪唑类化合物及其制备方法和用途及含其组合物 |
CN101418051A (zh) * | 2008-12-01 | 2009-04-29 | 常州强力电子新材料有限公司 | 一种含有不对称性六芳基双咪唑光引发剂及其制备方法 |
CN111258180A (zh) * | 2018-11-30 | 2020-06-09 | 常州格林感光新材料有限公司 | 六芳基双咪唑类混合光引发剂及应用 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112062721A (zh) * | 2019-05-23 | 2020-12-11 | 常州正洁智造科技有限公司 | 能够提升体系稳定性的habi类光引发剂及其应用 |
CN112062721B (zh) * | 2019-05-23 | 2023-06-30 | 常州正洁智造科技有限公司 | 能够提升体系稳定性的habi类光引发剂及其应用 |
WO2022199625A1 (zh) * | 2021-03-26 | 2022-09-29 | 常州正洁智造科技有限公司 | 一种具有提升的体系色相稳定性的感光性树脂组合物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7212971B2 (ja) | 2023-01-26 |
WO2020200020A1 (zh) | 2020-10-08 |
KR20210143909A (ko) | 2021-11-29 |
JP2022528671A (ja) | 2022-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111258180B (zh) | 六芳基双咪唑类混合光引发剂及应用 | |
KR102542061B1 (ko) | 헥사아릴비스이미다졸 혼합 광개시제 | |
JP7212971B2 (ja) | ヘキサアリールビスイミダゾール類光開始剤及びその使用 | |
CN111752096B (zh) | 用于彩色滤光片的感光性树脂组合物及彩色滤光片 | |
KR101505716B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 감광성 수지 적층체 및 레지스트 패턴 형성 방법 | |
JP7311920B2 (ja) | システム安定性を向上できるhabi類光開始剤及びその応用 | |
TWI766645B (zh) | 乙氧基/丙氧基改性的吡唑啉有機物、其應用、光固化組合物及光刻膠 | |
CN112835261B (zh) | 一种eo/po改性9-苯基吖啶类光敏剂及其应用 | |
TWI810605B (zh) | 一種吡唑啉類化合物、感光性樹脂組合物及圖形化方法 | |
TWI838715B (zh) | 具有提升的體系色相穩定性的感光性樹脂組合物、包含其的感光性樹脂層疊體及其用途 | |
CN116410135A (zh) | 萘乙烯基吡啶类化合物、感光性树脂组合物、其应用及图形化方法 | |
CN114326309A (zh) | 一种感光性树脂组合物及其应用 | |
KR102685048B1 (ko) | 시스템 안정성을 향상시킬 수 있는 habi계 광개시제 및 그 응용 | |
CN111221215A (zh) | 感光性树脂组合物及应用 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
TA01 | Transfer of patent application right | ||
TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20201202 Address after: No.8 Qianjia Road, Yaoguan Town, Wujin District, Changzhou City, Jiangsu Province Applicant after: Changzhou Zhengjie Intelligent Manufacturing Technology Co., Ltd Address before: 213127 -2, 199 Wei An Road, Xinbei District, Changzhou, Jiangsu. Applicant before: CHANGZHOU GREEN PHOTOSENSITIVE MATERIALS Co.,Ltd. |
|
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |