CN111664091A - 一体式转子及其加工方法、泵体组件和真空泵 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种一体式转子及其加工方法、泵体组件和真空泵，其中，一体式转子的加工方法，依次包括以下步骤：通过三坐标测量仪对一体式转子毛坯进行检验，通过磨削的方式对一体式转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使一体式转子毛坯的转轴的圆跳动在0‑0.012mm的范围内，表面光洁度在0‑0.8μm的范围内，一体式转子毛坯的叶片相对于一体式转子毛坯的转轴的垂直度在0‑0.02mm的范围内；对一体式转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的一体式转子毛坯，以得到带有六个叶片的一体式转子。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的将叶片固定到转轴上时，在固定位置处会产生过大的局部应力而容易损坏转轴的问题。
Description
技术领域
本发明涉及真空源领域，具体而言，涉及一种一体式转子及其加工方法、泵体组件和真空泵。
背景技术
精密真空泵是泛半导体行业所必需的真空源设备。该真空泵包括上泵壳、下泵壳以及多级转子。多级转子包括转轴和设置在转轴上的多个叶片，叶片通常以过盈配合或键与键槽的方式装配在转轴上，然而上述的装配形式存在以下不足：
1)将叶片固定到转轴上时，在固定位置处会产生过大的局部应力而容易损坏转轴，减少真空泵运行的稳定性与使用寿命；
2)将多个叶片安装在转轴的过程中需要较高的工作经验与高精度的工装设备，使多个叶片能够达到安装在转轴上的装配要求；
3)多个叶片转动工作时易产生返流的冷却气体，使冷却气体返回到真空泵的入口处，影响真空泵的工作效率。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种一体式转子及其加工方法、泵体组件和真空泵，以解决相关技术中的将叶片固定到转轴上时，在固定位置处会产生过大的局部应力而容易损坏转轴的问题。
为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种一体式转子的加工方法，依次包括以下步骤：用砂模制成容纳一体式转子毛坯的砂腔及砂芯，选取浇帽口的位置；通过压力铸造得到一体式转子毛坯，使一体式转子毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；对一体式转子毛坯进行淬火去应力处理，检验一体式转子毛坯是否符合第一条件；对符合第一条件的一体式转子毛坯的第一加工面进行粗加工，使第一加工面留有2mm的加工余量；通过三坐标测量仪对一体式转子毛坯进行检验，通过内窥镜对一体式转子毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验一体式转子毛坯的内部是否符合第二条件；对符合第二条件的一体式转子毛坯的第二加工面进行半精加工，使第二加工面留有0.2mm的加工余量；通过磨削的方式对一体式转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使一体式转子毛坯的转轴的圆跳动在0-0.012mm的范围内，表面光洁度在0-0.8μm的范围内，一体式转子毛坯的叶片相对于一体式转子毛坯的转轴的垂直度在0-0.02mm的范围内；对一体式转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的一体式转子毛坯，以得到带有六个叶片的一体式转子。
进一步地，在用砂模制成容纳一体式转子毛坯的砂腔及砂芯，确定浇帽口的位置的步骤与通过压力铸造得到一体式转子毛坯的步骤之间，加工方法还包括向砂腔及砂芯内浇筑铁水，浇筑铁水的温度在1340℃-1420℃的范围内，浇筑铁水的速度在0.005m3/s-0.002m3/s的范围内。
根据本发明的另一方面，提供了一种一体式转子，一体式转子根据上述的加工方法得到，一体式转子为两个，两个一体式转子啮合传动，一体式转子包括转轴和设置在转轴上的多个叶片，转轴与多个叶片为一体成型结构。
进一步，多个叶片间隔地设置在转轴上，多个叶片包括沿转轴的轴线依次布置的第一级叶片、第二级叶片、第三级叶片、第四级叶片、第五级叶片和第六级叶片，第一级叶片包括第一叶片本体和间隔设置在第一叶片本体上的三个第一凸出部，第二级叶片、第三级叶片、第四级叶片和第五级叶片结构相同，第二级叶片包括第二叶片本体和设置在第二叶片本体上的钩状凸起结构，第六级叶片包括第三叶片本体和间隔设置在第三叶片本体上的五个第二凸出部。
根据本发明的另一方面，提供了一种泵体组件，包括定子和一体式转子，定子包括定子主体、盖体和底托，盖体盖设于定子主体的第一端面，底托位于定子主体的第二端面上，一体式转子可转动地位于定子主体的内腔内，一体式转子的第一端可转动地与盖体连接，一体式转子的第二端可转动地与底托连接，一体式转子为上述的一体式转子。
进一步地，定子主体包括壳体和多个隔板，多个隔板沿壳体的轴线间隔地设置在壳体的内腔内；每个隔板上间隔地设置有第一避让孔和第二避让孔，壳体的腔壁上间隔地设置有进气口和出气口，多个隔板位于进气口和出气口之间；多个隔板包括沿盖体至底托的方向上依次设置的第一隔板、多个第二隔板和第三隔板，第一隔板包括朝向盖体的第一表面和朝向底托的第二表面，第一表面上设置有与进气口连通的第一进气槽，第二表面上设置有与第一进气槽连通的第一出气槽，任意相邻的两个第二隔板中的一个的第一避让孔的孔壁上设置有第一缺口，另一个的第二避让孔的孔壁上设置有第二缺口，第一缺口和第二缺口错位设置，第一出气槽与相邻的第二隔板上的第一缺口或者第二缺口错位设置并相互连通；第三隔板包括朝向盖体的第三表面和朝向底托的第四表面，第三表面上设置有第二进气槽，第二进气槽与相邻的第二隔板上的第一缺口或者第二缺口错位设置并相互连通，第四表面上设置有与第二进气槽连通的第二出气槽，第二出气槽与出气口相连通。
进一步地，第一进气槽通过第一连通通道第一出气槽相通道，第一连通通道位于第一隔板内，第二进气槽通过第二连通通道与第二出气槽相连通，第二连通通道位于第三隔板内。
进一步地，壳体包括第一本体部和与第一本体部拼接的第二本体部，每个隔板包括第一板段和与第一板段拼接的第二板段，每个第一板段与第一本体部为一体成型结构，每个第二板段与第二本体部为一体成型结构，第一避让孔的一部分形成在第一板段上，另一部分形成在第二板段上，第二避让孔的一部分形成在第一板段上。
进一步地，第一本体部与第二本体部之间设置有第一拼接结构，第一拼接结构包括第一插槽和第一插筋，第一插槽与第一插筋相拼接，第一板段与第二板段之间设置有第二拼接结构，第二拼接结构包括第二插槽和第二插筋，第二插槽与第二插筋相拼接。
根据本发明的另一方面，提供了一种真空泵，包括泵体组件，泵体组件为上述的泵体组件。
应用本发明的技术方案，一体式转子的加工方法依次包括以下步骤：用砂模制成容纳一体式转子毛坯的砂腔及砂芯，选取浇帽口的位置；通过压力铸造得到一体式转子毛坯，使一体式转子毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；对一体式转子毛坯进行淬火去应力处理，检验一体式转子毛坯是否符合第一条件；对符合第一条件的一体式转子毛坯的第一加工面进行粗加工，使第一加工面留有2mm的加工余量；通过三坐标测量仪对一体式转子毛坯进行检验，通过内窥镜对一体式转子毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验一体式转子毛坯的内部是否符合第二条件；对符合第二条件的一体式转子毛坯的第二加工面进行半精加工，使第二加工面留有0.2mm的加工余量；通过磨削的方式对一体式转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使一体式转子毛坯的转轴的圆跳动在0-0.012mm的范围内，表面光洁度在0-0.8μm的范围内，一体式转子毛坯的叶片相对于一体式转子毛坯的转轴的垂直度在0-0.02mm的范围内；对一体式转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的一体式转子毛坯，以得到带有六个叶片的一体式转子。通过上述一体式转子的加工方法得到的一体式转子，使得转轴和六个叶片能够成为一个完整的结构，无需将相关技术中的叶片固定到转轴上，避免在固定位置处会产生过大的局部应力而容易损坏转轴，同时，无需考虑相关技术中的多个叶片能够达到安装在转轴上的装配要求，降低了装配要求的同时也简化了装配步骤，进一步提高了真空泵的装配效率。因此，本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的将叶片固定到转轴上时，在固定位置处会产生过大的局部应力而容易损坏转轴的问题。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了根据本发明的一体式转子的加工方法的实施例的流程示意图；
图2示出了根据本发明的一体式转子的实施例的立体结构示意图；
图3示出了根据本发明的泵体组件的实施例的分解结构示意图；
图4示出了图3的泵体组件的第一本体部和每个第一板段为一体成型结构的立体结构示意图；
图5示出了图4的泵体组件的局部示意图；
图6示出了图3的泵体组件的第二本体部和每个第二板段为一体成型结构的立体结构示意图；
图7示出了图3的泵体组件的盖体的立体结构示意图；
图8示出了图3的泵体组件的底托的立体结构示意图；以及
图9示出了图3的泵体组件的上壳体的立体结构示意图。
其中，上述附图包括以下附图标记：
10、一体式转子；11、转轴；12、叶片；121、第一级叶片；122、第二级叶片；123、第三级叶片；124、第四级叶片；125、第五级叶片；126、第六级叶片；241、第一避让孔；242、第二避让孔；243、第一缺口；244、第二缺口；50、定子主体；51、上壳体；511、第一本体部；512、第一板段；515、进气口；52、下壳体；521、第二本体部；522、第二板段；531、第一进气槽；532、第一出气槽；533、第二进气槽；541、第一插槽；542、第一插筋；543、第二插槽；544、第二插筋；55、减重孔；60、盖体；70、底托。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
如图1和图2所示，本申请提供了一种一体式转子的加工方法。本实施例的一体式转子的加工方法依次包括以下步骤：用砂模制成容纳一体式转子毛坯的砂腔及砂芯，选取浇帽口的位置；通过压力铸造得到一体式转子毛坯，使一体式转子毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；对一体式转子毛坯进行淬火去应力处理，检验一体式转子毛坯是否符合第一条件；对符合第一条件的一体式转子毛坯的第一加工面进行粗加工，使第一加工面留有2mm的加工余量；通过三坐标测量仪对一体式转子毛坯进行检验，通过内窥镜对一体式转子毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验一体式转子毛坯的内部是否符合第二条件；对符合第二条件的一体式转子毛坯的第二加工面进行半精加工，使第二加工面留有0.2mm的加工余量；通过磨削的方式对一体式转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使一体式转子毛坯的转轴的圆跳动在0-0.012mm的范围内，表面光洁度在0-0.8μm的范围内，一体式转子毛坯的叶片相对于一体式转子毛坯的转轴的垂直度在0-0.02mm的范围内；对一体式转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的一体式转子毛坯，以得到带有六个叶片的一体式转子10。
应用本实施例的技术方案，通过上述一体式转子的加工方法得到的一体式转子，使得转轴和六个叶片能够成为一个完整的结构，无需将相关技术中的叶片固定到转轴上，避免在固定位置处会产生过大的局部应力而容易损坏转轴，同时，无需考虑相关技术中的多个叶片能够达到安装在转轴上的装配要求，降低了装配要求的同时也简化了装配步骤，进一步提高了真空泵的装配效率。因此，本实施例的技术方案有效地解决了相关技术中的将叶片固定到转轴上时，在固定位置处会产生过大的局部应力而容易损坏转轴的问题。
需要说明的是，上述的符合动平衡标准是指符合动平衡标准ISO 1940-1。上述的第一条件是指较小的磨损或者划伤或者砂眼或者针孔或者裂纹或者缺陷变形或者硬度降低或者损伤。上述的第二条件是指无裂纹或者无夹杂或者无折叠或者无气孔或者无砂眼。
如图1所示，在用砂模制成容纳一体式转子毛坯的砂腔及砂芯，确定浇帽口的位置的步骤与通过压力铸造得到一体式转子毛坯的步骤之间，加工方法还包括向砂腔及砂芯内浇筑铁水。为了在压力铸造过程中，防止混入沙粒，出现缩孔，沙眼，浇筑不均匀等铸造缺陷，浇筑铁水的温度在1340℃-1420℃的范围内，浇筑铁水的速度在0.005m3/s-0.002m3/s的范围内。
本申请还提供了一种一体式转子，如图2所示，本实施例的一体式转子根据上述的加工方法得到，一体式转子10为两个，两个一体式转子10啮合传动，一体式转子10包括转轴11和设置在转轴11上的多个叶片12。本实施例的一体式转子能够解决相关技术中的将叶片固定到转轴上时，在固定位置处会产生过大的局部应力而容易损坏转轴的问题。本实施例的一体式转子的材质可以是铸铁材料，也可以是高镍合金材料。这样，能够提高一体式转子的耐腐蚀性。
此外，发明人发现在相关技术中，将多个叶片安装在转轴的过程中需要较高的工作经验与高精度的工装设备，使多个叶片能够达到安装在转轴上的装配要求。如图2所示，在本实施例中，转轴11与六个叶片12为一体成型结构。这样，无需较高的工作经验与高精度的工装设备便能够消除了人工安装中的繁琐程序，容易达到安装要求、且安装精度高，一致性好，方便维修。当然，在其他图中未示出的实施例中，叶片的数量可以还可以是五个、七个及以上。
如图2所示，多个叶片12间隔地设置在转轴11上，多个叶片12包括沿转轴11的轴线依次布置的第一级叶片121、第二级叶片122、第三级叶片123、第四级叶片124、第五级叶片125和第六级叶片126，第一级叶片121包括第一叶片本体和间隔设置在第一叶片本体上的三个第一凸出部，第二级叶片122、第三级叶片123、第四级叶片124和第五级叶片125结构相同，第二级叶片122包括第二叶片本体和设置在第二叶片本体上的钩状凸起结构，第六级叶片126包括第三叶片本体和间隔设置在第三叶片本体上的五个第二凸出部。第一级叶片121、第二级叶片122、第三级叶片123、第四级叶片124、第五级叶片125和第六级叶片126形成能够对空气进行六次，相对于相关技术中仅能够提供四级或者五级空气压缩而言，增加了压缩空气的次数，进而提高了带有一体式转子的泵体组件的整体的压缩比。
当然，在本实施例中，转轴与第一级叶片、第二级叶片、第三级叶片、第四级叶片和第五级叶片为一体成型结构，第六级叶片通过可拆卸地连接在转轴上并沿转轴的轴线位于第五级叶片的后面。当泵体组件处于带有腐蚀性气体的运行环境中或者较容易产生磨损的环境中，第六级叶片最容易产生腐蚀或者磨损现象，在本实施例中，由于第六级叶片通过可拆卸地连接在转轴上，可以在第六级叶片产生腐蚀或者磨损后，将其从在转轴上拆卸下来，更换一个新的，这样，能够避免将第一级叶片、第二级叶片、第三级叶片、第四级叶片和第五级叶片、第六级叶片以及转轴一起换掉，而造成一体式转子的浪费，进而能够节约成本。
本申请还提供了一种泵体组件，如图3至图9所示，本实施例的泵体组件包括定子和一体式转子10，定子包括定子主体50、盖体60和底托70，盖体60盖设于定子主体50的第一端面，底托70位于定子主体50的第二端面上，一体式转子10可转动地位于定子主体50的内腔内，一体式转子10的第一端可转动地与盖体60连接，一体式转子10的第二端可转动地与底托70连接，一体式转子为上述的一体式转子。本实施例的泵体组件能够解决相关技术中的将叶片固定到转轴上时，在固定位置处会产生过大的局部应力而容易损坏转轴的问题。
如图4至图6所示，定子主体50包括壳体和多个隔板，多个隔板沿壳体的轴线间隔地设置在壳体的内腔内。每个隔板上间隔地设置有第一避让孔241和第二避让孔242，壳体的腔壁上间隔地设置有进气口515和出气口，多个隔板位于进气口515和出气口之间。多个隔板包括沿盖体60至底托70的方向上依次设置的第一隔板、多个第二隔板和第三隔板，第一隔板包括朝向盖体60的第一表面和朝向底托70的第二表面，第一表面上设置有与进气口515连通的第一进气槽531，第二表面上设置有与第一进气槽531连通的第一出气槽532，任意相邻的两个第二隔板中的一个的第一避让孔241的孔壁上设置有第一缺口243，另一个的第二避让孔242的孔壁上设置有第二缺口244，第一缺口243和第二缺口244错位设置，第一出气槽532与相邻的第二隔板上的第二缺口244错位设置并相互连通。第三隔板包括朝向盖体60的第三表面和朝向底托70的第四表面，第三表面上设置有第二进气槽533，第二进气槽533与相邻的第二隔板上的第二缺口244错位设置并相互连通，第四表面上设置有与第二进气槽533连通的第二出气槽，第二出气槽与出气口相连通。这样，在转轴11带动叶片12进行高速转动时，将气体从进气口515进入，经过第一进气槽531、第一出气槽532、第一缺口243、第二缺口244、第二进气槽533和第二出气槽之后，从出气口排出，气体流经的过程形成一个弯折状的蛇形气体流道，能够将从进气口515抽入至定子主体50的内腔内的气体经过蛇形气体流道实现逐级压缩。在压缩空气的同时能够将蛇形气体流道内的硅片残渣的进行拆解或者清洗。上述的蛇形气体流道仅为气体从进气口515进，从出气口出的单向流通通道，避免相关技术中容易产生返流的冷却气体，返回至进气口515，有利于提高泵体组件的工作效率。
在本实施例中，第二隔板的数量为三个，三个第二隔板沿盖体60至底托70的方向上依次为第一个第二隔板、第二个第二隔板和第三个第二隔板。第一出气槽532与第一个第二隔板上的第二缺口244错位设置并相互连通；第二进气槽533与第三个第二隔板上的第二缺口244错位设置并相互连通。
当然，在其他图中未示出的实施例中，第一出气槽可以与第一个第二隔板上的第一缺口错位设置并相互连通；第二进气槽可以与第三个第二隔板上的第一缺口错位设置并相互连通。
如图4至图6所示，第一进气槽531通过第一连通通道第一出气槽532相通道，第一连通通道位于第一隔板内，第二进气槽533通过第二连通通道与第二进气槽533相连通，第二连通通道位于第三隔板内。第一连通通道的设置使得气体能够从第一进气槽531中通入经过第一连通通道从第一出气槽532排出，这样，第一隔板与相邻的一个第二隔板之间的气体能够传输至相邻的两个第二隔板之间，有利于气体传输。第二连通通道的设置使得气体能够从第二进气槽533中通入经过第二连通通道从第二进气槽533排出，这样，第三隔板与相邻的一个第二隔板之间的气体能够传输至第三隔板的下方，有利于气体传输。
如图3至图6所示，在本实施例中，壳体包括第一本体部511和与第一本体部511拼接的第二本体部521，每个隔板包括第一板段512和与第一板段512拼接的第二板段522，每个第一板段512与第一本体部511为一体成型结构，每个第二板段522与第二本体部521为一体成型结构。这样，尽可能的减少了定子结构的数量及安装工序，提高定子的结构精度。
如图4至图6所示，在本实施例中，第一本体部511与第二本体部521之间设置有第一拼接结构，第一拼接结构包括第一插槽541和第一插筋542，第一插槽541与第一插筋542相拼接，第一板段512与第二板段522之间设置有第二拼接结构，第二拼接结构包括第二插槽543和第二插筋544，第二插槽543与第二插筋544相拼接。第一本体部511与第二本体部521之间通过第一插槽541和第一插筋542相互拼接，同时，第一板段512与第二板段522之间通过第二插槽543与第二插筋544相互拼接时，这样，能够拼接成壳体。在上述结构拼接成壳体的过程中，不需要通过相关技术中的销轴和销孔进行拼接，在减少复杂程序的同时，插槽与插筋配合能够提高拼接成壳体的定位精度，使得安装后的壳体精度较高。
如图3所示，第一本体部511的侧壁和第二本体部521的侧壁上均设置有减重孔55，减重孔55的设置能够降低第一本体部511和第二本体部521自身的重量，同时也能够减少用料，降低成本。
如图3至图6和图9所示，每个第一板段512与第一本体部511为一体成型结构以得到上壳体51，每个第二板段522与第二本体部521为一体成型结构以得到下壳体52。第一避让孔241的一部分形成在第一板段512上，另一部分形成在第二板段522上。第二避让孔242的一部分形成在第一板段512上，另一部分形成在第二板段522上。这样，便于加工，容易成型。
如图4至图8所示，在本实施例泵体组件的装配步骤如下：
将一个一体式转子10的转轴对应的放入下壳体52上的第一避让孔内，将另一个一体式转子10的转轴对应的放入下壳体52上的第二避让孔内；将上壳体51与下壳体52相拼接，以使上壳体51上的每个第一板段512与对应的下壳体52的每个第二板段522相拼接；将圆柱销***至上壳体51的第一本体部511和下壳体52的第二本体部521内；将一体式转子10的第一端可转动地穿入盖体60内，将一体式转子10的第二端可转动地穿入底托70内，以形成泵体组件。
本申请还提供了一种真空泵，本实施例的真空泵包括泵体组件，泵体组件为上述的泵体组件。本实施例的真空泵能够解决相关技术中的将叶片固定到转轴上时，在固定位置处会产生过大的局部应力而容易损坏转轴的问题。
在本发明的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种一体式转子的加工方法，其特征在于，依次包括以下步骤：
用砂模制成容纳一体式转子毛坯的砂腔及砂芯，选取浇帽口的位置；
通过压力铸造得到所述一体式转子毛坯，使所述一体式转子毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；
对所述一体式转子毛坯进行淬火去应力处理，检验所述一体式转子毛坯是否符合第一条件；
对符合第一条件的所述一体式转子毛坯的第一加工面进行粗加工，使所述第一加工面留有2mm的加工余量；
通过三坐标测量仪对所述一体式转子毛坯进行检验，通过内窥镜对所述一体式转子毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验所述一体式转子毛坯的内部是否符合第二条件；
对符合第二条件的所述一体式转子毛坯的第二加工面进行半精加工，使所述第二加工面留有0.2mm的加工余量；
通过磨削的方式对所述一体式转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使一体式转子毛坯的转轴的圆跳动在0-0.012mm的范围内，表面光洁度在0-0.8μm的范围内，所述一体式转子毛坯的叶片相对于所述一体式转子毛坯的转轴的垂直度在0-0.02mm的范围内；
对所述一体式转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的所述一体式转子毛坯，以得到带有六个叶片的一体式转子(10)。
2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，在用砂模制成容纳一体式转子毛坯的砂腔及砂芯，确定浇帽口的位置的步骤与通过压力铸造得到所述一体式转子毛坯的步骤之间，所述加工方法还包括向所述砂腔及所述砂芯内浇筑铁水，浇筑铁水的温度在1340℃-1420℃的范围内，浇筑铁水的速度在0.005m3/s-0.002m3/s的范围内。
3.一种一体式转子，其特征在于，
所述一体式转子根据权利要求1或2所述的一体式转子的加工方法得到，所述一体式转子(10)为两个，两个所述一体式转子(10)啮合传动，所述一体式转子(10)包括转轴(11)和设置在所述转轴(11)上的多个叶片(12)，所述转轴(11)与多个所述叶片(12)为一体成型结构。
4.根据权利要求3所述的一体式转子，其特征在于，
多个所述叶片(12)间隔地设置在所述转轴(11)上，多个所述叶片(12)包括沿所述转轴(11)的轴线依次布置的第一级叶片(121)、第二级叶片(122)、第三级叶片(123)、第四级叶片(124)、第五级叶片(125)和第六级叶片(126)，所述第一级叶片(121)包括第一叶片本体和间隔设置在所述第一叶片本体上的三个第一凸出部，所述第二级叶片(122)、所述第三级叶片(123)、所述第四级叶片(124)和所述第五级叶片(125)结构相同，所述第二级叶片(122)包括第二叶片本体和设置在所述第二叶片本体上的钩状凸起结构，所述第六级叶片(126)包括第三叶片本体和间隔设置在所述第三叶片本体上的五个第二凸出部。
5.一种泵体组件，包括定子和一体式转子(10)，其特征在于，所述定子包括定子主体(50)、盖体(60)和底托(70)，所述盖体(60)盖设于所述定子主体(50)的第一端面，所述底托(70)位于所述定子主体(50)的第二端面上，所述一体式转子(10)可转动地位于所述定子主体(50)的内腔内，所述一体式转子(10)的第一端可转动地与所述盖体(60)连接，所述一体式转子(10)的第二端可转动地与所述底托(70)连接，所述一体式转子为权利要求3或4所述的一体式转子。
6.根据权利要求5所述的泵体组件，其特征在于，
所述定子主体(50)包括壳体和多个隔板，多个所述隔板沿所述壳体的轴线间隔地设置在所述壳体的内腔内；每个所述隔板上间隔地设置有第一避让孔(241)和第二避让孔(242)，所述壳体的腔壁上间隔地设置有进气口(515)和出气口，多个所述隔板位于所述进气口(515)和所述出气口之间；
多个所述隔板包括沿所述盖体(60)至所述底托(70)的方向上依次设置的第一隔板、多个第二隔板和第三隔板，所述第一隔板包括朝向所述盖体(60)的第一表面和朝向所述底托(70)的第二表面，所述第一表面上设置有与所述进气口(515)连通的第一进气槽(531)，所述第二表面上设置有与所述第一进气槽(531)连通的第一出气槽(532)，
任意相邻的两个所述第二隔板中的一个的所述第一避让孔(241)的孔壁上设置有第一缺口(243)，另一个的所述第二避让孔(242)的孔壁上设置有第二缺口(244)，所述第一缺口(243)和所述第二缺口(244)错位设置，所述第一出气槽(532)与相邻的所述第二隔板上的所述第一缺口(243)或者所述第二缺口(244)错位设置并相互连通；
所述第三隔板包括朝向所述盖体(60)的第三表面和朝向所述底托(70)的第四表面，所述第三表面上设置有第二进气槽(533)，所述第二进气槽(533)与相邻的所述第二隔板上的所述第一缺口(243)或者所述第二缺口(244)错位设置并相互连通，所述第四表面上设置有与所述第二进气槽(533)连通的第二出气槽，所述第二出气槽与所述出气口相连通。
7.根据权利要求6所述的泵体组件，其特征在于，所述第一进气槽(531)通过第一连通通道所述第一出气槽(532)相通道，所述第一连通通道位于所述第一隔板内，所述第二进气槽(533)通过第二连通通道与所述第二出气槽相连通，所述第二连通通道位于所述第三隔板内。
8.根据权利要求6所述的泵体组件，其特征在于，所述壳体包括第一本体部(511)和与所述第一本体部(511)拼接的第二本体部(521)，每个所述隔板包括第一板段(512)和与所述第一板段(512)拼接的第二板段(522)，每个所述第一板段(512)与所述第一本体部(511)为一体成型结构，每个所述第二板段(522)与所述第二本体部(521)为一体成型结构，所述第一避让孔(241)的一部分形成在所述第一板段(512)上，另一部分形成在所述第二板段(522)上，所述第二避让孔(242)的一部分形成在所述第一板段(512上，另一部分形成在所述第二板段(522)上。
9.根据权利要求8所述的泵体组件，其特征在于，所述第一本体部(511)与所述第二本体部(521)之间设置有第一拼接结构，所述第一拼接结构包括第一插槽(541)和第一插筋(542)，所述第一插槽(541)与所述第一插筋(542)相拼接，所述第一板段(512)与所述第二板段(522)之间设置有第二拼接结构，所述第二拼接结构包括第二插槽(543)和第二插筋(544)，所述第二插槽(543)与所述第二插筋(544)相拼接。
10.一种真空泵，包括泵体组件，其特征在于，所述泵体组件为权利要求5至9中任一项所述的泵体组件。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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