CN111650688B - 一种光纤微组合透镜 - Google Patents
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Abstract
本发明提供的是一种光纤微组合透镜。其特征是:它由同轴双波导光纤经热扩散制备而成。光纤微组合透镜是在恒温场中,经热扩散制备而成,精细设计的同轴双波导光纤的纤芯掺杂剂扩散后,折射率分布变为圆周对称的双驼峰型分布,可以等效为微组合透镜。本发明提供了一种纤维集成的光纤微组合透镜,同时具有制作简单、成本低的优点。本发明可用于纤维集成的微组合透镜的制备,可广泛应用于基于纤维集成的微组合透镜的微型内窥镜、细胞生物光纤成像***、光纤光镊***、微型无人机等领域。
Description
(一)技术领域
本发明涉及的是一种光纤微组合透镜,可用于纤维集成的微组合透镜的制备,可广泛应用于基于纤维集成的微组合透镜的微型内窥镜、细胞生物光纤成像***、光纤光镊***、微型无人机等领域。
(二)背景技术
随着现代工业与科学技术的发展,人们已经逐步进入到信息化时代。信息技术的快速发展要求一个完整的信息***能在尽可能小的空间内实现尽可能多的功能,这就要求实现各种功能的器件尽可能地小,向小型化、微型化方向发展。
纤维集成的微光学元件具有体积小、重量轻、设计制造灵活、制造成本低,并易于实现阵列化和批量化生产等优点,能够实现普通光学元件难以实现的功能,在光纤通信、信息处理、航空航天、生物医学、激光技术、光计算等领域具有重要的应用价值。
随着研究的不断深入,人们提出了很多微光学元件的制备方法,主要有半导体光刻工艺法、单点金刚石车削、电子束刻蚀、飞秒激光直写等。半导体光刻工艺需要用到掩模板,利用紫外光曝光,通过显影将微结构转移到光刻胶上。这种方法工艺成熟,适合大批量制作,平均成本低。缺点是加工的结构只能是平面的,加工多阶结构时需要多次套刻,对准精度要求高,成本急剧上升。单点金刚石车削加工的表面粗糙度小,一般表面粗糙度都在10nm以下,适合加工任意回转形貌的结构。加工的精度取决于刀头和机床,对机床的精度要求高,加工材料有所限制,加工结构的尺寸不能太小。电子束刻蚀分为扫描式和投影式,扫描式不需要掩模板,对准、拼接均由计算机自动控制,加工精度极高。缺点是设备复杂、成本昂贵、单次曝光面积小、制作大尺寸结构时间太长。投影式加工速度快,但掩模制备困难。两种方式都需要在真空中进行,极大地限制了其适用范围。飞秒激光加工是一种无接触、高精度的微纳光电器件加工方法,对可应用的材料具有很强的广泛性。缺点是设备成本高,加工工艺复杂,加工效率比较低。
由于制造工艺的影响,目前的透镜***在形状和尺寸等方面受到了限制。用于光纤与微光学元件纤维集成的制作技术,最近已经提出了使用诸如聚焦离子束铣削,干涉光刻,纳米压印技术,光刻,抛光技术等制造技术的不同方法,将微光学元件直接加工制造在光纤的端面上。然而他们具有加工难度大,复杂的制造装置等缺点。
而热扩散加工技术具有易于实现、成本低和操作简单等优点,热扩散技术在微机电***,光集成器件,光通信和光纤传感中具有巨大的应用潜力。光纤经过热扩散处理,会在热扩散加工区域形成平滑的折射率渐变,平滑渐变的折射率区域具有微透镜的效果。对精细设计的同轴双波导光纤进行热扩散加工,可制备纤维集成的光纤微组合透镜。
专利CN01144937.3公开了一种具备透镜功能的光纤及其制造方法,使用周期长度显示透镜功能的渐变折射率光纤,对突变折射率光纤有效。该方法能够对单模光纤进行准直,但是不具有微组合透镜的功能。
专利CN201210011571.6公开了一种大模面积的单模光纤连接器及制造方法,将阶跃型多模光纤进行纤芯掺杂元素的热扩散,形成沿径向向外减小的折射率渐变透镜,主要用于大模面积的单模光纤连接,不具备微组合透镜的功能。
专利CN201721647567.3公开了一种激光光纤准直聚焦透镜,其特点是在玻璃管一端接入光纤,另一端连接透镜。因为使用微型透镜的方式进行光束准直,无法适用***连接等情况,限制了使用的范围,而且制造比较困难。
专利US4269648A公开了一种将微球耦合透镜安装在光纤上的方法,使用粘合剂可以将微球耦合透镜安装到光纤的末端上。公开了一种在光纤端制造微透镜的方法,但是该方法制作工艺复杂,且不具备微组合透镜的功能。
专利US7013678B2公开了一种渐变折射率光纤透镜的制造方法,渐变折射率光纤透镜是光纤通信***中的重要组件,可以作为透镜使用,但是渐变折射率光纤透镜不具备微组合透镜的功能,且该方法工艺比较复杂,生产成本高。
专利US7228033B2公开了一种光波导透镜及其制造方法,通过将均匀的玻璃透镜毛坯熔接到光纤的远端,加热并拉伸透镜毛坯,使其分成两段,并将该段连接到定义锥形端的光纤上,然后将透镜毛坯加热到其软化点以上,从而形成球形透镜。该光波导透镜可以用于光束的准直或聚焦,但是该方法制造的透镜,不具备微组合透镜的功能。
本发明公开了一种光纤微组合透镜,本发明可用于纤维集成的微组合透镜的制备,可广泛应用于基于纤维集成的微组合透镜的微型内窥镜、细胞生物光纤成像***、光纤光镊***、微型无人机等领域。它采用热扩散技术,对精细设计的同轴双波导光纤在恒温场中进行热扩散处理,在热扩散区域形成圆周对称的双驼峰型分布的折射率渐变区,对热扩散后的同轴双波导光纤进行定长度切割,即可制备不同尺寸的光纤微组合透镜。与在先技术相比,由于采用了热扩散技术和精细设计的同轴双波导光纤,能够将微组合透镜集成到光纤上,并且能够在光纤上实现微组合透镜的功能,还可以低成本、批量且高效的制备纤维集成的光纤微组合透镜。
(三)发明内容
本发明的目的在于提供一种制作简单、成本低、可批量生产的一种光纤微组合透镜。
本发明的目的是这样实现的:
该光纤微组合透镜由同轴双波导光纤经热扩散制备而成。光纤微组合透镜是在恒温场中,经热扩散制备而成,精细设计的同轴双波导光纤的纤芯掺杂剂扩散后,折射率分布变为圆周对称的双驼峰型分布,可以等效为微组合透镜。
热扩散技术常用于基模场的扩展,热扩散能够使光纤中的掺杂剂分布渐变为稳定的分布。将精细设计的同轴双波导光纤放入恒温场中进行加热,光纤中的掺杂剂分布渐变为稳定的圆周对称的双驼峰型分布,且光纤的归一化频率在加热过程中不变。掺杂剂的双驼峰型分布,使同轴双波导光纤的折射率分布渐变为双驼峰型分布,光束传播过程中,向着折射率较高的区域弯曲,因此使热扩散后的同轴双波导光纤具有微组合透镜功能。
在热扩散过程中,随时间t的变化,局部掺杂浓度C可表示为:
公式(1)中D是掺杂剂扩散系数;t是加热时间。D主要取决于不同掺杂剂的种类、主体材料以及局部加热温度。在大多数情况下,考虑锗在光纤的纤芯中的扩散时,在其轴对称几何结构上,光纤的加热温度相对于径向位置r几乎是均匀不变的,并且假定扩散系数D相对于径向位置r是不变的。在实践中,忽略轴向上的掺杂剂的扩散,则在圆柱坐标系中简化扩散方程(1)为:
掺杂剂的掺杂浓度C是径向距离r与加热时间t的函数。扩散系数D也受加热温度的影响,表示为:
公式(3)中T(z)表示加热温度,单位为K,与炉内光纤的纵向位置相关;R=8.3145(J/K/mol)是理想气体常数;参数D0和Q可以从实验数据中得到。考虑初始边界条件:
其中,a为常数,表示光纤的直径。
掺杂剂局部掺杂浓度分布C可以表示为:
公式(5)中f(r)是初始浓度分布,在光纤边界表面r=a处的浓度为0。J0是第一类零阶Bessel函数,特征值αn是其正根
J0(aαn)=0 (6)
假设光纤在整个热扩散区域的折射率分布与掺杂剂分布成比例,则热扩散后光纤的折射率分布可表示为:
公式(7)中ncl和nco分别是光纤包层和中间芯的折射率。在加热温度场为1600℃时,同轴双波导光纤的折射率分布,随加热时间t的变化(如图2a)。曲线21、22、23、24分别为同轴双波导光纤加热0h、0.2h、0.4h、0.6h后,沿光纤径向方向的折射率分布。经过0.6h的热扩散处理后,同轴双波导光纤的折射率分布趋向于稳定的双驼峰型分布(如图2b)。
渐变折射率透镜已经广泛应用于准直、聚焦和耦合等光学元件和器件。渐变折射率透镜是指折射率沿轴向、径向或者球面连续变化的透镜。对于折射率径向渐变的光纤微组合透镜,光纤的中心折射率较低,且随着径向距离中心轴的距离增加先增大后减小。
同轴双波导光纤经过0.6h热扩散后,制备成的纤维集成的光纤微组合透镜的截面折射率如图3所示。图4是纤维集成的光纤微组合透镜的截面折射率的三维显示。从图中可以看出,光纤微组合透镜中心的折射率较低,并且随着径向距离中心轴的距离增加先增大后减小。
本发明制备纤维集成的光纤微组合透镜时,可对同轴双波导光纤进行精细设计,包括对中间芯和环形芯的几何尺寸、掺杂剂种类、数值孔径等进行设计。
本发明制备纤维集成的光纤微组合透镜时,是在恒温场中,经过热扩散制备而成。恒温场的温度,在1000℃以上。纤芯掺杂剂不同的同轴双波导光纤的热扩散系数不同。
本发明制备纤维集成的光纤微组合透镜时,在恒温场中加热扩散一定时间之后,对热扩散后的同轴双波导光纤进行定长度切割,即可制备不同尺寸的光纤微组合透镜。
本发明制备纤维集成的光纤微组合透镜的制备方法,其特征是包括以下步骤:
第一步,对同轴双波导光纤进行精细设计,包括对中间芯和环形芯的几何尺寸、掺杂剂种类、数值孔径等进行设计。
第二步,对同轴双波导光纤进行热扩散处理,将同轴双波导光纤放在恒温场中进行热扩散处理,加热一定时间之后,同轴双波导纤芯的折射率分布渐变为稳定的圆周对称的双驼峰型分布。
第三步,对同轴双波导光纤进行切割,将热扩散后的同轴双波导光纤进行定长度切割,即可制备不同尺寸的光纤微组合透镜。
本发明制备纤维集成的光纤微组合透镜时,经过一定时间的热扩散处理后,同轴双波导光纤的折射率分布趋向于稳定的圆周对称的双驼峰型分布,中心的折射率较低,并且随着径向距离中心轴的距离增加先增大后减小。同轴双波导光纤经过热扩散处理后,在热扩散加工区域,掺杂剂形成平滑的双驼峰型分布。掺杂剂的分布为双驼峰型分布,则同轴双波导光纤的折射率分布也为双驼峰型分布,光束传播过程中,向着折射率较高的区域弯曲,因此使热扩散后的同轴双波导光纤具有微组合透镜功能。
如图3所示,为纤维集成的光纤微组合透镜的截面折射率分布,中心的折射率较低,并且随着径向距离中心轴的距离增加先增大后减小。圆周对称的双驼峰型折射率分布,相当于微凹透镜与微凸透镜的组合,折射率较低的中心区域,相当于为凹透镜,对光线有发散作用,折射率较高的双驼峰区域,相当于微凸透镜,对光线有准直和聚焦作用。因此光束在纤维集成的光纤微组合透镜中传播时,中间和边缘的光线逐渐向折射率高的双驼峰区域弯曲,因此在微组合透镜中传输一段距离后,光束会变成中间光场能量较低的环形光束。
本发明制备的纤维集成的光纤微组合透镜,可实现对光束整形的功能,使高斯光束等整形为中间能量较低的环形光束。对纤维集成的光纤微组合透镜进行定长度切割,即可制备不同尺寸的光纤微组合透镜,实现不同需求的光束整形的功能。
本发明对同轴双波导光纤精细设计时,可以根据需要,纤芯的掺杂剂为一种或多种掺杂的不同掺杂剂。使用同轴双波导光纤进行光纤微组合透镜制备时,设计更大的中间芯和环形芯直径,或增长加热时间、提高加热温度,可以制备更大模场直径的光纤微组合透镜。使用一种或多种掺杂的不同掺杂剂,不影响光纤微组合透镜光束整形功能的实现。
本发明提供的纤维集成的光纤微组合透镜,由同轴双波导光纤经热扩散制备而成。与在先技术相比,由于采用了热扩散技术和精细设计的同轴双波导光纤,能够将微组合透镜集成到光纤上,并且能够在光纤上实现微组合透镜光束整形的功能,还可以低成本、批量且高效的制备纤维集成的光纤微组合透镜。
(四)附图说明
图1是一种纤维集成的光纤微组合透镜经热扩散制备前后折射率分布变化的示意图。
图2a是同轴双波导光纤的折射率分布随着加热时间t的变化在温度场为1600℃内的变化的示意图,而图2b是同轴双波导光纤加热0.6h后的折射率分布示意图。
图3是同轴双波导光纤加热0.6h后的截面折射率分布。
图4是同轴双波导光纤加热0.6h后的截面折射率分布的三维显示。
图5是实施例中同轴双波导光纤的截面示意图。51为同轴双波导光纤的包层,52为同轴双波导光纤的环形芯,53为同轴双波导光纤的中间芯。
图6是实施例中单模光纤+无芯光纤+光纤微组合透镜的结构示意图。61为单模光纤,62为无芯光纤,63为由同轴双波导光纤制备而成的纤维集成的光纤微组合透镜。
图7a是实施例中单模光纤+无芯光纤+光纤微组合透镜的折射率分布,图7b是实施例中单模光纤+无芯光纤+光纤微组合透镜的折射率分布的三维显示。
图8a是实施例中单模光纤+无芯光纤的纤端出射的光场分布,图8b是实施例中单模光纤+无芯光纤+光纤微组合透镜的纤端出射的光场分布,图8c是实施例中单模光纤+无芯光纤的纤端出射光场的光强分布,图8d是实施例中单模光纤+无芯光纤+光纤微组合透镜的纤端出射光场的光强分布。
图9为实施例中单模光纤+无芯光纤+光纤微组合透镜纤端出射的不同切线的光场分布。
(五)具体实施方式
下面结合具体的实施例来进一步阐述本发明。
实施例1:
本实施例同轴双波导光纤的截面示意图,如图5所示。51为同轴双波导光纤的包层,52为同轴双波导光纤的环形芯,53为同轴双波导光纤的中间芯。
本实施例纤维集成的光纤微组合透镜的制备步骤为:
第一步,对同轴双波导光纤进行精细设计,包括对中间芯和环形芯的几何尺寸、掺杂剂种类、数值孔径等进行设计。本实施例所精细设计的同轴双波导光纤的参数为,包层直径为125μm,环形芯宽度为8μm,环形芯内直径为32μm,中间芯的直径为9μm,数值孔径为0.14。同轴双波导光纤的掺杂剂种类为锗。
第二步,对同轴双波导光纤进行热扩散处理。将一段同轴双波导光纤放在恒温场中进行热扩散处理,恒温场的温度为1600℃,加热0.6h后,同轴双波导光纤的折射率分布渐变为稳定的圆周对称的双驼峰型分布。
第三步,对同轴双波导光纤进行切割,将热扩散后的同轴双波导光纤进行定长度切割,即可制备不同尺寸的光纤微组合透镜。
先取一段单模光纤,与无芯光纤焊接,在无芯光纤侧,进行定长度切割。无芯光纤的长度可以根据需要进行选择,其作用是使光束扩束。将热扩散后的同轴双波导光纤与切割后的无芯光纤进行焊接,在热扩散后的同轴双波导光纤侧进行定长度切割,使其作为纤维集成的光纤微组合透镜,组成单模光纤+无芯光纤+光纤微组合透镜的结构,如图6所示。61为单模光纤;62为定长度切割的无芯光纤,焊接在单模光纤61的纤端;63为定长度切割的热扩散后的同轴双波导光纤,作为微组合透镜焊接在无芯光纤62的纤端。
利用有限元法对光纤热扩散处理过程建立模型,对热扩散处理后折射率分布的变化进行了仿真。如图7a所示,是单模光纤+无芯光纤+光纤微组合透镜的折射率分布。所建立的仿真模型中,单模光纤61的长度为5μm,数值孔径为0.14,纤芯直径为9μm,包层直径为125μm;无芯光纤的长度为300μm,折射率与单模光纤61的包层折射率相同;纤维集成的光纤微组合透镜63的长度为500μm。图7b是实施例中单模光纤+无芯光纤+光纤微组合透镜的折射率分布的三维显示。
纤维集成的光纤微组合透镜63,具有平滑渐变的折射率分布过渡,且是稳定的圆周对称的双驼峰型分布,中心的折射率较低,并且随着径向距离中心轴的距离增加而先增大后减小。
本实施例中单模光纤、无芯光纤、光纤微组合透镜都具有圆周对称的折射率分布,对其沿轴向中心线的切面进行建模仿真。利用有限元法分别对单模光纤+无芯光纤的出射光场,单模光纤+无芯光纤+光纤微组合透镜的出射光场进行仿真。所建立的单模光纤61+无芯光纤62的仿真模型中,单模光纤61的长度为20μm,无芯光纤62的长度为300μm,真空64的长度为200μm。所建立的单模光纤+无芯光纤+光纤微组合透镜仿真模型中,单模光纤61的长度为5μm,无芯光纤62的长度为300μm,纤维集成的光纤微组合透镜63的长度为500μm,真空64的长度为200μm。仿真结果如图8所示。图8a所示,为单模光纤61+无芯光纤62的纤端出射的光场分布,图8b是单模光纤61+无芯光纤62+纤维集成的光纤微组合透镜63的纤端出射的光场分布,图8c是单模光纤61+无芯光纤62的纤端出射光场的光强分布,图8d是单模光纤61+无芯光纤62+纤维集成的光纤微组合透镜63的纤端出射光场的光强分布。
对比图8a和8b,分别为单模光纤61+无芯光纤62和单模光纤61+无芯光纤62+纤维集成的光纤微组合透镜63的纤端出射的光场分布。光束在无芯光纤62中传播时,光束直径逐渐变大,在纤维集成的光纤微组合透镜63中传播时,中间和边缘的光线逐渐向折射率高的区域弯曲,因此光束逐渐变成中间光场能量低的环形光束。对比单模光纤61+无芯光纤62与单模光纤61+无芯光纤62+纤维集成的光纤微组合透镜63的纤端出射的光场分布,本发明提供的光纤微组合透镜63具有光束整形的功能。
对比图8c和8d,分别为单模光纤61+无芯光纤62和单模光纤61+无芯光纤62+纤维集成的光纤微组合透镜63的纤端出射光场的光强分布。光纤端出射光场的光强分布取其光束出射时,光场分布能量最大值的1/2e。对比可以看出,光束在纤维集成的光纤微组合透镜63中传播时,中间和边缘的光线逐渐向折射率高的区域弯曲,光束逐渐变成中间光强低的环形光束,并在真空64中稳定传播。本发明提供的光纤微组合透镜63,实现了特殊的功能。
图9为实施例中单模光纤61+无芯光纤62+纤维集成的光纤微组合透镜63纤端出射的不同切线的光场分布。光束在轴向方向传播时,在无芯光纤62中,光束直径逐渐变大,在纤维集成的光纤微组合透镜63中传播时,光束逐渐变成中间光场能量低的环形光束,并在真空64中稳定传播。
本发明实施例提供的纤维集成的光纤微组合透镜,能够将微组合透镜集成到光纤上,并且能够在光纤上实现微组合透镜的功能。与在先技术相比,由于采用了热扩散技术和精细设计的同轴双波导光纤,可以低成本、批量且高效的制备纤维集成的光纤微组合透镜。
以上所述,仅为本发明的优选实施例,但本发明的保护范围并不局限于此。任何本领域的技术人员根据本发明的精神和范围,对本发明进行各种改动和变化,均应包含在本发明权利要求保护范围内。
Claims (5)
1.一种光纤微组合透镜,其特征在于:由精细设计的同轴双波导光纤在恒温场中经热扩散制备而成,精细设计的同轴双波导光纤的纤芯掺杂剂扩散后,折射率分布变为圆周对称的双驼峰型分布,等效为微组合透镜。
2.根据权利要求1所述的光纤微组合透镜,是在恒温场中,经过热扩散制备而成,恒温场的温度,在1000℃以上。
3.根据权利要求1所述的光纤微组合透镜,在恒温场中加热扩散一定时间之后,对热扩散后的同轴双波导光纤进行定长度切割,制备不同尺寸的光纤微组合透镜。
4.根据权利要求1所述的光纤微组合透镜,对同轴双波导光纤进行精细设计,同轴双波导光纤具有不同的中间芯和环形芯的几何尺寸、掺杂剂种类、数值孔径。
5.根据权利要求1所述的光纤微组合透镜的制备方法,其特征是包括如下步骤:
1)、对同轴双波导光纤进行精细设计
对中间芯和环形芯的几何尺寸、掺杂剂种类、数值孔径进行设计;
2)、对同轴双波导光纤进行热扩散处理
将同轴双波导光纤放在恒温场中进行热扩散处理,加热一定时间之后,同轴双波导光纤的折射率分布渐变为稳定的圆周对称的双驼峰型分布;
3)、对同轴双波导光纤进行切割
对热扩散后的同轴双波导光纤进行定长度切割,制备不同尺寸的光纤微组合透镜。
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