CN111551037A - 一种两端带水冷的工艺管 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种两端带水冷的工艺管，包括工艺管主体、水冷套、进出水嘴、前后固定法兰、炉门密封圈、密封压紧法兰、工艺管密封圈、后炉门、前炉门、片舟和硅片和设备架体，设备架体的内壁通过前后固定法兰固定安装有工艺管主体，工艺管主体两端靠近设备架体的位置处通过前后固定法兰固定安装有水冷套。本发明在两端炉口对密封处热辐射产生的温度，对炉门密封圈的影响，以及加热器对工艺管主体产生的热量，使其内部冷却水的快速流动将热量带走，很好阻断了因工艺管主体传导来的热量对炉门密封圈和工艺管密封圈的热影响，使炉门密封圈和工艺管密封圈处的温度保持低温，保证了密封效果和明显延长炉门密封圈和工艺管密封圈的使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及光伏技术领域，具体为一种两端带水冷的工艺管。
背景技术
光伏领域都是管式炉设备(卧式)形式，保护炉口密封圈的方式都是在前后固定法兰上设置冷却水道，对密封圈附近进行冷却实现目的，但是，密封圈和法兰接触一侧可以有冷却效果，但是密封圈和工艺管接触的一侧，由于工艺管的热传导是必然存在的无法隔绝，所以密封圈接触工艺管的整个环形面都是高温环境，所以造成密封圈很快老化、失效，虽然在选择密封圈材质上花费了很高代价选择耐温高的材质(耐温高的材质价格会是普通密封材质数倍或十数倍价格)，但还是寿命低，是因为不能解决炉内高温随工艺管传导给密封圈的热量造成的密封圈失效问题，因此，亟需一种两端带水冷的工艺管来解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种两端带水冷的工艺管，以解决上述背景技术中提出由于工艺管的热传导是必然存在的无法隔绝，所以密封圈接触工艺管的整个环形面都是高温环境，所以造成密封圈很快老化、失效，虽然在选择密封圈材质上花费了很高代价选择耐温高的材质(耐温高的材质价格会是普通密封材质数倍或十数倍价格)，但还是寿命低，是因为不能解决炉内高温随工艺管传导给密封圈的热量造成的密封圈失效问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种两端带水冷的工艺管，包括工艺管主体、水冷套、进出水嘴、前后固定法兰、炉门密封圈、密封压紧法兰、工艺管密封圈、后炉门、前炉门、片舟和硅片和设备架体，所述设备架体的内壁通过前后固定法兰固定安装有工艺管主体，所述工艺管主体两端靠近设备架体的位置处通过前后固定法兰固定安装有水冷套，且水冷套的表面套设有密封压紧法兰和工艺管密封圈，所述设备架体的一侧外壁通过炉门密封圈固定安装有前炉门，所述设备架体的另一侧外壁通过炉门密封圈固定安装有后炉门，所述工艺管主体的外表面固定套装有加热器，且工艺管主体内部设置有片舟和硅片。
优选的，所述工艺管主体两端的端口上下处皆设置有进出水嘴，且进出水嘴设置有两组。
优选的，所述前后固定法兰和密封压紧法兰之间的位置处压紧有工艺管密封圈，且水冷套、密封压紧法兰和前后固定法兰之间通过工艺管密封圈进行压紧密封。
优选的，所述水冷套的内部皆开设有冷却水道，且冷却水道与炉门密封圈和工艺管密封圈紧密贴合。
优选的，所述炉门密封圈设置有两组，所述前炉门和后炉门之间通过炉门密封圈形成密闭工艺腔室。
优选的，所述后炉门中心处设置有抽气口，抽气口与工艺管主体内部相连通，且抽气口在后炉门的外侧，固定安装有尾排***(未标示)。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明很好解决了由于加热器产生的高热量，在两端炉口对密封处热辐射产生的温度，对炉门密封圈的影响，以及加热器对工艺管主体产生的热量，通过工艺管主体本体所传导的热量对工艺管密封圈处的热影响，都是经过端部的水冷套，使其内部冷却水的快速流动将热量带走，可以很好阻断了因工艺管主体传导来的热量对炉门密封圈和工艺管密封圈的热影响，从而使炉门密封圈和工艺管密封圈处的温度保持低温，保证了密封效果和明显延长炉门密封圈和工艺管密封圈的使用寿命，当然也明显降低了设备更换炉门密封圈和工艺管密封圈的停机率，明显提高设备产量，其整体结构设计轻便、灵巧、安全、可靠，制作成本低，适用于大规模的生产化使用。
附图说明
图1为本发明的结构正视剖面示意图；
图2为本发明的图1中A处结构放大示意图；
图3为本发明的图1中B处结构放大示意图。
图中：1、工艺管主体；2、水冷套；3、进出水嘴；4、前后固定法兰；5、密封压紧法兰；6、炉门密封圈；7、工艺管密封圈；8、后炉门；9、前炉门；10、加热器；11、片舟和硅片；12、设备架体；13、抽气口；14、冷却水道。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3，本发明提供的一种实施例：一种两端带水冷的工艺管，包括工艺管主体1、水冷套2、进出水嘴3、前后固定法兰4、炉门密封圈6、后炉门8、前炉门9、片舟和硅片11和设备架体12，设备架体12的内壁通过前后固定法兰4固定安装有工艺管主体1，根据附图1，附图2和附图3所示，工艺管主体1两端的端口上下处皆设置有进出水嘴3，且进出水嘴3设置有两组，水嘴3分别在水冷套2上、下布置，进行焊接，不漏水，也可以在水冷套2内部设置挡水板，挡水板两侧进行进出水嘴3的焊接，挡水板是水道内的隔墙不让进、出水水道内部短路作用，而让进水必须走完设置的完整环形通道在出口流出，形成很好冷却作用，水嘴3和外部的供水***连接(未标示)
工艺管主体1两端靠近设备架体12的位置处通过前后固定法兰4固定安装有水冷套2，且水冷套2的表面套设有密封压紧法兰5和工艺管密封圈(7)，前后固定法兰4和密封压紧法兰5之间的位置处压紧有工艺管密封圈7，且水冷套2、密封压紧法兰5和前后固定法兰4之间通过工艺管密封圈7进行压紧密封，起到密封作用，根据附图1，附图2和附图3所示，水冷套2的内部皆开设有冷却水道14，且冷却水道14与炉门密封圈6和工艺管密封圈7紧密贴合，由于加热器10的工作，使得炉门密封圈6和工艺管密封圈7产生的高热量，使经过水冷套2端口处冷却水道14内部冷却水的快速流动将热量带走，可以很好阻断了因工艺管主体1传导来的热量对炉门密封圈6和工艺管密封圈7的热影响，从而使炉门密封圈6和工艺管密封圈7处的温度保持低温，保证了密封效果和明显延长炉门密封圈6和工艺管密封圈7的使用寿命，当然也明显降低了设备更换炉门密封圈6和工艺管密封圈7的停机率，明显提高设备产量。
设备架体12的一侧外壁通过炉门密封圈6固定安装有前炉门9，设备架体12的另一侧外壁通过炉门密封圈6固定安装有后炉门8，工艺管主体1的外表面固定套装有加热器10，且工艺管主体1内部设置有片舟和硅片11，炉门密封圈6设置有两组，前炉门9和后炉门8之间通过炉门密封圈6形成密闭工艺腔室，以方便加热器10的工作在密闭工艺腔室迅速产生热量，后炉门8的中心处设置有抽气口13，抽气口13与工艺管主体1内部相连通，且抽气口13在后炉门的外侧，固定安装有尾排***(未标示)，通过抽气口13的设计，方便尾气的排放操作。
工作原理：准备使用前，工作人员将开启外部的冷却水***(未标示)通过下部的水嘴3进入水道14，再从上部的水嘴3流出，形成连续冷却水供水***，当加热器10工作，加热器的热辐射将工艺管主体1和内部的片舟和硅片11进行工艺加热，工艺管主体1开始产生热量时，热量对两端后炉门8和前炉门9密封处炉门密封圈6的热辐射产生的温度，以及加热器10对工艺管主体1产生的热量，通过，工艺管主体1所传导的热量对工艺管密封圈7处的热影响，由于有了端部的水冷套2以及冷却水道14的设计，以及冷却水道14与工艺管密封圈7和炉门密封圈6的紧密贴合作用，使得冷却水道14内部冷却水的快速流动将炉门密封圈6和工艺管密封圈7处热量带走，从而使炉门密封圈6和工艺管密封圈7处的温度保持低温，保证了密封效果和明显延长密封圈的使用寿命，当然也明显降低了设备更换炉门密封圈6和工艺管密封圈7的停机率，明显提高设备产量，上为本发明的全部工作原理。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种两端带水冷的工艺管，包括工艺管主体(1)、水冷套(2)、进出水嘴(3)、前后固定法兰(4)、炉门密封圈(6)、工艺管密封圈(7)、密封压紧法兰(5)后炉门(8)、前炉门(9)、片舟和硅片(11)和设备架体(12)，其特征在于：所述设备架体(12)的内壁通过前后固定法兰(4)固定安装有工艺管主体(1)，所述工艺管主体(1)两端靠近设备架体(12)的位置处通过前后固定法兰(4)固定安装有水冷套(2)，且水冷套(2)的表面套设有密封压紧法兰(5)和工艺管密封圈(7)，所述设备架体(12)的一侧外壁通过炉门密封圈(6)固定安装有前炉门(9)，所述设备架体(12)的另一侧外壁通过炉门密封圈(6)固定安装有后炉门(8)，所述工艺管主体(1)的外表面固定套装有加热器(10)，且工艺管主体(1)内部设置有片舟和硅片(11)。
2.根据权利要求1所述的一种两端带水冷的工艺管，其特征在于：所述工艺管主体(1)两端的端口上下处皆设置有进出水嘴(3)，且进出水嘴(3)设置有两组。
3.根据权利要求1所述的一种两端带水冷的工艺管，其特征在于：所述前后固定法兰(4)和密封压紧法兰(5)之间的位置处压紧有工艺管密封圈(7)，且水冷套(2)、密封压紧法兰(5)和前后固定法兰(4)之间通过工艺管密封圈(7)进行压紧密封。
4.根据权利要求1所述的一种两端带水冷的工艺管，其特征在于：所述水冷套(2)的内部皆开设有冷却水道(14)，且冷却水道(14)与炉门密封圈(6)和工艺管密封圈(7)紧密贴合。
5.根据权利要求1所述的一种两端带水冷的工艺管，其特征在于：所述炉门密封圈(6)设置有两组，所述前炉门(9)和后炉门(8)之间通过炉门密封圈(6)形成密闭工艺腔室。
6.根据权利要求1所述的一种两端带水冷的工艺管，其特征在于：所述后炉门(8)中心处设置有抽气口(13)，抽气口(13)与工艺管主体(1)内部相连通，且抽气口(13)在后炉门(8)的外侧，固定安装有尾排***(未标示)。
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| CN202010545036.3A CN111551037A (zh) | 2020-06-15 | 2020-06-15 | 一种两端带水冷的工艺管 |
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| CN202010545036.3A CN111551037A (zh) | 2020-06-15 | 2020-06-15 | 一种两端带水冷的工艺管 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022160547A1 (zh) * | 2021-02-01 | 2022-08-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种碳化硅外延炉反应室 |
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2020
- 2020-06-15 CN CN202010545036.3A patent/CN111551037A/zh active Pending
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|---|---|---|---|---|
| WO2022160547A1 (zh) * | 2021-02-01 | 2022-08-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种碳化硅外延炉反应室 |
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