CN111474138A - 一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量装置及测量方法 - Google Patents

一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量装置及测量方法 Download PDF

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CN111474138A CN202010314386.9A CN202010314386A CN111474138A CN 111474138 A CN111474138 A CN 111474138A CN 202010314386 A CN202010314386 A CN 202010314386A CN 111474138 A CN111474138 A CN 111474138A
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Abstract

本发明公开了一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量装置，本发明还公开了一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量方法。本发明将高频参考光路与波长调制测量光路进行耦合，实现对干扰信号的提取与探测光强的修正进而准确提取探测光强的谐波信号，提高了气体参数测量的准确性，拓展了光谱吸收法的应用范围；本发明方法具有适用性好，应用场景广泛等特点，因此本发明方法对于航空航天发动机燃烧室等复杂环境下火焰温度、组分浓度的检测具有重要的应用价值。

Description

一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量装置及测 量方法
技术领域
本发明涉及一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量装置，还涉及一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量方法，属于光学测量技术领域。
背景技术
航空发动机是一种复杂而精密的热力机械，直接影响到飞机的性能、可靠性和经济性。燃烧室是发动机必不可少的重要部件，通过燃烧释放燃料中的化学能，将化学能转化为热能，产生高温、高压燃气，提高发动机的做功能力。设计燃烧室时，需要保证燃烧稳定性好，燃烧效率高，排放污染少。燃烧产物中主要有残余空气(O2和N2)、碳氧化物(CO和CO2)、氮氧化物(NO和NO2)、未燃烃类化合物(TCH)等气体以及固态细微颗粒。其中特征气体是反映燃烧特性的重要指示性气体。它的存在表明燃料没有完全燃烧，燃烧效率有待提高。对特征气体参数的检测，有利于燃烧效率的优化，获得燃烧室设计、燃料当量比选择的重要数据。
气体检测技术按照测量原理主要分为两类：光谱法和非光谱法。非光谱法主要有化学分析法、电学式气体检测法。化学分析法能够有效地分离混合气体，但响应时间较慢。电学式气体检测法灵敏度高、探测范围广，但需要接触测量环境，且鉴别气体种类的能力较差。光谱法通过测量目标气体光谱相关参数，反演气体浓度信息，可以检测气体的种类多，具有非接触测量、响应时间快等优点，是目前气体检测的研究热点。光谱法主要有傅里叶变换红外吸收光谱法(FTIR)、可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)等。FTIR技术主要基于迈克尔逊干涉仪原理，红外光源经准直透镜准直后发出平行光，经待测气体吸收后由望远镜***接收，再经过干涉仪汇聚到探测器，从而得到待测气体的干涉信号，经傅里叶变换后即可得到不同浓度下气体的吸收光谱信息，从而计算出气体的浓度。但是FTIR设备比较庞大，响应速度也相对较慢，并且价格相对昂贵，因此未来还需要一定的发展。TDLAS技术是基于半导体激光器的窄线宽特性的一种光谱测量方法，可以实现混合气体的多组分、多参数同时测量，其通用性非常强，测量分辨率高，选择合式的待测气体特征吸收谱线即可测出痕量气体的浓度。其中，基于TDLAS的波长调制光谱法(WMS)具有信噪比高和测量灵敏度高等优点，已被广泛应用于红外波段的痕量气体探测和航空航天发动机燃烧火焰温度、组分浓度检测等方面。
在复杂环境下的气体参数检测中，由于环境中湍流、强振动等干扰因素的影响，依赖传统WMS方法测量的信号将失真，无法用于提取有用的信息。例如，在航空发动机燃烧诊断过程中，发动机点火和燃烧阶段的强振动、燃烧流场的强湍流将对透射光强带来严重干扰，影响发动机燃烧诊断测量精度。对此，在对实验信号进行处理时，可以采用光强多周期平均的方式对噪声进行抑制。波长调制技术通过叠加高频调制信号，将高频吸收信号与低频噪声在频域上进行分离，借助锁相滤波技术，将吸收信号在特定倍频处解调出来，从而有效地抑制了低频噪声干扰。然而，目前对航空发动机燃烧诊断使用的调制频率仍然较低，多在200kHz以下。提高传统WMS方法的调制频率，又容易引起激光控制器对激光出光中心控制不稳、探测器带宽不足、采集设施不能满足要求等问题。此外，在机械振动和火焰抖动严重等测量环境中，尤其是对超燃发动机的瞬态流场而言，干扰频率和调制频率相当，极易产生串扰，无法实现干扰和吸收信号在频域上的分离，严重影响了测量精度。
发明内容
发明目的：本发明所要解决的技术问题是提供一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量装置。
本发明还要解决的技术问题是提供一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量方法，该测量方法通过从原始光强信号中提取出有效信息，能够极大的提高复杂环境下气体参数测量的准确性。
为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案为：
一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量装置，依次包括信号发生模块、气体参数测量模块、信号接收模块以及信号处理模块；其中，信号发生模块包括函数发生器、激光控制器、分布式反馈激光器和光纤分束器；气体参数测量模块包括光学标准具和测量池；信号接收模块由三个光电探测器组成；测量池中充有待测气体；函数发生器将扫描叠加调制信号输入激光控制器I中，激光控制器I对分布式反馈激光器I的输出波长、光强进行调谐；同时函数发生器将调制信号输入激光控制器II中，激光控制器II对分布式反馈激光器II的输出波长、光强进行调谐；两束激光耦合后依次通过两个光纤分束器分成三束光信号，其中一束由激光发射端穿过测量池，经待测气体吸收后被光电探测器I接收并转换为电信号，得到透射光强信号；另一束光信号经光学标准具后被光电探测器II接收，得到标准具信号进行时间频率转换；最后一束光信号直接被光电探测器III接收得到背景信号，三路信号均由对应的光电探测器传输至信号处理模块进行处理。
一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量方法，具体包括如下步骤：
(1)函数发生器将扫描频率为fs的信号叠加调制频率fm信号并通过其内部的通道一输入激光控制器I中，激光控制器I对DFB激光器I的输出波长和光强进行调谐；
(2)函数发生器将调制频率fref信号通过其内部的通道二输入激光控制器II中，激光控制器II对DFB激光器II的输出波长和光强进行调谐；
(3)将步骤(1)的调制光与步骤(2)的调制光进行耦合，并经光纤分束器分为三束光信号，一束由激光发射端穿过测量池，经待测气体吸收后被光电探测器I接收并转换为电信号，得到透射光强信号It(t)；一束经过光学标准具，由光电探测器II采集标准具信号Iv(t)；另一束直接由光电探测器III采集，得到背景光强信号I0(t)；
(4)由标准具信号Iv(t)得到时间频率响应特性υ(t)；
(5)透射光强信号It(t)进行数字锁相、低通滤波处理，在处理过程中，数字锁相、低通滤波的参数依据参考频率fref进行设置，得到一次谐波信号S1f，将透射光强信号It(t)除以一次谐波信号
Figure BDA0002457100980000031
后得到修正后的光强信号
Figure BDA0002457100980000032
(6)对背景光强信号I0(t)以及修正后的光强信号
Figure BDA0002457100980000033
分别进行数字锁相、低通滤波处理，在处理过程中，数字锁相、低通滤波的参数依据调制频率fm进行设置，得到各自对应的一、二次谐波信号；
(7)依据Beer-Lambert定律，将步骤(6)得到的光强信号的一、二次谐波信号进行进一步处理，得到归一化二次谐波信号，利用背景光强信号I0(t)和步骤(4)所得时间频率响应特性得到仿真的归一化二次谐波信号，最后根据得到的归一化二次谐波以及仿真的归一化二次谐波信号用最小二乘算法拟合出积分吸收面积A，通过积分吸收面积A计算出待测气体浓度值。
其中，步骤(5)中，修正后的光强信号
Figure BDA0002457100980000034
由如下公式计算得到：
Figure BDA0002457100980000035
Figure BDA0002457100980000036
Figure BDA0002457100980000037
式(1)中，
Figure BDA0002457100980000038
为透射光强信号It(t)对应的参考频率fref下的一、二次谐波x分量和y分量，F为低通滤波器；
式(2)中，
Figure BDA0002457100980000041
为透射光强信号It(t)对应的参考频率fref下的一次谐波信号；
式(3)中，
Figure BDA0002457100980000042
为修正后的光强信号。
其中，步骤(6)中，背景光强信号I0(t)的一、二次谐波信号以及修正后的光强信号
Figure BDA0002457100980000043
的一、二次谐波信号由如下公式计算得到：
Figure BDA0002457100980000044
Figure BDA0002457100980000045
式(4)中，
Figure BDA0002457100980000046
为背景光强信号I0(t)对应的一、二次谐波x分量和y分量，
Figure BDA0002457100980000047
分别为修正后的光强信号
Figure BDA0002457100980000048
对应的一、二次谐波x分量和y分量，F为低通滤波器；
式(5)中，
Figure BDA0002457100980000049
为背景光强信号I0(t)的一、二次谐波信号，
Figure BDA00024571009800000410
为修正后的光强信号
Figure BDA00024571009800000411
的一、二次谐波信号。
其中，步骤(7)中，扣除背景光强信号I0(t)的归一化二次谐波信号S2f/1f表示为：
Figure BDA00024571009800000412
该算法将积分吸收面积A、谱线碰撞展宽ΔvC、多普勒展宽ΔvD和激光中心频率v0作为拟合参数参与对S2f/1f的最小二乘拟合，对仿真的(标准具)和实验的光强信号进行数字锁相低通滤波及扣除背景归一化处理，得到仿真光强的扣除背景归一化谐波信号
Figure BDA00024571009800000413
和实验光强的扣除背景归一化谐波信号S2f/1f；使用最小二乘算法对光谱吸收率进行拟合，根据最小二乘拟合算法，当
Figure BDA00024571009800000414
和S2f/1f残差最小时收敛，得到最佳拟合参数A；
依据Beer-Lambert定律，积分吸收面积A与气体浓度之间的关系表示为：
Figure BDA0002457100980000051
式(7)中，X为待测气体浓度，P为气体总压力，S(T)为跃迁谱线的线强，T为气体温度，Xgas是气体浓度，L为光程长，A为积分吸收面积。
有益效果：相对于现有的波长调制光谱技术，本发明将高频参考光路与波长调制测量光路进行耦合，实现了对干扰信号的提取与探测光强的修正进而准确提取探测光强的谐波信号，提高了气体参数测量的准确性，拓展了光谱吸收法的应用范围；本发明方法具有适用性好，应用场景广泛等特点，因此，本发明方法能够应用于航空航天发动机燃烧室等复杂环境下火焰温度以及组分浓度的检测。
附图说明
图1为本发明气体浓度测量装置的***原理图；
图2为本发明气体浓度测量方法的流程图；
图3为搭建的验证***示意图；
图4为现有技术方法未采用参考光信号对光强信号进行修正时得到的甲烷浓度结果；
图5为本发明方法采用参考光信号对WMS信号进行光强修正后得到的甲烷浓度结果。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的技术方案做进一步说明，但是本发明要求保护的范围并不局限于此。
如图1所示，本发明基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量装置，其能够实现强干扰下对气体浓度进行测量，测量装置依次包括信号发送模块1、气体参数测量模块2、信号接收模块3和信号处理模块4；信号发生模块1包括函数发生器5、激光控制器I6、激光控制器II7、分布式反馈激光器(DFB)I8、分布式反馈激光器(DFB)II9和光纤分束器10；气体参数测量模块2包括光学标准具12和测量池11；信号接收模块3由三个光电探测器13组成；待测气体通入测量池11中；函数发生器5通过其内部通道一将扫描叠加调制信号输入激光控制器I6中，激光控制器I6对DFB激光器I8的输出波长和光强进行调谐，同时函数发生器5通过其内部通道二将调制信号输入激光控制器II7中，激光控制器II7对DFB激光器II9的输出波长和光强进行调谐，DFB激光器I8发出的激光与DFB激光器II9发出的激光进行耦合，通过两个光纤分束器10分成三束光信号，一束由激光发射端穿过测量池11，带气体吸收信号的光被光电探测器13接收并转换为电信号，得到透射光强信号；一束经过光学标准具12后被光电探测器13接收，得到标准具信号；另一束光信号直接被光电探测器13接收得到背景信号；三路信号均传输至信号处理模块4进行处理。其中，分布式反馈激光器能够持续发出稳定的激光，其波长根据所需测量的气体而定。
如图2所示，本发明基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量方法，具体包括如下步骤：
步骤1，函数发生器5将扫描频率为fs信号叠加调制频率fm信号通过通道一输入激光控制器I6中，激光控制器I6对DFB激光器I8的输出波长和光强进行调谐；
步骤2，函数发生器5将调制频率fref信号通过通道二输入激光控制器II2中，激光控制器II6对DFB激光器II9的输出波长和光强进行调谐；
步骤3，将步骤1的调制光与步骤2的调制光进行耦合，并经光纤分束器10分为三束，一束由激光发射端穿过测量池11，经待测气体吸收后被光电探测器13接收并转换为电信号，得到透射光强信号It(t)；一束经过光学标准具12，由光电探测器13采集，得到标准具信号Iv(t)；另一束直接由光电探测器13采集，得到背景光强信号I0(t)；
步骤4，由标准具信号Iv(t)得到时间频率响应特性υ(t)；
步骤5，透射光强信号It(t)进行数字锁相、低通滤波处理，在处理过程中，数字锁相、低通滤波的参数依据参考频率fref进行设置，得到一次谐波信号S1f，将透射光强信号It(t)除以一次谐波信号
Figure BDA0002457100980000061
后得到修正后的光强信号
Figure BDA0002457100980000062
修正后的光强信号
Figure BDA0002457100980000063
由如下公式计算得到：
Figure BDA0002457100980000064
Figure BDA0002457100980000065
Figure BDA0002457100980000066
式(1)中，
Figure BDA0002457100980000067
为透射光强信号It(t)对应的参考频率fref下的一、二次谐波x分量和y分量，F为低通滤波器；
式(2)中，
Figure BDA0002457100980000071
为透射光强信号It(t)对应的参考频率fref下的一次谐波信号；
式(3)中，
Figure BDA0002457100980000072
为修正后的光强信号；
步骤6，对背景光强信号I0(t)以及修正后的光强信号
Figure BDA0002457100980000073
分别进行数字锁相、低通滤波处理，在处理过程中，数字锁相、低通滤波的参数依据调制频率fm进行设置，得到各自对应的一、二次谐波信号；
背景光强信号I0(t)的一、二次谐波信号以及修正后的光强信号
Figure BDA0002457100980000074
的一、二次谐波信号由如下公式计算得到：
Figure BDA0002457100980000075
Figure BDA0002457100980000076
式(4)中，
Figure BDA0002457100980000077
为背景光强信号I0(t)对应的一、二次谐波x分量和y分量，
Figure BDA0002457100980000078
分别为修正后的光强信号
Figure BDA0002457100980000079
对应的一、二次谐波x分量和y分量，F为低通滤波器；
式(5)中，
Figure BDA00024571009800000710
为背景光强信号I0(t)的一、二次谐波信号，
Figure BDA00024571009800000711
为修正后的光强信号
Figure BDA00024571009800000712
的一、二次谐波信号；
步骤7，依据Beer-Lambert定律，将步骤(6)得到的光强信号的一、二次谐波信号进行进一步处理，得到归一化二次谐波信号，利用背景光强信号I0(t)和步骤(4)所得时间频率响应特性得到仿真的归一化二次谐波信号，最后根据得到的归一化二次谐波以及仿真的归一化二次谐波信号用最小二乘算法拟合出积分吸收面积A，通过积分吸收面积A计算出待测气体浓度值；
扣除背景光强信号I0(t)的归一化二次谐波信号S2f/1f可以表示为：
Figure BDA0002457100980000081
该算法将积分吸收面积A、谱线碰撞展宽ΔvC、多普勒展宽ΔvD和激光中心频率v0作为拟合参数参与对S2f/1f的最小二乘拟合，对仿真的和实验的光强信号进行数字锁相低通滤波及扣除背景归一化处理，得到仿真光强的扣除背景归一化谐波信号
Figure BDA0002457100980000082
和实验光强的扣除背景归一化谐波信号S2f/1f；使用最小二乘算法对光谱吸收率进行拟合，根据最小二乘拟合算法，当
Figure BDA0002457100980000083
和S2f/1f残差最小时收敛，可得到最佳拟合参数A；
Figure BDA0002457100980000084
式(7)中，X为待测气体浓度，P为气体总压力，S(T)为跃迁谱线的线强，T为气体温度，Xgas是气体浓度，L为光程长，A为积分吸收面积。
如图3所示，图3为搭建的验证***，该验证***在第一路光路上通过扬声器发出截止频率从200Hz到10kHz的50组滤波高斯白噪声，对光强进行干扰，在这样的干扰下通过本发明方法和现有技术方法进行对比，从而说明本发明方法能有效抑制干扰信号对气体检测的影响。
验证***为：采用函数发生器5通道一发生正弦调制信号输入激光控制器I6对DFB激光器I8的输出波长进行调谐；函数发生器5通道二发生正弦信号输入激光控制器II7对DFB激光器II9的输出波长进行调谐。其中DFB激光器I8中心波数选为甲烷吸收谱线的中心(6046.95cm-1)，DFB激光器II9中心波数选为甲烷无吸收处(6050.45cm-1)；两束激光经过光纤耦合器后分为两路：第一路激光通过长度为20cm的气体吸收池11后再经固定在扬声器14(LS77W-35F-R8)上的反射膜反射，最终被光电探测器13接收并转换为电信号获得透射光强；其中扬声器14用于产生不同频率及不同幅值的干扰信号；第二路激光先经过光纤分束器分成两路，其中一路直接由光电探测器13接收获得入射光强；另外一路激光通过光学标准具12(自由谱间距为0.01cm-1)并由光电探测器13接收得到标准具信号，获得激光器频率响应特性关系；通过扬声器14发出截止频率从200Hz到10kHz的50组滤波高斯白噪声，对光强进行干扰。
图4为验证***采用现有技术方法未采用参考光信号对光强信号进行修正时计算出的甲烷浓度。当干扰频率范围在5kHz以下时，甲烷浓度的方差在0.06％以下，波动性较小。当干扰频率范围达到5kHz以上时，甲烷浓度的波动性变大；并随着干扰频率范围的加大，甲烷浓度的误差越来越大，浓度的波动性也越来越大。
图5为验证***采用本发明方法，采用参考光信号对WMS信号进行光强修正后计算出的甲烷浓度结果。修正过后的甲烷浓度的误差均在±1％以内，且方差都在0.02％以下，波动性较小。通过实验验证不同干扰情况下，分析修正前与修正后谐波信号及甲烷浓度计算结果，可以看出通过高频参考光信号提取干扰信号，再对WMS信号修正的方法具有可行性，能有效抑制干扰信号对气体检测的影响。

Claims (5)

1.一种基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量装置，其特征在于：依次包括信号发生模块、气体参数测量模块、信号接收模块以及信号处理模块；其中，信号发生模块包括函数发生器、激光控制器、分布式反馈激光器和光纤分束器；气体参数测量模块包括光学标准具和测量池；信号接收模块由三个光电探测器组成；测量池中充有待测气体；函数发生器将扫描叠加调制信号输入激光控制器I中，激光控制器I对分布式反馈激光器I的输出波长、光强进行调谐；同时函数发生器将调制信号输入激光控制器II中，激光控制器II对分布式反馈激光器II的输出波长、光强进行调谐；两束激光耦合后依次通过两个光纤分束器分成三束光信号，其中一束由激光发射端穿过测量池，经待测气体吸收后被光电探测器I接收并转换为电信号，得到透射光强信号；另一束光信号经光学标准具后被光电探测器II接收，得到标准具信号进行时间频率转换；最后一束光信号直接被光电探测器III接收得到背景信号，三路信号均由对应的光电探测器传输至信号处理模块进行处理。
2.权利要求1所述的基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量方法，其特征在于，具体包括如下步骤：
(1)函数发生器将扫描频率为fs的信号叠加调制频率fm信号并通过其内部的通道一输入激光控制器I中，激光控制器I对DFB激光器I的输出波长和光强进行调谐；
(2)函数发生器将调制频率fref信号通过其内部的通道二输入激光控制器II中，激光控制器II对DFB激光器II的输出波长和光强进行调谐；
(3)将步骤(1)的调制光与步骤(2)的调制光进行耦合，并经光纤分束器分为三束光信号，一束由激光发射端穿过测量池，经待测气体吸收后被光电探测器I接收并转换为电信号，得到透射光强信号It(t)；一束经过光学标准具，由光电探测器II采集标准具信号Iυ(t)；另一束直接由光电探测器III采集，得到背景光强信号I0(t)；
(4)由标准具信号Iυ(t)得到时间频率响应特性υ(t)；
(5)透射光强信号It(t)进行数字锁相、低通滤波处理，在处理过程中，数字锁相、低通滤波的参数依据参考频率fref进行设置，得到一次谐波信号S1f，将透射光强信号It(t)除以一次谐波信号
Figure FDA0002457100970000011
后得到修正后的光强信号
Figure FDA0002457100970000012
(6)对背景光强信号I0(t)以及修正后的光强信号
Figure FDA0002457100970000013
分别进行数字锁相、低通滤波处理，在处理过程中，数字锁相、低通滤波的参数依据调制频率fm进行设置，得到各自对应的一、二次谐波信号：
(7)依据Beer-Lambert定律，将步骤(6)得到的光强信号的一、二次谐波信号进行进一步处理，得到归一化二次谐波信号，利用背景光强信号I0(t)和步骤(4)所得时间频率响应特性得到仿真的归一化二次谐波信号，最后根据得到的归一化二次谐波以及仿真的归一化二次谐波信号用最小二乘算法拟合出积分吸收面积A，通过积分吸收面积A计算出待测气体浓度值。
3.根据权利要求2所述的基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量方法，其特征在于：步骤(5)中，修正后的光强信号
Figure FDA0002457100970000026
由如下公式计算得到：
Figure FDA0002457100970000021
Figure FDA0002457100970000022
Figure FDA0002457100970000023
式(1)中，
Figure FDA0002457100970000027
为透射光强信号It(t)对应的参考频率fref下的一、二次谐波x分量和y分量，F为低通滤波器；
式(2)中，
Figure FDA0002457100970000028
为透射光强信号It(t)对应的参考频率fref下的一次谐波信号；
式(3)中，
Figure FDA0002457100970000029
为修正后的光强信号。
4.根据权利要求2所述的基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量方法，其特征在于：步骤(6)中，背景光强信号I0(t)的一、二次谐波信号以及修正后的光强信号
Figure FDA00024571009700000210
的一、二次谐波信号由如下公式计算得到：
Figure FDA0002457100970000024
Figure FDA0002457100970000025
Figure FDA0002457100970000031
式(4)中，
Figure FDA0002457100970000032
为背景光强信号I0(t)对应的一、二次谐波x分量和y分量，
Figure FDA0002457100970000033
分别为修正后的光强信号
Figure FDA0002457100970000036
对应的一、二次谐波x分量和y分量，F为低通滤波器；
式(5)中，
Figure FDA0002457100970000037
为背景光强信号I0(t)的一、二次谐波信号，
Figure FDA0002457100970000038
为修正后的光强信号
Figure FDA0002457100970000039
的一、二次谐波信号。
5.根据权利要求2所述的基于高频参考光频分复用技术的气体浓度测量方法，其特征在于：步骤(7)中，扣除背景光强信号I0(t)的归一化二次谐波信号S2f/1f表示为：
Figure FDA0002457100970000034
该算法将积分吸收面积A、谱线碰撞展宽ΔvC、多普勒展宽ΔvD和激光中心频率v0作为拟合参数参与对S2f/1f的最小二乘拟合，对仿真的和实验的光强信号进行数字锁相低通滤波及扣除背景归一化处理，得到仿真光强的扣除背景归一化谐波信号
Figure FDA00024571009700000310
和实验光强的扣除背景归一化谐波信号S2f/1f；使用最小二乘算法对光谱吸收率进行拟合，根据最小二乘拟合算法，当
Figure FDA00024571009700000311
和S2f/1f残差最小时收敛，得到最佳拟合参数A；
依据Beer-Lambert定律，积分吸收面积A与气体浓度之间的关系表示为：
Figure FDA0002457100970000035
式(7)中，X为待测气体浓度，P为气体总压力，S(T)为跃迁谱线的线强，T为气体温度，Xgas是气体浓度，L为光程长，A为积分吸收面积。
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