CN111473958B - 一种伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置与方法 - Google Patents

一种伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置与方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111473958B
CN111473958B CN202010309424.1A CN202010309424A CN111473958B CN 111473958 B CN111473958 B CN 111473958B CN 202010309424 A CN202010309424 A CN 202010309424A CN 111473958 B CN111473958 B CN 111473958B
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical
frequency
optical filter
pseudo
amplitude
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010309424.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111473958A (zh
Inventor
张尚剑
袁念颖
何禹彤
刘永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
University of Electronic Science and Technology of China
Original Assignee
University of Electronic Science and Technology of China
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by University of Electronic Science and Technology of China filed Critical University of Electronic Science and Technology of China
Priority to CN202010309424.1A priority Critical patent/CN111473958B/zh
Publication of CN111473958A publication Critical patent/CN111473958A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111473958B publication Critical patent/CN111473958B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

本发明公开了一种伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置与方法,旨在提供一种无需扫频、灵活可调、宽范围的光器件幅频响应测量方法。本发明将激光器产生的光载波分为两路,上光支路通过电光调制器被码型发生模块产生的伪随机信号调制,产生的光信号入射到待测光滤波器,下光支路连接移频器,上下两支路的光信号合束后由光电探测器进行光电转换,通过频谱分析模块获取特定频点的幅度值,将待测光滤波器撤除,频谱分析模块再一次获取特定频点的幅度值,两次数据对比即可获取待测器件的幅频响应,本方法无需扫频,提高了测量效率,且将测量范围约扩展为伪随机码码率的2倍,通过码率、码长的设置还可以适应不同的测量需求。

Description

一种伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置与方法
技术领域
本发明属于光电子技术领域,具体涉及一种伪随机激励的光滤波器幅频响应测量装置与方法。
背景技术
光滤波器具有波长选择、光复用/解复用等功能,是通信***中不可或缺的光学器件,其功能与微波滤波器相似,但克服了微波滤波器存在的电子瓶颈和电磁干扰等问题。在不同的应用场景下,对光滤波器的带宽与抑制比也有不同的要求,因此为充分发挥器件性能,实现链路最优化,获取光滤波器的幅频响应具有十分重要的意义。
目前测量器件幅频响应的方式主要分为两类,一类是以干涉法(M J,Loayssa A,Tainta S,et al.On the measurement of fiber bragg grating's phase responsesand the applicability of phase Reconstruction methods[J].IEEE,2011,60(4):1416-1422.)和相移法(Tapio nieni M U,Hanne L.Limitations of Phase-Shift methodin measuring dense group delay ripple of fiber bragg gratings[J].IEEE,2001,13(12):1334-1336.)为代表的基于光域的测量方法,第二类是以光单边带扫频(Xue Min,PanShilong,Zhao Yongjiu.Large dynamic range optical vector analyzer based onoptical single-sideband modulation and Hilbert transform[J].Laser and Optics,2016,122(197):1-6.)、双边带扫频(Wen Jun,Ling Wang,Yang Cheng-wu,et al.Opticalvector network analyzer based on double-sideband modulation[J].Optics LettersLetter,2017,42(21):4426-4429.)以及移频外差(Zhang Shangjian,Wang Heng,LiuYong.Extinction-ratio-independent electrical method for measuring chirpparameters of Mach–Zehnder modulators using frequency-shifted heterodyne[J].Optics Letters,2015,40(12):2854-2857.)为代表的基于电域的测量方法。相移法与干涉法都具有大动态范围和宽测量范围的特性,缺点在于使用这两种方法实现幅频响应测量需要对激光器进行扫频,受制于光源的波长精确度和稳定性,这两种方法的分辨率大于1.6pm(200MHz@1550nm)。基于光单边带扫频的光矢量分析技术,理论最高分辨率可达赫兹量级。基于光双边带扫频的方法实现了精确测量以及双倍的测量范围。基于移频外差的方法实现了高分辨率,且无需校准光电探测器的响应波动。基于电域的方法极大的提高了测量精度,但各种方法具有自身的缺点。比如基于单边带、双边带扫频以及移频外差的测量方法不能消除测量过程中光载波漂移造成的误差,且基于单边扫频的方法测量范围受电器件限制无法测量带通型器件。
目前,亟需一种即时、宽测量范围的光滤波器幅频响应测量方法。为了解决以上问题,本发明基于伪随机码激励的方式结合移频外差的结构,实现了具有即时、宽测量带宽、可满足不同测量需求等特性的测量方法。
发明内容
针对目前基于电扫频法的光器件幅频响应测量方法中存在的光载波漂移引起测量误差的问题,本发明的目的在于提供一种能够实现即时、宽测量带宽、可满足不同测量需求等特性的光滤波器幅频响应测量方法。
本发明提供一种测量光滤波器幅频响应的方法,窄线宽激光器产生的光载波经过光分束器Ⅰ后分成两路,上光支路为测量光路,码型发生模块产生的伪随机码型信号通过电光调制器加载到光载波上,产生了测量光信号,测量光信号入射到待测光滤波器。下光支路连接移频器,产生中心频率微小偏移的移频光信号。上下两支路的光经过光合束器Ⅱ后合束。经光电探测器拍频后将光信号转换成电信号,并将产生的电信号输入频谱分析模块进行数据采集,根据码型发生模块产生伪随机码信号的码率和码长计算基波频率,并在频谱分析模块上采集多个特定频点的功率值。将待测光滤波器撤除,第二次采集特定频点的功率值,两次得到的特定频点的功率值进行数据处理即可获得待测光滤波器的幅频响应。测量过程主要包括以下几个步骤:
步骤A、设置码型发生模块的码率、码长,标记伪随机码信号的基波频率
Figure GDA0003423343410000021
经过电光调制器后产生以光载波为中心,两边具有若干等间隔且对称分布的光边带的光谱,相邻边带之间的间隔为基波频率Δf;
步骤B、在保留待测光滤波器的情况下,上下两光路的光经过光合束后在光电探测器上进行拍频,产生电信号,利用频谱分析模块采集频率分别为f、|f±Δf|、|f±2*Δf|、…、|f±n*Δf|处的功率值,其中n为大于等于0的整数,分别记为
Figure GDA0003423343410000031
步骤C、将待测光滤波器移除出链路,电光调制器的输出与光合束器Ⅱ的输入直接连接,下支路保持不变;上下两光路的光合束后经过光电探测器产生电信号,利用频谱分析模块采集频率分别为f、|f±Δf|、|f±2*Δf|、…、|f±n*Δf|处的功率值,分别记为
Figure GDA0003423343410000032
步骤D、计算待测光滤波器在频率为f0±n*Δf处的响应:
Figure GDA0003423343410000033
通过上述公式即可获得待测光滤波器的幅频响应。
在上述技术方法中,可根据测量需求实现不同精度的测量。当码率为定值,基波频率Δf值越小时,测量点数越多,测量结果的分辨率越高。
与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
本发明由窄线宽激光器、外差结构、码型发生模块和频谱分析模块组成,通过调节码型发生模块输出伪随机信号的码长和码型实现高精度的光滤波器的幅频响应测量。利用伪随机信号的时频特性,实现即时采集数据,避免了由于光载波漂移造成的测量误差。
本发明采用外差的方式克服了在单边带扫频法中只能测量带通型器件不能测量带阻型器件的缺点。同时利用移频外差的结构将测量带宽约扩展为伪随机码电信号带宽的2倍。
附图说明
图1是本发明的基于伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置图。
图2是本发明实施实例1中通过对码型发生模块的输出模式、码长设置后产生伪随机信号的频谱图。
图3是本发明实施实例1测量光滤波器幅频响应得到的结果与采用光谱法测量得到的结果对比图。
其中附图1标记:1-窄线宽激光器、2-光分束器Ⅰ、3-码型发生模块、4-电光调制器、5-待测光滤波器、6-移频器、7-光合束器Ⅱ、8-光电探测器、9-频谱分析模块。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。
本发明一种伪随机码激励的光滤波器光谱响应测量装置图如图1所示。窄线宽激光器发出的光经过光分束器Ⅰ后进入移频外差结构的上、下两光路。上光支路的光在电光调制器中被码型发生模块产生的伪随机电信号调制,调制后的光信号通过待测光滤波器获取该器件的幅频响应。下光支路连接一个移频器,对光载波产生微小移频。上下两光路的光经过光合束器Ⅱ后由光电探测器产生拍频信号,在频谱分析模块上采集特定频点的功率值,此值为测量值。将待测光滤波器移除出链路,电光调制器的输出直接接光合束器Ⅱ的输入,在频谱分析模块上重复采集特定频点的功率值,记录此值为参考值。将得到的测量值与参考值进行数据处理即可获得待测光滤波器的幅频响应。
为了更好的了解本技术发明方案,下面对本发明的测量原理进行简要介绍:
窄线宽激光器产生的光载波由下式表示:
E=E0exp(j2πf0t) (1)
E0为光载波的幅度,f0为光载波的频率,光载波发出的光信号由光分束器Ⅰ分成两路。上光支路中电光调制器的输出光信号可表示为:
Figure GDA0003423343410000041
Figure GDA0003423343410000042
其中(2)、(3)式表示接入的电光调制器分别为强度调制器、相位调制器时的输出光信号。
Figure GDA0003423343410000043
为电光强度调制器的偏置相位,γ为上下两光路的分光比,Δf为伪随机码信号的基波频率,m(k*Δf)为调制频率为k*Δf时电光调制器的调制系数。将(2)中的
Figure GDA0003423343410000051
项、(3)式中的
Figure GDA0003423343410000058
分别作贝塞尔展开,如(4)、(5)式所示:
Figure GDA0003423343410000052
Figure GDA0003423343410000053
其中Jl(m)为第一类贝塞尔函数。根据以上公式,上支路的光信号可表示为:
Figure GDA0003423343410000054
其中,当电光调制器为强度调制器时Fn为满足l k=的
Figure GDA0003423343410000055
的叠加,当电光调制器为相位调制器时Fn为满足lk=n的Jl(mk*Δf)的叠加。经过电光调制器调制后的光,通过待测光滤波器时获取该器件的幅频响应,此时光信号可表示为:
Figure GDA0003423343410000056
其中,H(f0+n*Δf)为待测光滤波器频率为f0+n*Δf处的传输函数。下光支路连接了一个移频器,对输入的光载波产生微小移频量,移频器的输出光信号可表示为:E=(1-γ)E0 exp[j2π(f0+f)t]。其中f为移频器的移频量。上下两支路的光合束后,光信号为E’+E。经过光电探测器进行拍频,得到的电信号可以表示为:
Figure GDA0003423343410000057
Figure GDA0003423343410000061
其中,R为光电探测器的响应函数,第一项为上支路具有等间隔分布光边带的光信号之间的拍频,其频率成分为基波频率的整数倍,第二项为下支路光信号拍频产生的直流信号,第三项为上下两支路的光信号拍频产生的新的频率成分。实验中有效的数据为第三项所产生新的频率成分,因此有效的电信号为:
Figure GDA0003423343410000062
第二次测量时将待测光滤波器移除出链路,电光调制器的输出直接接光合束器Ⅱ的输入,此时合束前上支路的光可由E表示。第二次采集上下两支路光信号拍频产生的电信号为:
Figure GDA0003423343410000063
光路中接入待测光滤波器时,第一次在频谱分析模块上采集频点为|f-n*Δf|处的幅度值为
Figure GDA0003423343410000064
将待测光滤波器移除时,第二次采集频点为|f-n*Δf|处的幅度值为
Figure GDA0003423343410000065
因此,可得到待测光滤波器的传输函数如下:
Figure GDA0003423343410000066
上式中,
Figure GDA0003423343410000067
表示将待测光滤波器接入链路中频谱分析模块采集到频点为|f-n*Δf|的幅度值,
Figure GDA0003423343410000068
表示将待测光滤波器移除出链路中频谱分析模块采集到频点为|f-n*Δf|处的幅度值。
实施例1
待测光滤波器的中心频率为1550.03nm,带宽约为0.14nm。
设置窄线宽激光器的输出光载波为193410MHz(对应波长为1550.03nm),设置码型发生模块输出伪随机信号的码长设置为27-1,码型为matlab产生的伪随机码信号中n*Δf频率处幅度值波动较小的序列,码率为12.5GBit/s,此时的基波频率为
Figure GDA0003423343410000071
下支路的移频量为-70MHz,上下两支路的光经过光电探测器后拍频产生电信号,采集频谱分析模块上频率为28.425MHz,70MHz,168.425MHz,126.85MHz,…,|-70-n*Δf|MHz(n∈(-∞,+∞),且n为整数)对应的待测光滤波器的测量点为193410-98.425MHz,193410MHz,193410+98.425MHz,193410-2*98.425MHz,…,193410+n*125MHz(n∈(-∞,+∞),且n为整数)。将待测光滤波器移除出链路,在频谱分析模块上采集特定频点的功率值,并与未移出待测光滤波器时得到的功率值进行数据处理,即可获得待测光滤波器的幅频响应。

Claims (5)

1.基于伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置,包括窄线宽激光器(1)、光分束器Ⅰ(2)、一个码型发生模块(3)、电光调制器(4)、待测光滤波器(5)、移频器(6)、光合束器Ⅱ(7)、光电探测器(8)以及频谱分析模块(9);所述窄线宽激光器(1)与光分束器Ⅰ(2)连接,将光路一分为二,上光支路依次连接电光调制器(4)和待测光滤波器(5),其中电光调制器(4)与码型发生模块(3)电连接,下光支路连接移频器(6),上下光支路又与光合束器Ⅱ(7)连接将两路光合束成一路;其特征在于,窄线宽激光器(1)产生的光载波经过光分束器Ⅰ(2)后分成两路,上光支路为探测光路,码型发生模块(3)产生码率、码长可调的伪随机码信号通过电光调制器(4)加载到光载波上作为待测光滤波器(5)的激励信号;激励信号通过待测光滤波器(5)后再经过光合束器Ⅱ(7)与下光支路的移频光载波信号合束;光电探测器(8)将合束后的光信号转换成电信号,产生的电信号最后输入频谱分析模块(9)进行数据采集和处理;其中对码型发生模块(3)产生的伪随机码信号的码率和码长进行设置,频谱分析模块(9)采集频点间隔等于基波频率Δf,且满足
Figure FDA0003408815780000011
为整数,同时要求n*Δf≠|f|、n*Δf≠|f|/2,n为大于等于0的整数。
2.根据权利要求1所述的基于伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置,其特征在于电光调制器为电光相位调制器或电光强度调制器。
3.根据权利要求1所述的基于伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置的测量方法,包括如下步骤:
步骤A、设置码型发生模块的码率、码长,标记伪随机码信号的基波频率
Figure FDA0003408815780000012
经过电光调制器后产生以光载波为中心,两边具有若干等间隔且对称分布的光边带的光谱,相邻边带之间的间隔为基波频率Δf;
步骤B、在保留待测光滤波器的情况下,上下两光路的光经过光合束后在光电探测器上进行拍频,产生电信号,利用频谱分析模块采集频率分别为f、|f±Δf|、|f±2*Δf|、…、|f±n*Δf|处的功率值,其中n为大于等于0的整数,分别记为
Figure FDA0003408815780000013
步骤C、将待测光滤波器移除出链路,电光调制器的输出与光合束器Ⅱ的输入直接连接,下支路保持不变;上下两光路的光合束后经过光电探测器产生电信号,利用频谱分析模块采集频率分别为f、|f±Δf|、|f±2*Δf|、…、|f±n*Δf|处的功率值,分别记为
Figure FDA0003408815780000021
步骤D、计算待测光滤波器在频率为f0±n*Δf处的响应:
Figure FDA0003408815780000022
通过上述公式即可获得待测光滤波器的幅频响应,当码率为定值时,所设置的码长越长,基波频率Δf值越小,所能获得的测量点数就越多,测量结果的分辨率也越高。
4.根据权利要求3所述的基于伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置的测量方法,其特征在于利用伪随机码信号对光载波进行调制产生测量信号,通过移频器对光载波移频,移频后的光载波避免了与由上光路产生的拍频信号发生频谱混叠,获得光滤波器的幅频响应。
5.根据权利要求3所述的基于伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置的测量方法,其特征在于只需要一个调制模块,且电光调制器仅仅需要伪随机码信号作为驱动,无需扫频即可测量光滤波器频点为f0±n*Δf处的幅频响应,其中n为大于等于0的整数,测量分辨率取决于基波频率Δf。
CN202010309424.1A 2020-04-20 2020-04-20 一种伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置与方法 Active CN111473958B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010309424.1A CN111473958B (zh) 2020-04-20 2020-04-20 一种伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置与方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010309424.1A CN111473958B (zh) 2020-04-20 2020-04-20 一种伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置与方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111473958A CN111473958A (zh) 2020-07-31
CN111473958B true CN111473958B (zh) 2022-02-08

Family

ID=71754038

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010309424.1A Active CN111473958B (zh) 2020-04-20 2020-04-20 一种伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置与方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111473958B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114264453A (zh) * 2021-12-21 2022-04-01 电子科技大学 一种提高高精度光学元件反射率/透射率的测量方法
CN115664512B (zh) * 2022-10-21 2024-06-18 电子科技大学 一种电光调制器频响参数测试方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102564533A (zh) * 2011-12-16 2012-07-11 西安电力高等专科学校 一种基于伪码相关技术的超声波液位测量方法
CN103399255A (zh) * 2013-07-05 2013-11-20 西安交通大学 一种用伪随机序列辨识电力变压器绕组状态的方法
CN104954066A (zh) * 2015-06-19 2015-09-30 北京邮电大学 一种用于测量光器件频率响应的装置和方法
CN104950169A (zh) * 2015-06-19 2015-09-30 浙江大学 一种高速光纤陀螺频率特性的测试方法与***
CN105548686A (zh) * 2015-12-04 2016-05-04 电子科技大学 一种光滤波器幅频响应的测量方法
CN105629258A (zh) * 2016-03-02 2016-06-01 东华大学 基于伪随机码相位调制和外差探测的测速测距***及方法
CN106813901A (zh) * 2017-01-16 2017-06-09 中国科学院上海光学精密机械研究所 光学器件相位延迟量的测量装置及其测量方法
CN108088655A (zh) * 2017-12-18 2018-05-29 南京航空航天大学 基于双边带调制与频移的光器件测量方法、装置
CN110187177A (zh) * 2019-05-16 2019-08-30 重庆邮电大学 一种多合一的光电子器件频率响应测试装置及方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102564533A (zh) * 2011-12-16 2012-07-11 西安电力高等专科学校 一种基于伪码相关技术的超声波液位测量方法
CN103399255A (zh) * 2013-07-05 2013-11-20 西安交通大学 一种用伪随机序列辨识电力变压器绕组状态的方法
CN104954066A (zh) * 2015-06-19 2015-09-30 北京邮电大学 一种用于测量光器件频率响应的装置和方法
CN104950169A (zh) * 2015-06-19 2015-09-30 浙江大学 一种高速光纤陀螺频率特性的测试方法与***
CN105548686A (zh) * 2015-12-04 2016-05-04 电子科技大学 一种光滤波器幅频响应的测量方法
CN105629258A (zh) * 2016-03-02 2016-06-01 东华大学 基于伪随机码相位调制和外差探测的测速测距***及方法
CN106813901A (zh) * 2017-01-16 2017-06-09 中国科学院上海光学精密机械研究所 光学器件相位延迟量的测量装置及其测量方法
CN108088655A (zh) * 2017-12-18 2018-05-29 南京航空航天大学 基于双边带调制与频移的光器件测量方法、装置
CN110187177A (zh) * 2019-05-16 2019-08-30 重庆邮电大学 一种多合一的光电子器件频率响应测试装置及方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
A Compressed Optical Vector Network Analyzer Based On Two Tunable Coherent Optical Frequency Combs;Ziping Zhang等;《Asia Communications and Photonics Conference 2013》;20131115;第1-2页,图1-2 *
伪随机信号(m序列)相关辨识的动态测试方法;何华锋 等;《中国测试》;20130731;第39卷(第4期);第88-92页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN111473958A (zh) 2020-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3828111B2 (ja) 伝搬測定装置及び伝搬測定方法
CN107219002B (zh) 一种超高分辨率光谱测量方法及***
CN112129491B (zh) 基于单光频梳干涉的光纤时延测量方法及装置
CN111473958B (zh) 一种伪随机码激励的光滤波器幅频响应测量装置与方法
CN110995341B (zh) 基于光载微波干涉的光纤时延测量方法及装置
CN103926492A (zh) 高速光电探测器的频率响应测量装置与方法
CN107389315B (zh) 光器件频响测量方法及测量装置
CN112683495B (zh) 一种具有时域分析能力的光器件频响测量方法及装置
CN108692816B (zh) 基于镜频抑制的快速光谱测量方法及装置
CN107966172B (zh) 一种宽带光电探测器响应度测试仪及其测试方法
CN108566244B (zh) 多通道并行的光器件频谱响应测量方法及装置
CN113391136A (zh) 一种基于固定低频检测的微波光子频率测量装置及方法
CN109412687A (zh) 一种基于频域驻波法的光路时延快速测量装置
JP2006162616A (ja) データクロックサンプリングを用いたヘテロダインベース光スペクトラム分析
CN111917485A (zh) 基于线性光采样的强度调制光信号眼图测量装置及方法
Wen et al. Precise identification of wideband multiple microwave frequency based on self-heterodyne low-coherence interferometry
CN112268685B (zh) 一种光器件频响测量方法及测量装置
CN103107841B (zh) 一种基于偏振偏转干涉法的光器件测量方法及装置
Chen et al. Precise multiple frequency identification based on frequency-to-time mapping and cross-correlation
JP3496878B2 (ja) 波長分散及び損失波長依存性測定装置
CN114061916B (zh) 光器件频响测量方法及装置
CN114337808B (zh) 一种基于循环移频器的宽带高速光矢量分析仪
CN114337839B (zh) 一种通用光电元器件分析方法
US20130302027A1 (en) Optical measurement method and system
Pan et al. Optical vector analysis with ultra-high resolution

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant