CN111430374A - 具备光学传感器的屏下指纹识别显示面板及制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种光学传感器，具备该光学传感器的屏下指纹识别显示面板装置及制备方法，包括有屏幕层，光学传感器模块；光学传感器模块包括光学成像模块阵列层，其用于接收来自屏幕层的光并将光成像到光学传感器阵列；光学传感器阵列与发光像素显示单元的驱动电路设置于同一层；光学成像模块阵列层与光学传感器阵列所在层沿第一方向对应集成，使得光学成像模块阵列与光学传感器阵列耦合对应。按照本发明实现的技术方案，光电传感器与像素光源驱动电路集成在TFT玻璃基板同层上并使用微透镜阵列来进行一一对应集成，不改变原有TFT显示驱动的设计，在形成显示面板的驱动控制元件的有源层的同时形成了光学传感器功能模块，生产兼容性好，简化了显示面板的制造工艺。

Description

具备光学传感器的屏下指纹识别显示面板及制备方法
技术领域
本发明属于显示面板的指纹识别领域，特别是涉及一种具备光学传感器的屏下指纹识别显示面板及制备方法。
背景技术
屏下指纹识别广泛应用与消费电子终端产品、汽车、医疗和物联网等领域。相比传统的指纹识别方案而言，屏下指纹识别省去了独立的指纹识别模块对电子设备空间的占用，腾出更多的空间来进一步减小各类设备的体积，使产品更加便携和紧凑。目前，屏下指纹识别技术包括电容式指纹识别技术、射频式指纹识别技术和光学式指纹识别技术。其中光学指纹识别是利用光的折射和反射原理，将手指放在光线镜片上，通过光线正在手指表面纹谷和纹脊的反射差异，实现光感器件接收不同指纹信息差异化，形成指纹图像。光学式指纹识别的优势，在于可最大程度避免环境光的干扰，甚至在极端环境的稳定性更好。
在中国发明专利说明书CN107004130中公开了一种用于屏幕上指纹感应的屏下光电传感器模块，包括OLED显示模块、光学准直器阵列和其下的光电传感器模块。OLED显示模块的TFT(Thin Film Transistor)层包含透光孔，允许来自顶部的光透过OLED显示模块到达屏幕下光学传感器模块。光学准直器阵列位于光电探测器阵列顶部，携带指纹信息的信号光指向光电探测器阵列上的不同光电探测器，通过每个光学准直器的汇聚作用将指纹识别的有效信号光线汇聚收敛，从而能够将有效信号光线更有效地传输至光电传感单元进行检测。
在中国发明专利说明书CN110197834中公开了一种阵列基板，包括该阵列基板的显示面板和包括该显示面板的指纹识别显示装置。指纹识别显示装置包含LTPS(LowTemperature Poly-silicon)工艺制作多晶硅光电二极管，其中第一半导体层是多晶硅，第二半导体层是非晶硅，电极与第二半导体层直接接触的接触面积大于等于第二半导体层与第一半导体层直接接触的接触面积，有效降低光电二极管的暗态漏电流，提升基于LTPS制程制作的光电二极管的实际可用性，从而提高指纹识别的性能。
由于光学指纹识别技术中指纹成像是缩小的像，为了使得到的手指指纹更加清晰，需要光电传感器具有较高的像素密度。在上述两种用于显示和指纹识别的装置中，光电传感器都是硅基光电二极管阵列，价格昂贵，若显示装置需要大面积内都可进行指纹识别，则需要较多的硅基光电传感器。这样将会导致成本大幅增加，不利于显示装置的竞争力。
同时，准直器阵列和光电二极管都是与OLED/LCD屏幕的TFT层独立的器件，无法在OLED/LCD屏幕制备过程中集成，需要额外的精密组装，不仅产生额外的成本，体积也十分庞大。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种具备光学传感器的屏下指纹识别的显示面板和制备方法，本发明所要解决的技术问题是克服现有技术中硅基光电传感器阵列成本高，准直透镜和光电传感器阵列难以在OLED/LCD屏幕制备过程中集成，从而达到薄型化和低成本的要求等缺陷。
为实现上述目的，按照本发明，提供一种屏下指纹识别显示面板，其特征在于，该显示面板包括有屏幕层，光学成像模块，阵列基底层；
所述屏幕层提供触摸感应操作并且包括具有发光像素显示单元的结构；
所述阵列基底层包括有光学传感器阵列及所述发光像素显示单元的驱动电路；所述光学传感器阵列用于接收来自所述屏幕层的光并将所述光成像于光学传感器阵列；所述光学传感器阵列与所述发光像素显示单元的驱动电路设置于同一层基底；所述光学成像模块与所述阵列基底层沿第一方向对应集成，使得所述光学成像模块与所述光学传感器阵列耦合。
进一步地，所述光电传感器阵列中的单元包括设置于基底上的栅极，位于栅极上的介质层，位于介质层表面的半导体沟道层，分别位于所述半导体沟道层两侧的源极和漏极，位于源极和漏极之间的半导体材料层；
所述半导体沟通层与所述半导体材料层在光照内建电场作用下形成光生载流子，产生光电探测信号。
进一步地，所述发光像素显示单元的驱动电路包括：设置于所述玻璃基底上的栅极，位于栅极上的介质层，和位于介质层上的有源层，位于有源层两侧的源极和漏极，其中源极连接所述发光像素显示单元的电极。
进一步地，所述光电传感器阵列中的所述半导体沟道层和所述半导体沟道层分别是多晶硅、或有机半导体、或高分子聚合物中的一种形成半导体PN结。
进一步地，所述有源层为CdS，CdSe，ZnO中的一种化合物或高分子聚合物。
进一步地，所述光学成像模块阵列层为聚酰亚胺薄膜微透镜阵列。
本发明还公开了一种屏下指纹识别显示面板装置的制备方法，其特征在于，该制备方法包括如下步骤：
制备薄膜微透镜阵列层；制备同时集成光学传感器阵列与发光像素显示单元驱动电路的基底层；将屏幕层，所述薄膜微透镜阵列层和基底层沿第一方向依次键合以形成显示面板装置。
进一步地，制备薄膜微透镜阵列层的工艺步骤为：
在平整透明的玻璃基底上旋涂聚酰亚胺溶液，加热蒸发掉溶剂，形成聚酰亚胺薄膜；将压印模具放置聚酰亚胺薄膜上，所述聚酰亚胺薄膜被加热至一定温度范围，在所述压印模具与所述聚酰亚胺薄膜之间施加一定压力，所述聚酰亚胺薄膜由所施加压力引起的表面张力形成微透镜。
本发明还公开了一种屏下指纹识别显示面板中的光电传感器，其特征在于，所述光电传感器包括设置栅极层，位于所述栅极上的介质层，位于所述介质层表面的半导体沟道层，分别位于所述半导体沟道层两侧的源极和漏极，位于所述源极和所述漏极之间的半导体材料层；所述半导体沟通层与所述半导体材料层在光照内建电场作用下形成光生载流子。
本发明还公开了一种具备显示面板的装置，其特征在于，具备如上中所述的显示面板。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有以下有益效果：
(1)提出将光电传感器与像素光源驱动电路集成在TFT玻璃基板同层上，不改变原有TFT显示驱动的设计，在形成显示面板的驱动控制元件的有源层的同时形成了光学传感器功能模块，生产兼容性好，简化了显示面板的制造工艺，节省了显示面板的制造成本；
(2)通过微透镜阵列与光电探测器阵列集成，原来落在读出电路和屏蔽层上的光信号被聚焦到光敏元件上，因此可以提高光信号的探测灵敏度，同时减少非敏感元区域的光信号以便降低光信号串扰。微透镜的纳米热压印技术开发成本低廉、适合量产且与MEMS工艺兼容的大规模超薄透镜阵列的制备方法。
附图说明
图1为微透镜阵列压印阶段的形状变化示意图；
图2为按照本发明的一种屏下指纹识别的显示面板结构剖面示意图；
图3为TFT光电传感器与TFT-OLED集成的电路原理图；
图4为微透镜阵列的制备和显示面板集成工艺流程图。
在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中：
1、透明玻璃下基板；2、TFT光电传感器2；3、存储电容和TFT读取电路；4、OLED像素光源；5、微透镜6、透明玻璃上基板；7、TFT显示驱动电路；8、发射光线；9、指纹；
21、TFT光电传感器栅极；22、TFT光电传感器介质层；23、n+型半导体沟道层23；24、TFT光电传感器源极；25、TFT光电传感器漏极；26、p+型半导体材料；
71、TFT显示驱动电路源极；72、ITO玻璃电极72；73、存储电容；75、介质层；74、TFT显示驱动电路栅极；76、TFT显示驱动电路有源层。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
一般电子设备或***配备指纹认证机制，以提高访问设备的安全性，例如便携式或移动计算设备，例如智能手机、平板计算机和其他可穿戴或便携设备，甚至包括智能制造工业控制领域中的显示区域更大的设备，应用场景和应用设备可以扩展囊括到数据信息管理，以及包括汽车、船、火车、飞机和其他的机动交通***的各种需要安全认证的设备中。
但是上述设备在技术发展的趋势上，都沿着体积更小型化的趋势在发展，一般考虑到设备上尽可能扩大显示区域的需求，期望指纹传感器将指纹感应的占用最小化或消除，屏下指纹识别装置的轻薄化研究非常重要。
在指纹识别的应用场景中，手指可以触摸或接近该顶面，从而与该顶面处的光交互，使得在该触摸的表面区域处的反射或散射的光携带该手指的空间图像信息，一般为手指的被照射到的部分的脊和谷的空间图案和位置信息；并且返回至该顶面下方的显示面板。光学传感器模块可以依据成像模块的添加设置选择性地接收和检测由与OLED/LCD显示屏幕的表面接触的手指造成的返回的光，而由其它物体造成的返回的光不会被光学传感器模块检测到。
在实现中，设备屏幕的顶面可以为光学透明层的表面，该光学透明层表面作为用户触摸反应表面以提供显示输出、指纹识别、触控多种功能，材料可以为玻璃或晶体层或柔性层等刚性层。
显示面板装置组成结构
按照本发明，公开了一种屏下指纹识别装置，其包括有屏幕层，光学传感器模块；所述屏幕层提供触摸感应操作并且包括具有发光像素显示单元的显示面板结构；
所述光学传感器模块包括光学成像模块阵列层，其用于接收来自所述屏幕层的光并将所述光成像到光学传感器阵列；
所述光学传感器阵列与所述发光像素显示单元的驱动电路设置于同一层；
所述光学成像模块阵列层与所述光学传感器阵列所在层沿第一方向对应集成，使得所述光学成像模块阵列与所述光学传感器阵列一一对应耦合。
作为本发明的改进，光学成像模块阵列层与光电传感器阵列所在层是能够沿第一方向调节距离实现光的耦合效率的装配关系；
作为本发明的另一改进，其中光学传感器阵列与所述发光像素显示单元的驱动电路集成于同一基底层；
这种同一层的设计，主要通过如下方案实现，主要是本发明中所使用的光电传感器为集成设计的新结构，其中体现在：
现有技术中，光电传感器与像素光源驱动电路是分离的，像素光源驱动电路在同一层TFT玻璃基板上，而光电传感器通常是在下面的硅层，这样垂直方向是两层不同的工艺，需要对准装配，较为复杂。
如果光电传感器和像素光源驱动电路都做在TFT玻璃基底层上，那么只需要用半导体加工工艺，逐层沉积薄膜和光刻的技术形成不同功能的电子元件，避免了现有技术中的两层工艺的繁杂度。
显示面板装置组成结构的光电传感器单元
光电传感器有很多种，通常是做在半导体基底上。本发明公开的TFT光电传感器的结构为使得与驱动电路集成在同一层，需要进行改进设计，需要一种在玻璃基底上用TFT实现的光电传感器。
具体来说，将光电传感器与驱动电路的层加工的工艺和材料尽量保持一致，作为本发明的其中一种具体的实施方式，光电传感器单元包括设置于玻璃基底上的栅极，位于栅极上的介质层，位于介质层表面的第一半导体沟道层，分别位于第一半导体沟道层两侧的源极和漏极，位于源极和漏极之间的第二半导体材料层，第一半导体沟通层与第二半导体材料层形成光生伏特效应，在指纹的反射光线照下内建电场作用下形成大量光生载流子，产生光电探测信号。
作为位于与光电传感器阵列同层的驱动电路结构，包括有：设置于与光电传感器阵列单元层所在层相同的玻璃基底上的栅极，位于栅极上的介质层，和位于介质层上的有源层，位于有源层两侧的源极和漏极，其中源极连接驱动发光像素显示单元的玻璃电极和存储电容，以此方式驱动发光像素显示单元发光。
光电传感器阵列中的第一半导体沟道层和第二半导体沟道层分别是多晶硅、或有机半导体、或高分子聚合物，第一半导体沟道层和第二半导体沟道层形成半导体PN结，其中驱动电路结构的有源层可以是CdS，CdSe，ZnO等化合物或高分子聚合物。
当然，在光电传感中所获得的感应电流还包括存储电容或电路以供读出电路来扫描获取，同样驱动电路也包括有存储电容或电路等实现驱动信号存储，在此不在赘述。
显示面板装置的微透镜阵列
以上设计中，其中光学成像模块阵列层优选为微透镜阵列层，选用薄膜的压印方法生成光学成像模块单元，以此方式，形成更加轻薄和低成本的显示面板产品。
具体来说，按照本发明优选的薄膜型微透镜阵列，所制备材料优选为聚酰亚胺薄膜，其属性特性为可以旋涂成表面光滑的薄膜，可以长期工作在-269℃～400℃的环境下，玻璃化温度为290℃以上，可见光区的透光率>98％，当然满足上述属性的其它薄膜材料也可，满足上述制备微透镜的薄膜属性即可。
另一方面，本发明提供一种用于屏下指纹识别的显示面板装置中的微透镜阵列的制备和集成方法，该制备和集成方法包括：
(1)在平整透明的玻璃基底上旋涂聚酰亚胺溶液，加热蒸发掉溶剂，蒸发温度在160℃～200℃，形成光滑致密的聚酰亚胺薄膜；
(2)采用光刻工艺制备表压印模具，并通过高温热回流技术使模具形成光滑的表面；光滑的表面是指每个通孔的侧壁和顶部的表面经过热回流工艺降低表面粗糙度；
(3)将压印模具放置聚酰亚胺薄膜上，然后被加热到聚酰亚胺的玻璃化转变温度之上，在模具与聚酰亚胺薄膜之间施加一定的压力，被软化后的聚酰亚胺由所施加压力引起的表面张力形成微透镜；
(4)调整热压过程中的压力、时间和温度，改变微透镜的形貌，从而改变焦距、色差等光学参数；
(5)脱模之后，形成相应的微透镜产品。
在压印过程中，微透镜的形成分成3个阶段：
阶段1：微透镜的曲率半径不断减小，此阶段是微透镜表面轮廓的形成阶段，压印过程中压力差Δp固定，曲率半径R与材料的表面张力γ成正比，即
Figure BDA0002434396350000081
阶段2：微透镜的曲率半径达到最小值，此时表面张力与微透镜表面上各点上所产生的力相等。
阶段3：微透镜的曲率半径保持不变，压印会增加微透镜的高度，微透镜的总高度为
Figure BDA0002434396350000082
其中ρ为压印材料的密度；g为重力加速度，θ为压印模具与微透镜弧面的接触角，如图1中所示：
Figure BDA0002434396350000083
其中h’是微透镜的弧的高度。
显示面板装置的微透镜阵列模具
作为上述微透镜加工过程中的压印模具，其压印有效面主要形状是通孔阵列，通孔的大小和位置决定了微透镜的直径和位置；压印模具的加工中要形成光滑的表面，其中采用高温热回流技术实现。
通孔阵列可以通过机械方式或者半导体光刻等工艺加工形成。模具的制备材料优选为硅，模具的光刻工艺主要为电子束光刻或光学光刻。
在微透镜阵列模具的使用过程中，主要是通过加热的方式加热平整透明的玻璃基底，来达到软化微透镜薄膜材料，使得微透镜薄膜材料能够被机械装置挤压推压而成型。
其中，为与优选的微透镜阵列材料配合，压印模具的温度范围为150℃-350℃，压力范围为10-40kg/cm2。
作为微透镜阵列模具加工微透镜阵列的聚光效果，需要焦距匹配和色差尽量小，其中焦距要调整到与光电传感器成像光路匹配的程度；色差调整到透镜边缘和透镜中间折射的光线到达光电传感器的相位差尽可能小的程度。
当然，上述的加工调整方式可与微透镜的形成3个阶段所形成的参数来反推推导，从而优化微透镜阵列的加工效果。
显示面板装置的制备集成方法
将屏幕，微透镜阵列和TFT光电传感器阵列从上到下垂直键合，使得微透镜阵列单元与TFT光电传感器单元一一对应，通过调节垂直距离实现指纹反射光信号通过微透镜阵列高效的耦合进入TFT光电传感器单元。
微透镜薄膜阵列与光电传感器安装的过程中的距离调节方式为：通过半导体键合工艺中的沉积垫片材料辅助固定调节。
实施例
图2显示了按照本发明的一种用于屏下指纹识别的显示面板装置的单元结构剖面示意图。该装置包括：透明玻璃下基板1，位于透明玻璃基板1上的TFT光电传感器2，存储电容和TFT读取电路3、OLED像素光源4、微透镜5、透明玻璃上基板6和TFT显示驱动电路7。TFT光电传感器2包含栅极21、位于栅极上的介质层22、位于介质层表面的n+型半导体沟道层23、分别位于半导体沟道层两侧的源极24和漏极25、位于源极和漏极之间的p+型半导体材料26。n+型半导体沟道与p+型半导体材料形成pn结，在指纹的反射光线8照下内建电场作用下形成大量光生载流子，产生光电探测信号。该信号储存于存储电容和TFT读取电路3中；读出晶体管用于在每个周期打开读出存储电容中储存的电荷，即可获得光电传感器的光照状况。
TFT显示驱动电路7的源极71连接驱动OLED像素光源4的ITO玻璃电极72和存储电容73，介质层75连接竖直排列的栅极74和有源层76，控制红绿蓝三色像素光源4发光。微透镜5集成在OLED光源4与TFT玻璃基板1之间，位于TFT光电传感器2的正上方。当像素光源4的光线照射到压有指纹9的玻璃上基板6表面，由此形成的反射光线8经过下方的微透镜5聚焦成像在光电传感器2上，对应位置的光电传感器根据感测到的光强差异转换为电信号差异从而实现指纹脊和谷的差异识别。TFT显示驱动电路的源极连接驱动OLED像素光源的ITO玻璃电极，控制红绿蓝三色像素发光。微透镜集成在OLED光源与TFT玻璃基板之间，位于TFT光电传感器的正上方。当像素光源的光线照射到压有指纹的玻璃盖板表面，由此形成的反射光线经过下方的微透镜阵列聚焦成像在光电传感器阵列上，对应位置的光电传感器根据感测到的光强差异转换为电信号差异从而实现指纹脊和谷的差异识别。
作为上述实施方式中的优选实施例，TFT光电探测器和驱动电路中的栅极21和74可以是金属、ITO玻璃或硅等半导体材料，介质层22和75可以是二氧化硅材料，有源层23和76可以是n+型硅、CdS，CdSe，ZnO或高分子聚合物，半导体材料层26可以是p+型的硅或高分子聚合物。
图3显示了按照本发明的一种TFT光电传感器与TFT-OLED集成的电路原理图。其中Vdata1是OLED像素光源的数据信号，它通过TFT驱动电路中的晶体管T1驱动像素光源发光，其中电容为像素光源的等效电容。Vdata2是TFT光电传感器的数据信号，它通过TFT电路中的晶体管T2驱动晶体管光电探测器T3接收指纹的反射光信号，Vbias是偏置电压，Vss是电源。最后，通过扫描控制信号Vscan对TFT阵列电路中的每个单元的光电探测器和像素光源进行逐行逐列扫描，得到指纹的清晰图像。
图4是微透镜阵列的制备和集成流程从而制备出显示面板产品的其中一种实施方案过程图，包括：
(1)准备玻璃基底；
(2)在平整透明的玻璃基底上旋涂聚酰亚胺溶液，加热蒸发掉溶剂，形成光滑致密的聚酰亚胺薄膜；其中聚酰亚胺溶液的型号是ZKPI-3000，ZKPI-5100或ZKPI-5500型其中的一种，为市场上能够购买的产品；
(3)采用光刻工艺制备表压印模具，并通过高温热回流技术使模具形成光滑的表面，，其中一种具体的实施方式为在管式高温炉里通入纯氧气，将硅模具放在腔中1000℃左右10分钟氧化之后，再用氢氟酸腐蚀去除模具表面的氧化硅薄膜，从而降低硅模具表面的粗糙度；
(4)将压印模具放置聚酰亚胺薄膜上，然后被加热到聚酰亚胺的玻璃化转变温度之上，在模具与聚酰亚胺薄膜之间施加一定的压力，被软化后的聚酰亚胺由所施加压力引起的表面张力形成微透镜；
(5)调整热压过程中的压力、时间和温度，改变微透镜的形貌，从而改变焦距、色差等光学参数，并脱模，加热压印模具的温度优选为300℃，压力优选为15kg/cm2；改变焦距、色差等光学参数方式的其中一种实施方案，首先把热板的温度加热到设定的温度300℃，然后加压至设定的压力15kg/cm2，开始压印时间设为定值，等时间达到设定的时间3-5分钟后，停止加热，通过风扇冷却至玻璃化温度之下的适当温度脱模；
(6)准备OLED/LCD屏幕，微透镜阵列，TFT光电探测器基底；
(7)将OLED/LCD屏幕，微透镜阵列和TFT光电传感器阵列基底从上到下垂直键合，使得微透镜阵列单元与TFT光电传感器单元一一对应，通过调节垂直距离实现指纹反射光信号通过微透镜阵列高效的耦合进入TFT光电传感器单元。
按照本发明的一种屏下指纹识别的显示面板装置，其有益效果是不但通过微透镜阵列提高了光电传感器的光能量接收效率，而且光电传感器与像素光源驱动电路集成在TFT玻璃基板同层上，不改变原有TFT显示驱动的设计，在形成显示面板的驱动电路元件同时形成了光电传感器功能模块，生产兼容性好，简化了显示面板的制造工艺，节省了显示面板的制造成本。
按照本发明的一种屏下指纹识别的显示面板装置中的微透镜阵列的制备和集成方法，其有益效果是通过微透镜阵列与光电探测器阵列集成，原来落在读出电路和屏蔽层上的光信号被聚焦到光敏元件上，因此可以提高光信号的探测灵敏度，同时减少非敏感元区域的光信号以便降低光信号串扰。微透镜的纳米热压印技术开发成本低廉、适合量产且与MEMS工艺兼容的大规模超薄透镜阵列的制备方法。微透镜阵列与玻璃基板的透明TFT光电传感器阵列集成的方案，用于取代传统光学指纹识别***中冗余的多个透镜和棱镜组合模块，以及昂贵、小面积的硅基或三五族化合物光电器件阵列集成方案，实现显示屏轻薄、低成本的全屏指纹成像与识别功能。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种屏下指纹识别显示面板，其特征在于，该显示面板包括有屏幕层，光学成像模块，阵列基底层；
所述屏幕层提供触摸感应操作并且包括具有发光像素显示单元的结构；
所述阵列基底层包括有光学传感器阵列及所述发光像素显示单元的驱动电路；所述光学传感器阵列用于接收来自所述屏幕层的光并将所述光成像于光学传感器阵列；所述光学传感器阵列与所述发光像素显示单元的驱动电路设置于同一层基底；所述光学成像模块与所述阵列基底层沿第一方向对应集成，使得所述光学成像模块与所述光学传感器阵列耦合。
2.如权利要求1中所述的屏下指纹识别显示面板，其特征在于，所述光电传感器阵列中的单元包括设置于基底上的栅极，位于所述栅极上的介质层，位于所述介质层表面的半导体沟道层，分别位于所述半导体沟道层两侧的源极和漏极，位于源极和漏极之间的半导体材料层；
所述半导体沟通层与所述半导体材料层在光照内建电场作用下形成光生载流子，产生光电探测信号。
3.如权利要求2中所述的屏下指纹识别显示面板，其特征在于，所述发光像素显示单元的驱动电路包括：设置于所述基底上的栅极，位于所述栅极上的介质层，位于所述介质层上的有源层，及位于所述有源层两侧的源极和漏极，其中所述源极连接所述发光像素显示单元的电极。
4.如权利要求2或3中所述的屏下指纹识别显示面板，其特征在于，所述光电传感器阵列中的所述半导体沟道层和所述半导体沟道层分别是多晶硅、或有机半导体、或高分子聚合物中的一种形成半导体PN结。
5.如权利要求3中所述的屏下指纹识别显示面板，其特征在于，所述有源层为CdS，CdSe，ZnO中的一种化合物或高分子聚合物。
6.如权利要求1中所述的屏下指纹识别显示面板装置，其特征在于，所述光学成像模块阵列层为聚酰亚胺薄膜微透镜阵列。
7.一种屏下指纹识别显示面板装置的制备方法，其特征在于，该制备方法包括如下步骤：
制备薄膜微透镜阵列层；制备同时集成光学传感器阵列与发光像素显示单元驱动电路的基底层；将屏幕层，所述薄膜微透镜阵列层和基底层沿第一方向依次键合以形成显示面板装置。
8.如权利要求7中所述的屏下指纹识别显示面板装置的制备方法，其特征在于，制备薄膜微透镜阵列层的工艺步骤为：
在平整透明的玻璃基底上旋涂聚酰亚胺溶液，加热蒸发掉溶剂，形成聚酰亚胺薄膜；将压印模具放置聚酰亚胺薄膜上，所述聚酰亚胺薄膜被加热至一定温度范围，在所述压印模具与所述聚酰亚胺薄膜之间施加一定压力，所述聚酰亚胺薄膜由所施加压力引起的表面张力形成微透镜。
9.一种屏下指纹识别显示面板中的光电传感器，其特征在于，所述光电传感器包括设置栅极层，位于所述栅极上的介质层，位于所述介质层表面的半导体沟道层，分别位于所述半导体沟道层两侧的源极和漏极，位于所述源极和所述漏极之间的半导体材料层；所述半导体沟通层与所述半导体材料层在光照内建电场作用下形成光生载流子。
10.一种具备显示面板的装置，其特征在于，具备权利要求1-9中所述的显示面板。
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