CN111412481B - 废气处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种废气处理装置，其包括：燃烧室，沿废气传输方向被划分为至少两个区域；燃气输送管路，包括至少两个支路，至少一个所述支路与一个所述区域连通，并能够向所述区域输送燃气。本发明优点在于，废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒不能够在燃烧室的侧壁沉积，避免形成颗粒堆积，延长了燃烧室的清洗周期，提高废气处理装置的尾气处理能力，增加燃烧室的使用寿命。

Description

废气处理装置

技术领域

本发明涉及废气处理领域，尤其涉及一种废气处理装置。

背景技术

对于大多数半导体设备而言，以集成电路芯片作为一例，在制造集成电路芯片的过程中会使用很多反应气体和化学产品(chemical)，因此会产生很多工艺废气。人们对环境保护越来越重视，如何将工艺废气妥善处理，避免其污染环境成为工业生产中至关重要的一环。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种废气处理装置，其能够避免形成颗粒堆积，延长燃烧室的清洗周期，提高尾气处理能力，增加使用寿命。

为了解决上述问题，本发明提供了一种废气处理装置，其包括：燃烧室，沿废气传输方向被划分为至少两个区域；燃气输送管路，包括至少两个支路，至少一个所述支路与一个所述区域连通，并能够向所述区域输送燃气。

进一步，在所述支路上设置有压力调节装置，以调节所述支路的压力。

进一步，所述燃气输送管路还包括混气腔，所述支路与所述混气腔连通，燃气及助燃气体在所述混气腔内形成混合气体，混合气体经所述支路输送至所述燃烧室。

进一步，所述燃烧室侧壁具有衬垫，所述衬垫为多孔结构，所述燃气通过所述衬垫的孔输送至所述燃烧室内。

进一步，所述燃烧室具有外壳，所述衬垫设置在所述外壳的内侧壁，所述燃气输送管路的各个支路的燃气出口设置在所述外壳上。

进一步，所述废气处理装置包括两个区域，分别为第一区域及第二区域，在所述第一区域，所述燃烧室具有一第一内径，在所述第二区域，所述燃烧室具有一第二内径，所述第二内径大于所述第一内径。

进一步，所述第一区域与所述第二区域的分界线设置为，在假设所述第二区域的所述第二内径与所述第一区域的所述第一内径相等的情况下，废气燃烧副产物在所述燃烧室侧壁附着的起始线。

进一步，所述第二内径为所述第一内径的1.4～1.6倍。

进一步，所述第二区域包括依次设置的过渡段及平稳段，所述过渡段的内径由第一内径逐渐增大至第二内径，所述平稳段的内径为所述第二内径。

进一步，与所述第二区域连通的支路的压力大于与所述第一区域连通的支路的压力。

进一步，所述第一区域的高度大于或者等于所述第二区域的高度。

本发明废气处理装置将所述燃烧室分割为至少两个区域，每个区域均具有燃气输入，能够增大该区域输入的燃气压力，利用燃气的压力使得废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒不能够在燃烧室的侧壁沉积，从而避免形成颗粒堆积，延长了燃烧室的清洗周期，例如，燃烧室的清洗周期可由三个月延长至6个月；同时，没有颗粒堆积堵塞燃气入口，增大了燃烧室内的燃气的输入量，使废气燃烧更充分，提高废气处理装置的尾气处理能力，例如，尾气处理能力能够提升30％～50％；另外，也能够增加燃烧室的使用寿命，例如，燃烧室的使用寿命可由一年延长至3到5年。

附图说明

图1是现有的废气处理装置的燃烧室的结构示意图；

图2是本发明废气处理装置的第一具体实施方式的结构示意图；

图3是本发明废气处理装置的第二具体实施方式的结构示意图；

图4是本发明废气处理装置的第三具体实施方式的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明提供的废气处理装置的具体实施方式做详细说明。

在现有的废气处理装置中，当废气在燃烧室内燃烧时，会有颗粒积聚在燃烧室的侧壁，导致侧壁被堵塞，减少进入燃烧室的燃气的体积，造成废气燃烧不充分，燃烧室内的压力升高，影响废气处理装置的性能。图1是现有的废气处理装置的燃烧室的结构示意图，请参阅图1，在燃烧室10内，废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒会积聚在燃烧室10的侧壁，在燃烧室10的侧壁形成堆积11，该堆积11会阻碍燃烧气体进入燃烧室，减少进入燃烧室的燃气的体积，同时也会影响进入燃烧室的废气的流动，使废气燃烧不充分。

经研究，发明人发现，燃气仅经一个燃气输送管路100输送至燃烧室10侧壁，在燃气输送管路100对应的区域，燃气的压力较大，废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒不会沉积，而在远离燃气输送管路的区域，燃气的压力较小，废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒会沉积而形成所述堆积11。

鉴于上述原因，本发明提供一种废气处理装置，其能够避免废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒在燃烧室10侧壁的积聚，从而使废气能够充分燃烧，提高废气处理装置的尾气处理能力。

图2是本发明废气处理装置的第一具体实施方式的结构示意图。请参阅图2，本发明废气处理装置包括燃烧室10及燃气输送管路20。

所述燃烧室10具有废气入口12，待处理的废气自所述废气入口12进入所述燃烧室10内。所述燃烧室10具有燃烧产物出口13，所述燃烧产物出口13可与处理室连通，所述燃烧产物自所述燃烧产物出口13排入至所述处理室，以进行后续处理。燃烧产物可在处理室内溶解在溶剂中，形成溶液，以便于后续处理。

沿所述废气的传输方向(如废气进入至燃烧产物排出的方向)，所述燃烧室10至少被划分为两个区域。可以理解的是，所述区域仅用于区分所述燃烧室10的不同位置，区域与区域之间可不存在实质上的间隔。具体地说，在本具体实施方式中，沿所述废气的传输方向，所述燃烧室10被划分为第一区域10A及第二区域10B，所述废气入口12与所述第一区域10A对应，所述燃烧产物出口13与所述第二区域10B对应。

所述燃气输送管路20用于向所述燃烧室10输送燃气。所述燃气输送管路20包括至少两个支路，其中，至少一个所述支路与一个所述区域连通，并能够向所述区域输送燃气，也就是说，每一个所述区域至少与一个所述支路连通，以使得每一个区域均有燃气通入。具体地说，在本具体实施方式中，所述燃气输送管路20包括两个支路，分别为第一支路201及第二支路202。所述第一支路201与所述第一区域10A连通，并能够向所述第一区域10A输送燃气，所述第二支路202与所述第二区域10B连通，并能够向所述第二区域10B输送燃气。可以理解的是，在本发明其他具体实施方式中，也可为两个及以上的支路与所述区域连通，例如，两个支路与所述第一区域10A连通，向所述第一区域10A输送燃气，三个支路与所述第二区域10B连通，向所述第二区域10B输送燃气。

本发明废气处理装置将所述燃烧室10分割为至少两个区域，每个区域均具有燃气输入，增大了该区域输入的燃气压力，利用燃气的压力使得废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒不能够在燃烧室10的侧壁沉积，从而避免形成颗粒堆积，增大了燃气的输入量，使废气燃烧更充分，提高废气处理装置的尾气处理能力，且能够增加燃烧室的使用寿命。

进一步，所述燃烧室10侧壁具有衬垫14，所述衬垫14为多孔结构，所述燃气通过所述衬垫14的孔输送至所述燃烧室10内。所述衬垫14可为多孔陶瓷结构。所述燃气经所述衬垫14的孔均匀输送至所述燃烧室10内，进一步使废气燃烧更充分。同时，所述燃气被所述衬底14的孔分散为多股燃气，其能够大面积冲刷衬垫14朝向燃烧室10的侧壁区域，防止废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒在所述衬垫14侧壁沉积。

进一步，所述燃烧室10具有外壳110，所述衬垫14设置在所述外壳110的内侧壁，所述燃气输送管路的各个支路的燃气出口设置在所述外壳110上。在本具体实施方式中，如图2所述，所述第一支路201的燃气出口设置在所述外壳110上，所述第一支路201的燃气经所述燃气出口输入至所述外壳110内，并经所述衬垫14的孔输入至所述第一区域10A；所述第二支路202的燃气出口设置在所述外壳110上，所述第二支路202的燃气经所述燃气出口输入至所述外壳110内，并经所述衬垫14的孔输入至所述第二区域10B。

进一步，在所述支路上设置有压力调节装置，以调节所述支路的压力，进而调节输入至所述燃烧室对应区域的燃气量。具体地说，在本具体实施方式中，在所述第一支路201及所述第二支路202上均设置有压力调节装置206，分别用于调节第一支路201及所述第二支路202上的压力。当需要增大燃烧室某一区域的燃气时，可通过压力调节装置增大该区域对应的支路上的燃气压力，以实现增大燃烧室对应区域的燃气压力的目的。可以理解的是，不同的支路，其燃气压力可不同。进一步，在所述支路上还可设置压力计，以读取该支路的压力值，进而便于进行调节。

进一步，所述燃气输送管路20还包括混气腔203，所述支路与所述混气腔203连通。其中，燃气及助燃气体经不同的管路输送至所述混气腔203，在所述混气腔203内，所述燃气及所述助燃气体混合形成混合气体。混合气体经所述支路输送至所述燃烧室10。具体地说，在本具体实施方式中，所述第一支路201及所述第二支路202与所述混气腔203连通，燃气经燃气管路204输入至所述混气腔203，助燃气体经助燃气管路205输入至所述混气腔203，燃气与助燃气体混合后形成混合气体，所述混合气体经所述第一支路201及第二支路202输入至所述燃烧室10的不同区域。

本发明废气处理装置还提供一第二具体实施方式。第二具体实施方式与第一具体实施方式的区别在于，所述燃烧室10被划分为三个区域。图3是本发明废气处理装置的第二具体实施方式的结构示意图，请参阅图3，沿所述废气的传输方向，所述燃烧室10被划分为第一区域10A、第二区域10B及第三区域10C。所述燃气输送管路20包括三个支路，分别为第一支路201、第二支路202及第三支路203，其中，所述第一支路201与所述第一区域10A连通，第二支路202与所述第二区域10B连通，第三支路203与所述第三区域10C连通。在本具体实施方式中，将所述燃烧室10划分为更多区域，每一区域的面积更小，则进一步避免废气内的原始颗粒或者未完全燃烧的颗粒在燃烧室10的侧壁沉积。

本发明废气处理装置还提供一第三具体实施方式。图4是本发明废气处理装置的第三具体实施方式的结构示意图，请参阅图4，所述第三具体实施方式与第一具体实施方式的区别在于，在所述第一区域10A，所述燃烧室10具有一第一内径D1，在所述第二区域10B，所述燃烧室10具有一第二内径D2，所述第二内径D2大于所述第一内径D1。

在本具体实施方式中，所述第一区域10A及所述第二区域10B的设置为，在假设所述第二区域10B的所述第二内径与所述第一区域10A的所述第一内径相等的情况下，所述第一区域10A与所述第二区域10B的分界线为废气燃烧副产物在所述燃烧室10侧壁附着的起始线。具体地说，若所述燃烧室的内径不改变，即所述燃烧室的内径均为所述第一内径，则随着废气的传输，在燃烧室的下部，燃烧副产物会附着在燃烧室的侧壁，形成燃烧副产物附着区，该燃烧副产物附着区具有一起始线。在本具体实施方式中，以所述起始线为分界线，起始线以上的区域为所述第一区域10A，起始线以下的区域为所述第二区域10B，所述第二区域10B的第二内径D2大于所述第一区域10A的第一内径D1，。该种设计的优点在于，根据所述燃烧副产物附着区的特性，在所述第一区域10A不存在燃烧副产物附着区，而在所述第二区域10B，相较于所述第一区域10A，其内径增大，即在所述第二区域10B，所述燃烧室10的侧壁向外扩张，而燃烧室10内的气流则保持向下的趋势，燃烧副产物会随着气流排出燃烧室，不会在所述第二区域10B的内壁附着，消除了燃烧室10侧壁的燃烧副产物附着区，避免了燃烧副产物在燃烧室10侧壁的附着。进一步，所述第一区域10A的高度大于或者等于所述第二区域10B的高度，以在去除所述燃烧副产物附着区的同时，提高废气的燃烧效率。具体地说，在本具体实施方式中，所述第一区域10A的高度H1略大于所述第二区域10B的高度H2。

优选地，在第三具体实施方式中，所述第二内径D2为所述第一内径D1的1.4～1.6倍，若两者相差太大，则在第一区域10A，所述废气燃烧量太小，进入所述第二区域10B的未燃烧的废气太多，不利于提高所述废气的充分燃烧；若两者相差较小，不能起到有效消除燃烧副产物附着区的目的。

进一步，在第三具体实施方式中，所述第二区域10B包括依次设置的过渡段100B及平稳段101B，所述过渡段100B的内径由第一内径D1逐渐增大至第二内径D2，所述平稳段101B的内径为所述第二内径D2。

在本具体实施方式中，所述燃气输送管路的第一支路201与所述第一区域10B连通，所述第二支路202与所述第二区域的平稳段101B连通。由于所述第二区域的内径大于所述第一区域的内径，为了保证第二区域10B的燃气压力及为第二区域10B提供充足的燃气量，所述第二支路202的燃气压力大于所述第一支路201的燃气压力。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：

燃烧室，沿废气传输方向被划分为至少两个区域；

燃气输送管路，包括至少两个支路，至少一个所述支路与一个所述区域连通，并能够向所述区域输送燃气，在沿所述废气传输方向上，不同区域对应的支路间隔设置；

所述燃烧室具有外壳，所述燃气输送管路的各个支路的燃气出口设置在所述外壳上；

所述废气处理装置包括两个区域，分别为第一区域及第二区域，在所述第一区域，所述燃烧室具有一第一内径，在所述第二区域，所述燃烧室具有一第二内径，所述第二内径大于所述第一内径；所述第一区域与所述第二区域的分界线设置为：在假设所述第二区域的所述第二内径与所述第一区域的所述第一内径相等的情况下，废气燃烧副产物在所述燃烧室侧壁附着的起始线。

2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，在所述支路上设置有压力调节装置，以调节所述支路的压力。

3.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述燃气输送管路还包括混气腔，所述支路与所述混气腔连通，燃气及助燃气体在所述混气腔内形成混合气体，混合气体经所述支路输送至所述燃烧室。

4.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述燃烧室侧壁具有衬垫，所述衬垫为多孔结构，所述燃气通过所述衬垫的孔输送至所述燃烧室内。

5.根据权利要求4所述的废气处理装置，其特征在于，所述衬垫设置在所述外壳的内侧壁。

6.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述第二内径为所述第一内径的1.4～1.6倍。

7.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述第二区域包括依次设置的过渡段及平稳段，所述过渡段的内径由第一内径逐渐增大至第二内径，所述平稳段的内径为所述第二内径。

8.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，与所述第二区域连通的支路的压力大于与所述第一区域连通的支路的压力。

9.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述第一区域的高度大于或者等于所述第二区域的高度。

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