CN111397601B - 一种微惯性测量单元抗冲击减振结构及减振*** - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种微惯性测量单元抗冲击减振结构及减振***，用于对由支撑架支撑的微惯性模块减振。减振结构包括设置在支撑架上的振动隔离器；支撑架采用六面体框架结构，六面体框架结构的八个顶角处均设置有振动隔离器；所述振动隔离器为由分割面分割形成的一对相互配合的硅橡胶减震垫。本发明通过内、外部相结合的方式实现了对微惯性模块的减振和抗冲击，可实现对振动的多次衰减，振动效果好，装配简单，适合于安装空间环境有限的情况下的减振。

Description

一种微惯性测量单元抗冲击减振结构及减振***

技术领域

本发明涉及一种惯性测量单元抗冲击减振，主要涉及机械结构与缓冲隔振设计领域。

背景技术

微惯性测量单元是一种基于MEMS技术的惯性测量***。MEMS技术是伴随着半导体集成电路微加工工艺和精密机械超加工技术的发展而兴起，在微电子技术基础上结合精密机械技术，将微传感器、微执行器、微机械结构及相关信号处理电路集成于一体。其中MEMS惯性器件是通过硅的微加工技术与高度集成工艺技术的运用，将敏感微结构与信号处理电路进行集成封装，实现了***的微型化与机电一体化。其技术产品微惯性测量单元作为采用MEMS技术的载体姿态角度及加速度测量设备，由于其体积小、质量轻、成本低、可靠性高等特点，广泛应用于车辆导航、无人机飞行控制、导弹导航、姿态反馈以及机器人控制等方面。

微惯性测量单元包含MEMS陀螺仪与MEMS加速度计，均通过内部微机械结构的运动或者位移来感知载体状态。其中MEMS陀螺仪利用哥式效应（Coriolis effect）敏感角速率，MEMS加速度计基于惯性原理敏感线加速度。由于微惯性测量单元在大过载、高动态环境下的广泛应用需求，且其内部集成的MEMS传感器中的微机械结构在上述环境中易出现性能损失甚至失效，因此需对微惯性测量单元进行环境防护。通常手段包括采用动态性能较好的灌封材料对制导***电路进行灌封，使其固化成模块；或采用隔振手段，减少外界环境影响。

现有技术及存在的不足：

微惯性测量单元由于其应用领域，通常安装在狭小空间内，考虑其安装可靠性，隔离防护机构应设计在微惯性测量单元内部，因此需要进行小型化与集成化设计。为保证微惯性测量单元在大过载、高动态环境下的存活与性能稳定，须同时考虑冲击防护与振动隔离。

发明专利《一种用于微惯性测量单元的减振结构》（CN 106153044 A）提出了一种通过设有凹槽的弹性减振环，将产品悬空放置的减振结构。该结构通过整体性的弹性减振结构避免了分布式减振设计存在刚度差问题，减小了弹性中心与被减振产品中心的偏移；且弹性减振环横截面与径向中轴线对称，保证***径向与轴向刚度相同，减小***频率范围，有利于控制***对振动的放大率。该结构通过减振环凹槽与产品的圆环凸起进行固定，在工作过程中存在由于振动造成产品与外部壳体相对转动的可能性，对***工作产生影响。

发明专利《隔离减振装置及三轴陀螺仪》（CN 109612461 A）提出了一种通过分离减振器，将三个测量轴的陀螺仪进行独立隔振，并利用限位结构对陀螺仪进行支撑与位移约束的减振方法。该三轴陀螺仪通过电气连接，将测量数据传输至数据处理单元，并通过连接器对外引出。该设计利用多级减振器，实现测量轴之间的独立，避免各轴之间的振动误差耦合。该***为三轴陀螺仪，在进行产品正交误差补偿时，通常需要利用其它轴向陀螺仪的输出计算非正交误差系数。由于该三轴陀螺仪为独立隔振，且实际应用环境的振动条件与标定时不同，引起各轴向关系变化，可能导致正交标定补偿失效甚至非正交误差增大。

实用新型专利申请《一种八点对心减振安装的台体结构》（CN 205278225 U）、《一种惯性敏感组件的悬挂减振***》（CN 202692990 U）均采用了空间六面体八个端点布置同种减振器的设计方法，对称安装同种减振器，降低了产品各轴向的减振配置误差与轴向固定要求，消减了减振***的三轴不等刚度。各专利方法中关于对称分布的减振器轴向配置略有不同，根据其应用环境与六面体的结构区别，分别以轴向体心交汇与轴向水平对称实现减振***。

实用新型专利《一种激光陀螺惯性测量装置的减振装置》（CN 201858989 U）提出了一种利用隔振紧固装置与安装支架的镂空框架形式的减振结构。利用隔振紧固装置的隔振垫、限位套以及螺钉螺母实现激光陀螺惯性测量装置在一定位移下的振动缓冲；利用环形连接框与镂空支架将其悬空支撑，使其处于非固连状态。选用高性能合金与高性能阻尼橡胶作为减振装置材料，满足较大质量激光陀螺IMU的支撑强度与减振需求，并保证其在狭小空间内的安装可行性。该减振方法施加于激光陀螺惯性测量装置外部，并依托环形连接框，因此对于安装空间的需求较大，不适用于微惯性测量单元狭小的应用安装环境。

实用新型专利《悬挂式的惯性测量组件全向内部减振结构》（CN 206019660 U）提出了一种基于减振立柱与通孔质量块的减振结构。利用减振立柱直径的分段设计，实现与质量块通孔轴向上的约束配合；分别在减振立柱凸环与质量块通孔台阶环的配合处加入上下胶圈，实现***全轴向的减振。由于减振***安装在组件***内部，惯性组件直接与载体固连，无需增加外部结构，提高装配可靠性，并且避免了减振结构中橡胶材料暴露的老化与腐蚀问题。

美国专利《Isolation system for an inertial measurement unit》（US2007113702(A1)）提出了一种应用于惯性传感器组件的振动隔振***。该隔振***主要由盖板构件、隔离器以及基座构件组成，其中隔振器包括刚性内外环、弹性体。惯性传感器组件通过隔离器内环的的多个固定孔实现安装配，且外环通过多个通孔实现隔离器与盖板构件以及基座构件的配合固定。隔离器内外环之间分别设有凹进和突出结构且装配时对齐，利用这种结构可在载体做轴向旋转时，隔离器的内外环形成互锁，保证惯性传感器组件测量坐标系的稳定性。隔离器内外环之间设有弹性体，且利用弹性体的特殊截面设计，在保证结构稳定的同时避免金属间碰撞，实现六自由度的振动隔离。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种内部安装、全向减振且抗冲击的微惯性测量单元抗冲击减振结构及减振***。

应用于微惯性测量单元抗冲击减振***通常大致可分为两类：外部减振和内部减振，外部减振需要增加***隔离结构，通常应用于安装空间较为充裕的环境，装配复杂程度相对较低；内部减振通常基于微惯性测量单元的原有结构，利用减振部件将电子***（主要为微惯性传感器部分）进行悬空，或者增加弹性阻尼材料避免金属间的完全固连，实现振动隔离或者衰减，内部减振适用于空间狭小的安装环境，但通常装配较为复杂。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

一种微惯性测量单元抗冲击减振结构，用于对由支撑架支撑的微惯性模块减振，包括设置在支撑架上的振动隔离器；

支撑架采用六面体框架结构，六面体框架结构的八个顶角处均设置有振动隔离器；

所述振动隔离器为由分割面分割形成的一对相互配合的硅橡胶减震垫。

进一步地，每对相互配合的硅橡胶减振垫中的两个硅橡胶减震垫具有不同的阻尼系数。

进一步地，硅橡胶减震垫呈楔形，每对硅橡胶减震垫通过楔形面作为分割面形成相互配合。

进一步地，还包括可容纳振动隔离器、支撑架和微惯性模块的对合设置的外壳。

进一步地，支撑架和/或外壳均为金属材质。

进一步地，六面体框架结构的四个支撑柱上设置有向内倒角的空间，每个振动隔离器中的其中一个硅橡胶减震垫通过设置在内倒角的空间中的弹性紧固件固定在其中一个顶角处，另一个硅橡胶减震垫通过分割面间的黏着性贴合在该硅橡胶减震垫上。

一种微惯性测量单元抗冲击减振***，用于对由支撑架支撑的微惯性模块减振，包括：设置在支撑架上的振动隔离器、可容纳振动隔离器、支撑架和微惯性模块的对合设置的外壳；

还包括缓冲垫、套设在外壳外部并将外壳限定在底座内的抗冲击防护壳以及盖合在底座上的盖板；

支撑架采用六面体框架结构，六面体框架结构的八个顶角处均设置有振动隔离器；

所述振动隔离器为由分割面分割形成的一对相互配合的硅橡胶减震垫；

对合的外壳上分别对应各套设一个所述的缓冲垫。

进一步地，所述缓冲垫厚度不均，套于外壳底部上的厚度大于套于外壳侧壁上的厚度。

进一步地，所述抗冲击防护壳与所述外壳之间设有用于容纳缓冲垫的配合间隙。

进一步地，外壳和缓冲垫上预留信号线引出槽。

进一步地，将微惯性测量单元进行分层防护，在内部微惯性模块中施加振动隔离，在微惯性模块与抗冲击防护壳之间施加缓冲垫，在抗冲击防护壳与微惯性测量单元外部金属外壳之间施加填充，最终实现微惯性测量单元的抗冲击减振。

内部微惯性模块施加振动隔离：由于微惯性模块的传感器通常由3只MEMS加速度计与3只MEMS陀螺仪组成，且需构建为正交的惯性测量坐标系，因此将微惯性模块的传感器装配结构设计为六面体框架形式，采用高强度铝合金材料，在减轻重量的同时保证结构强度，并按照惯性测量坐标系轴向要求进行传感器分布。

进一步地，为降低微惯性模块的体积，将六面体框架结构中的四个支撑柱进行向内倒角设计，基于上顶面和下底面保留一定厚度作为振动隔离器的安装平台，并在安装平台设安装通孔，实现振动隔离器的紧固与限位。将振动隔离器安装在向内倒角空间，减少了振动隔离器带来的微惯性模块尺寸增大。为保证振动隔离器与六面体框架结构以及金属外壳的可靠互联，通过紧固件分别将振动隔离器与安装平台进行固定。

进一步地，振动隔离器可以由硅橡胶减振垫、紧固件以及限位结构组成。为实现体积尺寸小、隔振性能优良的振动隔离器，将振动隔离器的硅橡胶减振垫进行特殊结构设计。每一个振动隔离器的硅橡胶减振垫33、34由两个相互配合的异型多面体结构组成，通过紧固件与限位结构将减振垫固定在六面体金属框架的上顶/下底面与微惯性模块金属外壳的对应平面。两个相互配合的异型多面体的硅橡胶减振垫相接触贴合的分割面为等腰梯形面，该等腰梯形面斜倾设置，斜角设计为45°，可使得水平或者垂直方向的分振动应力均匀的分解，也可根据实际应用环境，即各轴向上承受的振动应力不同，合理设计倾斜角度，以达到最佳的减振效果。并且可将两个相互配合的异型多面体的硅橡胶减振垫设计为不同的阻尼系数，因为振动应力在经过不同介质面传递时会出现较大幅度的衰减，在不改变原有结构设计的基础上提升减振效果。

进一步地，为保证各轴向上的减振效果相同，消减三轴不等刚度，微惯性模块金属外壳采用移除顶面的六面体外壳与盖板形式，其中外壳底部为正方形，分别在六面体金属框架的上顶面与下底面，分别布置四个振动隔离器，并预加一定压力，保证振动隔离器与微惯性模块金属外壳的紧密可靠互联，实现了微惯性模块内部的全轴向振动衰减。本发明主要描述为体积限制情况下，利用六面体金属框架的向内倒角设计，将振动隔离器的部分结构放置于六面体金属框架内，降低了隔离与衰减振动的空间需求。

进一步地，微惯性模块实现内部振动隔离并完成装配后，进行抗冲击防护。由于抗冲击防护措施为在微惯性测量单元的底座、抗冲击防护壳以及微惯性模块之间添加缓冲垫，因此需按照惯性模块金属外壳的结构尺寸进行相应的抗冲击防护壳与微惯性测量单元底座设计，并且根据载体的应用环境，设计需给缓冲垫预留的空间尺寸。微惯性测量单元主要承受的加速度冲击为载体发射过程中的沿发射方向轴向过载，以及伴随一定的侧向过载。因此在对微惯性模块套设承载式的全包围的缓冲垫，结构为上下分离的近似正方形碗装结构，其中承载的下部缓冲垫底面尺寸相对较厚，而侧面以及上部缓冲垫的尺寸相对较薄。在上、下缓冲垫的中间预留间隙，配合微惯性模块金属外壳的开孔，将微惯性模块的信号线引出。

进一步地，由于缓冲垫存在一定的粘弹性，为防止装配过程中抗冲击外壳与缓冲垫粘黏，导致难以装配，可在抗冲击防护壳内壁以及缓冲垫外部涂抹适量滑石粉，提高装配效率。

进一步地，为了进一步增加抗冲击减振***的可靠性，可对微惯性测量单元进行灌封填充。将缓冲材料填充至微惯性模块外部金属外壳与抗冲击防护壳之间，保证高动态环境下紧固件强度，固化微惯性测量单元内部电气连接，增强微惯性模块与抗冲击防护壳之间的结合度，提高微惯性测量单元的***可靠性。

本发明所达到的有益效果：

本发明公开了一种微惯性测量单元抗冲击减振结构及减振***，通过内、外部相结合的方式实现了对微惯性模块的减振和抗冲击，可实现对振动的多次衰减，振动效果好，装配简单，适合于安装空间环境有限的情况下的减振。

附图说明

图1 抗冲击减振结构示意图；

图2 微惯性模块振动隔离示意图；

图3 图2的分解***图；

图4 微惯性测量单元减振***示意图；

图中，

11：缓冲垫

111引出槽

12：缓冲垫

21：金属外壳

211引出槽

22：金属外壳

31：弹性紧固件

32：限位件

33：硅橡胶减振垫

34：硅橡胶减振垫

4：金属支撑架

41：通孔

5：MEMS传感器电路板

6：处理器电路板

1-6：微惯性模块

7：盖板

8：抗冲击防护壳

9：底座。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

实施例1

如图1－图3所示，本实施例中的微惯性测量单元抗冲击减振结构，用于对对微惯性模块1-6进行抗冲击减振，包括设置在金属支撑架4上的振动隔离器，振动隔离器及微惯性模块1-6外部具有对合设置的并可容纳这些部件空间的金属外壳21、22。微惯性模块1-6主要包括装配在金属支撑架4上的MEMS传感器电路板5和处理器电路板6。

为实现六自由度的惯性参数测量，用于装配惯性测量电路的金属支撑架4为近似六面体框架结构，保证测量坐标系的正交性。六面体框架结构的四个支撑柱进行向内倒角设计，四个支撑柱的上顶面与下底面上设有带通孔41的安装台，为振动隔离器预留装配空间与配合结构。

每个振动隔离器包括由分割面分割形成的一对相互配合的硅橡胶减震垫。本实施例中仅以其中的一对硅橡胶减震垫33、34为例进行说明。硅橡胶减震垫33、34作为衰减、隔离振动的主要部件，其中一个硅橡胶减震垫33，利用限位件32穿过带通孔41的安装台与弹性紧固件31进行螺纹旋紧装配，固定在支撑柱处的安装台上，且四周均与金属外壳22预留间隙，避免由于振动位移导致的微惯性模块1-6中的电路板器件与金属外壳22碰撞。而与硅橡胶减震垫33相配合的另一个硅橡胶减震垫34通过分割面间的黏着性与硅橡胶减震垫33相贴合，且硅橡胶减震垫34的外壁与金属外壳22的内壁相接触贴合。采用弹性紧固件31可以在起到紧固硅橡胶减震垫33的作用的同时，具有更好的抗振动性能。

传统硅橡胶减振垫均是利用材料的本身阻尼特性，通过减振材料原有结构的形变，来吸收或者衰减由外界传递至被减振***的振动或者位移。因为振动可以理解为多种频率叠加的应力或者激励引起的响应，而应力在介质中以波的形式传递，应力波在减振材料传递过程中，由于减振材料-硅橡胶的阻尼效应而不断衰减。本发明为实现更加优良的隔振性能，将硅橡胶减震垫结构进行特殊设计，颠覆传统的硅橡胶减振垫T型或者半球结构形式。将硅橡胶减振垫进行分离式设计。即把四个支撑柱的上顶面与下底面上安装的硅橡胶减震垫采用一分割面进行分割开，形成两个楔形的相互配合的硅橡胶减振垫。因为应力波在介质传播过程中本身存在着衰减，而当应力波在不同介质界面处或同一介质中变截面处传递时也存在着透射、反射与衰减。因此通过分割面的倾斜设计，实现两块近似楔形硅橡胶减振垫的紧贴配合，并可以将两块相互配合的硅橡胶减振垫设计成不同阻尼系数，可以进一步衰减振动应力的传递，从而实现在不改变原有减振垫尺寸大小的情况下增加其振动隔离或衰减的能力。同时在硅橡胶减振垫加入此种倾斜角分割面的设计，起到了利用力的分解产生隔振的效果。由于硅橡胶此种材料存在较强的黏着性，将两部分硅橡胶减振垫贴合在一起，两者之间即产生较大的附着力。当振动传递至微惯性模块1-6时，首先由硅橡胶减振垫本身材料的阻尼特性，将振动进行衰减；然后振动应力以波的形式传递至该对硅橡胶减振垫分割面时，利用不同介质的变截面与力的分解进行第二次衰减；最后振动应力传递至微惯性模块金属支撑架4的橡胶垫时，若剩余振动应力依旧较大，变截面处两块硅橡胶减振垫将会因为挤压或者拉伸形成一定的运动趋势，形成进一步形变或者同步的相对位移，对振动进行第三次衰减。

实施例2

如图1－图4所示，在实施例1的基础上，本实施例中的惯性测量单元抗冲击减振***，包括：设置在微惯性模块1-6外部的承载式全包围的缓冲垫11、12、将微惯性模块1-6安装在底座内并起保护作用的抗冲击防护壳8以及盖板7等。

在微惯性模块内部进行振动隔离或衰减，在微惯性模块外部的两个对合的金属外壳21、22上分别对应各套设一个承载式全包围的缓冲垫11、12，使微惯性模块与抗冲击防护壳8之间形成抗高过载冲击的措施。

微惯性模块关注的高过载冲击通常发生在载体发射过程，为一定脉宽的加速度冲击，其特点是时间短，能量大，并且此过程通常存在一个难以捕捉的极窄脉宽的加速度冲击尖峰，二者均对微惯性测量单元的正常工作造成风险。现有技术途径大多为增加缓冲垫，消除加速度冲击尖峰。但受限于微惯性测量单元的体积限制，造成缓冲垫压缩行程短、形变小，对一定脉宽加速度冲击的响应与缓冲效果不理想。本发明通过承载式全包围的缓冲垫11、12、抗冲击防护壳8以及微惯性模块1-6外部的金属外壳21、22的设计，实现短行程缓冲条件下，对加速度冲击尖峰以及一定脉宽加速度冲击的有效防护，保证微惯性模块的正常工作。首先根据微惯性模块金属外壳的结构与尺寸，对抗冲击防护壳8与金属外壳进行一定间隙配合的结构设计，其间隙即为承载式全包围缓冲垫11、12的安装空间。即抗冲击防护壳8与微惯性模块1-6外部的金属外壳21、22之间通过预压缩缓冲垫11、12的形式，将微惯性模块进行包围紧固并进行缓冲防护。由于加速度冲击载荷主要沿载体发射方向，且伴随着一定的侧向冲击，因此在设计配合间隙的时候，底部承载面的间隙较大，其余面的间隙较小，使得在主冲击方向的缓冲垫足够厚实，且有较大的压缩行程。

为进一步增加缓冲垫的压缩行程，将微惯性模块的金属外壳21进行特殊开槽设计，并配合设计缓冲垫11、12底部结构，使得缓冲垫在承受加速度冲击载荷时，首先在受冲击方向上具有压缩行程，然后将缓冲垫的形变引导至四周，进行径向拓展。因此由于横向尺寸的扩大，导致缓冲垫的压缩行程可被进一步增大，达到对一定脉宽加速度冲击的防护效果。为保证微惯性模块在载体进行高速旋转运动时，测量轴向的稳定性，微惯性模块***的硅橡胶减振垫的侧面外部轮廓与金属外壳均设计为具有倒角的近似直角边结构，实现结构定位，防止在载体高旋状态下导致的硅橡胶减振垫与外部的金属外壳相对转动。

为提高内部微惯性模块在载体高旋状态下的抗扭转能力，配合缓冲垫近似正方体的外部形状，在微惯性测量单元底座9的内部底面进行开槽91，将下部由缓冲垫包裹的微惯性模块嵌入微惯性测量单元底壳的开槽91中。对开槽进行特殊处理，加工为近似正四棱台结构，即开槽的顶面与包裹缓冲垫的微惯性模块进行过盈配合，用于紧固微惯性模块；开槽91的底面尺寸大于下部的缓冲垫12尺寸，留有一定空间。开槽周围的底座的内侧壁上设置有螺纹孔。当微惯性模块收到加速度过载时，微惯性模块沿轴向挤压下部缓冲垫，导致缓冲垫底面压缩变形。底座9内的正四棱台开槽设计，将缓冲垫的压缩变形向四周空间发展，增加缓冲垫承载方向的压缩行程，从而提高微惯性测量单元的缓冲、抗冲击能力。同时利用抗冲击防护壳8与上部的缓冲垫11实现对微惯性模块的进一步固定，抗冲击防护壳8配合缓冲垫结构设计为六面体套筒形式，并在抗冲击防护壳8外表面的底部设有带固定孔的安装法兰81。安装法兰81的固定孔与底座9的内侧壁上的螺纹孔92相配合。用上、下缓冲垫包裹微惯性模块外部的金属外壳，并将其嵌入至微惯性测量单元底座的开槽内，缓冲垫底面与开槽的底面完全贴合，然后将抗冲击防护壳按照固定孔分布，通过紧固件与底座的内侧壁上的螺纹孔的配合，将抗冲击外壳固定在微惯性测量单元底座的开槽中。

为降低该缓冲结构部分的装配难度，并考虑到微惯性模块与载体其他***的信息互联，将微惯性模块的信号线通过电气接口穿过微惯性模块的金属外壳引出，将全包围承载式的缓冲垫设计为上下盖合结构，并在任意金属外壳21、缓冲垫11上预留信号线引出槽211、111，将信号线与微惯性模块外部的金属外壳的接插件互联，或采用线束的方式甩出。

其他结构与实施例1相同。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种微惯性测量单元抗冲击减振结构，用于对由支撑架支撑的微惯性模块减振，其特征是，包括设置在支撑架上的振动隔离器；

支撑架采用六面体框架结构，六面体框架结构的八个顶角处均设置有振动隔离器；

所述振动隔离器为由分割面分割形成的一对相互配合的硅橡胶减震垫；每对相互配合的硅橡胶减振垫中的两个硅橡胶减震垫具有不同的阻尼系数；

所述六面体框架结构的四个支撑柱上设置有向内倒角的空间，每个振动隔离器中的其中一个硅橡胶减震垫通过设置在向内倒角的空间中的弹性紧固件固定在其中一个顶角处，另一个硅橡胶减震垫通过分割面间的黏着性贴合在该硅橡胶减震垫上。

2.根据权利要求1所述的一种微惯性测量单元抗冲击减振结构，其特征是，硅橡胶减震垫呈楔形，每对硅橡胶减震垫通过楔形面作为分割面形成相互配合。

3.根据权利要求1所述的一种微惯性测量单元抗冲击减振结构，其特征是，还包括可容纳振动隔离器、支撑架和微惯性模块的对合设置的外壳。

4.根据权利要求3所述的一种微惯性测量单元抗冲击减振结构，其特征是，支撑架和/或外壳均为金属材质。

5.一种微惯性测量单元抗冲击减振***，用于对由支撑架支撑的微惯性模块减振，其特征是，包括：设置在支撑架上的振动隔离器、可容纳振动隔离器、支撑架和微惯性模块的对合设置的外壳；

还包括缓冲垫、套设在外壳外部并将外壳限定在底座内的抗冲击防护壳以及盖合在底座上的盖板；

支撑架采用六面体框架结构，六面体框架结构的八个顶角处均设置有振动隔离器；

所述振动隔离器为由分割面分割形成的一对相互配合的硅橡胶减震垫；

对合的外壳上分别对应各套设一个所述的缓冲垫；每对相互配合的硅橡胶减振垫中的两个硅橡胶减震垫具有不同的阻尼系数；所述六面体框架结构的四个支撑柱上设置有向内倒角的空间，每个振动隔离器中的其中一个硅橡胶减震垫通过设置在向内倒角的空间中的弹性紧固件固定在其中一个顶角处，另一个硅橡胶减震垫通过分割面间的黏着性贴合在该硅橡胶减震垫上。

6.根据权利要求5所述的一种微惯性测量单元抗冲击减振***，其特征是，所述缓冲垫厚度不均，套于外壳底部上的厚度大于套于外壳侧壁上的厚度。

7.根据权利要求5或6所述的一种微惯性测量单元抗冲击减振***，其特征是，所述抗冲击防护壳与所述外壳之间设有用于容纳缓冲垫的配合间隙。

8.根据权利要求5所述的一种微惯性测量单元抗冲击减振***，其特征是，外壳和缓冲垫上预留信号线引出槽。

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