CN111337762A - 一种实时监测esd输出的方法 - Google Patents

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李更生
熊瑞虎
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Abstract

本发明涉及芯片生产技术领域，具体涉及一种实时监测ESD输出的方法，监测方法中的装置包括ESD放电电源、芯片、ESD监控组件和软体，ESD监控组件包括模数转换单元和电流检测单元，ESD放电电源与芯片电性连接，ESD放电电源与ESD监控组件电性连接，ESD监控组件与芯片电性连接，ESD监控组件与软体电性连接，ESD放电电源用来为芯片提供电源；ESD监控组件用来实时监测芯片上的ns级电流数值；软体用来为ESD监控组件的监控数据进行记录并实时反馈，本发明能够解决现有的ESD输出结果无法被及时发现，如果过程中ESD输出偏高或者偏低，需要长时间的良率数据才能发现机台端异常，并且导致产品在后续的制程中有可能因为各种原因被静电击穿、打死的问题。

Description

一种实时监测ESD输出的方法
技术领域
本发明涉及芯片生产技术领域，具体涉及一种实时监测ESD输出的方法。
背景技术
静电模拟测试是LED芯片制作流程的必需条件，目的在于检验芯粒抗静电能力，在芯片测试过程中，会对芯粒作用ESD高压后测量芯粒的反向漏电流，反向漏电流良率就代表芯粒抗静电能力的高低，现在监测反向漏电流良率主要是通过连续工作日的平均数据比对，即比对历史数据的高低趋势，去分析ESD静电放电装置是否有异常或者芯粒本身抗静电能力是否有变化，而在这期间，如果ESD静电放电装置异常，则会造成大量片源需要追货或返工，给生产和品质带来极大的不稳定因素。
现有LED芯片在测试的过程中虽然增加了ESD 2-4KV不等的测试条件，但实际的ESD输出结果是无法及时发现，如果过程中ESD输出偏高或者偏低，需要长时间的良率数据才能发现机台端异常，并且导致这样的产品在后续的制程中有可能因为各种原因被静电击穿、打死。为此，急需一种能够及时、准确的监控ESD到实际输出波形对应的电流峰值实时监测ESD输出的方法来解决这些问题。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明公开了一种实时监测ESD输出的方法，能够解决现有的ESD输出结果无法被及时发现，如果过程中ESD输出偏高或者偏低，需要长时间的良率数据才能发现机台端异常，并且导致产品在后续的制程中有可能因为各种原因被静电击穿、打死的问题。
本发明通过以下技术方案予以实现：一种实时监测ESD输出的方法，所述监测方法中的装置包括ESD放电电源、芯片、ESD监控组件和软体，所述ESD放电电源与芯片电性连接，所述ESD放电电源与ESD监控组件电性连接，所述ESD监控组件与芯片电性连接，所述ESD监控组件与软体电性连接。
所述ESD放电电源用来为芯片提供电源；
所述ESD监控组件用来实时监测芯片上的ns级电流数值；
所述软体用来为ESD监控组件的监控数据进行记录并实时反馈；
优选的，所述ESD监控组件（3）包括模数转换单元（301）和电流检测单元（302）。
优选的，所述ESD放电电源（1）为静电放电电源。
优选的，所述监测方法包括：
1）、实际电流输出记录；
2）、分析峰值电流；
3）、比对国际标准。
优选的，所述方法步骤3）中的具体为：
若符合国际标准，则继续作业；
若不符合国际标准，则发出警报，停止作业；
优选的，所述步骤3）中的判定的国际标准为国际标准波形。
本发明的有益效果为：
本方法通过软体和ESD监控组件的结合，当ESD给出瞬间电压后，ESD监控模组实时监测ns级电流数值，并反馈给软体记录，软体根据国际标准波形去比对ESD实际输出的波形是否符合规范，如有超出波形范围，软体会报警反馈，实现了实时监控效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是发明的结构示意图；
图2是发明中ESD监控组件的结构示意图；
图3是发明中实施方法示意图；
图4和图5是本发明具体实施方式的示例图。
附图标记如下：1-ESD放电电源、2-芯片、3-ESD监控组件、301-模数转换单元、302-电流检测单元、4-软体。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参看图1-3：一种实时监测ESD输出的方法，监测方法中的装置包括ESD放电电源1、芯片2、ESD监控组件3和软体4，ESD放电电源1与芯片2电性连接，ESD放电电源1与ESD监控组件3电性连接，ESD监控组件3与芯片2电性连接，ESD监控组件3与软体4电性连接。
ESD放电电源1用来为芯片2提供电源；
ESD监控组件3用来实时监测芯片2上的ns级电流数值；
软体4用来为ESD监控组件3的监控数据进行记录并实时反馈；
ESD监控组件3包括模数转换单元301和电流检测单元302。
ESD放电电源1为静电放电电源。
所述监测方法包括：
1）、实际电流输出记录；
2）、分析峰值电流；
3）、比对国际标准，且国际标准为国际标准波形：
若符合国际标准，则继续作业；
若不符合国际标准，则发出警报，停止作业；
在此，给出本发明的一个具体实施例，参看图4-5：
以产品实际输出ESD2000V为例：ESD监控模组主要监控峰值电流Ipsmax（Ipeak forShort），当监控到实际输出电流在1.20-1.48A时，机台继续运行；当监控到实际输出电流小于1.2A或者大于1.48A时，软体比对出超出范围，机台软件执行报错，提醒使用者从而达到实时监控的效果。
本发明在使用时，将原来连接到芯片2的一端导线先接入到ESD监控模组3内的高频电流探头内，再将该导线从ESD监控模组3引出到芯片2的另一端行程回路；当芯片2开始测试时，ESD发电电源1发出静电电流，电流流动到ESD监控模组3中的电流检测单元302会侦测到相关的ns级电流数值，并通过内部的模数转换单元301进行转换处理成波形信号，得到的波形信号反馈给软体4，软体4根据国际标准波形去比对ESD实际输出的波形是否符合规范，如有超出波形范围，软体4进行报警反馈，并停止作业，以此来确认芯片2测试数据的准确性。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (5)

1.一种实时监测ESD输出的方法，其特征在于：所述监测方法中的装置包括ESD放电电源（1）、芯片（2）、ESD监控组件（3）和软体（4），所述ESD放电电源（1）与芯片（2）电性连接，所述ESD放电电源（1）与ESD监控组件（3）电性连接，所述ESD监控组件（3）与芯片（2）电性连接，所述ESD监控组件（3）与软体（4）电性连接。
2.所述ESD放电电源（1）用来为芯片（2）提供电源；
所述ESD监控组件（3）用来实时监测芯片（2）上的ns级电流数值；
所述软体（4）用来为ESD监控组件（3）的监控数据进行记录并实时反馈；
根据权利要求1所述的一种实时监测ESD输出的方法，其特征在于：所述ESD监控组件（3）包括模数转换单元（301）和电流检测单元（302）。
3.根据权利要求1所述的一种实时监测ESD输出的方法，其特征在于：所述ESD放电电源（1）为静电放电电源。
4.根据权利要求1所述的一种实时监测ESD输出的方法，其特征在于：所述监测方法包括：
1）、实际电流输出记录；
2）、分析峰值电流；
3）、比对国际标准。
5.根据权利要求4所述的一种实时监测ESD输出的方法，其特征在于：所述方法步骤3）中的具体为：
若符合国际标准，则继续作业；
若不符合国际标准，则发出警报，停止作业；
根据权利要求4所述的一种实时监测ESD输出的方法，其特征在于：所述步骤3）中的判定的国际标准为国际标准波形。
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