CN111269200B - 气体灭菌剂的回收纯化***与其方法 - Google Patents

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Abstract

一种气体灭菌剂的回收纯化***与其方法，适用于处理灭菌后的废气。所述灭菌后的废气包括灭菌剂、氮气，及水蒸气。所述气体灭菌剂的回收纯化***包含减压阀、第一纯化装置、第一储存槽装置、分离单元、第二纯化装置，及第二储存槽装置。所述减压阀将所述灭菌后的废气的压力降低至第一预定压力而形成减压后的废气。所述第一纯化装置包括第一凝结模组，以将所述减压后的废气冷却至第一预定温度而分离成第一回收液及第一纯化气体。所述分离单元将所述第一纯化装置排出的气体的压力提升至第二预定压力而形成升压后的气体。所述第二纯化装置包括第二凝结模组，以将所述升压后的气体冷却至第二预定温度而分离成具有所述灭菌剂的第二回收液及第二纯化气体。

Description

气体灭菌剂的回收纯化***与其方法
技术领域
本发明涉及一种气体灭菌剂，特别是涉及一种气体灭菌剂的回收纯化***与其方法。
背景技术
环氧乙烷是一种高活性有机化合物，经常被用于作为灭菌剂使用。一般利用环氧乙烷灭菌时，是将待灭菌物品放置于一个密闭空间中，接着将环氧乙烷蒸气输入所述密闭空间以进行灭菌。
然而，由于环氧乙烷的活性高，易燃、易爆且具有毒性，所以即使在没有空气时，也必须在低压下谨慎地使用。因此前述的灭菌作业通常是在低压下进行，而使用后的环氧乙烷气体则需要排放到排放控制装置中加以破坏。目前虽然有一些处理使用后的环氧乙烷气体的方法，然而，所述方法往往会导致其他的问题(例如：将环氧乙烷气体溶入水中造成污水排放问题、利用燃烧装置处理环氧乙烷气体造成***反应的安全问题……等等)。
目前有一种针对低浓度的环氧乙烷灭菌剂进行回收再使用的方法，但由于所述低浓度的环氧乙烷灭菌剂的浓度低，因此灭菌效果较差，且在灭菌过程中环氧乙烷会与细菌、水蒸气，及酒精等反应消耗，因此环氧乙烷的浓度也会逐渐降低，导致灭菌效果衰退。
此外，低浓度的环氧乙烷灭菌剂在制造的过程中需要将环氧乙烷与惰性气体在高压下(例如：4大气压下)混合成一种低浓度的环氧乙烷混合气体(通常是将环氧乙烷与惰性气体以10：90或20：80的比例混合)，因此需要使用高额定压力的容器，不仅十分昂贵，在处理的过程中将压力提高也会增加处理的危险性。
因此，为了避免前述缺点，目前在工业上所有使用环氧乙烷灭菌剂的大型灭菌室都设计成使用低压和高浓度的环氧乙烷气体来灭菌，而针对使用后的环氧乙烷则只能如同前述的将环氧乙烷气体溶入水中，或利用燃烧装置等方式处理，而不能回收再使用。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能回收灭菌剂气体并维持一致的灭菌效果的气体灭菌剂的回收纯化***。
本发明的另一个目的在于提供一种能回收灭菌剂气体并维持一致的灭菌效果的气体灭菌剂的回收纯化方法。
本发明一种气体灭菌剂的回收纯化***，适用于处理灭菌后的废气。所述灭菌后的废气包括灭菌剂、氮气，及水蒸气。所述气体灭菌剂的回收纯化***包含减压阀、第一纯化装置、第一储存槽装置、分离单元、第二纯化装置，及第二储存槽装置。所述减压阀适用于接收并将所述灭菌后的废气的压力降低至第一预定压力而形成减压后的废气。所述第一纯化装置包括连接于所述减压阀下游且适用于将所述减压后的废气冷却至第一预定温度的第一凝结模组。所述第一预定温度高于水在所述第一预定压力下的凝固点，并低于水在所述第一预定压力下的沸点，以使所述减压后的废气分离成具有水的第一回收液，及具有所述灭菌剂的第一纯化气体。所述第一储存槽装置连接所述第一纯化装置，并适用于储存及排放所述第一回收液。所述分离单元连接于所述第一纯化装置下游，并适用于将所述第一纯化装置排出的气体的压力提升至大于所述第一预定压力的第二预定压力而形成升压后的气体。所述第二纯化装置包括连接于所述分离单元的下游并适用于将所述升压后的气体冷却至第二预定温度的第二凝结模组。所述第二预定温度高于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的沸点，以使所述升压后的气体分离成具有所述灭菌剂的第二回收液，及第二纯化气体。所述第二储存槽装置连接所述第二纯化装置，并适用于储存及排放所述第二回收液。
本发明气体灭菌剂的回收纯化***，所述灭菌剂具有环氧乙烷，所述第一预定压力是介于0.1磅每平方英寸至10磅每平方英寸之间。
本发明气体灭菌剂的回收纯化***，所述第一预定压力是1磅每平方英寸，所述第二预定压力是一大气压，所述第一预定温度低于20摄氏度。所述第二预定温度低于10摄氏度。
本发明气体灭菌剂的回收纯化***，所述第二预定温度是介于-111摄氏度至-20摄氏度之间。
本发明气体灭菌剂的回收纯化***，所述灭菌剂具有环氧丙烷。所述第一预定压力是介于0.1磅每平方英寸至10磅每平方英寸之间。所述第二预定压力是一大气压。
本发明气体灭菌剂的回收纯化***，所述气体灭菌剂的回收纯化***还包含连接于所述减压阀上游并适用于将所述灭菌后的废气输送至所述减压阀的导引真空泵。
本发明气体灭菌剂的回收纯化***，所述气体灭菌剂的回收纯化***还包含节能装置。所述节能装置适用于导引使所述第二纯化气体排出，并在排出过程中与所述第二凝结模组共同冷却所述第二纯化装置中尚未完成纯化的气体。
本发明气体灭菌剂的回收纯化***，所述第一纯化装置还包括连接所述第一凝结模组及所述分离单元之间且连接所述第一储存槽装置的第一凝华模组。所述第一凝华模组适用于将所述第一纯化气体冷却至低于所述第一预定温度的第一凝华温度，以使所述第一纯化气体中的所述水蒸气凝华成冰且供后续导入所述第一储存槽装置。所述第一凝华温度高于所述灭菌剂在所述第一预定压力下的沸点，并低于水在所述第一预定压力下的凝固点。
本发明气体灭菌剂的回收纯化***，所述第一纯化装置的所述第一凝华模组具有至少两个彼此并联设置的第一凝华器。
本发明气体灭菌剂的回收纯化***，所述第二纯化装置还包括连接于所述第二凝结模组下游并连接所述第二储存槽装置的第二凝华模组。所述第二凝华模组适用于将所述第二纯化气体冷却至低于所述第二预定温度的第二凝华温度，以使所述第二纯化气体中的所述灭菌剂凝华成固体且供后续导入所述第二储存槽装置。所述第二凝华温度高于所述氮气在所述第二预定压力下的沸点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点。
本发明气体灭菌剂的回收纯化***，所述第二纯化装置的所述第二凝华模组具有至少两个彼此并联设置的第二凝华器。
本发明气体灭菌剂的回收纯化***，所述第二纯化装置的所述第二凝结模组具有设置于所述分离单元的下游的主凝结器，及至少一个设置于所述分离单元及所述主凝结器间的辅助凝结器。所述至少一个辅助凝结器及所述主凝结器能使所述升压后的气体通过所述第二凝结模组时的温度依序下降。
本发明一种气体灭菌剂的回收纯化方法，包含下列步骤：(A)取得灭菌后的废气，所述灭菌后的废气包括灭菌剂、氮气及水蒸气。(B)将所述灭菌后的废气的压力降低至第一预定压力而形成减压后的废气。(C)进行第一纯化作业，包括(C-1)透过第一纯化装置将所述减压后的废气冷却至第一预定温度以分离成具有水的第一回收液及具有所述灭菌剂的第一纯化气体。所述第一预定温度高于水在所述第一预定压力下的凝固点，并低于水在所述第一预定压力下的沸点。(D)透过分离单元将所述第一纯化装置排出的气体的压力提升至第二预定压力而形成升压后的气体。(E)进行第二纯化作业，包括(E-1)透过第二纯化装置将所述升压后的气体冷却至第二预定温度以分离成具有所述灭菌剂的第二回收液，及第二纯化气体。所述第二预定温度高于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的沸点。(F)取得所述第二纯化装置排出的液体。
本发明气体灭菌剂的回收纯化方法，所述步骤(A)的所述灭菌剂具有环氧乙烷。所述步骤(B)的所述第一预定压力是介于0.1磅每平方英寸至10磅每平方英寸之间。
本发明气体灭菌剂的回收纯化方法，所述步骤(B)的所述第一预定压力是1磅每平方英寸。所述步骤(C)的所述第一预定温度低于20摄氏度。所述步骤(D)的所述第二预定压力是一大气压。所述步骤(E)的所述第二预定温度低于10摄氏度。
本发明气体灭菌剂的回收纯化方法，所述步骤(E)的所述第二预定温度是介于-111摄氏度至-20摄氏度之间。
本发明气体灭菌剂的回收纯化方法，所述步骤(A)的所述灭菌剂具有环氧丙烷。所述步骤(B)的所述第一预定压力是介于0.1磅每平方英寸至10磅每平方英寸之间。所述步骤(D)的所述第二预定压力是接近或等于一大气压。
本发明气体灭菌剂的回收纯化方法，所述气体灭菌剂的回收纯化方法还包含步骤(G)。所述步骤(G)是导引使所述第二纯化气体排出，并在排出的过程中与所述第二凝结模组共同冷却在所述第二纯化装置中尚未完成纯化的气体。
本发明气体灭菌剂的回收纯化方法，所述步骤(C)的所述第一纯化作业还包括接续于所述步骤(C-1)后的步骤(C-2)。所述步骤(C-2)将所述第一纯化气体冷却至低于所述第一预定温度的第一凝华温度使剩余的所述水蒸气凝华于至少第一凝华器的表面。所述第一凝华温度高于所述灭菌剂在所述第一预定压力下的沸点，并低于水在所述第一预定压力下的凝固点。
本发明气体灭菌剂的回收纯化方法，所述步骤(C-2)的剩余的所述水蒸气是凝华而附着于至少两个并联设置的第一凝华器的表面。所述步骤(C)还包括接续于所述步骤(C-2)后的步骤(C-3)。所述步骤(C-3)是当所述至少两个第一凝华器的其中一者的表面形成厚冰时，关闭所述第一凝华器并开启邻近所述第一凝华器表面的第一加热器以融化固结于所述第一凝华器表面的冰。
本发明气体灭菌剂的回收纯化方法，所述步骤(E)的所述第二纯化作业还包括接续于所述步骤(E-1)后的步骤(E-2)。所述步骤(E-2)将第二纯化气体冷却至低于所述第二预定温度的第二凝华温度使剩余的所述灭菌剂气体凝华而附着于至少一个第二凝华器的表面。所述第二凝华温度高于所述氮气在所述第二预定压力下的沸点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点。
本发明气体灭菌剂的回收纯化方法，所述步骤(E-2)的剩余的所述灭菌剂气体是凝华而附着于至少两个并联设置的第二凝华器的表面。所述步骤(E)还包括接续于所述步骤(E-2)后的步骤(E-3)。所述步骤(E-3)是当所述至少两个第二凝华器的其中一者的表面形成所述灭菌剂固体时，关闭所述第二凝华器并开启邻近所述第二凝华器表面的第二加热器以融化固结于所述第二凝华器表面的所述灭菌剂固体。
本发明气体灭菌剂的回收纯化方法，所述步骤(E-1)中，所述第二纯化装置具有依序设置于所述分离单元的下游的至少一个辅助凝结器及主凝结器，使所述升压后的气体的温度依序下降至所述第二预定温度。
本发明的有益效果在于：借由所述减压阀使所述灭菌后的废气的压力降低，并借由所述第一凝结模组降低所述减压后的废气的温度去除水分而形成所述第一纯化气体，借由所述分离单元提升所述第一纯化装置排出的气体的压力，并借由所述第二纯化装置的冷却，能自所述第一纯化气体中分离出所述灭菌剂，因此能回收纯化后的所述灭菌剂。
附图说明
图1是本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第一实施例与一个灭菌室的一个***架构图；
图2是利用所述第一实施例的一个气体灭菌剂的回收纯化方法的一个流程图；
图3是本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第二实施例与一个灭菌室的一个***架构图；
图4是本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第三实施例与一个灭菌室的一个***架构图；
图5是本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第四实施例与一个灭菌室的一个***架构图；
图6是本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第五实施例与一个灭菌室的一个***架构图；
图7是本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第六实施例与三个灭菌室的一个***架构图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。
在本发明被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的组件是以相同的编号来表示。
在以下的说明所指的两个组件之间的连接，可以透过管道连接，并可以辅以隔热处理或密封处理。
参阅图1，本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第一实施例，适用于连接一个灭菌室1并处理储放于所述灭菌室1的灭菌后的废气。所述灭菌后的废气包括灭菌剂、氮气，及水蒸气。在本实施例中，所述灭菌剂具有环氧乙烷，所述灭菌室1具有至少一个适用于排出空气、注入所述灭菌剂气体以及排出灭菌后的废气的出入口(图未示)。
所述气体灭菌剂的回收纯化***包含一个导引真空泵21、一个减压阀22、一个第一纯化装置3、一个第一储存槽装置4、一个分离单元5、一个第二纯化装置6，及一个第二储存槽装置7。
所述导引真空泵21是连接于所述减压阀22上游并适用于连接所述灭菌室1的所述至少一个出入口，且适用于将所述灭菌后的废气输送至所述减压阀22。
所述减压阀22适用于接收并将所述灭菌后的废气的压力降低至一个第一预定压力而形成减压后的废气。在本实施例中，所述第一预定压力是介于0.1磅每平方英寸(PSI)至10磅每平方英寸，较佳是1磅每平方英寸。
所述第一纯化装置3包括一个连接于所述减压阀22下游且适用于将所述减压后的废气冷却至一个第一预定温度的第一凝结模组31。所述第一预定温度高于水在所述第一预定压力下的凝固点，并低于水在所述第一预定压力下的沸点，以使所述减压后的废气分离成具有水的第一回收液，及具有所述灭菌剂的第一纯化气体。在本实施例中，所述第一预定压力是1磅每平方英寸时，所述第一预定温度是高于0摄氏度(即在1磅每平方英寸压力下的水的凝固点)，并低于20摄氏度(即在1磅每平方英寸压力下的水的沸点)，且所述第一预定温度更佳是4摄氏度。
所述第一储存槽装置4是连接所述第一纯化装置3，并包括一个适用于储存所述第一回收液的第一槽体41、一个连通所述第一槽体41而能被开启而使所述第一槽体41的气压恢复至一大气压的释压阀42，及一个连通所述第一槽体41而能被开启以适用于排放储放于所述第一槽体41的所述第一回收液的排放阀43。
所述分离单元5是连接于所述第一纯化装置3下游，并包括一个适用于将所述第一纯化装置3排出的气体的压力提升至一个大于所述第一预定压力的第二预定压力而形成升压后的气体的分离泵51。在本实施例中，所述分离单元5还包括一个连接于所述第一纯化装置3及所述分离泵51之间并使所述第一纯化装置3排出的气体进入所述分离泵51的分离阀52，而所述第二预定压力是接近一大气压，更佳是等于一大气压。
定义所述减压阀22至所述分离泵51之间为一个第一预定压力区Z1，所述分离泵51下游为一个第二预定压力区Z2。在本实施例中，所述减压阀22是采用节流阀的形式，并能使所述第一预定压力区Z1内的压力维持在所述第一预定压力。
所述第二纯化装置6包括一个连接于所述分离单元5的下游并适用于将所述升压后的气体冷却至一个第二预定温度的第二凝结模组61。所述第二预定温度高于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的沸点，以使所述升压后的气体分离成具有所述灭菌剂的第二回收液，及第二纯化气体。在本实施例中，所述第二预定压力是一大气压时，所述第二预定温度是高于-112摄氏度(即在一大气压力下的环氧乙烷的凝固点)，并低于10度(即在一大气压力下的环氧乙烷的沸点)。所述第二预定温度较佳是介于-111摄氏度至-20摄氏度之间，更佳是-110摄氏度。
所述第二储存槽装置7是连接所述第二纯化装置6，并包括一个适用于储存所述第二回收液的第二槽体71，及一个连通所述第二槽体71而能被开启以适用于排放储放于所述第二槽体71的所述第二回收液的回收阀72。
以下说明所述气体灭菌剂的回收纯化***的运作流程与原理：
(1)预冷：所述灭菌室1在执行消毒作业时，需先将所述减压阀22关闭，以避免尚未完成灭菌的气体进入所述第一凝结模组31。同时先操作使所述第一凝结模组31及所述第二凝结模组61分别冷却至所述第一预定温度及所述第二预定温度。
(2)减压：待所述消毒作业完成后，开启所述减压阀22，并操作所述导引真空泵21将所述灭菌后的废气输送至所述减压阀22。所述减压阀22接收并将所述灭菌后的废气的压力降低至所述第一预定压力而形成所述减压后的废气。
(3)将所述水蒸气凝结成液体：所述第一凝结模组31将所述减压后的废气冷却至所述第一预定温度。由于所述第一预定温度高于水在所述第一预定压力下的凝固点，并低于水在所述第一预定压力下的沸点，因此能使所述减压后的废气中的所述水蒸气凝结成水而流入所述第一槽体41而形成所述第一回收液，所述减压后的废气中的所述灭菌剂、所述氮气…等等低沸点的物质则会维持气体型态。因此能将所述减压后的废气分离成所述第一回收液，及所述第一纯化气体。
此外，在所述减压后的废气中可能会存在一些高沸点的其他物质(例如：所述导引真空泵21所使用的润滑油、灭菌过程所产生的聚合物…等等)，部分的高沸点物质也会凝结成液体而流入所述第一槽体41，因此所述第一回收液还具有部分的高沸点物质。
(4)升压：所述第一纯化装置3排出的气体通过所述分离阀52进入所述分离泵51。所述分离泵51将所述第一纯化装置3排出的气体压力提升至所述第二预定压力而形成所述升压后的气体。
(5)将所述灭菌剂气体凝结成液体：所述第二凝结模组61将所述升压后的气体冷却至所述第二预定温度。由于所述第二预定温度高于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的沸点，因此能使所述升压后的气体中的所述灭菌剂气体凝结成液体而流入所述第二槽体71，而所述升压后的气体中的所述氮气则会维持气体型态。因此所述升压后的气体会分离成具有所述灭菌剂的所述第二回收液，及所述第二纯化气体。
(6)排放或回收：打开所述回收阀72以取得所述第二回收液。由于在本实施例中，所述第二预定压力是接近一大气压，因此在回收纯化的过程中可以随时打开所述回收阀72以取得所述第二回收液，而不会中断回收纯化作业。所述第二纯化装置6排出的气体可以储放于其他的储存设备以进行后续的处理，或在符合排放标准的情况下直接排放。而当所述第一槽体41装满所述第一回收液时，可以打开所述释压阀42使所述第一槽体41的压力恢复成一大气压，并使所述第一回收液中汽化的气体排出，再打开排放阀43以排放所述第一回收液。
上述运作流程所取得的所述第一回收液的主成分是水，并可能具有微量的杂质与所述灭菌剂的聚合物，而所述第二纯化装置6排出的气体的主要成分是所述氮气，并可能具有极微量的所述灭菌剂气体(例如：所述灭菌剂占所述第二纯化装置6排出的气体的浓度低于百万分之一)，两者都可以很轻易地借由其他的过滤或处理方式处理至符合排放标准后再予以排放。而且由于所述气体灭菌剂的回收纯化***的主要运作原理是利用所述水蒸气、所述灭菌剂及所述氮气三者的沸点差异，以依序将三者分离，因此不会产生其他的污染物。
此外，上述的运作流程是将压力维持在低压或接近一大气压，因此气体不容易外泄，而且在运作的过程中是将温度保持在远低于环氧乙烷的自燃温度，因此相当安全。
参阅图1、2，因此，依据上述的运作流程与原理，利用所述气体灭菌剂的回收纯化***的一个气体灭菌剂的回收纯化方法包含下列步骤S1至S6。
步骤S1：取得灭菌后的废气。所述灭菌后的废气包括所述灭菌剂、所述氮气及所述水蒸气。
步骤S2：将所述灭菌后的废气的压力降低至所述第一预定压力而形成所述减压后的废气。
步骤S3：进行一个第一纯化作业。所述第一纯化作业包括步骤S3-1。
步骤S3-1：透过所述第一纯化装置3将所述减压后的废气冷却至所述第一预定温度以分离成具有水的所述第一回收液及具有所述灭菌剂的所述第一纯化气体。所述第一预定温度高于水在所述第一预定压力下的凝固点，并低于水在所述第一预定压力下的沸点。
步骤S4：透过所述分离单元5将所述第一纯化装置3排出的气体的压力提升至所述第二预定压力而形成所述升压后的气体。
步骤S5：进行一个第二纯化作业，所述第二纯化作业包括步骤S5-1。
步骤S5-1：透过所述第二纯化装置6将所述升压后的气体冷却至所述第二预定温度以分离成具有所述灭菌剂的所述第二回收液，及所述第二纯化气体。所述第二预定温度高于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的沸点。
步骤S6：取得所述第二纯化装置6排出的液体。
因此，借由所述减压阀22使所述灭菌后的废气的压力降低，并借由所述第一凝结模组31降低所述减压后的废气的温度去除水分而形成所述第一纯化气体，再借由所述分离单元5提升所述第一纯化装置3排出的气体的压力，并借由所述第二纯化装置6的冷却以分离出所述灭菌剂，就能回收纯化后的所述灭菌剂，且不会降低回收使用时的灭菌效果。
要特别说明的是，在本实施例中，是以所述灭菌剂气体进行消毒作业，然而，在其他的实施态样中，也可以利用所述灭菌剂气体与二氧化碳的混合气体进行消毒作业，因此所述灭菌后的废气也具有二氧化碳，而二氧化碳会在上述的步骤S5-1中凝华成固体而形成于所述第二凝结模组61的表面，且部分的二氧化碳会溶解于所述灭菌剂液体中而一起流入所述第二槽体71被收集，因此就能取得具有所述灭菌剂与二氧化碳的液体，以供后续回收再使用。
此外，在本实施例中，所述灭菌剂具有环氧乙烷，所述第一预定压力是1磅每平方英寸，所述第二预定压力是一大气压，然而，在其他的实施态样中，所述灭菌剂也可以具有环氧丙烷，而该第一预定压力是介于0.1磅每平方英寸至10磅每平方英寸之间，该第二预定压力是接近或等于一大气压，较佳地该第一预定压力是0.5磅每平方英寸，该第二预定压力是一大气压。
要说明的是，在其他的实施态样中，所述气体灭菌剂的回收纯化方法还包含一个接续于所述步骤S6后的步骤S7-1，所述步骤S7-1是排放所述第二纯化装置排出的气体或收集所述第二纯化装置排出的气体以再利用。
值得一提的是，在本实施例是借由所述减压阀22使所述第一预定压力区Z1内的压力维持在所述第一预定压力，然而，在其他的实施态样中，所述分离单元5也可以还包括一个设置于所述分离泵51上游的辅助真空泵(图未示)，所述辅助真空泵能使所述第一预定压力区Z1内的压力维持在所述第一预定压力。此外，所述辅助真空泵可采用无污染的设计(例如：干式真空泵、无油真空泵、隔膜型真空泵)以避免将其他的污染物增加到待纯化的气体中。
要说明的是，所述第一凝结模组31及所述第二凝结模组61可以采用壳管式热交换器、板式热交换器，或者其他形式的热交换器。
参阅图3，本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第二实施例是类似于所述第一实施例，其差异之处在于：
所述气体灭菌剂的回收纯化***还包含一个释放阀23。所述释放阀23是连接于所述第二纯化装置6下游，并适用于供所述第二纯化装置6排出的气体通过而排放到环境中。
在本实施例中，所述第一预定压力是介于0.1磅每平方英寸(PS I)至4磅每平方英寸。
所述第一纯化装置3还包括一个连接所述第一凝结模组31及所述分离单元5之间且连接所述第一槽体41的第一凝华模组32。所述第一凝华模组32具有一个第一凝华器321。所述第一凝华器321适用于将所述第一纯化气体冷却至一个低于所述第一预定温度的第一凝华温度，以使所述第一纯化气体中的所述水蒸气凝华成冰且供后续导入所述第一储存槽装置4的所述第一槽体41。所述第一凝华温度高于所述灭菌剂在所述第一预定压力下的沸点，并低于水在所述第一预定压力下的凝固点。在本实施例中，所述第一预定压力是1磅每平方英寸压力时，所述第一凝华温度是高于-45摄氏度(即在1磅每平方英寸压力下的环氧乙烷的沸点)，并低于0度(即在1磅每平方英寸压力的水的凝固点)，且所述第一凝华温度更佳是-20摄氏度。
所述第二纯化装置6还包括一个连接于所述第二凝结模组61下游并连接所述第二槽体71的第二凝华模组62。所述第二凝华模组62具有一个第二凝华器621。所述第二凝华器621适用于将所述第二纯化气体冷却至一个低于所述第二预定温度的第二凝华温度，以使所述第二纯化气体中的所述灭菌剂凝华成固体且供后续导入所述第二储存槽装置7的所述第二槽体71。所述第二凝华温度高于所述氮气在所述第二预定压力下的沸点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点。在本实施例中，所述第二预定压力是一大气压时，所述第二凝华温度是高于-196摄氏度(即在一大气压力下的所述氮气的沸点)，并低于-112摄氏度(即在一大气压力下的环氧乙烷的凝固点)，且所述第二凝华温度更佳是-120摄氏度。
因此，所述气体灭菌剂的回收纯化方法还包括一个接续于所述步骤S3-1后的步骤S3-2，及一个接续于所述步骤S5-1后的步骤S5-2，且所述步骤S2将所述灭菌后的废气的压力降低至所述第一预定压力时，能使所述灭菌剂的沸点低于水的凝固点。
步骤S3-2：利用所述第一凝华模组32将所述第一纯化气体冷却至低于所述第一预定温度的所述第一凝华温度，使剩余的所述水蒸气凝华于所述第一凝华器321的表面，而所述第一纯化气体中的所述灭菌剂、所述氮气…等等低沸点的物质则会维持气体型态，以进一步地减少所述第一纯化气体中的所述水蒸气量。
步骤S5-2：利用所述第二凝华模组62将所述第二纯化气体冷却至低于所述第二预定温度的所述第二凝华温度，使剩余的所述灭菌剂气体凝华而附着于所述第二凝华器621的表面，而所述第二纯化气体中的所述氮气则会维持气体型态，以进一步地减少所述第二纯化气体中的所述灭菌剂气体量。
如此一来，借由设置所述第一凝华模组32，能进一步地减少所述第一纯化装置3排出的气体中的所述水蒸气量，而借由设置所述第二凝华模组62，能进一步地减少所述第二纯化气体中的所述灭菌剂气体量，因此能提供更佳的纯化效果。
值得一提的是，在其他的实施例中，所述第一凝华模组32还具有一个邻近所述第一凝华器321表面的第一加热器(图未示)，当所述第一凝华器321的表面形成太厚的冰以至于不能有效地将剩余的所述水蒸气凝华时，可以关闭所述第一凝华器321并开启所述第一加热器以将固结于所述第一凝华器321表面的冰融化成水而流入所述第一槽体41。或者，在其他的实施态样中，当所述第一凝华器321的表面形成太厚的冰以至于不能有效地将剩余的所述水蒸气凝华时，可以利用其他的装置(图未示)将温暖的流体(例如：水)导引至所述第一凝华器321的表面以将冰融化成水而流入所述第一槽体41。
类似地，在其他的实施例中，所述第二凝华模组62还具有一个邻近所述第二凝华器621表面的第二加热器(图未示)，当所述第二凝华器621的表面形成太厚的所述灭菌剂固体以至于不能有效地将剩余的所述灭菌剂气体凝华时，可以关闭所述第二凝华器621并开启所述第二加热器以将固结于所述第二凝华器621表面的所述灭菌剂固体融化成液体而流入所述第二槽体71。或者，在其他的实施态样中，当所述第二凝华器621的表面形成太厚的所述灭菌剂固体以至于不能有效地将剩余的所述灭菌剂气体凝华时，可以利用其他的装置(图未示)将温暖的流体导引至所述第二凝华器621的表面以将所述灭菌剂固体融化成液体而流入所述第二槽体71。
要说明的是，所述第一凝华器321及所述第二凝华器621可以采用壳管式热交换器、板式热交换器，或者其他形式的热交换器。
如此，所述第二实施例也可达到与所述第一实施例相同的目的与功效。
参阅图4，本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第三实施例是类似于所述第二实施例，其差异之处在于：
所述分离单元5还包括一个连接于所述分离泵51下游且能降低所述升压后的气体温度并连接所述第二槽体71的降温器53。在本实施例中，所述降温器53是一个水冷式热交换器。
所述第二凝结模组61具有一个设置于所述分离单元5的下游并连接所述第二槽体71的主凝结器611，及一个设置于所述分离单元5的下游且位于所述主凝结器611上游并连接所述第二槽体71的辅助凝结器612。所述辅助凝结器612及所述主凝结器611能使所述升压后的气体通过所述第二凝结模组61时的温度依序下降。
所述气体灭菌剂的回收纯化***还包含一个节能装置8。所述节能装置8适用于导引使所述第二纯化装置6排出的气体排出，并在排出过程中与所述第二凝结模组61共同冷却所述第二纯化装置6中尚未完成纯化的气体。所述节能装置8包括一个设置于所述分离单元5的所述降温器53与所述辅助凝结器612之间并连接所述第二槽体71的凝结节能器81，及一个设置于所述主凝结器611与所述第二凝华模组62之间并连接所述第二槽体71的凝华节能器82。
由于所述分离泵51将所述第一纯化装置3排出的气体的压力提升至所述第二预定压力的过程，会使温度大幅提升，因此借由依序设置于所述分离泵51下游的所述降温器53与所述凝结节能器81，能初步降低所述升压后的气体温度，以减少所述第二凝结模组61的负荷并提高冷却效率。而在前述初步降低温度的过程中如果有所述灭菌剂气体凝结成液体，则会经由管路的导引而流入所述第二槽体71被收集。
类似地，利用所述凝华节能器82对所述第二纯化气体进行预冷，则能减少所述第二凝华模组62的负荷并提高冷却效率，而在前述预冷的过程中如果有所述灭菌剂气体凝结成液体，则会经由管路的导引而流入所述第二槽体71被收集。
因此，所述气体灭菌剂的回收纯化方法还包括一个接续于所述步骤S4后的步骤S4-1，及一个接续于所述步骤S6后的步骤S7-2，且所述步骤S5-1调整如下。
步骤S4-1：利用所述降温器53初步降低所述升压后的气体温度，以减少所述第二凝结模组61的负荷并提高冷却效率。
步骤S5-1：透过所述辅助凝结器612及所述主凝结器611使所述升压后的气体的温度依序下降至所述第二预定温度以分离成具有所述灭菌剂的所述第二回收液，及所述第二纯化气体。所述第二预定温度高于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的沸点。
步骤S7-2：利用所述节能装置8导引使所述第二纯化装置6排出的气体排出，并在排出的过程中与所述第二凝结模组61共同冷却在所述第二纯化装置6中尚未完成纯化的气体。
要特别说明的是，所述凝结节能器81及所述凝华节能器82利用所述第二纯化装置6排出的气体冷却所述第二纯化装置6中尚未完成纯化的气体的过程中，不仅能节省冷却的能源，也能将所述第二纯化装置6排出的气体温度提升至接近室温，以利于排放。
值得一提的是，在本实施例中，所述第二凝结模组61仅包括一个所述辅助凝结器612，然而，在其他的实施态样中，所述第二凝结模组61也可以包括两个以上依序设置于所述主凝结器611上游的辅助凝结器612，只要所述辅助凝结器612及所述主凝结器611能使所述升压后的气体通过所述第二凝结模组61时的温度依序下降，也能够达到相同的目的。
如此，所述第三实施例也可达到与所述第二实施例相同的目的与功效。
参阅图5，本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第四实施例是类似于所述第二实施例，其差异之处在于：
所述第一纯化装置3的所述第一凝华模组32具有两个彼此并联设置的第一凝华器321。
所述第二纯化装置6的所述第二凝华模组62具有两个彼此并联设置的第二凝华器621。
借由设置所述第一凝华器321及所述第二凝华器621，除能使冷却效率更好外，当所述第一凝华器321(或所述第二凝华器621)的其中一者的表面形成太厚的冰(或所述灭菌剂固体)以至于不能有效地将剩余的所述水蒸气(或所述灭菌剂气体)凝华时，可以关闭所述第一凝华器321(或所述第二凝华器621)以除去固结于表面的固体，而另一个第一凝华器321(或另一个第二凝华器621)则可以持续地运作以将剩余的所述水蒸气(或所述灭菌剂气体)凝华。其中，除去固结于所述第一凝华器321(或所述第二凝华器621)的固体的方式可以参考所述第二实施例的相关说明，不再赘述。
如此一来，就能够在除去所述第一凝华器321的其中一者的冰或除去所述第二凝华器621的其中一者的所述灭菌剂固体的同时，维持回收纯化***的运作。
因此，所述气体灭菌剂的回收纯化方法中的所述步骤S3-2及步骤S5-2调整如下，且所述气体灭菌剂的回收纯化方法还包括一个接续于所述步骤S3-2后的步骤S3-3，及一个接续于所述步骤S5-2后的步骤S5-3。
步骤S3-2：利用所述第一凝华模组32将所述第一纯化气体冷却至低于所述第一预定温度的所述第一凝华温度，使剩余的所述水蒸气凝华于所述第一凝华器321的表面，而所述第一纯化气体中的所述灭菌剂、所述氮气…等等低沸点的物质则会维持气体型态，以进一步地减少所述第一纯化气体中的所述水蒸气量。
步骤S3-3：当所述第一凝华器321的其中一者的表面形成太厚的冰以至于不能有效地将剩余的所述水蒸气凝华时，关闭所述第一凝华器321并开启一个邻近所述第一凝华器321表面的第一加热器(图未示)以融化固结于所述第一凝华器321表面的冰。
步骤S5-2：利用所述第二凝华模组62将所述第二纯化气体冷却至低于所述第二预定温度的所述第二凝华温度，使剩余的所述灭菌剂气体凝华而附着于所述第二凝华器621的表面，而所述第二纯化气体中的所述氮气则会维持气体型态，以进一步地减少所述第二纯化气体中的所述灭菌剂气体量。
步骤S5-3：当所述第二凝华器621的其中一者的表面形成太厚的所述灭菌剂固体以至于不能有效地将剩余的所述灭菌剂气体凝华时，关闭所述第二凝华器621并开启一个邻近所述第二凝华器621表面的第二加热器(图未示)以融化固结于所述第二凝华器621表面的所述灭菌剂固体。
要说明的是，在本实施例中，所述第一凝华模组32具有两个所述第一凝华器321，所述第二凝华模组62具有两个所述第二凝华器621，然而，在其他的实施态样中，所述第一凝华模组32也可以具有三个以上的第一凝华器321，所述第二凝华模组62也可以具有三个以上的第二凝华器621。
如此，所述第四实施例也可达到与所述第二实施例相同的目的与功效。
参阅图6，本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第五实施例是类似于所述第三实施例，其差异之处在于：
所述第一储存槽装置4还包括一个设置于所述第一槽体41上游并连接所述第一凝结模组31及所述第一凝华模组32的隔离阀44。
当所述第一槽体41装满所述第一回收液时，可以先关闭所述隔离阀44，再打开所述释压阀42使所述第一槽体41的压力恢复成一大气压，并使所述第一回收液中汽化的气体排出，再打开排放阀43以排放所述第一回收液，并于所述第一回收液排放完后关闭所述释压阀42及所述排放阀43，再打开所述隔离阀44使所述第一槽体41能继续收集次一批的第一回收液。如此一来，在排放所述第一回收液的过程中，就不会影响到所述第一纯化装置3中的气体压力，因此可以维持回收纯化***的运作。
此外，所述第一纯化装置3的所述第一凝华模组32具有两个彼此并联设置的第一凝华器321，及两个分别连接于所述第一凝华器321下游的第一控制阀322。所述第二纯化装置6的所述第二凝华模组62具有两个彼此并联设置的第二凝华器621，及两个分别连接于所述第二凝华器621下游的第二控制阀622。
在去除固结于所述第一凝华器321的其中一者的冰时，由于需要关闭所述第一凝华器321并提升所述第一凝华器321表面的温度才能去除固结的冰，因此可以借由关闭所述其中一者对应的第一控制阀322以避免所述第一纯化气体通过所述第一凝华器321而影响纯化效果，而同时可以开启另一个第一控制阀322使所述第一纯化气体通过另一个第一凝华器321，以将剩余的所述水蒸气凝结成固体。
类似地，在去除固结于所述第二凝华器621的其中一者的所述灭菌剂固体时，也能关闭所述其中一者对应的第二控制阀622并开启另一个第二控制阀622，使纯化作业能持续进行且不会影响纯化效果。
另外，所述节能装置8具有两个分别设置于所述第二凝华器621上游的凝华节能器82。
由于所述第一凝华器321、所述第一控制阀322、所述第二凝华器621、所述第二控制阀622及所述凝华节能器82的运作原理及方法是类似于所述第四实施例，因此不再赘述。
值得一提的是，在本实施例中，所述第一控制阀322是分别连接于所述第一凝华器321下游，而所述第二控制阀622是分别连接于所述第二凝华器621下游，然而，在其他的实施态样中，所述第一控制阀322也可以分别连接于所述第一凝华器321的上游，所述第二控制阀622也可以分别连接于所述第二凝华器621的上游，也能够达到相同的效果。
如此，所述第五实施例也可达到与所述第三实施例相同的目的与功效。
参阅图7，本发明气体灭菌剂的回收纯化***的一个第六实施例是类似于所述第二实施例，其差异之处在于：
所述气体灭菌剂的回收纯化***适用于连接三个灭菌室1。
所述气体灭菌剂的回收纯化***包含三个分别适用于连接所述灭菌室1下游的导引真空泵21。
所述气体灭菌剂的回收纯化***还包含一个废气储存装置9。所述废气储存装置9包括三个分别连接所述导引真空泵21下游的废气阀91，及一个连接于所述废气阀91下游并连接于所述减压阀22的上游以收集所述灭菌后的废气的废气储存槽92。
因此，所述气体灭菌剂的回收纯化方法还包括一个于步骤S1前执行的步骤S0，且所述步骤S1调整如下。
步骤S0：将所述灭菌室1的灭菌后的废气收集至所述废气储存槽92。
步骤S1：自所述废气储存槽92取得灭菌后的废气。所述灭菌后的废气包括灭菌剂、氮气及水蒸气。
如此一来，所述气体灭菌剂的回收纯化***就能回收纯化三个灭菌室1中的灭菌后的废气。也就是说，只需要一个所述气体灭菌剂的回收纯化***，就能够回收纯化一个以上的灭菌室1中的灭菌后的废气。
值得一提的是，所述废气储存槽92可以设计成固定容积的形式，也可以设计成可变容积的形式以使所述废气储存槽92内的气体压力维持在一大气压。
综上所述，借由所述减压阀22使所述灭菌后的废气的压力降低，并借由所述第一凝结模组31降低所述减压后的废气的温度去除水分而形成所述第一纯化气体，再借由所述分离单元5提升所述第一纯化装置3排出的气体的压力，并借由所述第二纯化装置6的冷却以分离出所述灭菌剂，就能回收纯化后的所述灭菌剂，且不会降低回收使用时的灭菌效果，因此确实可达成本发明之目的。
惟以上所述者，仅为本发明的实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围，凡是依本发明申请专利范围及专利说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖的范围内。

Claims (21)

1.一种气体灭菌剂的回收纯化***，适用于处理灭菌后的废气，所述灭菌后的废气包括灭菌剂、氮气，及水蒸气，所述灭菌剂具有环氧乙烷、环氧丙烷中的任一种，所述气体灭菌剂的回收纯化***的特征在于：所述气体灭菌剂的回收纯化***包含减压阀、第一纯化装置、第一储存槽装置、分离单元、第二纯化装置，及第二储存槽装置，所述减压阀适用于接收并将所述灭菌后的废气的压力降低至第一预定压力而形成减压后的废气，所述第一纯化装置包括连接于所述减压阀下游且适用于将所述减压后的废气冷却至第一预定温度的第一凝结模组，所述第一预定温度高于水在所述第一预定压力下的凝固点，并低于水在所述第一预定压力下的沸点，以使所述减压后的废气分离成具有水的第一回收液，及具有所述灭菌剂的第一纯化气体，所述第一储存槽装置连接所述第一纯化装置，并适用于储存及排放所述第一回收液，所述分离单元连接于所述第一纯化装置下游，并适用于将所述第一纯化装置排出的气体的压力提升至大于所述第一预定压力的第二预定压力而形成升压后的气体，所述第二纯化装置包括连接于所述分离单元的下游并适用于将所述升压后的气体冷却至第二预定温度的第二凝结模组，所述第二预定温度高于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的沸点，以使所述升压后的气体分离成具有所述灭菌剂的第二回收液，及第二纯化气体，所述第二储存槽装置连接所述第二纯化装置，并适用于储存及排放所述第二回收液。
2.根据权利要求1所述的气体灭菌剂的回收纯化***，其特征在于：所述第一预定压力是介于0.1磅每平方英寸至10磅每平方英寸之间。
3.根据权利要求2所述的气体灭菌剂的回收纯化***，其特征在于：所述第一预定压力是1磅每平方英寸，所述第二预定压力是一大气压，所述第一预定温度低于20摄氏度，所述第二预定温度低于10摄氏度。
4.根据权利要求3所述的气体灭菌剂的回收纯化***，其特征在于：所述第二预定温度是介于-111摄氏度至-20摄氏度之间。
5.根据权利要求1所述的气体灭菌剂的回收纯化***，其特征在于：所述气体灭菌剂的回收纯化***还包含连接于所述减压阀上游并适用于将所述灭菌后的废气输送至所述减压阀的导引真空泵。
6.根据权利要求1所述的气体灭菌剂的回收纯化***，其特征在于：所述气体灭菌剂的回收纯化***还包含节能装置，所述节能装置适用于导引使所述第二纯化气体排出，并在排出过程中与所述第二凝结模组共同冷却所述第二纯化装置中尚未完成纯化的气体。
7.根据权利要求1所述的气体灭菌剂的回收纯化***，其特征在于：所述第一纯化装置还包括连接所述第一凝结模组及所述分离单元之间且连接所述第一储存槽装置的第一凝华模组，所述第一凝华模组适用于将所述第一纯化气体冷却至低于所述第一预定温度的第一凝华温度，以使所述第一纯化气体中的所述水蒸气凝华成冰且供后续导入所述第一储存槽装置，所述第一凝华温度高于所述灭菌剂在所述第一预定压力下的沸点，并低于水在所述第一预定压力下的凝固点。
8.根据权利要求7所述的气体灭菌剂的回收纯化***，其特征在于：所述第一纯化装置的所述第一凝华模组具有至少两个彼此并联设置的第一凝华器。
9.根据权利要求1所述的气体灭菌剂的回收纯化***，其特征在于：所述第二纯化装置还包括连接于所述第二凝结模组下游并连接所述第二储存槽装置的第二凝华模组，所述第二凝华模组适用于将所述第二纯化气体冷却至低于所述第二预定温度的第二凝华温度，以使所述第二纯化气体中的所述灭菌剂凝华成固体且供后续导入所述第二储存槽装置，所述第二凝华温度高于所述氮气在所述第二预定压力下的沸点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点。
10.根据权利要求9所述的气体灭菌剂的回收纯化***，其特征在于：所述第二纯化装置的所述第二凝华模组具有至少两个彼此并联设置的第二凝华器。
11.根据权利要求1所述的气体灭菌剂的回收纯化***，其特征在于：所述第二纯化装置的所述第二凝结模组具有设置于所述分离单元的下游的主凝结器，及至少一个设置于所述分离单元及所述主凝结器间的辅助凝结器，所述至少一个辅助凝结器及所述主凝结器能使所述升压后的气体通过所述第二凝结模组时的温度依序下降。
12.一种气体灭菌剂的回收纯化方法，其特征在于：所述气体灭菌剂的回收纯化方法包含下列步骤：(A)取得灭菌后的废气，所述灭菌后的废气包括灭菌剂、氮气及水蒸气，所述灭菌剂具有环氧乙烷、环氧丙烷中的任一种；(B)将所述灭菌后的废气的压力降低至第一预定压力而形成减压后的废气；(C)进行第一纯化作业，包括(C-1)透过第一纯化装置将所述减压后的废气冷却至第一预定温度以分离成具有水的第一回收液及具有所述灭菌剂的第一纯化气体，所述第一预定温度高于水在所述第一预定压力下的凝固点，并低于水在所述第一预定压力下的沸点；(D)透过分离单元将所述第一纯化装置排出的气体的压力提升至第二预定压力而形成升压后的气体；(E)进行第二纯化作业，包括(E-1)透过第二纯化装置将所述升压后的气体冷却至第二预定温度以分离成具有所述灭菌剂的第二回收液，及第二纯化气体，所述第二预定温度高于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的沸点；及(F)取得所述第二纯化装置排出的液体。
13.根据权利要求12所述的气体灭菌剂的回收纯化方法，其特征在于：所述步骤(B)的所述第一预定压力是介于0.1磅每平方英寸至10磅每平方英寸之间。
14.根据权利要求13所述的气体灭菌剂的回收纯化方法，其特征在于：所述步骤(B)的所述第一预定压力是1磅每平方英寸，所述步骤(C)的所述第一预定温度低于20摄氏度，所述步骤(D)的所述第二预定压力是一大气压，所述步骤(E)的所述第二预定温度低于10摄氏度。
15.根据权利要求14所述的气体灭菌剂的回收纯化方法，其特征在于：所述步骤(E)的所述第二预定温度是介于-111摄氏度至-20摄氏度之间。
16.根据权利要求12所述的气体灭菌剂的回收纯化方法，其特征在于：所述气体灭菌剂的回收纯化方法还包含步骤(G)，所述步骤(G)是导引使所述第二纯化气体排出，并在排出的过程中与第二凝结模组共同冷却在所述第二纯化装置中尚未完成纯化的气体。
17.根据权利要求12所述的气体灭菌剂的回收纯化方法，其特征在于：所述步骤(C)的所述第一纯化作业还包括接续于所述步骤(C-1)后的步骤(C-2)，所述步骤(C-2)将所述第一纯化气体冷却至低于所述第一预定温度的第一凝华温度使剩余的所述水蒸气凝华于至少第一凝华器的表面，所述第一凝华温度高于所述灭菌剂在所述第一预定压力下的沸点，并低于水在所述第一预定压力下的凝固点。
18.根据权利要求17所述的气体灭菌剂的回收纯化方法，其特征在于：所述步骤(C-2)的剩余的所述水蒸气是凝华而附着于至少两个并联设置的第一凝华器的表面，所述步骤(C)还包括接续于所述步骤(C-2)后的步骤(C-3)，所述步骤(C-3)是当所述至少两个第一凝华器的其中一者的表面形成厚冰时，关闭所述第一凝华器并开启邻近所述第一凝华器表面的第一加热器以融化固结于所述第一凝华器表面的冰。
19.根据权利要求12所述的气体灭菌剂的回收纯化方法，其特征在于：所述步骤(E)的所述第二纯化作业还包括接续于所述步骤(E-1)后的步骤(E-2)，所述步骤(E-2)将第二纯化气体冷却至低于所述第二预定温度的第二凝华温度使剩余的所述灭菌剂气体凝华而附着于至少一个第二凝华器的表面，所述第二凝华温度高于所述氮气在所述第二预定压力下的沸点，并低于所述灭菌剂在所述第二预定压力下的凝固点。
20.根据权利要求19所述的气体灭菌剂的回收纯化方法，其特征在于：所述步骤(E-2)的剩余的所述灭菌剂气体是凝华而附着于至少两个并联设置的第二凝华器的表面，所述步骤(E)还包括接续于所述步骤(E-2)后的步骤(E-3)，所述步骤(E-3)是当所述至少两个第二凝华器的其中一者的表面形成所述灭菌剂固体时，关闭所述第二凝华器并开启邻近所述第二凝华器表面的第二加热器以融化固结于所述第二凝华器表面的所述灭菌剂固体。
21.根据权利要求12所述的气体灭菌剂的回收纯化方法，其特征在于：所述步骤(E-1)中，所述第二纯化装置具有依序设置于所述分离单元的下游的至少一个辅助凝结器及主凝结器，使所述升压后的气体的温度依序下降至所述第二预定温度。
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