CN111187008B - 玻璃基板涂布方法及玻璃基板涂布装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种玻璃基板涂布方法，包括装置提供步骤、玻璃基板设置步骤、扩展板并拢步骤、涂布步骤、以及扩展板移除步骤。本发明方法透过在涂布涂布层到玻璃基板上时将所述涂布层的厚度不均匀的起始部及结束部分别涂布到两扩展板上，最后透过移除扩展板的方式移除所述起始部及所述结束部并仅留下厚度均匀的均厚部，使得所述玻璃基板上所述涂布层能够具有均匀一致的厚度，进而提升了玻璃基板的光阻剂涂布效果。
Description
技术领域
本发明是有关于一种玻璃基板涂布方法，特别是有关于一种玻璃基板涂布方法及玻璃基板涂布装置。
背景技术
请参照图1以及2，现有的玻璃基板涂布工艺主要利用玻璃基板涂布装置进行，所述玻璃基板涂布装置包括载台91以及悬空设置于载台91上方的涂布头92。所述涂布头储存有光阻剂，且可连接一泵浦以便透过所述泵浦将所述涂布头内的涂布剂向外输。当进行上述涂布工艺时，先将欲加工的玻璃基板93设置到所述载台91上，所述涂布头92被驱动以由玻璃基板93一侧向另外一侧移动并同时将光阻剂涂布到所述玻璃基板93上而形成由所述光阻剂构成的涂布层94，所述涂布层94具有起始部941及相对所述起始部941的结束部942。然而，所述涂布头92在涂布所述起始部941时，恰处于初步启动并开始输出光阻剂的时间点，因此光阻剂输出压力由弱转强，导致所述起始部941的厚度由薄变厚而无法达到均匀的厚度。同样的，所述涂布头92在涂布所述结束部942，正好处于即将关闭并停止输出光阻剂的时间点，因此光阻剂的输出压力由强转弱，导致所述结束部942的厚度由厚变薄而无法达到均匀的厚度。因此，涂布层94的起始部941以及结束部均无法具有理想的均匀厚度而需事后耗费人力及时间进行调整，进而导致玻璃基板的涂布效果差。
故，有必要提供一种玻璃基板涂布方法及玻璃基板涂布装置，以解决现有技术所存在的问题。
发明内容
本发明提供一种玻璃基板涂布方法及玻璃基板涂布装置，以解决现有技术所存玻璃基板涂布工艺所制造的涂布层的起始部以及结束部的厚度不均匀而需事后耗费人力及时间进行调整，进而导致玻璃基板的涂布效果差问题。
本发明的主要目的在于提供一种玻璃基板涂布方法，包括：
装置提供步骤，提供玻璃基板涂布装置，其中所述玻璃基板涂布装置包括载台、两扩展板、以及涂布头，其中两所述扩展板分别设置在载台两侧，各所述扩展板可移动、转动或是同时移动与转动以靠近或远离所述载台，所述涂布头设置在所述载台的起始侧上方且相距所述载台一距离，其中所述涂布头内盛载有涂布剂；
玻璃基板设置步骤，设置玻璃基板到所述载台上，其中所述玻璃基板具有起始侧以及结束侧；
扩展板并拢步骤，将两所述扩展板分别移动到邻接所述玻璃基板的所述起始侧以及所述结束侧；
涂布步骤，驱动所述涂布头沿着所述玻璃基板的所述起始侧到所述结束侧的方向涂布所述涂布剂到两所述扩展部以及所述玻璃基板上以形成涂布层，其中所述涂布层具有分别位于两所述扩展部上的起始部以及结束部以及介于所述起始部以及所述结束部之间的均厚部；以及
扩展板移除步骤，包括移除两所述扩展板并同时移除所述涂布层的所述起始部以及结束部而仅留下所述均厚部在所述玻璃基板上，以完成涂布。
在本发明一实施例中，各所述扩展板具有远离所述载台的基部以及与所述基部连接且靠近所述载台的渐缩部，且所述渐缩部的垂直截面朝向所述载台逐渐缩窄以在所述渐缩部顶面形成斜坡；在所述涂布步骤中，所述涂布层的所述起始部以及所述结束部分别涂布在两所述扩展板的两所述渐缩部上。
在本发明一实施例中，所述起始部以及所述结束部分别对应所述玻璃基板的所述起始侧以及所述结束侧。
在本发明一实施例中，在所述扩展板移除步骤中，各所述扩展板是朝远离所述玻璃基板的方向移动或是转动以将所述涂布层的所述起始部及所述结束部自所述均厚部分离。
在本发明一实施例中，在所述扩展板移除步骤中，各所述扩展板是移动或转动以抬起所述渐缩部抬起并使所述渐缩部远离所述玻璃基板的方向移动或是转动，以将所述涂布层的所述起始部及所述结束部自所述均厚部分离。
在本发明一实施例中，所述涂布头内的涂布剂为光阻剂。
请本发明的次要目的在于提供一种玻璃基板涂布装置，包括载台、两扩展板、以及涂布头，其中两所述扩展板分别设置在载台两侧，各所述扩展板可移动、转动或是同时移动与转动以靠近或远离所述载台，所述涂布头设置在所述载台的起始侧上方且相距所述载台一距离，其中所述涂布头内盛载有涂布剂。
在本发明一实施例中，各所述扩展板具有远离所述载台的基部以及与所述基部连接且靠近所述载台的渐缩部，且所述渐缩部的垂直截面朝向所述载台逐渐缩窄以在所述渐缩部顶面形成斜坡。
在本发明一实施例中，各所述扩展板可朝远离所述载台的方向移动或是转动。
在本发明一实施例中，在所述扩展板移除步骤中，各所述扩展板可移动或转动以抬起所述渐缩部抬起并使所述渐缩部远离所述载台的方向移动或是转动。
相较于现有的玻璃基板涂布工艺，本发明玻璃基板涂布方法及玻璃基板涂布装置，透过在涂布时将所述涂布层的厚度不均匀的起始部及结束部分别涂布到两所述扩展板上，最后透过移除扩展板的方式移除所述起始部及所述结束部并仅留下厚度均匀的均厚部，使得所述玻璃基板上所述涂布层能够具有均匀一致的厚度，进而提升了玻璃基板的光阻剂涂布效果。此外，透过将所述涂布层的所述起始部及所述结束部放于所述玻璃基板范围之外，使涂布于所述玻璃基板上的光阻剂都处在匀速和压力稳定的状态下吐出，从而大大降低后续涂布层的膜厚门槛，提升膜厚调试的效率。
为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，且配合所附图式，作详细说明如下：
附图说明
图1是一现有的玻璃基板涂布装置对一玻璃基板进行涂布的俯视操作图，其中横向箭头为涂布头移动方向。
图2是根据图1中的现有玻璃基板涂布装置侧视操作图，其中横向箭头为涂布头移动方向。
图3是本发明实施例玻璃基板涂布方法的步骤流程图。
图4是本发明实施例玻璃基板涂布装置执行所述玻璃基板涂布方法的俯视操作图，其中横向长箭头为涂布头移动方向，且两横向短箭头为扩展板移动方向。
图5是本发明实施例玻璃基板涂布装置执行所述玻璃基板涂布方法的侧视操作图，其中横向长箭头为涂布头移动方向，且两横向短箭头为扩展板移动方向。
图6是本发明实施例玻璃基板涂布装置续行图5的所述玻璃基板涂布方法的侧视操作图，其中弧形箭头为两所述扩展板分别自所述玻璃基板的起始侧与结束侧远离的方向。
具体实施方式
请参照图3，本发明实施例提供一种玻璃基板涂布方法，包括：装置提供步骤S01、玻璃基板设置步骤S02、扩展板并拢步骤S03、涂布步骤S04、以及扩展板移除步骤S05。
请参照图4及图5，所述装置提供步骤S01，提供玻璃基板涂布装置，其中所述玻璃基板涂布装置包括载台10、两扩展板20、以及涂布头30，其中两所述扩展板20分别设置在载台10两侧，各所述扩展板20可移动、转动或是同时移动与转动以靠近或远离所述载台10，所述涂布头30设置在所述载台10的起始侧41上方且相距所述载台10一距离，其中所述涂布头30内盛载有涂布剂。在本发明一实施例中，所述涂布头30内的涂布剂为光阻剂。
所述玻璃基板设置步骤S02，设置玻璃基板40到所述载台10上，其中所述玻璃基板40具有起始侧41以及结束侧42。
所述扩展板并拢步骤S03，将两所述扩展板20分别移动到邻接所述玻璃基板40的所述起始侧41以及所述结束侧42。
所述涂布步骤S04，驱动所述涂布头30沿着所述玻璃基板40的所述起始侧41到所述结束侧42的方向涂布所述涂布剂到两所述扩展部以及所述玻璃基板40上以形成涂布层50，其中所述涂布层50具有分别位于两所述扩展部上的起始部51以及结束部52以及介于所述起始部51以及所述结束部52之间的均厚部53。
请参照图6，所述扩展板移除步骤S05，包括移除两所述扩展板20并同时移除所述涂布层50的所述起始部51以及结束部52而仅留下所述均厚部53在所述玻璃基板40上，以完成涂布。详细而言两所述扩展板20离开玻璃基板40后时前端翘起，以免光阻剂因流动性而从个所述扩展板20前端滴下污染所述载台10，接着将所述玻璃基板40连同所述涂布层50移动至清洗装置进行清洁措施，并且接着进行下一玻璃基板40的涂布前清洁完毕。
在本发明一实施例中，各所述扩展板20具有远离所述载台10的基部21以及与所述基部21连接且靠近所述载台10的渐缩部，且所述渐缩部的垂直截面朝向所述载台10逐渐缩窄以在所述渐缩部22顶面形成斜坡；在所述涂布步骤S04中，所述涂布层50的所述起始部51以及所述结束部52分别涂布在两所述扩展板20的两所述渐缩部上。
在本发明一实施例中，所述起始部51以及所述结束部52分别对应所述玻璃基板40的所述起始侧41以及所述结束侧42。
在本发明一实施例中，在所述扩展板移除步骤S05中，各所述扩展板20是朝远离所述玻璃基板40的方向移动或是转动以将所述涂布层50的所述起始部51及所述结束部52自所述均厚部53分离。
在本发明一实施例中，在所述扩展板移除步骤S05中，各所述扩展板20是移动或转动以抬起所述渐缩部抬起并使所述渐缩部远离所述玻璃基板40的方向移动或是转动，以将所述涂布层50的所述起始部51及所述结束部52自所述均厚部53分离。
请参照图3至图5，本发明提供一种玻璃基板涂布装置，包括载台10、两扩展板20、以及涂布头30，其中两所述扩展板20分别设置在载台10两侧，各所述扩展板20可移动、转动或是同时移动与转动以靠近或远离所述载台10，所述涂布头30设置在所述载台10的起始侧41上方且相距所述载台10一距离，其中所述涂布头30内盛载有涂布剂。
在本发明一实施例中，各所述扩展板20具有远离所述载台10的基部21以及与所述基部21连接且靠近所述载台10的渐缩部，且所述渐缩部的垂直截面朝向所述载台10逐渐缩窄以在所述渐缩部22顶面形成斜坡。
请参照图6，在本发明一实施例中，各所述扩展板20可朝远离所述载台10的方向移动或是转动。
请参照图6，在本发明一实施例中，在所述扩展板移除步骤S05中，各所述扩展板20可移动或转动以抬起所述渐缩部抬起并使所述渐缩部远离所述载台10的方向移动或是转动。
相较于现有的玻璃基板40涂布工艺，本发明实施例玻璃基板涂布方法及玻璃基板涂布装置，透过在涂布时将所述涂布层50的厚度不均匀的起始部51及结束部52分别涂布到两所述扩展板20上，最后透过移除扩展板20的方式移除所述起始部51及所述结束部52并仅留下厚度均匀的均厚部53，使得所述玻璃基板40上所述涂布层50能够具有均匀一致的厚度，进而提升了玻璃基板40的光阻剂涂布效果。此外，透过将所述涂布层50的所述起始部51及所述结束部52放于所述玻璃基板40范围之外，使涂布于所述玻璃基板40上的光阻剂都处在匀速和压力稳定的状态下吐出，从而大大降低后续涂布层的膜厚门槛，提升膜厚调试的效率。
Claims (10)
1.一种玻璃基板涂布方法，其特征在于：所述玻璃基板涂布方法包括︰
装置提供步骤，提供玻璃基板涂布装置，其中所述玻璃基板涂布装置包括载台、两扩展板、以及涂布头，其中两所述扩展板分别设置在所述载台两侧，各所述扩展板可移动、转动或是同时移动与转动以靠近或远离所述载台，所述涂布头设置在所述载台的起始侧上方且相距所述载台一距离，其中所述涂布头内盛载有涂布剂；
玻璃基板设置步骤，设置玻璃基板到所述载台上，其中所述玻璃基板具有起始侧以及结束侧；
扩展板并拢步骤，将两所述扩展板分别移动到邻接所述玻璃基板的所述起始侧以及所述结束侧；
涂布步骤，驱动所述涂布头沿着所述玻璃基板的所述起始侧到所述结束侧的方向涂布所述涂布剂到两所述扩展部以及所述玻璃基板上以形成涂布层，其中所述涂布层具有分别位于两所述扩展部上的起始部以及结束部以及介于所述起始部以及所述结束部之间的均厚部；以及
扩展板移除步骤，包括移除两所述扩展板并同时移除所述涂布层的所述起始部以及结束部而仅留下所述均厚部在所述玻璃基板上，以完成涂布。
2.如权利要求1所述的玻璃基板涂布方法，其特征在于：各所述扩展板具有远离所述载台的基部以及与所述基部连接且靠近所述载台的渐缩部，且所述渐缩部的垂直截面朝向所述载台逐渐缩窄以在所述渐缩部顶面形成斜坡；在所述涂布步骤中，所述涂布层的所述起始部以及所述结束部分别涂布在两所述扩展板的两所述渐缩部上。
3.如权利要求1所述的玻璃基板涂布方法，其特征在于：所述起始部以及所述结束部分别对应所述玻璃基板的所述起始侧以及所述结束侧。
4.如权利要求1所述的玻璃基板涂布方法，其特征在于：在所述扩展板移除步骤中，各所述扩展板是朝远离所述玻璃基板的方向移动或是转动以将所述涂布层的所述起始部及所述结束部自所述均厚部分离。
5.如权利要求2所述的玻璃基板涂布方法，其特征在于：在所述扩展板移除步骤中，各所述扩展板是移动或转动以抬起所述渐缩部抬起并使所述渐缩部远离所述玻璃基板的方向移动或是转动，以将所述涂布层的所述起始部及所述结束部自所述均厚部分离。
6.如权利要求1所述的玻璃基板涂布方法，其特征在于：所述涂布头内的涂布剂为光阻剂。
7.一种玻璃基板涂布装置，其特征在于：所述玻璃基板涂布装置包括载台、两扩展板、以及涂布头，其中两所述扩展板分别设置在载台两侧，各所述扩展板可移动、转动或是同时移动与转动以靠近或远离所述载台，所述涂布头设置在所述载台的起始侧上方且相距所述载台一距离，其中所述涂布头内盛载有涂布剂。
8.如权利要求7所述的玻璃基板涂布装置，其特征在于：各所述扩展板具有远离所述载台的基部以及与所述基部连接且靠近所述载台的渐缩部，且所述渐缩部的垂直截面朝向所述载台逐渐缩窄以在所述渐缩部顶面形成斜坡。
9.如权利要求7所述的玻璃基板涂布装置，其特征在于：各所述扩展板可朝远离所述载台的方向移动或是转动。
10.如权利要求8所述的玻璃基板涂布装置，其特征在于：在所述扩展板移除步骤中，各所述扩展板可移动或转动以抬起所述渐缩部抬起并使所述渐缩部远离所述载台的方向移动或是转动。
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| GR01 | Patent grant | ||
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