CN111185667B - 一种抽排装置及激光切割装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种抽排装置及激光切割装置，该抽排装置包括：吸盘，吸盘形成抽吸室，抽吸室上方连接气路管道，嵌置于抽吸室的内部并具有第一中空腔室的气旋环，至少一个连接至气旋环的进气管，以及与气路管道连通的抽吸管道；抽吸管道的顶部形成供激光贯穿抽吸管道、气路管道、抽吸室至被切割物料的覆盖件，所述气旋环设置用于形成旋升气流的出气孔。通过本发明，实现了对采用激光束对物料切割过程中产生的烟雾、粉尘及有毒有害气体的高效收集并排出置，由此不仅确保了切割物料的产品良率，有效地避免了烟雾、粉尘及有毒有害气体对激光切割装置的光路***的场镜表面所可能造成的污染，并且适合洁净室环境使用。

Description

一种抽排装置及激光切割装置

技术领域

本发明涉及激光切割设备技术领域，尤其涉及一种抽排装置及其基于该抽排装置的一种激光切割装置。

背景技术

激光切割是基于激光器发出的激光，经过特定的光路***、聚焦***所形成的高能量高功率的激光束，并通过该激光束对物体执行切割操作。激光束与物体之间基于伺服机构形成相对运动，以最终通过激光束切割出指定形状的工件。激光切割具有切割精度高、切割速度快、切口窄等诸多优点，成为切割面板、晶圆、硅锭等场景中较为理想的手段。

采用激光束切割物体的过程中，依然会产生一定的烟雾、粉尘及有毒有害气体副产物。上述烟雾、粉尘及有毒有害气体对生产光伏组件、晶圆、半导体芯片、OLED面板的洁净室(Clean Room)造成污染；同时，上述烟雾、粉尘及有毒有害气体也会粘附在产品表面，从而影响产品良率；此外，烟雾、粉尘由于具有质量较轻，因此存在粘附到激光切割装置的光路***的场镜表面；最后，由于激光切割过程中所产生的上述烟雾及粉尘的体积小，粘附性较大，因此会对整个激光切割装置内部结构造成污染，甚至存在部分组件失效的风险。

有鉴于此，有必要对现有技术中的对激光切割过程中所产生的烟气、粉尘副产物的收集排出装置及其技术予以改进，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于揭示一种抽排装置及其包含该抽排装置的激光切割装置，用以实现对采用激光束对物料进行切割过程中所产生的烟雾、粉尘及有毒有害气体副产物实现高效收集并排出激光切割装置，以解决上述背景技术中所示出的缺陷。

为实现上述第一个目的，本发明首先揭示了一种抽排装置，包括：

吸盘，所述吸盘形成抽吸室，抽吸室上方连接气路管道，嵌置于抽吸室的内部并具有第一中空腔室的气旋环，至少一个连接至气旋环的进气管，以及与气路管道连通的抽吸管道；

所述抽吸室、气路管道以及抽吸管道所形成的腔体构成主抽排通道；

所述抽吸管道的顶部形成供激光贯穿抽吸管道、气路管道、抽吸室至被切割物料的覆盖件，所述气旋环的上表面开设多个出气孔，所述出气孔为能形成向上倾斜的气流的开口，多股所述向上倾斜的气流共同形成旋升气流。

作为本发明的进一步改进，所述吸盘具有第二中空腔室；

抽排装置还包括：

至少一个与所述吸盘的第二中空腔室连通的出气管，

所述吸盘的底部开设若干辅助抽吸口，所述辅助抽吸口、第二中空腔室与出气管形成辅助抽排通道。

作为本发明的进一步改进，所述气旋环嵌置于抽吸室的内壁面，所述第一中空腔室呈环形；

所述进气管贯穿吸盘的第二中空腔室，并横向接入气旋环。

作为本发明的进一步改进，所述覆盖件为密封镜头或者平板玻璃。

作为本发明的进一步改进，所述抽吸管道的两端端部呈敞口结构，第一端与空气输送装置连接，第二端与抽吸装置连接。

作为本发明的进一步改进，所述气路管道形成向上收缩并与抽吸管道连通的锥形腔体。

作为本发明的进一步改进，所述辅助抽吸口配置为若干弧形狭缝。

作为本发明的进一步改进，所述辅助抽吸口包括若干分离的弧形狭缝组成的至少两圈狭缝环，相邻两圈狭缝环所包含的弧形狭缝环沿吸盘的径向方向存在部分重合。

作为本发明的进一步改进，所述吸盘配置呈轴对称设置并与所述吸盘的第二中空腔室连通的偶数个出气管。

基于相同发明思想，本发明还揭示了一种激光切割装置，包括：

承载物料的载台，激光发生器，以及配置于载台与激光发生器之间的如上述任一项发明创造所揭示的抽排装置；

所述激光发生器包括二氧化碳激光发生器和/或UV激光发生器。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明所揭示的抽排装置及激光切割装置能够产生向上的抽排吸力，实现了对采用激光束对物料进行切割过程中所产生的烟雾、粉尘及有毒有害气体副产物的高效收集并排出激光切割装置，由此不仅确保了切割物料的产品良率，还有效地避免了烟雾、粉尘及有毒有害气体副产物对激光切割装置的光路***的场镜表面所可能造成的污染，并且适合洁净室环境。

附图说明

图1为本发明一种抽排装置的立体图；

图2为本发明一种抽排装置的侧视图；

图3为沿图2中B-B向的剖视图；

图4为仅示出吸盘与出气管的立体图；

图5为本发明一种抽排装置的仰视图；

图6为抽排装置中所含气旋环的立体图；

图7为本发明一种抽排装置的俯视图；

图8为本发明一种抽排装置的半剖图；

图9为本发明一种抽排装置在一种变形例中的仰视图；

图10为本发明一种抽排装置在另一种变形例中沿图2中B-B向的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图所示的各实施方式对本发明进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本发明的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本发明的保护范围之内。

需要理解的是，在本发明各实施例描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”、“正方向”、“负方向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。同时，需要说明的是，在本申请各个实施例中，术语“腔体”或者“腔室”均是指由实体组件围合形成的一个空间相对固定的空间区域，且并不限定“腔体”或者“腔室”必须是密闭空间，其可以是一个相对密闭且独立的空间，也可以是一段或者某个特定区域的空间。

实施例一：

请参图1至图8所揭示的本发明一种抽排装置的一种具体实施方式。

在本实施例中，该抽排装置，用于对激光束切割物料90的过程中所产生的烟雾、粉尘及有毒有害气体(以下简称“待抽吸物质”)进行抽吸并排出，该抽排装置，包括：吸盘10，吸盘10形成抽吸室11，抽吸室11上方连接气路管道50，嵌置于抽吸室11的内部并具有第一中空腔室66的气旋环60，至少一个连接至气旋环60的进气管40，以及与气路管道连通的抽吸管道2。

气路管道50与抽吸管道2相互连通，并形成三通结构。抽吸管道2的顶部形成供激光贯穿抽吸管道2、气路管道50、抽吸室11至被切割物料的覆盖件70，气旋环60设置用于形成旋升气流621的出气孔62。吸盘10的外轮廓可为圆形、方形、矩形、椭圆形或者其他任何形状，并优选为具轴对称结构的形状，并最优选为圆形。

在实施例中，抽吸管道2位于气路管道50的顶部位置开设台阶25，台阶25的底部开设供激光束贯穿抽吸管道2的通孔24，覆盖件70设置于台阶25上，覆盖件70为密封镜头或者平板玻璃。如图3所示，激光束(Laser Beam)经过场镜80后，透射过覆盖件70，并穿过该抽排装置，并到达位于抽排装置下方并与抽排装置分离的物料90，以通过激光束对物料90按照设定的形状进行切割；并且，在物料90被切割过程中，该抽排装置悬浮于物料90的表面，物料90在被激光束切割过程中所产生的待抽吸物质沿图3中箭头105所示方向依次通过抽吸室11、气路管道50和抽吸管道2所组成的主抽排通道被抽离物料90的表面，同时避免具细小颗粒且质量较轻的待抽吸物质散逸至洁净室或者激光切割装置的光路***的场镜80表面。

抽吸管道2的两端端部呈敞口结构，第一端与空气输送装置连接，第二端与抽吸装置连接，空气输送装置向该抽排装置所输送的空气形成横向压缩气流202，压缩气流202携带上述待抽吸物质形成抽排气流201，抽排气流201被抽吸装置抽吸而排出激光切割装置。可选的，抽吸管道2与抽吸装置的连接端可安装过滤装置(例如HEPA)以净化抽排气流201，然后将净化后的抽排气流输送至气体处理装置。

抽吸管道2的两端端部的内部直径不同，第一端形成一个具较小内部直径的管段22。管道22形成供压缩气流202进入抽吸管道2的腔体23；第二端形成较大内部直径的管段20，管段20形成供抽排气流201流出抽吸管道2的腔体21，且抽吸管道2所形成的第一端与第二端分别位于抽吸管道2的两端端部。管段22与管段20位于同一轴线，压缩气流202自管段22进入至抽吸管道2后，能够对气路管道50中由气旋环60所形成的旋升气流621产生卷吸，从而将旋升气流621在上升过程中所携带的待抽吸物质顺利地从管段20排出该抽排装置。腔体23的横截面面积(沿垂直于图3纸面方向剖切管段22所形成的横截面面积)小于腔体21的横截面面积(沿垂直于图3纸面方向剖切管段20所形成的横截面面积)，从而压缩气流202的空气流速大于抽排气流201的流速，防止待抽吸物质逆向进入管道22，进一步提高了该抽排装置对进入抽吸管道2中的待抽吸物质抽吸能力。该抽排装置悬浮于物料90的表面作整体运动，且管段20可通过软管连接过滤装置，管段22可通过软管连接空气输送装置。

优选的，还可在吸盘10的内部形成第二中空腔室15，第二中空腔室15位于抽吸室11的径向外侧。具体而言，在本实施例中，吸盘10所形成的第二中空腔室15沿其径向方向的横截面形状并不需要作具体限定，并在本实施例中选用矩形。结合图3、图4及图5所示，为了进一步提高该抽排装置对待抽吸物质的抽排效果，本实施例所揭示的该抽排装置还包括：至少一个与吸盘10的第二中空腔室15连通的出气管30，在本实施例中示出了两个出气管30。吸盘10的底部开设若干辅助抽吸口，以通过辅助抽吸口、第二中空腔室15与出气管30形成辅助抽排通道。

辅助抽排通道中形成向上的抽排气流301，以将待抽吸物质自辅助抽吸口依次通过第二中空腔室15及出气管30予以抽吸。含有抽排气流301的出气管30可通过管道与管段20连通，也可通过三通组件直接与管段22连通，且出气管30形成中空通道31，该中空通道31与第二中空腔室15连通。通过形成辅助抽排通道，弥补了仅通过主抽排通道抽吸待抽吸物质的过程中可能存在的部分遗漏现象。需要理解的是，图3所示出的出气管30还可通过接入气路管道50的方式，将待抽吸物质沿辅助抽排通道中箭头101、箭头104所示出的一个或者多个抽吸路径导入气路管道50中，然后被抽吸至抽吸管道2中。当然，还可将出气管30单独通过管道连接用于产生空气吸力的抽吸装置(未示出)。

如图3所示，在本实施例中，通过设置该覆盖件70，既可保证激光束的入射以满足切割物料90的技术要求，又能实现抽吸管道2的有效密封，以保护覆盖件70上方的场镜80，防止待抽吸物质污染场镜80，并增加辅助抽吸通道与主抽排通道对待抽吸物质的抽吸效果。具体的，在本实施例中，抽吸室11、气路管道50、以及抽吸管道2所形成的腔体共同构成主抽排通道。出气管30、第二中空腔室15及吸盘10底部所形成的辅助抽吸口形成辅助抽排通道，其中，该辅助抽排通道的数量可以是一个，也可为多个。

在本实施例中，该气旋环60嵌置于抽吸室11的内壁面，第一中空腔室66呈环形。同时，进气管40穿入吸盘10的第二中空腔室15，并横向接入气旋环60，且进气管40垂直穿入吸盘10。进气管40内部具中空通道41，由于中空通道41的直径较小，有利于形成高流速的压缩气流401通入气旋环60的第一中空腔室66。

本实施例所揭示的抽排装置配置四个进气管40，吸盘10顶部的端面形成四个通孔113。抽吸室11可呈圆柱形，也可为椭圆柱形或者其他轴对称立体形状，并最优选为圆柱形。抽吸室11的内侧面111上形成供进气管40横向向内延伸并连接至气旋环60的外侧面所设置的通孔65的通孔112。通孔112的数量可与进气管40的数量保持一致，当然也可将通孔112的数量以少于进气管40的方式予以设置，并将两个或者数量更多的进气管40以共用一个通孔112的形式予以配置。

抽吸室11的底部呈敞口结构，并悬浮于物料90的表面。空气输送装置向进气管40输送空气，以形成压缩气流401。压缩气流401通过通孔65横向进入至气旋环60内部所形成的第一中空腔室66。该气旋环60呈圆环形，并在气旋环60的上表面61开设一圈出气孔62，出气孔62可呈圆形或者其他任何且能够形成向上倾斜的气流的开口，以将输送至第一中空腔室66内的压缩气流401通过出气孔62喷出，多股向上倾斜的气流共同形成旋升气流621，从而可以将物料90在被激光束切割过程中所产生的待抽吸物质向内汇聚，使得待抽吸物质沿箭头201a所示出的方向向上被快速地抽吸至气路管道50中，有助于抽吸管道2排气端抽吸装置对待抽吸物质的抽吸，从而提高了抽排装置对待抽吸物质的抽吸效率。

优选的，为了对待抽吸物质起到更好的汇聚与抽吸效果，可在气旋环60的下表面形成圆锥环面63。优选的，在本实施例中，该气路管道50与吸盘10之间设置圆锥部51，并在圆锥部51的内部形成向上收缩并与气路管道50连通的锥形腔体511，从而能够通过锥形腔体511对旋升气流621起到更好的汇聚与导引作用，从而使得向上流动的旋升气流621能够更为顺畅地进入抽吸管道2中，以排出该抽排装置。圆锥部51可以与吸盘10呈一体式结构，也可嵌入抽吸室11的内侧面111，或者通过在圆锥部51的外沿口形成一圈台阶，并通过台阶卡设在抽吸室11的内侧面111与吸盘10的上表面上。

结合图3所示，抽吸室11的内壁面所设置的气旋环60所形成的旋升气流621可将待抽吸物质沿箭头105所示出的路径向上汇聚，以通过主抽排通道排出该抽排装置。在本实施例中，通过形成旋升气流621，待抽吸物质加速待抽吸物质的汇聚与流动，提高了对待抽吸物质待抽吸物质的抽排效果，并同时提高了通过激光束切割物料90所形成的产品(例如：OLED显示面板)的良率。

尤其需要说明的是，虽然本实施例所揭示的抽排装置中，进气管40延伸入第二中空腔室15并横向接入位于气旋环60的外侧面所设置的通孔65，申请人还指出，还可将一个进气管40或者全部的进气管40同时埋设于吸盘10的内侧壁上。

同时，在本实施例中，该吸盘10配置呈轴对称设置并与所述吸盘10的第二中空腔室15连通的偶数个出气管30，具体的，该吸盘10两个出气管30，且两个出气管30相对于气路管道50呈轴对称设置，从而使得辅助抽吸通道所产生的抽吸力更加均匀，辅助抽吸通道所产生的抽吸力更加均匀的实现原理与具体介绍参下文所述。

结合图5与图8所示，在本实施例中，辅助抽吸口配置为若干弧形狭缝，优选的，该等辅助抽吸口由若干分离的弧形狭缝组成。例如，辅助抽吸口由四个分离的弧形狭缝103与四个弧形狭缝102组成。弧形狭缝103与四个弧形狭缝102与第二中空腔室15均连通。将辅助抽吸口配置为弧形狭缝，有利于提高自弧形狭缝进入第二中空腔室15的空气流速，从而提高了通过辅助抽吸口所形成的一个或者多个辅助抽吸通道对待抽吸物质的抽吸效果。

本实施例所示出的四个弧形狭缝102呈分离结构是指，四个弧形狭缝102沿类似于圆环方向上的分离，四个弧形狭缝103呈分离结构是指，四个弧形狭缝103沿类似于圆环方向上的分离，此种分离并不要求四个弧形狭缝102或者四个弧形狭缝103必须构成一个圆形，只要保证抽吸室11沿水平剖切吸盘10所形成的圆形横截面上任意一个位置处至吸盘10的外环面的下沿口之间的任意一条连线均能够被弧形狭缝102和/或弧形狭缝103所阻挡即可。通过此种结构设计，能够避免排抽排物质在该抽排装置水平移动过程中即使未被主抽排通道所抽吸，也能够被弧形狭缝102和/或弧形狭缝103所形成的辅助抽吸通道所抽吸。例如，参图5所示，相邻两个弧形狭缝102之间形成隔断12，相邻两个弧形狭缝103之间形成隔断13，隔断12与隔断13错位布置。同时，在本实施例中，由四个弧形狭缝102与四个弧形狭缝103相互套设，并沿吸盘10底部所形成的圆环径向方向上予以隔离设置。

进一步的，本实施例所示出的弧形狭缝呈分离结构还可指代一圈弧形狭缝102与一圈弧形狭缝103沿吸盘10径向方向上的分离。例如，参图5所示，辅助抽吸口包括若干分离的弧形狭缝组成的至少两圈狭缝环，相邻两圈狭缝环所包含的弧形狭缝环沿吸盘的径向方向存在部分重合。通过辅助抽吸口设置呈若干分离的弧形狭缝，并尤其为辅助抽吸口由若干分离的弧形狭缝组成至少两圈狭缝环，相邻两圈狭缝环所包含的弧形狭缝环沿吸盘10的径向方向存在部分重合的技术方案，确保了该抽排装置在悬浮于物料90的表面对待抽吸物质进行吸取过程中，待抽吸物质不会被遗漏；即使存在少量遗漏的待抽吸物质，也能够通过多个弧形狭缝102和/或多个弧形狭缝103沿箭头101、箭头104所示出的抽吸路径脱离物料90的表面，并抽吸至第二中空腔室15内，并最终沿箭头302与箭头301所示出的路径从多个出气管30排出。

箭头101所形成的抽吸路径由一圈弧形狭缝102所形成，箭头104所形成的抽吸路径由一圈弧形狭缝103所形成。箭头101和/或箭头104所示出的抽吸路径形成辅助抽排通道，并与抽吸室11所形成的主抽排通道共同配合，提高了对物料90在被激光束切割过程中所形成的待抽吸物质的抽吸效果。箭头101与箭头104所示出的抽吸路径中高速气流携带待抽吸物质在第二中空腔室15中沿箭头302与箭头301所示出的方向排出该抽排装置。

重新结合图3与图7所示，申请人还指出，本实施例所揭示的抽排装置中所包含的气旋环60还可嵌入吸盘10的内侧壁，甚至还可将气旋环60作为吸盘10的一部分。例如，可将气旋环60与吸盘10作为一个整体，气旋环60所形成的一圈第一中空腔室66整体设置于吸盘10的内侧壁，进气管40以贯穿第二中空腔室15或者埋入或者部分埋入吸盘10的内侧壁的形式予以设置，只要确保进气管40所输送的气体能够输送至第一中空腔室66即可，且确保气旋环60的上表面61开设一圈出气孔62能够露出抽吸室11，以形成旋升气流621即可实现本发明目的。

本实施例所揭示的抽排装置可减少了物料90在被切割过程中所产生的各种烟雾、粉尘及有毒有害气体的高效收集并排出，由此不仅确保了切割物料的产品良率，有效地避免了烟雾、粉尘及有毒有害气体对激光切割装置的光路***的场镜表面所可能造成的污染，并且适合洁净室环境使用。同时，解决了传统的抽吸装置所存在的抽吸力不足或者抽吸过程中存在遗漏的缺陷，并能够显著地减少该抽排装置的停机维护的时间与停机次数。

实施例二：

结合图9所示，本实施例所揭示的抽排装置与实施例一所揭示的抽排装置存在的主要区别在于，本实施例所揭示的一种抽排装置中，其所包含的吸盘10的底面所形成的辅助抽吸口被配置为两圈相互嵌套并呈同心圆设置的狭缝环103a与狭缝环102a，狭缝环103a与狭缝环102a沿径向方向相互隔离。结合实施例一所示的抽排装置，申请人指出还可将狭缝环103a或者狭缝环102a沿圆环径向方向上予以隔离设置。例如，可将狭缝环103a配置为由四个弧形狭缝103共同组成。

本实施例所揭示的抽排装置与实施例一中具有相同部分的技术方案，请参实施例一所述，在此不再赘述。

实施例三：

结合图10所示，本实施例所揭示的抽排装置与实施例一和/或实施例二所揭示的抽排装置存在的主要区别在于，本实施例中的气路管道53呈直筒状，且省略了实施例一所揭示的圆锥部51，以及圆锥部51的内部形成向上收缩并与抽吸管道2连通的锥形腔体511。需要说明的是，抽吸室11上方所连接的气路管道并局限于实施例一至实施例三所揭示的技术方案，只要确保气路管道53与抽吸管道2连通，并形成三通结构即可。

本实施例所揭示的抽排装置与实施例一和/或实施例二中具有相同部分的技术方案，请参实施例一和/或实施例二所述，在此不再赘述。

实施例四：

基于实施例一至实施例三中任意一个或者几个相互结合所揭示的抽排装置所含技术方案，本实施例还揭示了一种激光切割装置。

在本实施例中，该激光切割装置，包括：

承载物料90的载台，激光发生器，以及配置于载台与激光发生器之间的如实施例一至实施例三中任意一个实施例所揭示的抽排装置；

激光发生器包括二氧化碳激光发生器和/或UV激光发生器。激光发生器的选用以载台上所承载的待切割的物料性质而定。

本实施例中激光切割装置中所包含的抽排装置的具体技术方案，请参实施例一至实施例三所述，在此不再赘述。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种抽排装置，其特征在于，包括：

吸盘，所述吸盘形成抽吸室，抽吸室上方连接气路管道，嵌置于抽吸室的内部并具有第一中空腔室的气旋环，至少一个连接至气旋环的进气管，以及与气路管道连通的抽吸管道；

所述抽吸室、气路管道以及抽吸管道所形成的腔体构成主抽排通道；

所述抽吸管道的顶部形成供激光贯穿所述抽吸管道、气路管道、抽吸室至被切割物料的覆盖件，所述气旋环的上表面开设多个出气孔，所述出气孔为能形成向上倾斜的气流的开口，多股所述向上倾斜的气流共同形成旋升气流。

2.根据权利要求1所述的抽排装置，其特征在于，

所述吸盘具有第二中空腔室；

抽排装置还包括：

至少一个与所述吸盘的第二中空腔室连通的出气管，

所述吸盘的底部开设若干辅助抽吸口，所述辅助抽吸口、第二中空腔室与出气管形成辅助抽排通道。

3.根据权利要求2所述的抽排装置，其特征在于，所述气旋环嵌置于抽吸室的内壁面，所述第一中空腔室呈环形；

所述进气管贯穿吸盘的第二中空腔室，并横向接入气旋环。

4.根据权利要求1所述的抽排装置，其特征在于，所述覆盖件为密封镜头或者平板玻璃。

5.根据权利要求1所述的抽排装置，所述抽吸管道的两端端部呈敞口结构，第一端与空气输送装置连接，第二端与抽吸装置连接。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的抽排装置，其特征在于，所述气路管道形成向上收缩并与抽吸管道连通的锥形腔体。

7.根据权利要求2所述的抽排装置，其特征在于，所述辅助抽吸口配置为若干弧形狭缝。

8.根据权利要求7所述的抽排装置，其特征在于，所述辅助抽吸口包括若干分离的弧形狭缝组成的至少两圈狭缝环，相邻两圈狭缝环所包含的弧形狭缝环沿吸盘的径向方向存在部分重合。

9.根据权利要求2所述的抽排装置，其特征在于，所述吸盘配置呈轴对称设置并与所述吸盘的第二中空腔室连通的偶数个出气管。

10.一种激光切割装置，其特征在于，包括：

承载物料的载台，激光发生器，以及配置于载台与激光发生器之间的如权利要求1至9中任一项所述的抽排装置；

所述激光发生器包括二氧化碳激光发生器和/或UV激光发生器。

Images