CN111180304B - 一种离子源用高效阳极管 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种离子源用高效阳极管，包括第一阳极管和第二阳极管，第一阳极管和第二阳极管相互套接在一起，第一阳极管及第二阳极管的内壁为波浪形，且第一阳极管及第二阳极管的内壁凹凸粗糙不平，第二阳极管的一端沿周开设有通气孔，通气孔的内径口外侧小且内侧大。本发明采用双阳极管设置，双阳极管可拆卸连接，避免整体更换；第二阳极管沿周均匀开设有通气孔，反应气体均匀进入，使得反应气体分布均匀；第一阳极管及第二阳极管的内壁为波浪形且内壁凹凸粗糙不平，提高对电子灰尘的吸附效率。

Description

一种离子源用高效阳极管
技术领域
本发明属于电子源领域，具体涉及一种离子源用高效阳极管。
背景技术
离子束薄膜沉积和离子束材料改性技术是材料科学的一个重要分支。目前，离子源的种类很多，但基本工作原理为：首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，然后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来，这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽集中，可广泛应用于真空镀膜中。
而在离子源中阳极管为重要的部件，通入阳极管中的反应气体在阴极的作用下产生等离子体，而后通过屏栅和加速栅抽出等离子体。然而，现有的阳极管上没有开设通气孔，反应气体从直接阳极管一端口进入，导致反应气体分布不均匀，进而使得电离度差；阳极管为一体成型，使得阳极管部分出现损坏后需要更换时，则必须整体更换，造成了较大的浪费；离子源阴极电离过程中产生的电子灰尘的吸附效率低，效果差，导致离子源的工作效率大大降低，进而影响整个镀膜的过程。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明提供一种离子源用高效阳极管，采用双阳极管设置，双阳极管可拆卸连接，避免整体更换；第二阳极管沿周均匀开设有通气孔，反应气体均匀进入，使得反应气体分布均匀；第一阳极管及第二阳极管的内壁为波浪形且内壁凹凸粗糙不平，提高对电子灰尘的吸附效率。
本发明是通过以下技术方案实现的：一种离子源用高效阳极管，包括第一阳极管和第二阳极管，所述第一阳极管和第二阳极管相互套接在一起，所述第一阳极管及第二阳极管的内壁为波浪形，且所述第一阳极管及第二阳极管的内壁凹凸粗糙不平，所述第二阳极管的一端沿周开设有通气孔，所述通气孔的内径口外侧小且内侧大。
所述第一阳极管和第二阳极管采用螺纹连接的方式相互旋拧套接在一起。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.本发明采用双阳极管设置，双阳极管可拆卸连接，哪部分损坏哪部分更换，避免整体更换，节约材料，降低成本；
2.本发明的第二阳极管沿周均匀开设有通气孔，反应气体均匀进入，使得反应气体分布均匀，且通气孔的内径口外侧小且内侧大，使得反应气体的进入缓慢缓和，进一步提高了反应气体的分布均匀度，从而提高了电离度；
3.本发明第一阳极管及第二阳极管的内壁为波浪形，增大吸附面积，提高对电子灰尘的吸附效率，内壁凹凸粗糙不平，扩大了电子灰尘的吸附点，进一步提高了对电子灰尘的吸附效率。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的剖视图；
图3是图2中C处放大图。
附图中：1.第一阳极管；2.第二阳极管；3.通气孔。
具体实施方式
如说明书附图图1到图3所示的一种离子源用高效阳极管，包括第一阳极管1和第二阳极管2，第一阳极管1和第二阳极管2相互套接在一起，第一阳极管1及第二阳极管2的内壁为波浪形，且第一阳极管1及第二阳极管2的内壁凹凸粗糙不平，凹凸粗糙不平度可通过喷砂、化学处理或机械处理制得，第二阳极管2的一端沿周开设有通气孔3，通气孔3的内径口外侧小且内侧大。
第一阳极管1和第二阳极管2采用螺纹连接的方式相互旋拧套接在一起，可拆卸连接，哪部分损坏哪部分更换，避免整体更换。
第一阳极管1和第二阳极管2采用铜制材料制成。
本发明采用双阳极管设置，双阳极管可拆卸连接，哪部分损坏哪部分更换，避免整体更换，节约材料，降低成本；第二阳极管沿周均匀开设有通气孔，反应气体均匀进入，使得反应气体分布均匀，且通气孔的内径口外侧小且内侧大，使得反应气体的进入缓慢缓和，进一步提高了反应气体的分布均匀度，从而提高了电离度；第一阳极管及第二阳极管的内壁为波浪形，增大吸附面积，提高对电子灰尘的吸附效率，内壁凹凸粗糙不平，扩大了电子灰尘的吸附点，进一步提高了对电子灰尘的吸附效率。
综上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用来限定本发明实施的范围，凡依本发明权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本发明的权利要求范围内。

Claims (2)

1.一种离子源用高效阳极管，其特征在于：包括第一阳极管(1)和第二阳极管(2)，所述第一阳极管(1)和第二阳极管(2)相互套接在一起，所述第一阳极管(1)及第二阳极管(2)的内壁为波浪形，且所述第一阳极管(1)及第二阳极管(2)的内壁凹凸粗糙不平，所述第二阳极管(2)的一端沿周开设有通气孔(3)，所述通气孔(3)的内径口外侧小且内侧大。
2.根据权利要求1所述的一种离子源用高效阳极管，其特征在于：所述第一阳极管(1)和第二阳极管(2)采用螺纹连接的方式相互旋拧套接在一起。
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