CN111133441A - 超声波指纹传感器装置、显示设备、检测指纹信息的方法和制造超声波指纹传感器装置的方法 - Google Patents
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Abstract
提供了一种超声波指纹传感器装置。超声波指纹传感器装置包括：衬底基板；第一电极层，其位于衬底基板上，并且包括多个第一电极的阵列，多个第一电极通过电极间区域彼此间隔开；压电层，其位于第一电极层远离衬底基板的一侧；第二电极层，其位于压电层远离衬底基板的一侧，并且包括一个或多个第二电极；以及第一参考电极层，其被配置为提供第一参考电压。第一电极层在衬底基板上的正投影与第二电极层在衬底基板上的正投影实质上不重叠。第一电极层和第一参考电极层位于衬底基板和压电层之间。
Description
技术领域
本公开涉及生物特征(biometric)检测技术，更具体地，涉及超声波指纹传感器装置、显示设备、检测指纹信息的方法以及制造超声波指纹传感器装置的方法。
背景技术
指纹识别技术已广泛应用于许多领域，如手机、平板电脑、电视和安全保护***。已经使用各种技术(包括光学、电容和超声成像技术)来实现指纹识别。超声波指纹传感器具有如其三维能力(three-dimensional capability)、更高安全级别的保护、增强的用户体验、更好的设计和相对较低的成本等优点。
发明内容
一方面，本公开提供了一种超声波指纹传感器装置，包括：衬底基板；第一电极层，其位于衬底基板上，并且包括多个第一电极的阵列，多个第一电极通过电极间区域彼此间隔开；压电层，其位于第一电极层远离衬底基板的一侧；第二电极层，其位于压电层远离衬底基板的一侧，并且包括一个或多个第二电极；以及第一参考电极层，其被配置为提供第一参考电压；其中，第一电极层在衬底基板上的正投影与第二电极层在衬底基板上的正投影实质上不重叠；第一电极层和第一参考电极层位于衬底基板和压电层之间。
可选地，超声波指纹传感器装置还包括在压电层远离衬底基板的一侧上的绝缘阻挡层；其中绝缘阻挡层包括多个阻挡块；多个阻挡块中的相应一个在衬底基板上的正投影与第二电极层在衬底基板上的正投影实质上不重叠；并且所述多个阻挡块中的相应一个在衬底基板上的正投影与多个第一电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
可选地，第二电极层和绝缘阻挡层都与压电层直接接触。
可选地，第一参考电极层位于电极间区域中，并且与多个第一电极间隔开；并且第一参考电极层在衬底基板上的正投影与一个或多个第二电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
可选地，第一参考电极层和第一电极层都与压电层直接接触。
可选地，超声波指纹传感器装置还包括第二参考电极层，其被配置为提供第二参考电压；其中第二参考电极层在衬底基板上的正投影与多个第一电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
可选地，第二参考电极层包括多个第二参考电极；多个第二参考电极中的相应一个在衬底基板上的正投影与多个第一电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
可选地，超声波指纹传感器装置还包括在压电层远离衬底基板的一侧上的绝缘阻挡层；其中绝缘阻挡层包括多个阻挡块；多个阻挡块中的相应一个在衬底基板上的正投影与第二电极层在衬底基板上的正投影实质上不重叠；并且多个阻挡块中的相应一个在衬底基板上的正投影与多个第一电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠，并且覆盖多个第二参考电极中的相应一个在衬底基板上的正投影。
可选地，一个或多个第二电极中的相应一个包括第一导电子层和第二导电子层，第一导电子层与压电层直接接触，第二导电子层位于第一导电子层远离压电层的一侧上；第一导电子层和多个第二参考电极在同一层中，并且包括相同的导电材料；第一导电子层和多个第二参考电极沿着从衬底基板到第二电极层的厚度方向具有实质上相同的厚度；第一导电子层和多个第二参考电极与压电层直接接触；并且多个阻挡块中的相应一个将多个第二参考电极中的相应一个与一个或多个第二电极间隔开。
可选地，第二参考电极层位于第二电极层远离衬底基板的一侧上；并且超声波指纹传感器装置还包括位于第二电极层和第二参考电极层之间的绝缘层。
可选地，一个或多个第二电极中的相应一个包括第一导电子层和第二导电子层，第一导电子层与压电层直接接触，第二导电子层位于第一导电子层远离压电层的一侧上；并且沿着从衬底基板到第二电极层的厚度方向，第二导电子层的厚度大于第一导电子层的厚度。
可选地，第二电极层包括单个电极；单个电极包括彼此交叉并且彼此互连的多行和多列。
可选地，多个第一电极的阵列包括多行第一电极和多列第一电极；一个或多个第二电极包括多行第二电极；并且多行第二电极中的相应行包括横跨多列第一电极的条形电极。
另一方面，本公开提供了一种显示设备，包括本文所述或者通过本文所述的方法制造的超声波指纹传感器装置；以及在衬底基板的远离第一电极层的一侧上的多个薄膜晶体管。
另一方面，本公开提供了一种检测指纹信息的方法，包括：在衬底基板上提供第一电极层，其中第一电极层包括多个第一电极的阵列，多个第一电极通过电极间区域彼此间隔开；在第一电极层远离衬底基板的一侧上提供压电层；以及在压电层远离衬底基板的一侧上提供第二电极层，其中第二电极层包括一个或多个第二电极；多个第一电极在衬底基板上的正投影与第二电极层在衬底基板上的正投影实质上不重叠；将扫描信号传输到一个或多个第二电极中的相应一个，以通过压电层产生超声波信号；将压电层反射的超声波信号转换成感测信号；以及通过多个第一电极中的相应一个将感测信号传输到指纹感测集成电路。
可选地，所述至少一个或多个第二电极包括多个第二电极，以及将扫描信号传输到所述一个或多个第二电极中的相应一个以通过所述压电层产生超声波信号包括：将至少两个扫描信号分别传输到所述多个第二电极中的至少两个第二电极以根据波束成形图案产生至少两个超声波信号；其中所述波束成形图案将所述至少两个超声波信号聚焦到触摸界面处的一个位置；以及所述至少两个超声波信号中的至少一个相对于所述至少两个超声波信号中的至少另一个相位延迟。
可选地，多个第一电极的阵列包括多行第一电极和多列第一电极；一个或多个第二电极包括多行第二电极；并且多行第二电极中的相应行包括横跨多列第一电极的条形电极；其中将至少两个扫描信号分别传输到所述多个第二电极中的至少两个第二电极以根据波束成形图案产生至少两个超声波信号包括：将至少两个扫描信号分别传输到所述多行第二电极中的至少两个条形电极，其中所述至少两个条形电极分别横跨所述多列第一电极；以及通过所述多个第一电极中的相应一个将所述感测信号传输到所述指纹感测集成电路包括：通过与所述至少两个条形电极中的至少一个对应的多行第一电极中的至少一行将所述感测信号传输到所述指纹感测集成电路。
可选地，该方法还包括在衬底基板和压电层之间提供第一参考电极层；以及将第一参考电压传输到第一参考电极层；其中，第一参考电极层在电极间区域中，并且与多个第一电极间隔开；以及第一参考电极层在衬底基板上的正投影与一个或多个第二电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
可选地，该方法还包括提供第二参考电极层；以及将第二参考电压传输到第二参考电极层；其中，第二参考电极层在衬底基板上的正投影与多个第一电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
可选地，提供第二参考电极层包括提供多个第二参考电极；并且多个第二参考电极中的相应一个在衬底基板上的正投影与多个第一电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
在另一方面，本公开还提供了一种超声波指纹传感器装置的制造方法，包括在衬底基板上形成第一电极层，其中形成第一电极层包括形成通过电极间区域彼此间隔开的多个第一电极的阵列；在第一电极层远离衬底基板的一侧上形成压电层；在压电层远离衬底基板的一侧上形成第二电极层，其中形成第二电极层包括形成一个或多个第二电极；以及形成被配置为提供第一参考电压的第一参考电极层；其中，第一电极层在衬底基板上的正投影与第二电极层在衬底基板上的正投影实质上不重叠；以及第一电极层和第一参考电极层形成在衬底基板和压电层之间。
可选地，形成一个或多个第二电极中的相应一个包括形成与压电层直接接触的第一导电子层，以及在第一导电子层远离压电层的一侧上形成第二导电子层。
可选地，该方法还包括在压电层远离衬底基板的一侧上形成绝缘阻挡层；其中，形成绝缘阻挡层的步骤包括形成多个阻挡块；多个阻挡块中的相应一个在衬底基板上的正投影与第二电极层在衬底基板上的正投影实质上不重叠；并且多个阻挡块中的相应一个在衬底基板上的正投影与多个第一电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠；其中在形成第一导电子层之后和形成第二导电子层之前实施形成绝缘阻挡层。
可选地，该方法还包括在衬底基板和压电层之间形成第一参考电极层；其中，第一参考电极层形成在电极间区域中，并与多个第一电极间隔开；并且第一参考电极层在衬底基板上的正投影与一个或多个第二电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
可选地，该方法还包括形成包括多个第二参考电极的第二参考电极层；其中，多个第二参考电极中的相应一个在衬底基板上的正投影与多个第一电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠；其中，第一导电子层和多个第二参考电极在同一层中，并且包括相同的导电材料。
附图说明
以下附图仅仅是根据各种公开的实施例的用于说明目的的示例，并不旨在限制本公开的范围。
图1是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的结构的示意图。
图2是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的压电层、第一电极层和第一参考电极层的平面图。
图3是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的绝缘阻挡层、第二电极层和第二参考电极层的平面图。
图4示出了根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的多个电极区域和电极间区域。
图5是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的结构的示意图。
图6是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的结构的示意图。
图7是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的结构的示意图。
图8是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的绝缘阻挡层和第二电极层的平面图。
图9是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的结构的示意图。
图10是与图8中的多个绝缘阻挡块中的相应一个对应的区域的放大视图。
图11是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的绝缘阻挡层、第二电极层和第二参考电极层的平面图。
图12示出了根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的波束成形图案的形成。
图13A至13C示出了根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的触摸界面的扫描。
图14A至14I示出了根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的制造方法。
图15是具有根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的显示设备的示意图。
具体实施方式
现在将参照以下实施例更具体地描述本公开。需注意，以下对一些实施例的描述仅仅是为了示意和描述的目的而呈现于此。其不旨在是穷尽性的或者被限制为所公开的确切形式。
本公开尤其提供了一种超声波指纹传感器装置、显示设备、检测指纹信息的方法以及超声波指纹传感器装置的制造方法，其实质上消除了由于相关技术的限制和缺点导致的一个或多个问题。一方面，本公开提供了一种超声波指纹传感器装置。在一些实施例中，超声波指纹传感器装置包括衬底基板；第一电极层，其在衬底基板上，并且包括多个第一电极的阵列，所述多个第一电极通过电极间区域彼此间隔开；压电层，其位于第一电极层远离衬底基板的一侧；第二电极层，其位于压电层远离衬底基板的一侧，并且包括一个或多个第二电极；以及第一参考电极层，其被配置为提供第一参考电压。可选地，第一电极层在衬底基板上的正投影与第二电极层在衬底基板上的正投影实质上不重叠。可选地，第一电极层和第一参考电极层位于衬底基板和压电层之间。
图1是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的剖视图。图2是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的压电层、第一电极层和第一参考电极层的平面图。图3是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的绝缘阻挡层、第二电极层和第二参考电极层的平面图。图4示出了根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的多个电极区域和电极间区域。参考图1至图4，在一些实施例中，超声波指纹传感器装置包括衬底基板BS；第一电极层EL1，其位于衬底基板BS上，并且包括多个第一电极E1的阵列，多个第一电极E1通过电极间区域IER彼此间隔开；压电层PEL，其位于第一电极层EL1远离衬底基板BS的一侧；第二电极层EL2，其位于压电层PEL远离衬底基板BS的一侧，并且包括一个或多个第二电极E2；以及第一参考电极层REL1，其被配置为向一个或多个第二电极E2提供第一参考电压。可选地，第一电极层EL1和第一参考电极层REL1位于衬底基板BS和压电层PEL之间。
可选地，多个第一电极E1是多个接收电极。可选地，一个或多个第二电极E2是一个或多个发射电极。
可选地，多个第一电极E1是多个发射电极。可选地，一个或多个第二电极E2是一个或多个接收电极。
在一些实施例中，超声波指纹传感器装置还包括在压电层PEL远离衬底基板BS的一侧上的绝缘阻挡层IBL。可选地，绝缘阻挡层IBL包括多个阻挡块BB。在一些实施例中，超声波指纹传感器装置还包括第二参考电极层REL2，其被配置为向第一电极层EL1提供第二参考电压。第二参考电极层REL2包括分别对应于多个第一电极E1的多个第二参考电极RE2。
参照图1、图2和图4，多个第一电极E1分别位于多个电极区域ER中。多个第一电极E1通过电极间区域IER彼此间隔开。第一参考电极层REL1位于电极间区域中，并且包括一个或多个第一参考电极RE1。一个或多个第一参考电极RE1例如通过压电层PEL与多个第一电极E1中的每一个间隔开。
在一些实施例中，多个第二参考电极RE2分别位于多个电极区域ER中。可选地，多个第二参考电极RE2通过电极间区域IER彼此间隔开。可选地，第二电极层EL2在电极间区域中，并且包括一个或多个第二电极E2。一个或多个第二电极E2例如通过绝缘阻挡层IBL与多个第二参考电极RE2中的每一个间隔开。
参照图2，在一些实施例中，一个或多个第一参考电极RE1具有网络结构，该网络结构具有彼此交叉的多行和多列，从而将超声波指纹传感器装置分为分别包含多个第一电极E1的多个区域。可选地，第一参考电极层REL1包括单个电极。在超声指纹传感器装置的平面图中，压电层PEL的一部分沿着多个第一电极E1中的相应一个的实质上整个周界包围该相应一个第一电极E1。如本文所用，术语“实质上整个”是指基值(例如周界)的至少80％，例如，基值的至少80％、至少85％、至少90％、至少95％、至少99％或100％。
参照图3，在一些实施例中，一个或多个第二电极E2具有网络结构，该网络结构具有彼此交叉的多行和多列，从而将超声波指纹传感器装置分为分别包含多个第二参考电极RE2的多个区域。可选地，第二电极层EL2包括单个电极。在超声波指纹传感器装置的平面图中，多个阻挡块BB中的相应一个沿着多个第二参考电极RE2中的相应一个的实质上整个周界包围该相应一个第二参考电极RE2。
参照图1至图3，在一些实施例中，第一电极层EL1在衬底基板BS上的正投影与第二电极层EL2在衬底基板BS上的正投影实质上不重叠。如本文所用，术语“实质上不重叠”是指两个正投影至少50％(例如，至少60％、至少70％、至少80％、至少90％、至少95％、至少99％或100％)不重叠。可选地，第一电极层EL1在衬底基板BS上的正投影与第二电极层EL2在衬底基板BS上的正投影完全不重叠。
可选地，第一参考电极层REL1在衬底基板BS上的正投影与一个或多个第二电极E2中的相应一个在衬底基板BS上的正投影至少部分地重叠。可选地，一个或多个第一参考电极RE1在衬底基板BS上的正投影与一个或多个第二电极E2的相应一个在衬底基板BS上的正投影实质上重叠，并且实质上共同延伸。这里使用的术语“实质上重叠”是指两个正投影彼此重叠至少50％，例如至少60％，至少70％，至少80％，至少90％，至少95％，至少99％，或100％。如本文所用，术语“实质上共同延伸”是指至少80％、至少90％、至少95％、至少99％或100％共同延伸。
可选地，多个阻挡块BB中的相应一个在衬底基板BS上的正投影与第二电极层EL2在衬底基板BS上的正投影实质上不重叠。可选地，多个阻挡块BB中的相应一个在衬底基板BS上的正投影与第二电极层EL2在衬底基板BS上的正投影完全不重叠。
可选地，多个阻挡块BB中的相应一个在衬底基板BS上的正投影与多个第一电极E1中的相应一个在衬底基板BS上的正投影至少部分地重叠。可选地，多个阻挡块BB中的相应一个在衬底基板BS上的正投影覆盖多个第一电极E1中的相应一个在衬底基板BS上的正投影。
可选地，多个阻挡块BB中的相应一个在衬底基板BS上的正投影与多个第二参考电极RE2中的相应一个在衬底基板BS上的正投影至少部分地重叠。可选地，多个阻挡块BB中的相应一个在衬底基板BS上的正投影覆盖多个第二参考电极RE2中的相应一个在衬底基板BS上的正投影。
可选地，第二参考电极层REL2在衬底基板BS上的正投影与多个第一电极E1中的相应一个在衬底基板BS上的正投影至少部分地重叠。可选地，第二参考电极层REL2在衬底基板BS上的正投影与多个第一电极E1中的相应一个在衬底基板BS上的正投影实质上重叠，并且实质上共同延伸。可选地，多个第二参考电极RE2中的相应一个在衬底基板BS上的正投影与多个第一电极E1中的相应一个在衬底基板BS上的正投影至少部分地重叠。可选地，多个第二参考电极RE2中的相应一个在衬底基板BS上的正投影与多个第一电极E1中的相应一个在衬底基板BS上的正投影实质上重叠，并且实质上共同延伸。
可选地，多个阻挡块BB中的相应一个在衬底基板BS上的正投影与第二电极层EL2在衬底基板BS上的正投影实质上不重叠。可选地，多个阻挡块BB中的相应一个在衬底基板BS上的正投影与第二电极层EL2在衬底基板BS上的正投影完全不重叠。
参照图1，在一些实施例中，第一电极层EL1和第一参考电极层REL1通过压电层PEL与第二电极层EL2、第二参考电极层REL2和绝缘阻挡层IBL间隔开。可选地，第一电极层EL1与压电层PEL直接接触，第二参考电极层REL2与压电层PEL直接接触，第一电极层EL1和第二参考电极层REL2位于压电层PEL的相对的两侧上，第二参考电极层REL2为第一电极层EL1提供第二参考电压。可选地，第二电极层EL2与压电层PEL直接接触，第一参考电极层REL1与压电层PEL直接接触，第二电极层EL2和第一参考电极层REL1位于压电层PEL的相对的两侧上，第一参考电极层REL1为第二电极层EL2提供第一参考电压。可选地，多个绝缘阻挡块中的每一个都与压电层PEL直接接触。
在一些实施例中，超声波指纹传感器装置还包括保护层PL，其位于第二电极层EL2和绝缘阻挡层IBL远离衬底基板BS的一侧上。可选地，保护层PL包括有机绝缘材料，例如环氧聚合物。
图5是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的剖视图。参照图5，在一些实施例中，一个或多个第二电极E2中的相应一个包括：第一导电子层E2-1，其与压电层PEL直接接触；和第二导电子层E2-2，其位于第一导电子层E2-1远离压电层PEL的一侧上。可选地，第一导电子层E2-1和多个第二参考电极RE2在同一层中。可选地，第一导电子层E2-1和多个第二参考电极RE2包括相同的导电材料。如本文所用，术语“同一层”指的是在同一步骤中同时形成的层之间的关系。在一个示例中，当第一导电子层E2-1和多个第二参考电极RE2作为在同一沉积工艺中沉积的材料中执行的同一图案化工艺的一个或多个步骤的结果而形成时，它们处于同一层中。在另一示例中，通过同时执行形成第一导电子层E2-1的步骤和形成多个第二参考电极RE2的步骤，可以在同一层中形成第一导电子层E2-1和多个第二参考电极RE2。术语“同一层”并不总是意味着在剖视图中该层的厚度或该层的高度是相同的。
可选地，第一导电子层E2-1和多个第二参考电极RE2沿着从衬底基板BS到第二电极层EL2的厚度方向具有实质上相同的厚度，例如，沿着从衬底基板BS到第二电极层EL2的厚度方向并且与压电层PEL相交。如本文所用，术语“实质上相同”是指两个值之间的差值不超过基值(例如，两个值之一)的10％，例如不超过基值的8％、不超过基值的6％、不超过基值的4％、不超过基值的2％、不超过基值的1％、不超过基值的0.5％、不超过基值的0.1％、不超过基值的0.05％和不超过基值的0.01％。
可选地，第一导电子层E2-1和多个第二参考电极RE2与压电层PEL直接接触。可选地，多个阻挡块BB中的相应一个将多个第二参考电极RE2中的相应一个与一个或多个第二电极E2间隔开。
可选地，沿着从衬底基板BS到第二电极层EL2的厚度方向，第二导电子层E2-2的厚度大于第一导电子层E2-1的厚度，例如沿着从衬底基板BS到第二电极层EL2并且与压电层PEL相交的厚度方向。
图6是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的结构的示意图。参照图6，在一些实施例中，超声波指纹传感器装置还包括：绝缘层IN，其位于第二电极层EL2和绝缘阻挡层IBL远离衬底基板BS的一侧上；以及超声波反射层URL，其位于绝缘层IN远离衬底基板BS的一侧上。可选地，超声波指纹传感器装置还包括保护层PL，其位于超声波反射层URL远离绝缘层IN的一侧上。通过在绝缘层IN的远离衬底基板BS的一侧上具有超声反射层URL，可以将从第二电极层EL2传输的超声波信号朝向衬底基板BS反射，增强传输到手指的信号强度。
在一些实施例中，第二参考电极层REL2位于第二电极层EL2远离衬底基板BS的一侧上。图7是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的结构的示意图。参照图7，在一些实施例中，超声波指纹传感器装置还包括：绝缘层IN，其在第二电极层EL2和绝缘阻挡层IBL远离衬底基板BS的一侧上；以及第二参考电极层REL2，其位于绝缘层IN远离衬底基板BS的一侧上。可选地，超声波指纹传感器装置还包括保护层PL，其位于第二参考电极层REL2远离绝缘层IN的一侧上。可选地，第二参考电极层REL2是在实质上遍及整个衬底基板BS连续延伸的单一层(unitary layer)。通过在第二电极层EL2远离衬底基板BS的一侧上具有第二参考电极层REL2，第二参考电极层REL2可以起到超声反射层的作用，以将从第二电极层EL2传输的超声波信号朝向衬底基板BS反射，增强了传输到手指的信号强度。此外，通过具有这种设置，第二电极层EL2与第二参考电极层REL2进一步间隔开，在第二电极层EL2和第二参考电极层REL2之间的层中具有较低的介电性，从而提高检测灵敏度。
图8是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的绝缘阻挡层和第二电极层的平面图。参照图8，在一些实施例中，一个或多个第二电极E2具有网络结构，该网络结构具有彼此交叉的多行和多列，从而将超声波指纹传感器装置分为分别包含多个绝缘阻挡块BB的多个区域。
图9是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的结构的示意图。图10是与图8中的多个绝缘阻挡块中的相应一个对应的区域的放大视图。参照图9和图10，在一些实施例中，超声波指纹传感器装置包括分别延伸到压电层PEL中的多个凹槽R。多个绝缘阻挡块BB中的相应一个延伸到多个凹槽R中的相应一个中。如图9和图10所示，一个或多个第二电极E2中的相应一个与一个或多个第一参考电极RE1中的相应一个通过压电层PEL的沿着从第二电极层EL2到衬底基板BS的厚度方向具有第一厚度t1一部分而间隔开，多个第一电极E1中的相应一个与多个绝缘阻挡块BB中的相应一个通过压电层PEL的沿着从第二电极层EL2到衬底基板BS的厚度方向具有第二厚度t2一部分而间隔开，第一厚度t1大于第二厚度t2。可选地，多个第一电极E1是接收电极，一个或多个第二电极E2是发射电极。因此，在对应于接收电极的区域中，压电层PEL具有相对较小的厚度，增强了检测灵敏度。在对应于发射电极的区域中，压电层PEL具有相对较大的厚度，使得其更能耐受施加到发射电极的高电压。
在一些实施例中，一个或多个第二电极包括多行第二电极。图11是根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的绝缘阻挡层、第二电极层和第二参考电极层的平面图。参照图1、图2和图11，在一些实施例中，多个第一电极E1的阵列包括多行第一电极和多列第一电极(如图2所示)；一个或多个第二电极包括多行第二电极E2R。可选地，多行第二电极E2R中的相应一行包括横跨多列第一电极的条形电极。
另一方面，本公开提供了一种检测指纹信息的方法。在一些实施例中，该方法包括在衬底基板上提供第一电极层，其中第一电极层包括多个第一电极的阵列，多个第一电极通过电极间区域彼此间隔开；在第一电极层远离衬底基板的一侧上提供压电层；以及在压电层远离衬底基板的一侧上提供第二电极层，其中第二电极层包括一个或多个第二电极；多个第一电极在衬底基板上的正投影与第二电极层在衬底基板上的正投影实质上不重叠；将扫描信号传输到一个或多个第二电极中相应的一个，以通过压电层产生超声波信号；将压电层反射的超声波信号转换成感测信号；以及通过多个第一电极中相应的一个将感测信号传输到指纹感测集成电路。
在一些实施例中，将扫描信号传输到一个或多个第二电极中相应的一个以通过压电层产生超声波信号的步骤包括将多个扫描信号分别传输到一个或多个第二电极中的多个第二电极以根据波束成形图案(beamforming pattern)产生多个超声波信号。波束成形图案将多个超声波信号聚焦到触摸界面的一个位置。多个超声波信号中的至少一个相对于多个超声波信号中的至少另一个相位延迟。
图12示出了根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中波束成形图案的形成。图12是沿着图11中的A-A’线的剖视图。参照图12，第二电极层EL2包括多行第二电极E2R。多行第二电极E2R中的相应一行包括条形电极。如图12所示，在一些实施例中，多个扫描信号被分别传输到多行第二电极E2R的多个条形电极，以根据波束成形图案生成多个超声波信号。多个条形电极分别横跨多列第一电极。在一个示例中，被传输到中间条形电极的扫描信号是相位延迟信号。波束成形图案将多个超声波信号聚焦到发生触摸的触摸界面T1处的位置(例如焦点FP)。感测信号通过与多个条形电极中的至少一个对应的多行第一电极中的一行或多行(例如，图2中多行第一电极中的一行或多行)被传输到指纹感测集成电路。
当焦点FP位于指纹谷时，反射光束具有相对较高的能量；当焦点FP位于指纹脊时，反射光束具有相对较低的能量。通过形成波束成形图案，谷-脊信号差异可以显著增强。此外，该技术通过具有更强的方向性来减少谷-脊信号干扰。
图13A至13C示出了根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置中的触摸界面的扫描。参照图13A，在第一阶段，三个扫描信号分别被传输到多行第二电极中的三个条形电极(E2R1、E2R2和E2R3)。感测信号分别通过与多行第二电极的E2R1、E2R2和E2R3对应的多行第一电极的两行(E1R2和E1R3)传输。参照图13B，在第一阶段之后的第二阶段，三个扫描信号分别被传输到多行第二电极的三个条形电极(E2R2、E2R3和E2R4)。感测信号分别通过与多行第二电极的E2R2、E2R3和E2R4对应的多行第一电极的两行(E1R3和E1R4)传输。参照图13C，在第二阶段之后的第三阶段，三个扫描信号分别被传输到多行第二电极的三个条形电极(E2R3、E2R4和E2R5)。感测信号分别通过与多行第二电极的E2R3、E2R4和E2R5对应的多行第一电极的两行(E1R4和E1R5)传输。可以执行该过程来扫描遍及整个触摸界面，指纹感测集成电路基于在不同阶段通过多行第一电极传输到指纹感测集成电路的感测信号来生成指纹信息。可以实施其他扫描方案。在一个示例中，可以形成两个波束成形图案，以从两个相对的侧面扫描触摸界面。在另一个示例中，波束成形图案可以使用三个以上(例如，4、5或6个)条形电极形成。在另一个示例中，多行第一电极被配置成按时间顺序传输感测信号。在另一个示例中，多行第一电极中的每隔一行被配置成传输感测信号。
在一些实施例中，该方法还包括在衬底基板和压电层之间提供第一参考电极层；以及将第一参考电压传输到第一参考电极层。可选地，第一参考电极层在电极间区域中，并且与多个第一电极间隔开。可选地，第一参考电极层在衬底基板上的正投影与一个或多个第二电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
在一些实施例中，该方法还包括提供第二参考电极层；以及将第二参考电压传输到第二参考电极层。可选地，第二参考电极层在衬底基板上的正投影与多个第一电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。可选地，提供第二参考电极层的步骤包括提供多个第二参考电极。可选地，多个第二参考电极中相应一个在衬底基板上的正投影与多个第一电极中相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
另一方面，本公开还提供了一种超声波指纹传感器装置的制造方法。在一些实施例中，该方法包括在衬底基板上形成第一电极层，其中形成第一电极层包括形成通过电极间区域彼此间隔开的多个第一电极的阵列；在第一电极层远离衬底基板的一侧上形成压电层；在压电层远离衬底基板的一侧上形成第二电极层，其中形成第二电极层包括形成一个或多个第二电极；以及形成被配置为提供第一参考电压的第一参考电极层。可选地，第一电极层在衬底基板上的正投影与第二电极层在衬底基板上的正投影实质上不重叠。可选地，第一电极层和第一参考电极层形成在衬底基板和压电层之间。
在一些实施例中，形成一个或多个第二电极中的相应一个包括形成与压电层直接接触的第一导电子层，以及在第一导电子层远离压电层的一侧上形成第二导电子层。
在一些实施例中，该方法还包括在压电层远离衬底基板的一侧上形成绝缘阻挡层。可选地，形成绝缘阻挡层的步骤包括形成多个阻挡块。可选地，多个阻挡块中相应一个在衬底基板上的正投影与第二电极层在衬底基板上的正投影实质上不重叠。可选地，多个阻挡块中相应一个在衬底基板上的正投影与多个第一电极中相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。可选地，在形成第一导电子层之后和形成第二导电子层之前实施形成绝缘阻挡层。可选地，使用多个阻挡块作为掩模板，在第一导电子层上电镀电极材料。
在一些实施例中，该方法还包括在衬底基板和压电层之间形成第一参考电极层。可选地，第一参考电极层形成在电极间区域中，并与多个第一电极间隔开。可选地，第一参考电极层在衬底基板上的正投影与一个或多个第二电极中的相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
在一些实施例中，该方法还包括形成包括多个第二参考电极的第二参考电极层。可选地，多个第二参考电极中相应一个在衬底基板上的正投影与多个第一电极中相应一个在衬底基板上的正投影至少部分地重叠。可选地，第一导电子层和多个第二参考电极在同一层中，并且包括相同的导电材料。
图14A至14I示出了制造根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的方法。参照图14A，第一导电材料层CL1形成在衬底基板BS上。可以使用各种适当的电极材料和各种适当的制造方法来制造第一导电材料层CL1。例如，导电金属材料可以通过磁控溅射、气相沉积(例如，等离子体增强化学气相沉积)或真空沉积而沉积在衬底上。用于制造第一导电材料层CL1的合适的导电金属材料的示例包括但不限于铜、钛、钽、铝、钼、铬及其各种合金或层压材料。
参照图14B，以相同的图案化工艺对第一导电材料层CL1进行图案化以形成第一电极层EL1和第一参考电极层REL1。第一电极层EL1形成为在多个电极区域ER中分别包括多个第一电极E1。第一参考电极层REL1形成为在电极间区域IER中包括一个或多个第一参考电极RE1。可选地，第一电极层EL1和第一参考电极层REL1形成为具有实质上相同的厚度。
参照图14C，压电层PEL形成在第一电极层EL1和第一参考电极层REL1远离衬底基板BS的一侧。压电层PEL形成为覆盖第一电极层EL1和第一参考电极层REL1。各种适当的压电材料可以用于制造压电层PEL。用于制造压电层PEL的适当压电材料的示例包括聚偏二氟乙烯(polyvinylidene fluoride)或锆钛酸铅压电陶瓷(lead zirconate titanatepiezoelectric ceramic)。
参照图14D，第二导电材料层CL2形成在压电层PEL远离衬底基板BS的一侧上。可以使用各种适当的电极材料和各种适当的制造方法来制造第二导电材料层CL2。例如，导电金属材料可以通过磁控溅射、气相沉积(例如，等离子体增强化学气相沉积))或真空沉积而沉积在衬底上。用于制造第二导电材料层CL2的适当的导电金属材料的示例包括但不限于铜、钛、钽、铝、钼、铬及其各种合金或层压材料。在一个示例中，第二导电材料层CL2由铜制成。
参照图14E，第二导电材料层CL2被图案化以形成第二电极层的第一导电子层E2-1和第二参考电极层REL2。第二参考电极层REL2形成为分别在多个电极区域ER中包括多个第二参考电极RE2。第一导电子层E2-1形成为包括限制在电极间区域IER中的一个或多个导电块。
参照图14F，绝缘阻挡材料层IBML形成在第一导电子层E2-1和第二参考电极层REL2远离衬底基板BS的一侧上。可以使用各种适当的材料和各种适当的制造方法来制造绝缘阻挡材料层IBML。例如，绝缘阻挡材料层IBML可以通过沉积方法形成，例如使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺。用于制造绝缘阻挡材料层IBML的适当材料的示例包括但不限于无机绝缘材料和有机绝缘材料。适当的无机绝缘材料的示例包括但不限于氧化硅、氮化硅(例如Si3N4)、氮氧化硅(SiOxNy)。适当的有机绝缘材料的示例包括但不限于树脂、聚酰亚胺等。在一个示例中，绝缘阻挡材料层IBML由树脂材料制成。
参照图14G，绝缘阻挡材料层IBML被图案化以形成绝缘阻挡层IBL。绝缘阻挡层IBL形成为包括通过凹槽G彼此间隔开的多个绝缘阻挡块BB。凹槽G在对应于第一导电子层E2-1的区域中。
参照图14H，第二导电子层E2-2形成在凹槽G中。在一个示例中，第二导电子层E2-2通过在第一导电子层E2-1的顶部电镀导电材料来形成。可以使用各种适当的电极材料和各种适当的制造方法来制造第二导电子层E2-2。例如，导电金属材料可通过电镀、磁控溅射、气相沉积(例如，等离子体增强化学气相沉积)或真空沉积而沉积在基板上。用于制造第二导电子层E2-2的适当导电金属材料的示例包括但不限于铜、钛、钽、铝、钼、铬及其各种合金或层压材料。在一个示例中，第二导电子层E2-2由铜制成。任选地，第二导电子层E2-2的厚度在1μm到20μm的范围内。任选地，第一导电子层E2-1的厚度不超过1μm，例如0.5μm。
参照图14I，保护层PL形成在绝缘阻挡层IBL和第二导电子层E2-2远离衬底基板BS的一侧上。可以使用各种适当的绝缘材料和各种适当的制造方法来制造保护层PL。在一个示例中，保护层PL由环氧聚合物材料制成。
在另一方面，本公开还提供了一种显示设备，该显示设备包括本文所述的或者通过本文所述的方法制造的超声波指纹传感器装置。可选地，显示设备还包括在衬底基板远离第一电极层的一侧上的多个薄膜晶体管。可选地，显示设备还包括连接到显示设备的显示面板的一个或多个集成电路。
图15是具有根据本公开的一些实施例中的超声波指纹传感器装置的显示设备的示意图。参照图15，超声波指纹传感器装置形成在阵列基板AS的衬底基板上。阵列基板还包括多个薄膜晶体管TFT和多个发光元件LE。显示设备还包括面对阵列基板AS的对置基板CS，并且可选地位于阵列基板AS远离超声波指纹传感器装置的一侧。
已经出于示意和描述的目的而呈现了本公开实施例的以上描述。其不旨在是穷举性的，也并非旨在将本公开限于所公开的确切形式或示例性实施例。因此，以上描述应当视为示意性的而非限制性的。显然，许多修改和变化对于本领域技术人员而言将是显而易见的。选择和描述这些实施例是为了解释本公开的原理及其最佳实施方式的实际应用，从而使得本领域技术人员能够理解本公开的各种实施例以及适于特定应用或所构思的实施方式的各种修改例。除非另外指明，否则本公开的范围旨在由所附权利要求及其等价形式限定，其中，所有术语应当被理解为其最宽泛的合理含义。因此，术语“所述公开”、“本公开”等并不一定将权利要求的范围限定在特定的实施例，并且对本公开示例性实施例的引用并不意味着对本公开的限制，也不应推断出任何这样的限制。本公开仅由所附权利要求的精神和范围所限定。此外，这些权利要求可适于在名词或元件之前使用“第一”、“第二”等。这些术语应当理解为一种命名法，而不应被理解为对这些命名法所修饰的元件的数量进行限制，除非已经给出了具体的数量。所描述的任何优点和益处可不适用于本公开的所有实施例。应当理解的是，在不脱离由所附权利要求限定的本公开的范围的情况下，本领域技术人员可以对所描述的实施例进行各种变化。此外，本公开的任何元件和组件均不旨在贡献给公众，无论所述元件或组件是否在所附权利要求中明确记载。
Claims (25)
1.一种超声波指纹传感器装置，包括：
衬底基板；
第一电极层，其位于所述衬底基板上，并且包括多个第一电极的阵列，所述多个第一电极通过电极间区域彼此间隔开；
压电层，其位于所述第一电极层远离所述衬底基板的一侧；
第二电极层，其位于所述压电层远离所述衬底基板的一侧，并且包括一个或多个第二电极；以及
第一参考电极层，其被配置为提供第一参考电压；
其中，所述第一电极层在所述衬底基板上的正投影与所述第二电极层在所述衬底基板上的正投影实质上不重叠；
所述第一电极层和所述第一参考电极层位于所述衬底基板和所述压电层之间。
2.根据权利要求1所述的超声波指纹传感器装置，还包括在所述压电层远离所述衬底基板的一侧上的绝缘阻挡层；
其中所述绝缘阻挡层包括多个阻挡块；
所述多个阻挡块中的相应一个在所述衬底基板上的正投影与所述第二电极层在所述衬底基板上的正投影实质上不重叠；并且
所述多个阻挡块中的相应一个在所述衬底基板上的正投影与所述多个第一电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
3.根据权利要求2所述的超声波指纹传感器装置，其中，所述第二电极层和所述绝缘阻挡层都与所述压电层直接接触。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的超声波指纹传感器装置，
其中，所述第一参考电极层位于所述电极间区域中，并且与所述多个第一电极间隔开；并且
所述第一参考电极层在所述衬底基板上的正投影与所述一个或多个第二电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的超声波指纹传感器装置，其中，所述第一参考电极层和所述第一电极层都与所述压电层直接接触。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的超声波指纹传感器装置，还包括第二参考电极层，其被配置为提供第二参考电压；
其中所述第二参考电极层在所述衬底基板上的正投影与所述多个第一电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
7.根据权利要求6所述的超声波指纹传感器装置，其中，所述第二参考电极层包括多个第二参考电极；
所述多个第二参考电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影与所述多个第一电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
8.根据权利要求7所述的超声波指纹传感器装置，还包括在所述压电层远离所述衬底基板的一侧上的绝缘阻挡层；
其中所述绝缘阻挡层包括多个阻挡块；
所述多个阻挡块中的相应一个在所述衬底基板上的正投影与所述第二电极层在所述衬底基板上的正投影实质上不重叠；并且
所述多个阻挡块中的相应一个在所述衬底基板上的正投影与所述多个第一电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影至少部分地重叠，并且覆盖所述多个第二参考电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影。
9.根据权利要求8所述的超声波指纹传感器装置，其中，所述一个或多个第二电极中的相应一个包括第一导电子层和第二导电子层，所述第一导电子层与所述压电层直接接触，所述第二导电子层位于所述第一导电子层远离所述压电层的一侧上；
所述第一导电子层和所述多个第二参考电极在同一层中，并且包括相同的导电材料；
所述第一导电子层和所述多个第二参考电极沿着从所述衬底基板到所述第二电极层的厚度方向具有实质上相同的厚度；
所述第一导电子层和所述多个第二参考电极直接接触所述压电层；并且
所述多个阻挡块中的相应一个将所述多个第二参考电极中的相应一个与所述一个或多个第二电极间隔开。
10.根据权利要求6所述的超声波指纹传感器装置，其中，所述第二参考电极层位于所述第二电极层远离所述衬底基板的一侧上；并且
所述超声波指纹传感器装置还包括位于所述第二电极层和所述第二参考电极层之间的绝缘层。
11.根据权利要求1至5中任一项所述的超声波指纹传感器装置，其中，所述一个或多个第二电极中的相应一个包括第一导电子层和第二导电子层，所述第一导电子层与所述压电层直接接触，所述第二导电子层位于所述第一导电子层远离所述压电层的一侧上；并且
沿着从所述衬底基板到所述第二电极层的厚度方向，所述第二导电子层的厚度大于所述第一导电子层的厚度。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的超声波指纹传感器装置，其中，所述第二电极层包括单个电极；
所述单个电极包括彼此交叉并且彼此互连的多行和多列。
13.根据权利要求1至11中任一项所述的超声波指纹传感器装置，其中，所述多个第一电极的阵列包括多行第一电极和多列第一电极；
所述一个或多个第二电极包括多行第二电极；并且
所述多行第二电极中的相应行包括横跨所述多列第一电极的条形电极。
14.一种显示设备，包括：
根据权利要求1至13中任一项所述的超声波指纹传感器装置；以及
在所述衬底基板的远离所述第一电极层的一侧上的多个薄膜晶体管。
15.一种检测指纹信息的方法，包括：
在衬底基板上提供第一电极层，其中所述第一电极层包括多个第一电极的阵列，所述多个第一电极通过电极间区域彼此间隔开；
在所述第一电极层远离所述衬底基板的一侧上提供压电层；
在所述压电层远离所述衬底基板的一侧上提供第二电极层，其中所述第二电极层包括一个或多个第二电极；所述多个第一电极在所述衬底基板上的正投影与所述第二电极层在所述衬底基板上的正投影实质上不重叠；
将扫描信号传输到所述一个或多个第二电极中的相应一个，以通过所述压电层产生超声波信号；
将所述压电层反射的超声波信号转换成感测信号；以及
通过所述多个第一电极中的相应一个将所述感测信号传输到指纹感测集成电路。
16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述至少一个或多个第二电极包括多个第二电极，以及将扫描信号传输到所述一个或多个第二电极中的相应一个以通过所述压电层产生超声波信号包括：将至少两个扫描信号分别传输到所述多个第二电极中的至少两个第二电极以根据波束成形图案产生至少两个超声波信号；
其中所述波束成形图案将所述至少两个超声波信号聚焦到触摸界面处的一个位置；以及
所述至少两个超声波信号中的至少一个相对于所述至少两个超声波信号中的至少另一个相位延迟。
17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述多个第一电极的阵列包括多行第一电极和多列第一电极；
所述一个或多个第二电极包括多行第二电极；并且
所述多行第二电极中的相应一行包括横跨所述多列第一电极的条形电极；
其中将至少两个扫描信号分别传输到所述多个第二电极中的至少两个第二电极以根据波束成形图案产生至少两个超声波信号包括：将至少两个扫描信号分别传输到所述多行第二电极中的至少两个条形电极，其中所述至少两个条形电极分别横跨所述多列第一电极；以及
通过所述多个第一电极中的相应一个将所述感测信号传输到所述指纹感测集成电路包括：通过与所述至少两个条形电极中的至少一个对应的多行第一电极中的至少一行将所述感测信号传输到所述指纹感测集成电路。
18.根据权利要求15至17中任一项所述的方法，还包括：
在所述衬底基板和所述压电层之间提供第一参考电极层；以及
将第一参考电压传输到所述第一参考电极层；
其中，所述第一参考电极层在所述电极间区域中，并且与所述多个第一电极间隔开；以及
所述第一参考电极层在所述衬底基板上的正投影与所述一个或多个第二电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
19.根据权利要求15至18中任一项所述的方法，还包括：
提供第二参考电极层；以及
将第二参考电压传输到所述第二参考电极层；
其中，所述第二参考电极层在所述衬底基板上的正投影与所述多个第一电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
20.根据权利要求19所述的方法，其中，提供所述第二参考电极层包括提供多个第二参考电极；并且
所述多个第二参考电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影与所述多个第一电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
21.一种制造超声波指纹传感器装置的方法，包括：
在衬底基板上形成第一电极层，其中形成所述第一电极层包括形成通过电极间区域彼此间隔开的多个第一电极的阵列；
在所述第一电极层远离所述衬底基板的一侧上形成压电层；
在所述压电层远离所述衬底基板的一侧上形成第二电极层，其中形成所述第二电极层包括形成一个或多个第二电极；以及
形成被配置为提供第一参考电压的第一参考电极层；
其中，所述第一电极层在所述衬底基板上的正投影与所述第二电极层在所述衬底基板上的正投影实质上不重叠；以及
所述第一电极层和所述第一参考电极层形成在所述衬底基板和所述压电层之间。
22.根据权利要求21所述的方法，其中，形成所述一个或多个第二电极中的相应一个包括形成与所述压电层直接接触的第一导电子层，以及在所述第一导电子层远离所述压电层的一侧上形成第二导电子层。
23.根据权利要求22所述的方法，还包括在所述压电层远离所述衬底基板的一侧上形成绝缘阻挡层；
其中，形成所述绝缘阻挡层包括形成多个阻挡块；
所述多个阻挡块中的相应一个在所述衬底基板上的正投影与所述第二电极层在所述衬底基板上的正投影实质上不重叠；并且
所述多个阻挡块中的相应一个在所述衬底基板上的正投影与所述多个第一电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影至少部分地重叠；
其中在形成所述第一导电子层之后和形成所述第二导电子层之前实施形成所述绝缘阻挡层。
24.根据权利要求21至23中任一项所述的方法，还包括在所述衬底基板和所述压电层之间形成第一参考电极层；
其中，所述第一参考电极层形成在所述电极间区域中，并与所述多个第一电极间隔开；并且
所述第一参考电极层在所述衬底基板上的正投影与所述一个或多个第二电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影至少部分地重叠。
25.根据权利要求22所述的方法，还包括形成包括多个第二参考电极的第二参考电极层；
其中，所述多个第二参考电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影与所述多个第一电极中的相应一个在所述衬底基板上的正投影至少部分地重叠；
其中，所述第一导电子层和所述多个第二参考电极在同一层中，并且包括相同的导电材料。
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