CN111106154A - 一种柔性显示面板及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了一种柔性显示面板及其制造方法。制造方法包括：在基底上依次设置有源层和栅极，其中，开关管处于显示区中；在栅极上设置源极和漏极，并且在非显示区中设置与源极和漏极同层的信号连接线；在源极和漏极上依次设置第一绝缘层和金属连接线，其中，第一绝缘层和\或金属连接线进一步延伸到非显示区中，且覆盖在所述信号连接线上。本申请增加了信号连接线上的膜层的厚度，也避免了刻蚀金属连接线时由于过刻蚀而将信号连接线刻蚀掉，从而造成断路的现象。

Description

一种柔性显示面板及其制造方法
技术领域
本申请涉及显示技术领域，尤其是涉及一种柔性显示面板及其制造方法。
背景技术
柔性显示面板由于其具有可弯曲折叠的特性，具有功耗低、体积小的优点，因此受到广泛的推广。目前柔性显示面板包括显示区和非显示区。在显示区设置TFT开关管，包括栅极、源极和漏极，并且在源极和漏极上设置金属连接线，用于连接源极或漏极与像素电极。在制作源极和漏极以及金属连接线时，会将对应的金属层进行图案化处理。其中，在非显示区中，例如面板***IC或者绑定区域等，图案化处理后，与源极和漏极同一金属层的图案化形成电连接源极或者漏极的信号连接线，用于进行测试以及后续实际应用时信号的传输。与金属连接线同一金属层的金属也会图案化，但由于信号连接线上方的膜层太薄，从而在刻蚀其上层的金属连接线金属层，以形成图案化的金属连接线时，容易将信号连接线刻蚀掉，从而导致断路的现象。
发明内容
本申请主要解决的技术问题是提供一种柔性显示面板及其制造方法，能够保证非显示区中的信号连接线的完整性。
为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种柔性显示面板的制造方法，所述柔性显示面板包括显示区和非显示区，所述制造方法包括：
提供一基底；
在所述基底上依次设置柔性显示面板的开关管的有源层和栅极，其中，所述开关管处于所述显示区中；
在所述栅极上设置所述开关管的源极和漏极，并且在所述非显示区中设置与所述源极和漏极同层的信号连接线，所述信号连接线用于连接所述源极或所述漏极与外部的测试电路；
在所述源极和所述漏极上依次设置第一绝缘层和金属连接线，所述金属连接线上设置像素电极层，所述金属连接线与所述源极或所述漏极电连接，以将所述源极或所述漏极的信号传输到所述像素电极层中，其中，所述第一绝缘层和\或所述金属连接线进一步延伸到所述非显示区中，且覆盖在所述信号连接线上。
可选的，所述绝缘层和\或所述金属连接线进一步延伸到所述非显示区中，且覆盖在所述信号连接线上包括：
在所述源极和所述漏极上依次设置第一绝缘层和像素连接层，并且设置所述第一绝缘层和所述像素连接层后通过掩膜刻蚀的方式对所述第一绝缘层以及所述像素连接层进行图案化处理，所述第一绝缘层对应的掩膜图案和\或所述金属连接线的掩膜图案对所述非显示区上的信号连接线进行掩盖，以使得刻蚀后保留位于所述非显示区的信号连接线上所述第一绝缘层和\或所述金属连接线。
可选的，所述在所述栅极上设置所述开关管的源极和漏极之前，包括：
在所述栅极上设置存储电极，所述存储电极与所述栅极形成存储电容。
可选的，所述在所述栅极上设置存储电极之前，包括：
在所述栅极上设置第二绝缘层；
所述在所述栅极上设置存储电极，包括：
在所述第二绝缘层上设置所述存储电极；
所述在所述栅极上设置所述开关管的源极和漏极之前，包括：
在所述存储电容上设置第三绝缘层；
所述制造方法还包括：
在所述有源层上设置第四绝缘层；
所述在所述栅极上设置所述开关管的源极和漏极包括：
在所述第二绝缘层、所述第三绝缘层和所述第四绝缘层上设置两个导通孔，所述导通孔分别将所述有源层的两端外露，在所述第三绝缘层上设置所述源极和所述漏极，并且所述源极和所述漏极分别通过所述导通孔与所述有源层电连接。
可选的，所述制造方法还包括：
在所述有源层上设置第四绝缘层；
在所述基底上设置第一填充孔，在所述第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层上设置第二填充孔，并且所述第一填充孔和所述第二填充孔联通设置；
在所述第一填充孔和所述第二填充孔中设置柔性材料进行填充。
为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种柔性显示面板，所述柔性显示面板包括显示区和非显示区，所述柔性显示面板进一步包括：
基底；
开关管的有源层和栅极，依次设置在所述基底上，其中，所述开关管处于所述显示区中；
所述开关管的源极和漏极，设置在所述栅极上；
信号连接线，设置在所述非显示区中，且与所述源极和漏极同层设置，所述信号连接线用于连接所述源极或所述漏极与外部的测试电路；
第一绝缘层和金属连接线，依次设置在所述源极和所述漏极上，所述金属连接线上设置像素电极层，所述金属连接线与所述源极或所述漏极电连接，以将所述源极或所述漏极的信号传输到所述像素电极层中，其中，所述第一绝缘层和\或所述金属连接线进一步延伸到所述非显示区中，且覆盖在所述信号连接线上。
可选的，所述柔性显示面板还包括：
存储电极，设置在所述栅极上，所述存储电极与所述栅极形成存储电容。
可选的，所述柔性显示面板还包括：
第二绝缘层，设置在所述栅极上，所述存储电极设置在所述第二绝缘层上；
第三绝缘层，设置在所述存储电容上；
第四绝缘层，设置在所述有源层上。
可选的，所述柔性显示面板还包括：
在所述第二绝缘层和所述第三绝缘层上设置两个导通孔，所述导通孔分别将所述有源层的两端外露，在所述第三绝缘层上设置所述源极和所述漏极，并且所述源极和所述漏极分别通过所述导通孔与所述有源层电连接。
可选的，所述柔性显示面板还包括：
在所述基底上设置第一填充孔，在所述第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层上设置第二填充孔，并且所述第一填充孔和所述第二填充孔联通设置，在所述第一填充孔和所述第二填充孔中设置柔性材料进行填充。
本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请提供一种柔性显示面板及其制造方法，制造方法包括：提供一基底；在所述基底上依次设置柔性显示面板的开关管的有源层和栅极，其中，所述开关管处于所述显示区中；在所述栅极上设置所述开关管的源极和漏极，并且在所述非显示区中设置与所述源极和漏极同层的信号连接线，所述信号连接线用于连接所述源极或所述漏极与外部的测试电路；在所述源极和所述漏极上依次设置第一绝缘层和金属连接线，所述金属连接线上设置像素电极层，所述金属连接线与所述源极或所述漏极电连接，以将所述源极或所述漏极的信号传输到所述像素电极层中，其中，所述第一绝缘层和\或所述金属连接线进一步延伸到所述非显示区中，且覆盖在所述信号连接线上。
也就是说，本申请在信号连接线上设置第一绝缘层和\或金属连接线，从而增加了信号连接线上的膜层的厚度，并且也避免了刻蚀金属连接线时由于过刻蚀而将信号连接线刻蚀掉，从而造成断路的现象。
附图说明
图1是本申请实施例提供的一种柔性显示面板的剖面结构示意图；
图2是图1所示的柔性显示面板的平面结构示意图；
图3是本申请实施例提供的另一种柔性显示面板的剖面结构示意图；
图4是图3所示的柔性显示面板的平面结构示意图；
图5是本申请实施例提供的一种柔性显示面板的制造方法的流程示意图。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本申请将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。
此外，附图仅为本申请的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体，不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。
请参阅图1和图2，图1是本申请实施例提供的一种柔性显示面板的剖面结果示意图；如图2是图1所示的柔性显示面板的平面结构示意图。如图1和图2所示，本申请的柔性显示面板100可为柔性AMOLED(Active-matrix organic light-emitting diode，有源矩阵有机发光二极体)显示面板。显示面板100包括显示区101和非显示区102。非显示区102包括芯片区域121和测试绑定区域122。显示区101设置有OLED(图未示)和驱动OLED进行显示的开关管。
柔性显示面板100包括基底103、开关管104以及像素电极层106。
基底103可为多层复合结构，其可包括依次设置的PI(聚酰亚胺)层131、隔离层132、PI(聚酰亚胺)层133、隔离层134以及缓冲层135。基底103可作为开关管104等元件的衬底。
开关管104设置在显示区101中，其可为TFT晶体管，其包括栅极141、有源层142、源极143以及漏极144。
其中，有源层142设置在基底103上，具体可设置在缓冲层135远离隔离层134的一侧。有源层142可采用多晶硅材料形成半导体。栅极141设置在有源层142上。源极143和漏极144同层设置在栅极141上，并与有源层142的两端欧姆连接。
柔性显示面板100还包括金属连接线105，设置在源极143和漏极144上。金属连接线105上设置像素电极层106。金属连接线105与源极143或漏极144电连接，以将源极143或漏极144的信号传输到像素电极106中。本实施例中，如图1所示，金属连接线105与漏极144电连接。应理解，在其他实施例中，金属连接线105还可与源极143电连接。
因此，在栅极141接收到栅极驱动信号时，可控制有源层142导通，从而源极143和漏极144通过导通的有源层142连通，当源极143接收到数据信号时，可通过有源层142传输到对应的漏极144，进一步再通过金属连接线105传输到像素电极层106上，驱动像素电极层106进行像素显示。
在其他实施例中，也可漏极144接收数据信号，通过有源层142传输到对应的源极143。
柔性显示面板100还包括信号连接线107和第一绝缘层108。
信号连接线107设置在非显示区102中，且与源极143和漏极144同层设置，信号连接线107用于连接源极143或漏极144与外部的测试电路。在实际应用中，信号连接线107可采用与源极143和漏极144同种金属，也可同一个工艺流程形成。
第一绝缘层108设置在源极143和漏极144上，金属连接线105设置在第一绝缘层108上，也就是，第一绝缘层108将源极143和漏极144与金属连接线105隔开，其中，金属连接线通过导通孔与源极142电连接。其中，第一绝缘层108和\或金属连接线105进一步延伸到非显示区102中，且覆盖在信号连接线107上。
具体的，在一实施例中，如图1和图2所示，金属连接线105延伸到非显示区102的IC区域121中，且覆盖在信号连接线107上。第一绝缘层108在IC区域121中对应信号连接线107的位置被图案化刻蚀掉。信号连接线107和金属连接线105在测试绑定区域122中电性连接。
在另一实施例中，如图3和图4所示，第一绝缘层108延伸到非显示区102的IC区域121中，且覆盖在信号连接线107上。金属连接线105在IC区域121中对应信号连接线107的位置被图案化刻蚀掉。信号连接线107和金属连接线105在测试绑定区域122中电性连接。
在另一实施例中，第一绝缘层108和金属连接线105延伸到非显示区102的IC区域121中，且覆盖在信号连接线107上。信号连接线107和金属连接线105在测试绑定区域122中电性连接。
柔性显示面板100还包括存储电极109，存储电极109设置在栅极141上，存储电极109与栅极141形成存储电容。
柔性显示面板100还包括第二绝缘层110、第三绝缘层111、第四绝缘层114。
其中，第二绝缘层110设置栅极141上，存储电极109设置在第二绝缘层110上。第三绝缘层111设置在存储电极109上，其可包括复合的双层绝缘层112和113结构。第四绝缘层114设置在有源层142上，即位于有源层142和栅极141之间。
进一步的，在第二绝缘层110、第三绝缘层111和第四绝缘层114上设置两个导通孔M1和M2。导通孔M1和M2分别将有源层142两端外露，源极143和漏极144设置在第三绝缘层111上。并且源极143和漏极144分别通过导通孔M1和M2与有源层142电连接。
在基底103上设置第一填充孔M3，在第二绝缘层110、第三绝缘层111、第四绝缘层114上设置第二填充孔M4。并且第一填充孔M3和第二填充孔M4，在第一填充孔M3和第二填充孔M4中设置柔韧性较好的PI材料。
柔性显示面板100还包括PV(聚氯乙烯)层116，设置在源极142和漏极143上，用于保护源极142和漏极143的金属，避免水汽沿着源极142和漏极143金属进入显示区造成AMOLDE器件失效。
基于前文所述的柔性显示面板，还提供了一种柔性显示面板的制造方法。该制造方法包括以下步骤：
步骤S1:提供一基底。
基底可为多层复合结构，其可包括依次设置的PI(聚酰亚胺)层、隔离层、PI(聚酰亚胺)层、隔离层以及缓冲层。基底可作为开关管等元件的衬底。
步骤S2:在所述基底上依次设置柔性显示面板的开关管的有源层和栅极，其中，所述开关管处于所述显示区中。
步骤S3:在所述栅极上设置所述开关管的源极和漏极，并且在所述非显示区中设置与所述源极和漏极同层的信号连接线，所述信号连接线用于连接所述源极或所述漏极与外部的测试电路。
步骤S4:在所述源极和所述漏极上依次设置第一绝缘层和金属连接线，所述金属连接线上设置像素电极层，所述金属连接线与所述源极或所述漏极电连接，以将所述源极或所述漏极的信号传输到所述像素电极层中，其中，所述第一绝缘层和\或所述金属连接线进一步延伸到所述非显示区中，且覆盖在所述信号连接线上。
其中，在步骤S3之前，在所述栅极上设置存储电极，所述存储电极与所述栅极形成存储电容。具体的，可在所述栅极上设置第二绝缘层，在第二绝缘层上设置所述存储电极。
进一步的，在所述存储电容上设置第三绝缘层，在所述有源层上设置第四绝缘层。在所述第二绝缘层、所述第三绝缘层和第四绝缘层上设置两个导通孔，所述导通孔分别将所述有源层的两端外露，在所述第三绝缘层上设置所述源极和所述漏极，并且所述源极和所述漏极分别通过所述导通孔与所述有源层电连接。
步骤S4进一步包括：在所述源极和所述漏极上依次设置第一绝缘层和像素连接层，并且设置所述第一绝缘层和所述像素连接层后通过掩膜刻蚀的方式对所述第一绝缘层以及所述像素连接层进行图案化处理，所述第一绝缘层对应的掩膜图案和\或所述金属连接线的掩膜图案对所述非显示区上的信号连接线进行掩盖，以使得刻蚀后保留位于所述非显示区的信号连接线上所述第一绝缘层和\或所述金属连接线。
具体的，在一实施例中，如图1所示，金属连接线105延伸到非显示区102的IC区域121中，且覆盖在信号连接线107上。第一绝缘层108在IC区域121中对应信号连接线107的位置被图案化刻蚀掉。信号连接线107和金属连接线105在绑定区域122中电性连接。
在另一实施例中，如图3所示，第一绝缘层108延伸到非显示区102的IC区域121中，且覆盖在信号连接线107上。金属连接线105在IC区域121中对应信号连接线107的位置被图案化刻蚀掉。信号连接线107和金属连接线105在绑定区域122中电性连接。
在另一实施例中，第一绝缘层108和金属连接线105延伸到非显示区102的IC区域121中，且覆盖在信号连接线107上。信号连接线107和金属连接线105在绑定区域122中电性连接。
本实施例的方法进一步包括：在所述基底上设置第一填充孔，在所述第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层上设置第二填充孔，并且所述第一填充孔和所述第二填充孔联通设置，并且在所述第一填充孔和所述第二填充孔中设置柔性材料进行填充。
综上所述，本申请在信号连接线上设置第一绝缘层和\或金属连接线，从而增加了信号连接线上的膜层的厚度，并且也避免了刻蚀金属连接线时由于过刻蚀而将信号连接线刻蚀掉，从而造成断路的现象。
此外，上述附图仅是根据本申请示例性实施例的方法所包括的处理的示意性说明，而不是限制目的。易于理解，上述附图所示的处理并不表明或限制这些处理的时间顺序。另外，也易于理解，这些处理可以是例如在多个模块中同步或异步执行的。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本申请的其他实施例。本申请旨在涵盖本申请的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本申请的一般性原理并包括本申请未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本申请的真正范围和精神由权利要求指出。
应当理解的是，本申请并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本申请的范围仅由所附的权利要求来限。

Claims (10)

1.一种柔性显示面板的制造方法，其特征在于，所述柔性显示面板包括显示区和非显示区，所述制造方法包括：
提供一基底；
在所述基底上依次设置柔性显示面板的开关管的有源层和栅极，其中，所述开关管处于所述显示区中；
在所述栅极上设置所述开关管的源极和漏极，并且在所述非显示区中设置与所述源极和漏极同层的信号连接线，所述信号连接线用于连接所述源极或所述漏极与外部的测试电路；
在所述源极和所述漏极上依次设置第一绝缘层和金属连接线，所述金属连接线上设置像素电极层，所述金属连接线与所述源极或所述漏极电连接，以将所述源极或所述漏极的信号传输到所述像素电极层中，其中，所述第一绝缘层和\或所述金属连接线进一步延伸到所述非显示区中，且覆盖在所述信号连接线上。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述第一绝缘层和\或所述金属连接线进一步延伸到所述非显示区中，且覆盖在所述信号连接线上包括：
在所述源极和所述漏极上依次设置第一绝缘层和像素连接层，并且设置所述第一绝缘层和所述像素连接层后通过掩膜刻蚀的方式对所述第一绝缘层以及所述像素连接层进行图案化处理，所述第一绝缘层对应的掩膜图案和\或所述金属连接线的掩膜图案对所述非显示区上的信号连接线进行掩盖，以使得刻蚀后保留位于所述非显示区的信号连接线上所述第一绝缘层和\或所述金属连接线。
3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述在所述栅极上设置所述开关管的源极和漏极之前，包括：
在所述栅极上设置存储电极，所述存储电极与所述栅极形成存储电容。
4.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述在所述栅极上设置存储电极之前，包括：
在所述栅极上设置第二绝缘层；
所述在所述栅极上设置存储电极，包括：
在所述第二绝缘层上设置所述存储电极；
所述在所述栅极上设置所述开关管的源极和漏极之前，包括：
在所述存储电极上设置第三绝缘层；
所述制造方法还包括：
在所述有源层上设置第四绝缘层；
所述在所述栅极上设置所述开关管的源极和漏极包：
在所述第二绝缘层、所述第三绝缘层和所述第四绝缘层上设置两个导通孔，所述导通孔分别将所述有源层的两端外露，在所述第三绝缘层上设置所述源极和所述漏极，并且所述源极和所述漏极分别通过所述导通孔与所述有源层电连接。
5.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述制造方法还包括：
在所述基底上设置第一填充孔，在所述第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层上设置第二填充孔，并且所述第一填充孔和所述第二填充孔联通设置；
在所述第一填充孔和所述第二填充孔中设置柔性材料进行填充。
6.一种柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板包括显示区和非显示区，所述柔性显示面板进一步包括：
基底；
开关管的有源层和栅极，依次设置在所述基底上，其中，所述开关管处于所述显示区中；
所述开关管的源极和漏极，设置在所述栅极上；
信号连接线，设置在所述非显示区中，且与所述源极和漏极同层设置，所述信号连接线用于连接所述源极或所述漏极与外部的测试电路；
第一绝缘层和金属连接线，依次设置在所述源极和所述漏极上，所述金属连接线上设置像素电极层，所述金属连接线与所述源极或所述漏极电连接，以将所述源极或所述漏极的信号传输到所述像素电极层中，其中，所述第一绝缘层和\或所述金属连接线进一步延伸到所述非显示区中，且覆盖在所述信号连接线上。
7.根据权利要求6所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：
存储电极，设置在所述栅极上，所述存储电极与所述栅极形成存储电容。
8.根据权利要求7所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：
第二绝缘层，设置在所述栅极上，所述存储电极设置在所述第二绝缘层上；
第三绝缘层，设置在所述存储电容上；
第四绝缘层，设置在所述有源层上。
9.根据权利要求8所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：
在所述第二绝缘层、所述第三绝缘层和所述第四绝缘层上设置两个导通孔，所述导通孔分别将所述有源层的两端外露，在所述第三绝缘层上设置所述源极和所述漏极，并且所述源极和所述漏极分别通过所述导通孔与所述有源层电连接。
10.根据权利要求9所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：
在所述基底上设置第一填充孔，在所述第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层上设置第二填充孔，并且所述第一填充孔和所述第二填充孔联通设置，在所述第一填充孔和所述第二填充孔中设置柔性材料进行填充。
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