CN111063642B - 具有限位功能的活动式多轴向连杆装置 - Google Patents

具有限位功能的活动式多轴向连杆装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111063642B
CN111063642B CN201911142917.4A CN201911142917A CN111063642B CN 111063642 B CN111063642 B CN 111063642B CN 201911142917 A CN201911142917 A CN 201911142917A CN 111063642 B CN111063642 B CN 111063642B
Authority
CN
China
Prior art keywords
crank
connecting rod
plate
clamping
vertical plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201911142917.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111063642A (zh
Inventor
李志峰
王雪松
陈佳炜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhiwei Semiconductor Shanghai Co Ltd
Original Assignee
Zhiwei Semiconductor Shanghai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhiwei Semiconductor Shanghai Co Ltd filed Critical Zhiwei Semiconductor Shanghai Co Ltd
Priority to CN201911142917.4A priority Critical patent/CN111063642B/zh
Publication of CN111063642A publication Critical patent/CN111063642A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111063642B publication Critical patent/CN111063642B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明提供具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，包括连杆驱动夹持模组以及用于固定连杆驱动夹持模组的固定框架，连杆驱动夹持模组包括连杆驱动组件以及与连杆驱动组件相连的夹持组件，固定框架包括主立板、对称固定在主立板竖直两边的两个侧连接板以及与两个侧连接板另一端固定连接的对向立板，主立板与对向立板相对设置，主立板背向对向立板的一面的上下两侧分别固定有顶部盖板以及底部盖板。本发明能够将晶圆进行稳定的夹持托举，方便进行托篮交换，同时托举夹持的方式能够降低对晶圆的损坏，以解决现有的晶圆在交换托篮时容易损坏，同时交换效率较低的问题。

Description

具有限位功能的活动式多轴向连杆装置
技术领域
本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及具有限位功能的活动式多轴向连杆装置。
背景技术
在半导体工艺设备中，以湿法设备为例。在晶圆装载区(Loading)与晶圆卸载区(Unloading)之间有进行晶圆托篮交换的需求，需将晶圆托篮内的晶圆片取出置入工艺用的托篮。现有的技术中，在对晶圆进行托篮交换时缺少一种稳定的运动机构来完成这一交换操作，在进行晶圆交换托篮之时会对晶圆产生撞击、磨耗、挤压等情形而产生破片的问题，故建立一个具高稳定性、高安全性、高应用性的交换装置在晶圆装载区与晶圆卸载区之间是极其重要的。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，能够将晶圆进行稳定的夹持托举，方便进行托篮交换，同时托举夹持的方式能够降低晶圆破裂磨耗的风险，以解决现有的晶圆在交换托篮时容易产生破片，同时交换效率较低的问题。
为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，包括连杆驱动夹持模组以及用于固定连杆驱动夹持模组的固定框架，所述连杆驱动夹持模组包括连杆驱动组件以及与连杆驱动组件相连的夹持组件；
所述固定框架包括主立板、对称固定在主立板竖直两边的两个侧连接板以及与两个侧连接板另一端固定连接的对向立板，所述主立板与对向立板相对设置，所述主立板背向对向立板的一面的上下两侧分别固定有顶部盖板以及底部盖板；
所述连杆驱动组件包括气缸，所述气缸底部通过凸型座固定在底部盖板的上方中间位置，所述气缸顶部固定连接有L型调整板，所述气缸通过L型调整板连接有水平设置的联动安装杆，所述联动安装杆的两端分别转动连接有一个向上方延伸的转动曲柄；
所述夹持组件设置有两组，两组夹持组件分别与两个转动曲柄转动连接，所述夹持组件包括与转动曲柄的另一端转动连接的活动杆，所述活动杆穿过主立板固定连接有连接板，所述连接板内部固定连接有转轴，所述转轴两端通过转轴安装座分别与主立板和对向立板转动连接，所述连接板位于转轴上方的位置固定有夹持座。
进一步地，所述转动曲柄包括上部曲柄以及与上部曲柄滑动相连的下部曲柄，所述上部曲柄中间开设有滑动槽，所述下部曲柄对应滑动槽的位置开设有两个止动栓安装孔。
进一步地，所述下部曲柄内部安装有用于连接联动安装杆的安装杆连接轴承，所述上部曲柄内部安装有用于连接活动杆的活动杆连接轴承。
进一步地，所述安装杆连接轴承两侧设置有与上部曲柄相连接的C型扣，所述活动杆连接轴承两侧设置有与下部曲柄相连接的C型扣。
进一步地，所述滑动槽的长度大于两个止动栓安装孔之间的距离。
进一步地，所述L型调整板开设有多组用于与联动安装杆相连接的调整孔。
进一步地，所述L型调整板上侧开设有两列对称排列的十个调整孔。
进一步地，所述夹持座的宽度沿转轴至活动杆的方向逐渐增大。
进一步地，所述夹持座远离连接板的一侧等距开设有多组弧形槽。
进一步地，所述夹持座设置有四组，四组夹持座对称固定在两个连接板上方。
本发明的有益效果：本发明中的气缸的伸缩运动能够带动转动曲柄进行运动，转动曲柄带动活动杆沿转轴进行转动，活动杆带动连接板沿转轴中心进行转动，从而带动夹持座进行夹持角度的变化，夹持座的弧形槽由于夹持角度的变化能够改变夹持的距离，从而实现对晶圆的夹持和分离两种状态的变换，通过两个夹持座之间形成一定的角度达到托举式的夹持方式，能够降低晶圆更换托篮时破损的风险。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本发明夹持晶圆的结构示意图；
图2为连杆驱动夹持模组夹持晶圆的结构示意图；
图3为本发明夹持晶圆的左视图；
图4为本发明夹持晶圆的右视图；
图5为本发明夹持晶圆的俯视图；
图6为本发明夹持晶圆的正视图；
图7为转动曲柄的***示意图；
图8为转动曲柄伸长时的结构示意图；
图9为L型调整板的结构示意图；
图10为夹持座的结构意图；
图11为本发明与升降输送装置连接的结构示意图。
图中：1-固定框架、11-底部盖板、12-主立板、13-顶部盖板、14-侧连接板、15-对向立板、2-连杆驱动夹持模组、21-连杆驱动组件、211-凸型座、212-气缸、213-L型调整板、214-转动曲柄、215-联动安装杆、2131-调整孔、2141-C型扣、2142-安装杆连接轴承、2143-下部曲柄、2144-滑动槽、2145-活动杆连接轴承、2146-上部曲柄、2147-止动栓安装孔、22-夹持组件、221-转轴安装座、222-转轴、223-连接板、224-活动杆、225-夹持座、2251-弧形槽、3-晶圆片、4-升降输送装置。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
请参阅图1，图1为本发明夹持晶圆的结构示意图。
具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，包括连杆驱动夹持模组2以及用于固定连杆驱动夹持模组2的固定框架1，连杆驱动夹持模组2包括连杆驱动组件21以及与连杆驱动组件21相连的夹持组件22。固定框架1用于支撑固定连杆驱动夹持模组2，连杆驱动夹持模组2中的连杆驱动组件21用于驱动夹持组件22进行转动夹持调节。
固定框架1包括主立板12、对称固定在主立板12竖直两边的两个侧连接板14以及与两个侧连接板14另一端固定连接的对向立板15，主立板12与对向立板15相对设置，主立板12背向对向立板15的一面的上下两侧分别固定有顶部盖板13以及底部盖板11。固定框架1中主立板12、两个侧连接板14以及对向立板15围成一个口字型的框架结构，在主立板12的上下两侧设置顶部盖板13和底部盖板11，其中底部盖板11用于支撑固定连杆驱动组件21，顶部盖板13起到防护的作用。
请参阅图3和图6，图3为本发明夹持晶圆的左视图；图6为本发明夹持晶圆的正视图。
连杆驱动组件21包括气缸212，气缸212底部通过凸型座211固定在底部盖板11的上方中间位置，气缸212顶部固定连接有L型调整板213，气缸212通过L型调整板213连接有水平设置的联动安装杆215，联动安装杆215的两端分别转动连接有一个向上方延伸的转动曲柄214。
凸型座211优选为40mm，在顶端配置四个通孔用以通过螺栓连接气缸212，凸型座211通过螺栓与底部盖板11连接，在材料的选择上优选不锈钢或是阳极氧化铝合金。气缸212在伸缩行程的选择优选不小于55mm的范围。气缸212顶部的活塞杆通过连接件与L型调整板213相连接。L型调整板213在材料的选择上优选不锈钢或是阳极氧化铝合金。
联动安装杆215通过螺栓安装于L型调整板213背侧，左右两端各配置一个对称的连接轴用于连接转动曲柄214。联动安装杆215的长度优选为135mm，宽度优选为30mm，厚度优选为10mm，在材料的选择上优选不锈钢或是阳极氧化铝合金。
请参阅图2、图4和图5，图2为连杆驱动夹持模组夹持晶圆的结构示意图；图4为本发明夹持晶圆的右视图；图5为本发明夹持晶圆的俯视图。
夹持组件22设置有两组，两组夹持组件22分别与两个转动曲柄214转动连接，夹持组件22包括与转动曲柄214的另一端转动连接的活动杆224，活动杆224穿过主立板12固定连接有连接板223，连接板223内部固定连接有转轴222，转轴222两端通过转轴安装座221分别与主立板12和对向立板15转动连接，连接板223位于转轴222上方的位置固定有夹持座225。活动杆224与转动曲柄214转动连接，活动杆224通过连接板223与转轴222连接，转动曲柄214带动活动杆224活动时，连接板223沿转轴222进行转动，能够调整连接板223上的夹持座225的夹持角度，从而调整两个夹持座225之间的距离，满足一定规格范围内的晶圆3的夹持。
请参阅图7和图8，图7为转动曲柄的***示意图；图8为转动曲柄伸长时的结构示意图。
转动曲柄214包括上部曲柄2143以及与上部曲柄2143滑动相连的下部曲柄2146，上部曲柄2143中间开设有滑动槽2144，下部曲柄2146对应滑动槽2144的位置开设有两个止动栓安装孔2147。滑动槽2144的长度大于两个止动栓安装孔2147之间的距离。上部曲柄2143内开设有与下部曲柄2146相匹配的凹槽，凹槽用于下部曲柄2146与上部曲柄2143进行滑动连接。下部曲柄2146中的止动栓安装孔2147内安装上止动栓，可以保证下部曲柄2146通过止动栓沿滑动槽2144进行活动，使下部曲柄2146能够在一定的范围内进行伸长，可活动式的下部曲柄2146能够保证连杆驱动组件21的正常运作。
下部曲柄2146内部安装有用于连接联动安装杆215的安装杆连接轴承2142，上部曲柄2143内部安装有用于连接活动杆224的活动杆连接轴承2145。上部曲柄2143在上端建立一圆形槽孔以嵌入活动杆连接轴承2145，下部曲柄2146在下端建立一圆形槽孔以嵌入活动杆连接轴承2145，并在圆形槽内两侧设有两道扣槽以置入C型扣2141。两道扣槽间距优选为8.4mm以完整贴合薄型转动轴承。
安装杆连接轴承2142两侧设置有与上部曲柄2143相连接的C型扣2141，活动杆连接轴承2145两侧设置有与下部曲柄2146相连接的C型扣2141。可嵌入于上部曲柄2143和下部转动曲柄214内，以限制轴承因转动时造成前后微幅移动的问题。
请参阅图9，图9为L型调整板的结构示意图。
L型调整板213开设有多组用于与联动安装杆215相连接的调整孔2131。L型调整板213上侧开设有两列对称排列的十个调整孔2131，用以安装联动安装杆215时调整安装位置，以调整伸缩行程满足不同规格晶圆3夹持角度的调节需求。
请参阅图10，图10为夹持座的结构意图。
夹持座225的宽度沿转轴222至活动杆224的方向逐渐增大，夹持座225远离连接板222的一侧等距开设有多组弧形槽2251，夹持座225设置有四组，四组夹持座225对称固定在两个连接板222上方。四组夹持座225两两对称设置，多组弧形槽2251能够同时夹持多组晶圆3，提高晶圆交换的效率，弧形的设计能够更加贴合晶圆3的圆周面，夹持座225的宽度沿转轴222至活动杆224的方向逐渐增大，在两个夹持座225做张开运动时与晶圆3分离，做闭合运作时对晶圆3进行夹持。
请参阅图11，图11为本发明与升降输送装置连接的结构示意图。
升降输送装置4用于托篮以及晶圆3整体的升降输送，连杆驱动夹持模组2通过固定框架1固定在升降输送装置4顶部，升降输送装置4将托篮和晶圆3输送至夹持组件22处，连杆驱动组件21驱动夹持组件22将晶圆3夹持，升降输送装置4将空的托篮下移更换，再将替换的托篮移动至夹持组件22的晶圆3下方，连杆驱动组件21驱动夹持组件22开合，使晶圆3与夹持组件22分离，实现更换操作。
工作原理：在对晶圆3进行夹持时，先将两个夹持座225调整至最大开合状态以便将晶圆3送入两个夹持座225上侧，使两个夹持座225开合时，气缸212的活塞杆向上伸长带动L型调整板213向上移动，L型调整板213带动联动安装杆215向上移动，联动安装杆215带动转动曲柄214向上活动，转动曲柄214带动活动杆224沿转轴222中心转动，活动杆224沿转轴222中心转动时带动连接板223和夹持座225转动，两个连接板223延长线形成的夹角变大，使夹持座225做开合运作，将晶圆3送入两个夹持座225上侧，此时控制气缸212的活塞杆做缩回运作，最终能够使两个连接板223延长线形成的夹角变小，使夹持座225向内侧夹合，夹持座225内的弧形槽2251能够保证夹持晶圆3的稳定性。
最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，其特征在于：包括连杆驱动夹持模组(2)以及用于固定连杆驱动夹持模组(2)的固定框架(1)，所述连杆驱动夹持模组(2)包括连杆驱动组件(21)以及与连杆驱动组件(21)相连的夹持组件(22)；
所述固定框架(1)包括主立板(12)、对称固定在主立板(12)竖直两边的两个侧连接板(14)以及与两个侧连接板(14)另一端固定连接的对向立板(15)，所述主立板(12)背向对向立板(15)的一面的上下两侧分别固定有顶部盖板(13)以及底部盖板(11)；
所述连杆驱动组件(21)包括气缸(212)，所述气缸(212)底部通过凸型座(211)固定在底部盖板(11)的上方中间位置，所述气缸(212)顶部固定连接有L型调整板(213)，所述气缸(212)通过L型调整板(213)连接有水平设置的联动安装杆(215)，所述联动安装杆(215)的两端分别转动连接有一个向上方延伸的转动曲柄(214)；
所述转动曲柄(214)包括上部曲柄(2143)以及与上部曲柄(2143)滑动相连的下部曲柄(2146)，所述上部曲柄(2143)中间开设有滑动槽(2144)，所述下部曲柄(2146)对应滑动槽(2144)的位置开设有两个止动栓安装孔(2147)，所述下部曲柄(2146)内部安装有用于连接联动安装杆(215)的安装杆连接轴承(2142)，所述上部曲柄(2143)内部安装有用于连接活动杆(224)的活动杆连接轴承(2145)；
所述夹持组件(22)设置有两组，两组夹持组件(22)分别与两个转动曲柄(214)转动连接，所述夹持组件(22)包括与转动曲柄(214)的另一端转动连接的活动杆(224)，所述活动杆(224)穿过主立板(12)固定连接有连接板(223)，所述连接板(223)内部固定连接有转轴(222)，所述转轴(222)两端通过转轴安装座(221)分别与主立板(12)和对向立板(15)转动连接，所述连接板(223)位于转轴(222)上方的位置固定有夹持座(225)。
2.根据权利要求1所述的具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，其特征在于：所述安装杆连接轴承(2142)两侧设置有与上部曲柄(2143)相连接的C型扣(2141)，所述活动杆连接轴承(2145)两侧设置有与下部曲柄(2146)相连接的C型扣(2141)。
3.根据权利要求1所述的具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，其特征在于：所述滑动槽(2144)的长度大于两个止动栓安装孔(2147)之间的距离。
4.根据权利要求1所述的具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，其特征在于：所述L型调整板(213)开设有多组用于与联动安装杆(215)相连接的调整孔(2131)。
5.根据权利要求4所述的具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，其特征在于：所述L型调整板(213)上侧开设有两列对称排列的十个调整孔(2131)。
6.根据权利要求1所述的具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，其特征在于：所述夹持座(225)的宽度沿转轴(222)至活动杆(224)的方向逐渐增大。
7.根据权利要求6所述的具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，其特征在于：所述夹持座(225)远离连接板(222)的一侧等距开设有多组弧形槽(2251)。
8.根据权利要求7所述的具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，其特征在于：所述夹持座(225)设置有四组，四组夹持座(225)对称固定在两个连接板(222)上方。
CN201911142917.4A 2019-11-20 2019-11-20 具有限位功能的活动式多轴向连杆装置 Active CN111063642B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911142917.4A CN111063642B (zh) 2019-11-20 2019-11-20 具有限位功能的活动式多轴向连杆装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911142917.4A CN111063642B (zh) 2019-11-20 2019-11-20 具有限位功能的活动式多轴向连杆装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111063642A CN111063642A (zh) 2020-04-24
CN111063642B true CN111063642B (zh) 2023-04-14

Family

ID=70298739

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911142917.4A Active CN111063642B (zh) 2019-11-20 2019-11-20 具有限位功能的活动式多轴向连杆装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111063642B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1192579A (zh) * 1997-02-04 1998-09-09 佳能株式会社 晶片处理装置、晶片处理方法和绝缘体上硅晶片制造方法
CN101459100A (zh) * 2009-01-09 2009-06-17 富创得科技（沈阳）有限公司 紧凑式晶圆自动传输装置
CN101580286A (zh) * 2008-05-18 2009-11-18 陈绍勇 一种用可再生能源用海水制取淡水和盐的设施
CN103637747A (zh) * 2008-03-17 2014-03-19 伊莱克斯家用产品有限公司 具有清洁部件的搅拌器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1192579A (zh) * 1997-02-04 1998-09-09 佳能株式会社 晶片处理装置、晶片处理方法和绝缘体上硅晶片制造方法
CN103637747A (zh) * 2008-03-17 2014-03-19 伊莱克斯家用产品有限公司 具有清洁部件的搅拌器
CN101580286A (zh) * 2008-05-18 2009-11-18 陈绍勇 一种用可再生能源用海水制取淡水和盐的设施
CN101459100A (zh) * 2009-01-09 2009-06-17 富创得科技（沈阳）有限公司 紧凑式晶圆自动传输装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN111063642A (zh) 2020-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107235336B (zh) 翻钵倒料机
CN111063642B (zh) 具有限位功能的活动式多轴向连杆装置
KR20120061154A (ko) 알루미늄 합금판 반전 장치
CN105318724B (zh) 一种大型熔炼炉用均匀自动加料装置
CN110281131A (zh) 一种抛光打磨生产线
CN208631418U (zh) 一种多点卸料链斗式输送机
CN208234387U (zh) 一种新型物流作业用搬运吊具
CN218112679U (zh) 一种铝合金门窗无伤搬运机
CN101087674A (zh) 轮胎表面研磨装置
CN213737467U (zh) 一种带送料机构的瓜子生产设备
CN209189275U (zh) 一种枣子送料机构
CN112461658A (zh) 一种汽车座椅皮质检测装置
CN220505637U (zh) 一种具有缓冲功能的逆止器
CN221248179U (zh) 一种铝型材加工用打磨装置
CN214398755U (zh) 一种新型的高速摆轮分拣机
CN214869656U (zh) 手机摄像头金属环的拋光装置
CN211490938U (zh) 一种双头打磨机
CN220481241U (zh) 模具打磨装置
CN210232487U (zh) 一种轴承端面打磨装置
CN221140135U (zh) 一种定子生产用双爪独立搬运机构
CN216071731U (zh) 一种机械加工自动上料履带
CN216179402U (zh) 一种用于铝材表面处理上排的导电杆打磨设备
CN219546053U (zh) 凸轮轴移运装置
CN220481225U (zh) 全自动曲线抛光打磨设备
CN211540796U (zh) 一种健身器械用管材抛光机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant