CN111001928A - 激光微孔加工的光束扫描装置 - Google Patents

Abstract

一种激光微孔加工的光束扫描装置，包括反射模块、偏转模块、平移模块和聚焦模块；所述反射模块包括第一反射子模块及第二反射子模块；所述偏转模块及平移模块的数量均为两个；两个偏转模块的轴系相对转动且均设置于所述第一反射子模块与所述第二反射子模块之间，每个偏转模块包括光楔组件及用于带动光楔组件绕第一轴向转动的第一直驱式电机；两个平移模块的轴系相对转动且均设置于所述第二反射镜组件与所述聚焦模块之间，每个平移模块包括平板组件及用于带动平板组件绕第二轴向转动的第二直驱式电机。本发明能实现大深径比及不同锥度孔加工。

Description

激光微孔加工的光束扫描装置

技术领域

本发明属于激光精细微孔加工技术领域，特别是涉及一种激光微孔加工的光束扫描装置。

背景技术

激光加工与传统机械加工相比，主要有以下几个方面的优点：1、无接触加工，无机械变形；2、激光束能量密度高，加工速度快，工件热变形小；3、可加工高硬度、高脆性、高熔点材料；4、生产效率高，加工质量稳定可靠，经济效益好。激光加工为加工行业提供了全新的加工途径，有着传统加工无法比拟的优势。随着加工要求的不断提升，激光加工的扫描结构及方式也在不断改进升级。

目前激光微孔加工的扫描方式有很多种类，按照原理可以分为：透射式和反射式；按照组成结构可以分为：振镜扫描、双光楔扫描、双光楔+平行平板扫描、PZT扫描、PZT+平行平板扫描等。其中，PZT扫描是通过控制PZT端面上的反射镜绕x(或y)轴和与y(或x)轴成45°的轴旋转来实现微孔加工；光楔扫描是通过控制两个光楔之间的相互转角配合来实现微孔的加工。现有的方法主要缺陷如下：1、微孔加工时，不能实现任意倒锥孔的加工，如汽车喷油嘴上微孔加工；2、微孔加工时，由于受光束偏移量不能时时变化，不能满足大深径比微孔的加工。

发明内容

针对上述技术问题，本发明给出了一种能够实现大深径比及不同锥度孔加工的激光微孔加工的光束扫描装置。

本发明提供一种激光微孔加工的光束扫描装置，包括安装板及设置于安装板上的反射模块、偏转模块、平移模块和聚焦模块；所述反射模块包括第一反射子模块及第二反射子模块；所述偏转模块及平移模块的数量均为两个；两个偏转模块轴系相对转动且均设置于所述第一反射子模块与所述第二反射子模块之间，每个偏转模块包括第一直驱式电机及安装于所述第一直驱式电机上的对应的光楔组件，每个第一直驱式电机用于带动对应的光楔组件绕第一轴向转动；两个平移模块轴系相对转动且均设置于所述第二反射镜组件与所述聚集模块之间，每个平移模块包括第二直驱式电机及安装于所述第二直驱式电机上的对应的平板组件，每个第二直驱式电机用于带动对应的平板组件绕第二轴向转动。本发明能实现大深径比及不同锥度孔加工。

本发明的有益效果在于，使用时，光能量经第一反射子模块后，主要的光能量反射进入所述偏转模块，两个偏转模块能够分别绕第一轴向转动，以此来改变光束的合成位置，进而控制加工孔的大小；经过偏转模块的光束进入第二反射子模块中，主要的光能量反射进入所述平移模块中，两个平移模块能够分别绕第二轴向转动，以此来改变光束的横向偏移量，进而控制加工孔的锥度；最终实现大深径比及不同锥度孔加工。

附图说明

图1为本发明提供的激光微孔加工的光束扫描装置的结构示意图。

图2为图1所示的激光微孔加工的光束扫描装置横截面的剖视示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人士在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

如图1和图2所示的一种激光微孔加工的光束扫描装置100，包括安装板001、反射模块、偏转模块3、平移模块4及聚焦模块5；反射模块、偏转模块3、平移模块4及聚焦模块5均设置于安装板001上，所述反射模块包括第一反射子模块1及第二反射子模块1A；所述偏转模块3及平移模块4的数量均为两个；两个偏转模块3轴系相对转动并设置于所述第一反射子模块1与所述第二反射子模块1A之间，每个偏转模块3包括第一直驱式电机及安装于所述第一直驱式电机上的对应的光楔组件308，每个第一直驱式电机用于带动对应的光楔组件308绕第一轴向转动；两个平移模块4的轴系相对转动并设置于所述第二反射子模块1A与所述聚焦模块5之间，每个平移模块4包括第二直驱式电机及安装于所述第二直驱式电机上的对应的平板组件408(418)，每个第二直驱式电机用于带动对应的平板组件408(418)绕第二轴向转动；优选地，平板组件408(418)为玻璃材质。

使用时，光能量经第一反射子模块1后，主要的光能量反射进入所述偏转模块3，两个偏转模块3能够分别绕第一轴向转动，以此来改变光束的合成位置，进而控制加工孔的大小；经过偏转模块3的光束进入第二反射子模块1A中，主要的光能量反射进入所述平移模块4中，两个平移模块4能够分别绕第二轴向转动，以此来改变光束的横向偏移量，进而控制加工孔的锥度；最终实现大深径比及不同锥度孔加工。

在本实施方式中，每个第一直驱式电机包括第一主轴303、一对第一轴承304、第一电机转子306、第一轴承座310、第一电机定子312、第一电机座313及第一基座314。所述第一基座314为两端开口的中空结构并且包括第一端3141及第二端3142。所述第一电机座313自所述第一基座314的第一端3141装入于所述第一基座314内并固定安装至第一基座314的第二端3142。所述第一电机定子312自所述第一基座314的第一端3141装入于所述第一电机座313内。所述一对第一轴承304及所述第一电机转子306套设于中空的第一主轴303外且一对第一轴承304位于所述第一电机转子306的两侧。所述第一主轴303穿设于所述第一电机定子312内，所述第一轴承座310套于第一主轴303外并抵压于第一电机座313靠近第一基座314的第一端3141处；其中一个第一轴承304位于所述第一主轴303与所述第一轴承座310之间，另一个第一轴承304位于所述第一主轴303与所述第一电机座313之间，所述光楔组件308安装于第一主轴303靠近第二端3142的端部；第一通光元件002和一偏转模块3的第一端盖315固连在一起，并与另一偏转模块3的第一端盖315间隙配合。两个偏转模块3的第一主轴303可以分别绕所述第一轴向转动，以分别带动对应的光楔组件308转动。每个光楔组件308包括一个光楔，且光楔的截面形状可以为三角形或梯形等。

在本实施方式中，所述第一反射子模块1包括第一窗口玻璃座组件101、过光管102、第一反射支架103及透反射镜组件104。所述第一窗口玻璃座组件101安装于所述过光管102的一端，所述透反射镜组件104安装于所述第一反射支架103上并位于所述过光管102与第一窗口玻璃座组件101相背的一端。所述第二反射子模块1A包括第二反射支架106、透反射镜组件104；其中一个偏转模块3的第一主轴303靠近第一基座314的第一端3141的端部与一个锁紧螺母301螺纹配合；另一个偏转模块3的第一主轴303靠近第一基座314的第一端3141的端部与另一个锁紧螺母301螺纹配合。每个偏转模块3的第一主轴303可以相对于第一反射支架103及第二反射支架106转动。所述透反射镜组件104用于反射及透射光线，且反射的光线比例大于透射的光线比例。

在本实施方式中，每个偏转模块3还包括第一圆光栅组件302及第一光栅读数头组件316。每个第一直驱式电机还包括一对第一隔套305、307、第一压盖309、第一压块311及第一端盖315。一对第一隔套305、307套于第一主轴303外且每个第一隔套位于第一电机转子306与对应一个第一轴承304之间，用于保护并定位所述第一电机转子306。所述第一压块311夹设于所述第一电机定子312与所述第一轴承座310之间，所述第一压块311用于压紧所述第一电机定子312。所述第一压盖309抵压于所述第一轴承座310背离第一基座314的一侧。所述第一圆光栅组件302套于所述第一主轴303外位于所述第一压盖309背离第一轴承座310的一侧。所述第一光栅读数头组件316安装于所述第一压盖309上，用于在第一圆光栅组件302随第一主轴303转动时，读取第一圆光栅组件302的转动角度。所述第一端盖315为环形且安装于所述第一基座314的第二端3142的开口内；所述光楔组件308设置于所述第一端盖315内。以此更换所述光楔组件308时，将第一通光元件002进行拆装即可，使用方便。

在本实施方式中，每个第一直驱式电机还包括第一温度传感器317和水接头318。所述温度传感器317设置于所述第一轴承座310，用于检测第一轴承座310的温度；所述水接头318设置于所述第一基座314和第一轴承座310上并分别与第一电机座313上的水槽及第一轴承座310上的水槽连接。所述第一电机座313的上水槽设置于第一电机座313的外表面且呈环形，起到对第一电机定子312和靠近第一基座314的第二端3142处的第一轴承304冷却的作用。在第一电机座313的水槽两端，装有位于第一基座314与第一电机座313之间O型密封圈，起到密封冷却水的作用。所述第一压盖309和第一轴承座310通过螺钉固连在一起且第一轴承座310朝向第一压盖309的表面开设有螺旋形水槽，用于通过冷却水来冷却第一轴承304，所述第一轴承座310与所述第一压盖之间设有O型密封圈，用于密封螺旋形水槽。所述第一基座314上的水接头318数量为两个，其中一个用于进水，另一个用于出水；第一轴承座310上的水接头318数量为两个，其中一个用于进水，另一个用于出水。通过第一电机座313与第一轴承310上的水槽对第一直驱式电机进行降温冷却，可以及避免因温升过高而引起的电机损坏、轴承失效及光楔组件变形造成的光束控制精度下降。

在本实施方式中，每个第二直驱式电机包括第二主轴403、一对第二轴承404、第二电机转子406、第二轴承座410、第二电机定子412、第二电机座413及第二基座414。所述第二基座414为两端开口的中空结构并且包括前端4141及后端4142。所述第二电机座413自所述第二基座414的前端4141装入于所述第二基座414内并固定安装至第二基座414的后端4142上。所述第二电机定子412自所述第二基座414的前端4141装入于所述第二电机座413内。所述一对第二轴承404及所述第二电机转子406套设于中空的第二主轴403外且一对第二轴承404位于所述第二电机转子406的两侧。所述第二主轴403穿设于所述第二电机定子412内，所述第二轴承座410套于第二主轴403外并抵压于第二电机座413靠近第一基座414的前端4141处；其中一个第二轴承404位于所述第二主轴404与第二轴承座410之间，另一个第二轴承404位于所述第二主轴403与第二电机座413之间，所述平板组件408(418)安装于所述第二主轴403靠近后端4142的端部；第二通光元件003位于一平移模块4的第二基座414的后端4142和另一平移模块4的第二基座414的前端4141之间。在本实施方式中，两个平移模块4分别包括结构不同的平板组件408及平板组件418。平板组件408或平板组件418包括至少一个截面包括一对相行的入光面及出光面的多边棱镜。在其他实施方式中，也可以根据实际需求，将平板组件408及平板组件418设计为相同结构。

在本实施方式，每个平移模块4还包括第二圆光栅组件402及第二光栅读数头组件416。每个第二直驱式电机还包括一对第二隔套405、407、第二压盖409、第二压块411、第二端盖415。一对第二隔套405、407套于第二主轴403且每个第二隔套位于所述第二电机转子406与对应一个第二轴承404之间，用于保护并定位所述第二电机转子406。所述第二压块411夹设于所述第一电机定子412与所述第二轴承座410之间，所述第二压块411用于压紧所述第二电机定子412。所述第二压盖409抵压于所述第二轴承座410背离第二基座414的一侧，以此将第二轴承座410固定安装于第二基座414上。所述第二圆光栅组件402套于所述第二主轴403外位于所述第二压盖409背离第二轴承座410的一侧。第二光栅读数头组件416安装于所述第二压盖409上，用于在第二圆光栅组件402随第二主轴403转动时，读取第二圆光栅组件402的转动角度。所述第二端盖415为环形且安装于所述第二基座414的后端4142的开口内，其中一个平移模块4的第二主轴403靠近第二基座414的前部4141的端部与一个锁紧螺母401螺纹配合，并且所述锁紧螺母401与所述第二反射支架106相邻设置，且锁紧螺母401可以相对于第二反射支架106转动。所述其中一个平移模块4的第二基座414的后端4142通过第二端盖415与中空的第二通光元件003的一端面相邻设置，第二通光元件003的另一端与另一个平移模块4的第二主轴403外的锁紧螺母401相邻设置，第二通光元件003与两个平移模块的至少一个之间为间隙配合。所述平板组件408(418)分别设置于对应一个偏移模块4的所述第二端盖415内。

在本实施方式中，每个第二直驱式电机还包括第二温度传感器417和水接头318；所述第二温度传感器417设置在所述第二轴承410上，用于检测所述第二轴承座410的温度。所述水接头318设置于所述第二基座414和第二轴承座410上并分别与第二电机座413上的水槽及第二轴承座410上的水槽连接。所述第二电机座413的上水槽设置于第二电机座413的外表面且呈环形，起到对第一电机座41和和第二电机定子412冷却的作用。在第二电机座413的水槽两端，装有位于第二基座414与第二电机座413之间O型密封圈，起到密封冷却水的作用。所述第二压盖409和第二轴承座410通过螺钉固连在一起且第二轴承座410朝向第二压409的表面开设有螺旋形水槽，用于通过冷却水来冷却第二轴承座410。所述第二轴承座410与所述第二压盖之间设有O型密封圈，用于密封螺旋形水槽。所第二基座414上的水接头318数量为两个，其中一个用于进水，另一个用于出水；第二轴承座410上的水接头318数量为两个，其中一个用于进水，另一个用于出水。通过第二电机座413与第二轴承410上的水槽对第二直驱式电机进行降温冷却，可以及避免因温升过高而引起的平板组件变形，影响光束控制的精度。

在本实施方式中，所述聚焦模块5包括盖板501、第三基座502、安装座504、聚焦透镜组505、第二窗口玻璃座组件506及气嘴组件507。所述第三基座502为两端开口的中空结构，所述盖板501为环形且安装于所述第三基座502一端的开口内。所安装座504为两端开口的中空结构，所述安装座504的一端安装于所述第三基座502远离所述盖板501一端的开口外，所述聚焦透镜组505固定安装于所述安装座504内。所述第二窗口玻璃座组件506安装于所述气嘴组件507内，所述气嘴组件507连接至所述安装座504与第三基座503相背的一端。

所述聚焦镜组件505和安装座504通过螺纹连接在一起，并可实现快速更换。气嘴组件507和安装座504通过螺纹连接在一起，并且和聚焦镜组件505之间相互独立，实际使用中可根据聚焦镜的规格快速更换对应规格的气嘴组件507。所述安装座504和所述第三基座502之间依靠螺钉连接。所述第二窗口玻璃座组件506通过螺纹安装在气嘴组件507上，起到隔绝气嘴组件空间和聚焦透镜组空间的作用，确保聚焦透镜组505周围空间的洁净。

所述第三基座502上设置有气路接头004。所述气嘴组件507上设置有接气头509。给气路接头004通入一定压力的气体时，可以在偏转模块之间、平移模块之间及聚焦透镜组周围的光路传输中形成气体保护，部分保护气体可以通过第一通光元件002与偏振模块3之间的间隙、第二通光元件003与平移模块之间的间隙逸出，进而避免因加工粉尘等的进入而造成的光学元器件的污染。并且在给接气头509通气时，提供加工使用的气流。

在本实施方式中，还包括三个转接座105、与转接座105一一对应的位置敏感监测模块2及分光平板503；每个位置敏感监测模块2包括透射镜组件201、与透射镜组件201相对的反射镜组件202及与反射镜组件202相对的接收器组件203；第一个转接座连接于第一反射支架103相背于过光管102的一侧，且透反镜组件104与第一个位置敏感监测模块的透射镜组件201相对；第二个转接座连接于第二反射支架106相背于偏转模块3的一侧，且透反镜组件104与第二个位置敏感监测模块2的透射镜组件201相对；所述分光平板503安装于所述第三基座502内；第三个转接座连接于第三基座503的一侧，且分光平板503与所述与第三个位置敏感监测模块2的透射镜组件201相对。反射镜组件202通过穿有碟簧的螺钉和透射镜组件201连接在一起，起到调节并反射光束的作用。接收器组件203包含衰减片、接收器、处理装置，起到光束位置感应的作用。

所述第三基座502的一侧还开设有窗口，所述第三基座502上设置有盖该窗口的上盖板508，所述上盖板508通过螺钉和第三基座502连接在一起，该上盖板起到了视窗的作用，并提升了对分光平板503的维护能力。

在本实施方式中，所述过光管102、第二主轴403、第二通光元件003、与第一反射支架103连接的转接座105及第三基座502开设有同轴设置且与第二轴向平行的光通道；所述第一主轴303、所述第一通光元件002、与第二反射支架106连接的转接座105及与第三基座502连接的转接座105设有同轴设置且与第一轴向平行的光通道；所述第一反射支架103开设有分别与过光管102及第一主轴303同轴的且相互垂直的光通道；所述第二反射支架106开设有分别与过第二主轴403及第一主轴303的光通道同轴设置且相互垂直的光通道；所述透反镜组104、所述反射镜组202及所述分光平板503与第一轴向成45度夹角。本实施方式中，所述第一轴向与第二轴向相垂直。

本发明的一种激光微孔加工的光束扫描装置基于“双光楔+双平板”式光学原理，同时考虑了独立功能模块的模块化设计。其采用无框电机直驱的形式，结合圆光栅高精度位置监测，兼顾光路传输防污染保护、关键转子部分水冷降温以及温度监测。具有传动结构紧凑简单、精度高、响应迅速等优点。本发明可实现激光微孔加工中大深径比、不同锥度孔的加工情况。

以上所述实施方式仅表达了本发明的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出多个变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (14)

1.一种激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，包括安装板及设置于安装板上的反射模块、偏转模块、平移模块和聚焦模块；所述反射模块包括第一反射子模块及第二反射子模块；所述偏转模块及平移模块的数量均为两个；两个偏转模块的轴系相对转动且均设置于所述第一反射子模块与所述第二反射子模块之间，每个偏转模块包括第一直驱式电机及安装于所述第一直驱式电机上的光楔组件，每个第一直驱式电机用于带动对应的光楔组件绕第一轴向转动；两个平移模块的轴系相对转动且均设置于所述第二反射镜组件与所述聚焦模块之间，每个平移模块包括第二直驱式电机及安装于所述第二直驱式电机上的对应的平板组件，每个第二直驱式电机用于带动对应的平板组件绕第二轴向转动。

2.根据权利要求1所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，每个第一直驱式电机包括第一主轴、一对第一轴承、第一电机转子、第一轴承座、第一电机定子、第一电机座及第一基座；所述第一基座为两端开口的中空结构并且包括第一端及第二端；所述第一电机座自所述第一基座的第一端装入所述第一基座内并固定安装至第一基座的第二端；所述第一电机定子自所述第一基座的第一端装入所述第一电机座内；所述一对第一轴承及所述第一电机转子套设于中空的第一主轴外且一对第一轴承位于所述第一电机转子的两侧；所述第一主轴穿设于所述第一电机定子内，所述第一轴承座套于第一主轴外并抵压于第一电机座靠近第一基座的第一端处；其中一个第一轴承位于第一主轴与第一轴承座之间，另一个第一轴承位于第一主轴与第一电机座之间，所述光楔组件安装于第一主轴靠近第二端的端部，第一通光元件和一偏转模块的第一端盖固连在一起，并与另一偏转模块的第一端盖间隙配合。

3.根据权利要求2所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，所述第一反射子模块包括第一窗口玻璃座组件、过光管、第一反射支架及透反射镜组件；所述第一窗口玻璃座组件安装于所述过光管的一端，所述第一反射镜组件安装于所述第一反射支架上并位于所述过光管与第一窗口玻璃组件相背的一端；所述第二反射子模块包括第二反射支架、透反射镜组件；其中一个偏转模块的第一主轴靠近第一基座的第一端的端部与一个锁紧螺母螺纹配合；另一个偏转模块的第一主轴靠近第一基座的第一端的端部与另一个锁紧螺母螺纹配合。

4.根据权利要求2所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，每个偏转模块还包括第一圆光栅组件及第一光栅读数头组件；每个第一直驱式电机还包括一对第一隔套、第一压盖、第一压块及第一端盖；一对第一隔套套于第一主轴且每个第一隔套位于第一电机转子与对应一个第一轴承之间；所述第一压块夹设于所述第一电机定子与所述第一轴承座之间，所述第一压盖抵压于所述第一轴承座背离第一基座的一侧；所述第一圆光栅组件套于所述第一主轴外位于所述第一压盖背离第一轴承座的一侧，第一光栅读数头组件安装于所述第一压盖上；所述第一端盖为环形且安装于所述第一基座的第二端的开口内；所述光楔组件设置于所述第一端盖内。

5.根据权利要求4所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，每个第一直驱式电机还包括第一温度传感器和水接头；所述温度传感器设置于所述第一轴承座；所述第一直驱式电机的水接头设置于所述第一基座和第一轴承座上并分别与第一电机座上的水槽及第一轴承座上的水槽连接。

6.根据权利要求3所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，每个第二直驱式电机包括第二主轴、一对第二轴承、第二电机转子、第二轴承座、第二电机定子、第二电机座及第二基座；所述第二基座为两端开口的中空结构并且包括前端及后端；所述第二电机座自所述第二基座的前端装入于所述第二基座内并固定安装至第二基座的后端；所述第二电机定子自所述第二基座的前端装入于所述第二电机座内；所述一对第二轴承及所述第二电机转子套设于中空的第二主轴外且一对第二轴承位于所述第二电机转子的两侧；所述第二主轴穿设于所述第二电机定子内，所述第二轴承座套于第二主轴外并抵压于第二电机座靠近第一基座的前端处；其中一个第二轴承位于第二主轴与第二轴承座之间，另一个第二轴承位于第二主轴与第二电机座之间，所述平板组件安装于第二主轴靠近后端的端部。

7.根据权利要求6所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，每个平移模块还包括第二圆光栅组件及第二光栅读数头组件；每个第二直驱式电机包括一对第二隔套、第二压盖、第二压块、第二端盖；一对第二隔套套于第二主轴且每个第二隔套位于第二电机转子与对应一个第二轴承之间；所述第二压块夹设于所述第二电机定子与所述第二轴承座之间；所述第二压盖抵压于所述第二轴承座背离第二基座的一侧；所述第二圆光栅组件套于所述第二主轴外位于所述第二压盖背离第二轴承座的一侧，第二光栅读数头组件安装于所述第二压盖上；所述第二端盖为环形且安装于所述第二基座的后端的开口内，其中一个平移模块的第二主轴靠近第二基座的前部的端部与一个锁紧螺母螺纹配合，并且该锁紧螺母与所述第二反射支架相邻设置，且该锁紧螺母相对于所述第二反射支架可转动设置，所述其中一个平移模块的第二基座的后端通过第二端盖与中空的第二通光元件的一端面相邻设置，第二通光元件的另一端与另一个平移模块的第二主轴外的锁紧螺母相邻设置，第二通光元件与两个平移模块中的至少一个之间为间隙配合；所述平板组件设置于所述第二端盖内。

8.根据权利要求7所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，每个第二直驱式电机还包括第二温度传感器和水接头；所述第二温度传感器设置在所述第二轴承上；所述第二直驱式电机的水接头设置于所述第二基座和第二轴承座上并分别与第二电机座上的水槽及第二轴承座上的水槽连接。

9.根据权利要求7所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，所述聚焦模块包括盖板、第三基座、安装座、聚焦透镜组、第二窗口玻璃座组件及气嘴组件；所述第三基座为两端开口的中空结构，所述盖板为环形且安装于所述第三基座一端的开口内；所安装座为两端开口的中空结构，所述安装座的一端安装于所述第三基座远离盖板一端的开口外，所述聚焦透镜组固定安装于所述安装座内；所述第二窗口玻璃座组件安装于所述气嘴组件内，所述气嘴组件连接至所述安装座与第三基座相背的一端。

10.根据权利要求9所述的所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，所述第三基座上设置有气路接头，给气路接头通入一定压力的气体时，在偏转模块之间、平移模块之间及聚焦透镜组周围的光路传输中形成气体保护，部分保护气体可以通过第一通光元件与偏振模块之间的间隙、第二通光元件与平移模块之间的间隙逸出。

11.根据权利要求7所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，还包括三个转接座、与转接座一一对应的位置敏感监测模块及分光平板；每个位置敏感监测模块包括透射镜组件、与透射镜组件相对的反射镜组件及与反射镜组件相对的接收器组件；第一个转接座连接于第一反射支架相背于过光管的一侧，且透反镜组件与第一个位置敏感监测模块的透射镜组件相对；第二个转接座连接于第二反射支架相背于偏转模块的一侧，且透反镜组件与第二个位置敏感监测模块的透射镜组件相对；所述分光平板安装于所述和第三基座内；第三个转接座连接于第三基座的一侧，且分光平板与所述与第三个位置敏感监测模块的透射镜组件相对。

12.根据权利要求11所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，所述过光管、第二主轴、第二通光元件与第一反射支架连接的转接座及第三基座开设有同轴设置且与第二轴向平行的光通道；所述第一主轴、所述第一通光元件、与第二反射支架连接的转接座及与第三基座连接的转接座设有同轴设置且与第一轴向平行的光通道；所述第一反射支架开设有分别与过光管及第一主轴同轴的相互垂直的光通道；所述第二反射支架开设有分别与过第二主轴及第一主轴的光通道同轴设置且相垂直的光通道；所述透反镜组、所述反射镜组及所述分光平板与第一轴向成45度夹角。

13.根据权利要求1所述的所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，还包括安装板，所述反射模块、偏转模块平移模块及聚焦模块安装于所述安装板上。

14.根据权利要求1所述的所述的激光微孔加工的光束扫描装置，其特征在于，所述第一轴向与第二轴向相垂直。

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