CN110959101A - 校正装置、编码器装置、驱动装置、载台装置、机械手装置、编码器装置的制造方法及校正程序 - Google Patents

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Abstract

本发明的课题是高精度地检测旋转体的旋转位置信息。校正装置具备：位置计算部，其基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置，其中标尺安装于旋转体；和误差计算部，其基于检测信号及位置计算部计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。

Description

校正装置、编码器装置、驱动装置、载台装置、机械手装置、编 码器装置的制造方法及校正程序
技术领域
本发明涉及校正装置、编码器装置、驱动装置、载台装置、机械手装置、编码器装置的制造方法及校正程序。
背景技术
检测旋转位置信息的旋转编码器搭载于驱动装置(例如马达装置)等各种装置(例如，参照下述专利文献1)。此外，提出了求出旋转编码器等角度检测器的误差的校正值的技术。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平8-50034号公报
发明内容
根据本发明的第1方式，提供一种校正装置，其具备：位置计算部，其基于分别从对标尺(其安装于旋转体)配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置；和误差计算部，其基于检测信号及位置计算部计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。
根据本发明的第2方式，提供一种编码器装置，其具备：存储部，其存储从第1方式的校正装置输出的误差信息；标尺，其安装于第2旋转体；检测部，其对标尺配置；和修正部，其基于存储在存储部中的误差信息，修正从检测部的检测结果得到的第2旋转体的旋转位置信息。
根据本发明的第3方式，提供一种编码器装置，其具备：对安装于第2旋转体的标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部；基于分别从第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置的位置计算部；和基于检测信号及位置计算部计算出的相对位置，计算出相对于第2旋转体的旋转位置信息的误差信息的误差计算部。
根据本发明的第4方式，提供一种编码器装置，其具备：标尺，其安装于旋转轴；第1检测部，其检测标尺并输出第1检测信号；存储部，其存储误差信息，误差信息是使用两个检测部中的至少一个检测部与第1检测部的相对位置而计算出的，其中，两个检测部是不同于第1检测部的检测部，两个检测部中的至少一个检测部与第1检测部的相对位置是基于第1检测信号、第2检测信号及第3检测信号计算出的，第2检测信号和第3检测信号是两个检测部检测标尺并输出的信号；和修正部，其使用误差信息，对从第1检测信号得到的旋转轴的旋转位置信息进行修正。
根据本发明的第5方式，提供一种编码器装置，其计算旋转轴的旋转位置信息，该编码器装置具备：标尺，其安装于旋转轴；被校正用检测部，其固定于基板，检测标尺并输出第1检测信号；处理部，其基于第1检测信号计算出旋转位置信息；和修正部，其使用存储在存储部中的误差信息来修正旋转位置信息，编码器装置在计算该误差信息的情况下，两个校正用检测部被安装于基板，误差信息是基于被校正用检测部与至少一个校正用检测部的相对位置而计算出的，被校正用检测部与至少一个校正用检测部的相对位置是使用第1检测信号、第2检测信号及第3检测信号而计算出的，第2检测信号和第3检测信号是两个校正用检测部检测标尺并输出的信号。
根据本发明的第6方式，提供一种驱动装置，其具备：第2方式或第3方式的编码器装置；和向第2旋转体供给驱动力的驱动部。
根据本发明的第7方式，提供一种驱动装置，其具备：第4方式或第5方式的编码器装置；和向旋转轴供给驱动力的驱动部。
根据本发明的第8方式，提供一种载台装置，其具备：第6方式或第7方式的驱动装置；和利用驱动装置而移动的载台。
根据本发明的第9方式，提供一种机械手装置，其具备：第6方式或第7方式的驱动装置；和利用驱动装置而移动的臂。
根据本发明的第10方式，提供一种编码器装置的制造方法，其包括：基于分别从对标尺(其安装于旋转体)配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置；基于检测信号及计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息；和将误差信息存储到编码器装置的存储部中。
根据本发明的第11方式，提供一种校正程序，其使计算机执行：基于分别从对标尺(其安装于旋转体)配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置；和基于检测信号及计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。
附图说明
图1是表示第1实施方式的编码器装置及校正装置的图。
图2是表示第1实施方式的编码器装置及校正装置的图。
图3是表示第1实施方式的标尺及检测部的图。
图4是表示第1实施方式的相对位置的计算处理的参数的图。
图5是表示实施方式的编码器装置的制造方法的流程图。
图6是表示第2实施方式的编码器装置及校正装置的图。
图7是表示第3实施方式的编码器装置及校正装置的图。
图8是表示第4实施方式的编码器装置及校正装置的图。
图9是表示第5实施方式的编码器装置及校正装置的图。
图10是表示第6实施方式的编码器装置及校正装置的图。
图11是表示第7实施方式的编码器装置及校正装置的图。
图12是表示第7实施方式的检测部的配置方法的例子的图。
图13是表示第8实施方式的编码器装置的图。
图14是表示第9实施方式的校正装置的图。
图15是表示第10实施方式的校正装置的图。
图16是表示实施方式的驱动装置的图。
图17是表示实施方式的载台装置的图。
图18是表示实施方式的机械手装置的图。
具体实施方式
[第1实施方式]
对第1实施方式进行说明。图1及图2是表示第1实施方式的编码器装置及校正装置的图。编码器装置EC检测测量对象的旋转体的旋转位置信息。旋转位置信息包括多旋转信息及单旋转内的角度位置中的一者或两者。多旋转信息是表示旋转周数的信息(例如1周、2周)。角度位置是表示旋转不满1周的旋转角的信息(例如30[deg]、π[rad])。
校正装置1执行对编码器装置EC的校正处理。校正装置1例如在制造编码器装置EC时使用。在校正处理中，校正装置1计算出(生成)对编码器装置EC的检测结果进行修正所使用的误差信息。图1中示出了校正处理中的编码器装置EC的动作及校正装置1的动作。图2中示出了校正处理后的编码器装置EC的动作。
如图1所示，在校正装置1执行校正处理时，编码器装置EC被安装在旋转体SF1上。在校正处理中，编码器装置EC对安装于旋转体SF1的标尺S进行检测。校正装置1基于编码器装置EC检测标尺S所得到的检测信号，计算相对于旋转体SF1的旋转位置信息的误差信息。校正装置1将计算出的误差信息存储在校正对象的编码器装置EC中。在上述校正处理结束后，编码器装置EC被从校正装置1拆下。
如图2所示，校正处理后的编码器装置EC检测例如旋转体SF2的旋转位置信息。旋转体SF2既可以与校正处理中使用的旋转体SF1相同，也可以是旋转体SF1之外的旋转体。可以在校正处理后，从旋转体SF1(第1旋转体)拆下编码器装置EC，并将编码器装置EC安装到与旋转体SF1不同的检测对象的旋转体SF2(第2旋转体)上。校正处理后的编码器装置EC基于在校正处理中存储的误差信息，对检测到的旋转体SF2的旋转位置信息进行修正。然后，编码器装置EC向外部输出修正后的旋转位置信息。以下，对编码器装置EC的各部分及校正装置1的各部分进行说明。
如图1所示，编码器装置EC具备标尺S、检测部2、处理部3、存储部4及修正部5。在校正装置1执行校正处理时，标尺S被安装在校正用的旋转体SF1上。标尺S与检测部2的至少一部分相对配置，并与旋转体SF1一同旋转。
检测部2(检测***)对标尺S进行检测。检测部2包括第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13。此外，在本实施方式中，编码器装置EC具备第1读头6、第2读头7及第3读头8。第1读头6、第2读头7及第3读头8分别包括例如编码器读头(检测头)。第1检测部11设置于第1读头6。第2检测部12设置于第2读头7。第3检测部13设置于第3读头8。此外，检测部2(多个检测头)固定地配置于后文所述的编码器主体部。
第1读头6、第2读头7及第3读头8与标尺S相对地配置。通过旋转体SF1的旋转，标尺S相对于第1读头6、第2读头7及第3读头8各自相对地旋转。第1读头6、第2读头7及第3读头8分别检测标尺S的图案。
第1读头6是例如被校正用的检测头(校正对象的检测头(检测部))。第2读头7及第3读头8分别是校正用的检测头。校正用的检测头获取对第1读头6的校正处理所使用的信息。在校正处理后，第1读头6被用于第2旋转体(例如图2的旋转体SF2)的旋转位置信息的检测。另外，第2读头7及第3读头8中的一者或两者既可以用于第2旋转体的旋转位置的检测，也可以不用于第2旋转体的旋转位置的检测。
图3是表示第1实施方式的标尺及检测部的图。在以下说明中，适当地参照图3等所示的XYZ直角坐标系。在该XYZ直角坐标系中，Z方向是与旋转体SF1的旋转轴AX平行的方向。X方向及Y方向是分别与Z方向垂直的方向。图3的(A)是从旋转轴AX的方向(轴向、Z方向)观察到的图。在以下说明中，将从旋转轴的方向观察到的状态适当地称为旋转轴方向观察的状态。图3的(B)是从与旋转体SF1垂直的方向(径向)观察到的图。
在本实施方式中，编码器装置EC包含光学式编码器。编码器装置EC对标尺S进行光学检测。标尺S例如是圆板状或法兰状的部件。标尺S包含反射型或透射型的增量图案INC及绝对图案ABS。增量图案INC及绝对图案ABS分别为圆环状。增量图案INC及绝对图案ABS关于XY平面上的标尺S的中心配置为同心圆状。另外，编码器装置EC也可以是包含磁式编码器的构成。
第1读头6、第2读头7及第3读头8配置在旋转体SF1的周围。第1读头6、第2读头7及第3读头8分别配置为与增量图案INC及绝对图案ABS相对。第1读头6、第2读头7及第3读头8配置为距旋转体SF1的距离大致相同。
第1读头6具备照射部10a及第1检测部11。照射部10a分别对增量图案INC及绝对图案ABS照射光。第1检测部11包括传感器部11a及传感器部11b。传感器部11a及传感器部11b分别含有检测光的受光元件(例如光电二极管、光电转换元件、受光部)。传感器部11a检测来自增量图案INC的光。传感器部11b检测来自绝对图案ABS的光。
第2读头7及第3读头8分别为与第1读头6同样的构成。第2读头7具备照射部10b及第2检测部12。第3读头8具备照射部10c及第3检测部13。照射部10b及照射部10c分别与上述照射部10a相同。照射部10b及照射部10c分别对增量图案INC及绝对图案ABS各自照射光。第2检测部12及第3检测部13分别为与第1检测部11相同的构成。第2检测部12及第3检测部13分别检测来自增量图案INC的光及来自绝对图案ABS的光。
如图3的(B)所示，本实施方式中的第1读头6、第2读头7及第3读头8分别为反射型的检测头。第1读头6、第2读头7及第3读头8分别检测由增量图案INC反射的光及由绝对图案ABS反射的光。第1读头6也可以是透射型的检测头。该情况下，第1读头6分别检测透射过增量图案INC的光及透射过绝对图案ABS的光。此外，第2读头7和第3读头8中的一者或两者也可以是透射型的检测头。
返回图1的说明，第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13分别与处理部3连接。第1检测部11将检测信号S1a作为检测标尺S的检测结果而输出到处理部3。第2检测部12将检测信号S2a作为检测标尺S的检测结果而输出到处理部3。第3检测部13将检测信号S3a作为检测标尺S的检测结果而输出到处理部3。
处理部3对从检测部2得到的检测信号(检测信号S1a、检测信号S2a、检测信号S3a)进行处理。处理部3基于从检测部2得到的检测信号(检测信号S1a、检测信号S2a、检测信号S3a)，计算出检测对象的旋转体(在图1中为旋转体SF1，在图2中为旋转体SF2)的旋转位置信息。例如，处理部3使用对来自绝对图案ABS的光进行检测所得到的结果，检测第1分辨率的角度位置信息。此外，处理部3使用对来自增量图案INC的光进行检测所得到的结果，对第1分辨率的角度位置信息进行插值运算，由此，检测比第1分辨率高的第2分辨率的角度位置信息。
处理部3基于从第1检测部11得到的检测信号S1a，计算出旋转体SF1的旋转位置信息S1b。旋转位置信息S1b是从第1检测部11得到的检测信号。此外，处理部3基于从第2检测部12得到的检测信号S2a，计算出旋转体SF1的旋转位置信息S2b。旋转位置信息S2b是从第2检测部12得到的检测信号。此外，处理部3基于从第3检测部13得到的检测信号S3a，计算出旋转体SF1的旋转位置信息S3b。旋转位置信息S3b是从第3检测部13得到的检测信号。
处理部3将计算出的旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b及旋转位置信息S3b分别输出到校正装置1。校正装置1基于分别从第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13得到的检测信号(例如旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b、旋转位置信息S3b)，计算出误差信息。校正装置1将计算出的误差信息输出到编码器装置EC。编码器装置EC的存储部4存储从校正装置1输出的误差信息。关于校正装置1的各部分将于后文说明。
在校正处理后，编码器装置EC被搭载于例如图2所示的驱动装置MTR(旋转体SF2)上。驱动装置MTR是例如电动马达等。驱动装置MTR具备旋转体SF2、驱动部MD及控制部MC。旋转体SF2例如包括驱动装置MTR的输出轴(例如传动轴)。旋转体SF2也可以是与驱动装置MTR的输出轴连接的作用轴。驱动部MD包含例如电枢及定子，使旋转体SF2旋转。控制部MC控制驱动部MD，以使得旋转体SF2的角度位置、角速度及角加速度的至少一个接近目标值。
编码器装置EC的标尺S被安装在旋转体SF2上。第1检测部11检测与旋转体SF2一同旋转的标尺S。第1检测部11将检测信号S1a作为检测标尺S的检测结果而输出到处理部3。处理部3基于检测信号S1a，计算出旋转体SF2的旋转位置信息S1b。处理部3将计算出的旋转位置信息S1b输出到修正部5。在以下说明中，适当地将处理部3计算出的旋转位置信息称为第1旋转位置信息。第1旋转位置信息是修正前的旋转位置信息。
修正部5基于存储在存储部4中的误差信息，对从处理部3输出的第1旋转位置信息(例如旋转位置信息S1b)进行修正(自校正处理)。例如，修正部5基于第1旋转位置信息(例如旋转位置信息S1b)及误差信息，计算出(生成)第2旋转位置信息。第2旋转位置信息是修正后的旋转位置信息。修正部5输出计算出的第2旋转位置信息(修正后的旋转位置信息)。驱动装置MTR的控制部MC基于第2旋转位置信息来控制驱动部MD。
此处，对误差信息进行说明。处理部3计算出的第1旋转位置信息例如是基于检测部2的检测结果的读取值(测量值)。该读取值存在因例如标尺S的制造误差、标尺S与检测部2的位置误差(例如组装误差)等周期误差(因旋转而产生的周期误差成分)而从真值偏离的情况。标尺S的制造误差包括例如绝对图案ABS或增量图案INC的形状的变形、绝对图案ABS或增量图案INC在标尺S上的位置偏移。
上述误差信息包含对读取值的校正值。校正值包含例如作为相对于读取值的真值而推定的值(真值的推定值)。例如，在读取值为89°、对该读取值的校正值为90°的情况下，上述误差信息包含将读取值(例如89°)和校正值(例如90°)设为一组的信息。在被输入读取值(例如89°)的情况下，编码器装置EC的修正部5参照误差信息，输出对于读取值的校正值(例如90°)，从而修正旋转位置信息。
此外，上述误差信息也可以含有校正值与读取值的误差的信息。例如，在读取值为89°、对该读取值的校正值为90°的情况下，相对于读取值的误差为-1°。该情况下，上述误差信息也可以包含将读取值(例如89°)和误差(例如-1°)设为一组的信息。在被输入读取值(例如89°)的情况下，编码器装置EC的修正部5可以参照误差信息，执行从读取值减去相对于读取值的误差(例如-1°)的运算(例如89°-(-1°))，从而修正旋转位置信息。
上述误差信息也可以含有对读取值的修正量的信息。例如，在读取值为89°、对该读取值的校正值为90°的情况下，对读取值的修正量为+1°。该情况下，上述误差信息也可以包含将读取值(例如89°)和修正量(例如+1°)设为一组的信息。在被输入读取值(例如89°)的情况下，编码器装置EC的修正部5可以参照误差信息，执行对读取值加上对读取值的修正量(例如+1°)的运算(例如89°+(+1°))，从而修正旋转位置信息。
上述那样的误差信息例如通过利用了等分平均法的方法来计算。在这样的方法中，使用从多个检测位置检测对象物的检测结果、和多个检测位置(检测部(传感器)的位置)来进行误差信息的计算。在使用预先设定的设定值作为多个检测位置来计算误差信息的情况下，误差信息的精度例如会因实际的检测位置与设定值的误差而下降。但是若在编码器装置的制造工序中使实际的检测位置与设定值高精度地一致，则例如对位的成本增加。
在本实施方式中，校正装置1计算检测部2的相对的检测位置(在旋转体的旋转轴方向观察时，以旋转体的旋转轴AX为中心的角度位置(例如基于第1检测部与第2检测部所成的角的位置))，并使用计算出的该检测位置(例如两个检测部的相对位置)来生成误差信息。校正装置1例如在检测部2的检测位置相对于设定值含有误差的情况下，也使用由位置计算部15计算出的实际的检测位置，因此能够生成高精度的误差信息。以下，参照图1对校正装置1的各部分进行说明。
校正装置1具备位置计算部15及误差计算部16。位置计算部15基于分别从第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13得到的检测信号(该情况下为3个检测信号)，计算第1检测部11与第2检测部12的相对位置(执行相对位置的计算处理)。位置计算部15例如使用旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b及旋转位置信息S3b作为分别从第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13得到的检测信号。关于相对位置的计算处理，后文将参照图4、式(1)至式(21)等来进行说明。位置计算部15将计算出的相对位置输出到误差计算部16。
误差计算部16基于位置计算部15计算出的相对位置及从检测部2得到的检测信号，计算相对于旋转体SF1的旋转位置信息的误差信息(执行误差信息的计算处理)。误差计算部16例如使用旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b和旋转位置信息S3b的至少一部分作为从检测部2得到的检测信号。误差计算部16输出计算出的误差信息。校正装置1将误差计算部16输出的误差信息存储到编码器装置EC的存储部4中。
接下来，对校正装置1进行的校正处理(相对位置的计算处理、误差信息的计算处理)进行说明。图4是表示第1实施方式的相对位置的计算处理所使用的参数的图。
在图4中，附图标记P1是在标尺S的旋转方向上或从旋转轴AX的轴向观察时，第1检测部11所配置的位置，是第1检测部11的检测位置(检测对象的区域)。第1检测部11例如检测来自标尺S的检测位置P1的光。例如，第1检测部11检测标尺S的检测位置P1这部分的像。此外，附图标记P2是在标尺S的旋转方向上或从旋转轴AX的轴向观察时，第2检测部12所配置的位置，是第2检测部12的检测位置(检测对象的区域)。第2检测部12例如检测来自标尺S的检测位置P2的光。例如，第2检测部12检测标尺S的检测位置P1这部分的像。此外，附图标记P3是在标尺S的旋转方向上或从旋转轴AX的轴向观察时，第3检测部13所配置的位置，是第3检测部13的检测位置(检测对象的区域)。第3检测部13例如检测来自标尺S的检测位置P3的光。例如，第3检测部13检测标尺S的检测位置P3这部分的像。
附图标记φ1是图3的(A)所示的第1检测部11和第2检测部12以旋转体SF1的旋转轴AX为中心所成的角度。角度φ1是第1检测部11的角度位置与第2检测部12的角度位置在标尺S的旋转方向上的差(旋转角)。该情况下，角度φ1是表示第1检测部11与第2检测部12的相对位置(相对角度位置)的参数。
角度φ1是例如在标尺S的旋转方向上或从旋转轴AX的轴向观察时，连结旋转轴AX和检测位置P1的线L1、与连结旋转轴AX和检测位置P2的线L2所成的角度。线L1是例如连结标尺S上的第1检测部11设为检测对象的区域(例如检测位置P1)中的规定点(例如中心)和标尺S上的旋转轴AX的线。此外，线L2是例如连结标尺S上的第2检测部12设为检测对象的区域(例如检测位置P2)中的规定点(例如中心)和标尺S上的旋转轴AX的线。
此外，附图标记φ2是图3的(A)所示的第1检测部11与第3检测部13以旋转体SF1的旋转轴AX为中心所成的角度。角度φ2是第1检测部11的角度位置与第3检测部13的角度位置在标尺S的旋转方向上的差(旋转角)。角度φ2是表示第1检测部11与第3检测部13的相对位置(相对角度位置)的参数。角度φ2例如是在标尺S的旋转方向上或从旋转轴AX的轴向观察时，线L1与连结旋转轴AX和检测位置P3的线L3所成的角度。线L3例如是连结标尺S上的第3检测部13设为检测对象的区域(例如检测位置P3)中的规定点(例如中心)和标尺S上的旋转轴AX的线。
在以下说明中，用f(θ)[rad]表示从第1检测部11得到的角度位置的读取值(例如旋转位置信息S1b、测量值)。θ是检测位置P1在以旋转轴AX为中心的圆周上的角度位置。θ例如是被推定为真值的值，是校正的目标值(校正值)。此外，用f(θ+φ1)[rad]表示从第2检测部12得到的角度位置的读取值(例如旋转位置信息S2b、测量值)。此外，用f(θ+φ2)[rad]表示从第3检测部13得到的角度位置的读取值(例如旋转位置信息S3b、测量值)。
上述f(θ)、f(θ+φ1)及f(θ+φ2)分别是以2π[rad]为周期的周期函数。f(θ)使用傅立叶级数用下式(1)来表示。在下式中，n是表示高次谐波的次数的自然数(1、2、3、……)。此外，An是n次谐波的振幅，αn是n次谐波的初始相位。N是数据点的个数(例如标尺S的刻度的个数)。
[数式1]
Figure BDA0002376991890000121
此外，f(θ+φ1)使用傅立叶级数可用下式(2)来表示。
[数式2]
Figure BDA0002376991890000122
此外，f(θ+φ2)使用傅立叶级数可用下式(3)来表示。
[数式3]
Figure BDA0002376991890000131
首先，参照图1及图4，对相对位置的计算处理进行说明。在本实施方式中，图1所示的位置计算部15在相对处理的计算处理中计算第1检测部11与第2检测部12的相对位置(例如图4的φ1)。位置计算部15基于从第1检测部11得到的检测信号(例如旋转位置信息S1b)与从第2检测部12得到的检测信号(例如旋转位置信息S2b)之差、及从第1检测部11得到的检测信号(例如旋转位置信息S1b)与从第3检测部13得到的检测信号(例如旋转位置信息S3b)之差，计算出相对位置。旋转位置信息S1b与旋转位置信息S2b之差用f(θ+φ1)–f(θ)表示。求取上述式(1)与式(2)的差，由此得到下式(4)。
[数式4]
Figure BDA0002376991890000132
在以下说明中，将f(θ)适当地称为基准波形(基准信号、基准曲线)。此外，将f(θ+φ1)–f(θ)适当地称为关于第2检测部12的差分波形(差分信号、差分曲线)。从上式(4)可知，关于第2检测部12的差分波形通过正弦波(1次至n次谐波)的叠加来表示。将式(4)的大括弧中的式子变形，则可得到下式(5)。
[数式5]
Figure BDA0002376991890000133
此处，将关于第2检测部12的差分波形中的n次谐波的振幅设为Bn1。Bn1可用下式(6)来表示。
[数式6]
Figure BDA0002376991890000141
此外，就关于第2检测部12的差分波形中的n次谐波的相位，将相对于nθ的变化量设为βn1。βn1是关于第2检测部12的n次谐波的相位与nθ的差。βn1可用下式(7)来表示。
[数式7]
Figure BDA0002376991890000142
此外，旋转位置信息S1b与旋转位置信息S3b之差用f(θ+φ2)–f(θ)来表示。在以下说明中，将f(θ+φ2)–f(θ)适当地称为关于第3检测部13的差分波形(差分信号、差分曲线)。关于第3检测部13的差分波形通过求取上述式(1)与式(3)的差来得出。此外，与关于第2检测部12的差分波形同样地对关于第3检测部13的差分波形进行变形，将关于第3检测部13的差分波形中的n次谐波的振幅设为Bn2。Bn2可用下式(8)来表示。
[数式8]
Figure BDA0002376991890000143
此外，就关于第3检测部13的差分波形中的n次谐波的相位，将相对于nθ的变化量设为βn2。βn2是关于第3检测部13的n次谐波的相位与nθ的差。βn2可用下式(9)来表示。
[数式9]
Figure BDA0002376991890000144
使用上述式(6)及式(8)求解An，可得到下式(10)。
[数式10]
Figure BDA0002376991890000145
将上式(10)变形，可得到下式(11)。
[数式11]
Figure BDA0002376991890000151
此外，使用上述式(7)及式(9)求解αn，可得到下式(12)。
[数式12]
Figure BDA0002376991890000152
将上式(12)变形，可得到下式(13)。
[数式13]
Figure BDA0002376991890000153
表示第1检测部11与第2检测部12的相对位置的角度φ1、及表示第1检测部11与第3检测部13的相对位置的角度φ2通过将上述式(11)和式(13)联立求解来计算。将上式(13)的右边代入上式(11)，由此，从上式(11)消去角度φ2，则可得到下式(14)。
[数式14]
Figure BDA0002376991890000154
将上式(14)变形，可得到下式(15)。
[数式15]
Figure BDA0002376991890000155
式(15)中的Cn1可用下式(16)来表示。
[数式16]
Figure BDA0002376991890000156
此外，式(15)中的γn1可用下式(17)来表示。
[数式17]
Figure BDA0002376991890000161
在式(15)中，在Cn1不为0的条件下，sin(nφ1/2+γn1)＝0。该情况下，使用自然数m，下式(18)成立。
[数式18]
Figure BDA0002376991890000162
将式(18)变形，φ1可用下式(19)来表示。
[数式19]
Figure BDA0002376991890000163
此处，对于n＝k的情况，用φ1(n＝k)表示大于0且小于等于2π范围的φ1的解。例如，用φ1(n＝1)来表示n＝1且满足0＜φ1≤2π的φ1的解。就1次分量(n＝1的情况)而言，满足0＜φ1≤2π的条件为m＝1。φ1(n＝1)唯一确定，可用下式(20)来表示。
[数式20]
φ1(n＝1)＝-2γn1…式(20)
对于2次以上的分量(n为2以上的情况)，φ1的解的个数与n相同。例如，在n为3的情况下，φ1(n＝3)用下式(21)来表示，存在包括与m＝1、2、3分别对应的解在内的3个解。
[数式21]
Figure BDA0002376991890000164
在像这样得到多个解的情况下，可以分别对m＝1、2、……k中的两个以上的m的值计算φ1(n＝k)的解，并基于得到的φ1(n＝k)的多个解来确定φ1。例如，在n＝3的情况下，可以分别对m＝1、2、3计算φ1(n＝3)的解，并采用φ1(n＝3)的多个解中与由上式(20)得到的φ1(n＝1)值最接近的解来作为φ1(n＝3)的解。此外，也可以采用通过φ1(n＝3)的多个解而运算出的值(例如平均值)来作为φ1(n＝3)的解。
0次(n＝0)分量是直流分量，易于受到例如噪声的影响。若使用1次以上的分量，则例如能够高精度地计算(能够确定)角度φ1。另外，n在本实施方式中为自然数(1、2、……)，但也可以包括0。例如，在标尺S含有绝对图案ABS的情况下，可以使用0次分量来计算角度φ1。此外，在标尺S含有增量图案INC且不含绝对图案ABS的情况下，可以使用标尺S处于规定角度位置(例如基准位置、0°、原点)时的0次分量来计算角度φ1。
在本实施方式中，图1所示的位置计算部15还计算第1检测部11与第3检测部13的相对位置(例如图4的角度φ2)。以下，对φ2的解进行说明。使用上式(12)从式(11)消去φ1，可得到下式(22)。
[数式22]
Figure BDA0002376991890000171
将式(22)变形，可得到下式(23)。
[数式23]
Figure BDA0002376991890000172
上式(23)中的Cn2可用下式(24)表示。
[数式24]
Figure BDA0002376991890000173
上式(23)中的γn2可用下式(25)表示。
[数式25]
Figure BDA0002376991890000181
上式(23)中，在Cn2不为0的条件下，sin(nφ2/2+γn2)＝0。该情况下，使用自然数m，下式(26)成立。
[数式26]
Figure BDA0002376991890000182
此处，对于n＝k的情况，用φ2(n＝k)表示大于0且小于等于2π范围的φ2的解。例如，用φ2(n＝1)来表示n＝1且满足0＜φ2≤2π的情况下的φ2的解。对于1次分量(n＝1的情况)，满足0＜φ2≤2π的条件为m＝1。φ2(n＝1)唯一确定，可用下式(27)来表示。
[数式27]
φ2＝-2γn2…式(27)
此外，对于2次以上的分量(n为2以上的情况)，如对φ1的解所说明那样，可以分别对m＝1、2、……k中两个以上的m的值计算φ2(n＝k)的解，并基于得到的φ2(n＝k)的多个解来确定φ2。
接下来，对误差信息的计算处理进行说明。将通过上述方式计算出的φ1代入上式(10)，则An成为已知量。此外，将通过相对位置的计算处理计算出的φ1代入上式(12)，则αn成为已知量。此处，用Err来表示上式(1)中的高次谐波分量(右边的第2项)。可用下式(28)来表示Err，并使用已知的An及αn来进行计算。
[数式28]
Figure BDA0002376991890000183
Err是表示作为检测值的f(θ)与作为真值的θ的差(误差)的误差曲线。使用根据第1检测部11的检测结果得到的f(θ)和计算出的Err，可用下式(29)计算出作为真值的θ。
[数式29]
θ＝f(θ)-Err…式(29)
图1所示的误差计算部16使用f(θ)和计算出的Err(误差)来计算θ(校正值)。误差计算部16例如生成将f(θ)和θ设为一组的信息来作为误差信息。例如，误差计算部16基于φ1计算出An及αn。此外，误差计算部16使用基于φ1的An及αn计算出Err。在以下说明中，将基于φ1计算出的Err适当地标记为Err1。
误差计算部16使用f(θ)和Err1计算出θ。在以下说明中，将基于φ1计算出的θ适当地标记为θ1。误差计算部16生成将f(θ)和θ1设为一组的信息来作为第1误差信息。
此外，Err也能够通过φ2来进行计算。例如将计算出的φ2代入上式(10)，则An成为已知量。此外，将计算出的φ2代入上式(12)，则αn成为已知量。例如，误差计算部16基于φ2计算出An及αn。此外，误差计算部16使用基于φ2的An及αn计算出Err。在以下说明中，将基于φ2计算出的Err适当地标记为Err2。误差计算部16使用f(θ)和Err2计算出θ。在以下说明中，将基于φ2计算出的θ适当地标记为θ2。误差计算部16生成将f(θ)和θ2设为一组的信息来作为第2误差信息。
误差计算部16基于第1误差信息和第2误差信息计算出误差信息。例如，误差计算部16基于第1检测信号(例如旋转位置信息S1b、f(θ))与第2检测信号(例如旋转位置信息S2b、f(θ+φ1))之差的振幅、及第1检测信号与第3检测信号(例如旋转位置信息S3b、f(θ+φ2))之差的振幅，计算出误差信息。例如，第1检测信号与第2检测信号的差为f(θ+φ1)–f(θ)，其振幅为Bn1。此外，第1检测信号与第3检测信号的差为f(θ+φ2)–f(θ)，其振幅为Bn2。
误差计算部16也可以基于Bn1与Bn2的大小关系，选择θ1或θ2来作为θ。例如，误差计算部16可以比较Bn1和Bn2，在Bn1值较大的情况下选择(采用)与Bn1对应的θ1来作为θ。此外，误差计算部16也可以计算θ1和θ2的平均值(例如算术平均值、加权平均值)来作为θ。例如，误差计算部16可以采用上述算术平均值即(θ1+θ2)/2来作为θ。此外，误差计算部16也可以通过使用了Bn1及Bn2的权重来计算θ。例如，误差计算部16可以采用上述加权平均值即(Bn1×θ1+Bn2×θ2)/(Bn1+Bn2)来作为θ。
在误差计算部16基于第1误差信息和第2误差信息来计算误差信息的情况下，例如能够降低在获取读取值时发生的误差(例如噪声、量化误差)、计算误差信息时产生的误差(例如舍入误差)的影响。另外，误差计算部16也可以计算第1误差信息和第2误差信息中的一者来作为误差信息。例如，误差计算部16可以计算第1误差信息来作为误差信息，而不再计算第2误差信息。
另外，误差计算部16可以生成将f(θ)和Err(误差)设为一组的信息来作为误差信息。此外，误差计算部16也可以生成将f(θ)和根据Err计算出的修正量(例如-Err)设为一组的信息来作为误差信息。
误差计算部16可以基于第1误差信息及第2误差信息计算出Err。误差计算部16也可以基于Bn1和Bn2，选择Err1或Err2来作为Err。例如，误差计算部16可以比较Bn1和Bn2，在Bn1值较大的情况下选择与Bn1对应的Err1来作为Err。
此外，误差计算部16也可以计算Err1和Err2的平均值(例如算术平均值、加权平均值)来作为Err。误差计算部16可以通过使用了Bn1和Bn2的权重来计算Err。例如，误差计算部16可以计算加权平均值即(Bn1×Err1+Bn2×Err2)/(Bn1+Bn2)来作为Err。
此处，对第1检测部11与第2检测部12的相对位置(例如φ1)的设定值、及第1检测部11与第3检测部13的相对位置(例如φ2)的设定值进行说明。在本实施方式中，误差计算部16对2以上的整数i计算表示第1检测部11的检测结果的傅立叶级数的i次分量的误差。在将φ1的设定值及φ2的设定值设定为将圆周i等分的角度的情况下，读取值的差(例如f(θ+φ1)–f(θ)、f(θ+φ2)–f(θ))的傅立叶级数不包含i的整数倍的次数的分量。因此，φ1的设定值和φ2的设定值中的一者或两者就2以上的整数j，设定为2π/j×i[rad]以外的角度。
接下来，基于上述编码器装置EC及校正装置1的构成，对实施方式的编码器装置的制造方法进行说明。图5是表示实施方式的编码器装置的制造方法的流程图。编码器装置EC的各部分及校正装置1的各部分将适当地参照图1等。
在步骤S1中，对标尺S分别配置第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13(参照图1)。在步骤S2中，使标尺S至少旋转1周(1圈)，第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13分别对标尺S进行检测。第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13分别将检测信号输出到处理部3(参照图1)。
处理部3处理第1检测部11的检测结果，计算出旋转位置信息S1b(例如f(θ))。此外，处理部3处理第2检测部12的检测结果，计算出旋转位置信息S2b(例如f(θ+φ1))。此外，处理部3处理第3检测部13的检测结果，计算出旋转位置信息S3b(例如f(θ+φ2))。处理部3向校正装置1(参照图1)输出旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b及旋转位置信息S3b作为分别从第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13得到的检测信号。
需要说明的是，本实施方式的编码器装置的制造方法包含通过实施方式的校正方法对编码器装置进行校正(执行校正处理)。该校正处理包括图5中的步骤S3的处理(相对位置的计算处理)及步骤S4的处理(误差信息的计算处理)。
在步骤S3中，位置计算部15(参照图1)基于来自编码器装置EC(例如处理部3)的检测信号，计算出第1检测部11与第2检测部12的相对位置(例如第1相对位置、φ1)。本实施方式的位置计算部15通过用上式(1)至式(21)说明的方法来计算出φ1。此外，本实施方式的位置计算部15通过用上式(22)至式(27)说明的方法来计算出第1检测部11与第3检测部13的相对位置(例如第2相对位置、φ2)。
在步骤S4中，误差计算部16(参照图1)基于位置计算部15计算出的相对位置及来自编码器装置EC的检测信号(例如旋转位置信息)，计算出误差信息。在本实施方式中，步骤S4的处理(误差信息的计算处理)包括步骤S5至步骤S7的处理。
在步骤S5中，误差计算部16基于第1检测信号(例如旋转位置信息S1b、f(θ))、第2检测信号(例如旋转位置信息S2b、f(θ+φ1))及第1相对位置(例如φ1)，计算出第1误差信息。第1误差信息例如含有对f(θ)与根据φ1计算出的θ1建立了关系的信息。
在步骤S6中，误差计算部16基于第2检测信号(例如旋转位置信息S1b、f(θ))、第3检测信号(例如旋转位置信息S3b、f(θ+φ2))及第2相对位置(例如φ2)，计算出第2误差信息。第2误差信息例如含有对f(θ)与根据φ2计算出的θ2建立了关系的信息。
在步骤S7中，误差计算部16基于第1误差信息和第2误差信息计算出上述误差信息。误差信息例如含有对读取值即f(θ)与校正值即θ建立了关系的信息。误差计算部16也可以计算出第1误差信息中的θ1与第2误差信息中的θ2的平均值(例如算术平均值、加权平均值)来作为θ，计算出误差信息。此外，误差计算部16也可以选择第1误差信息中的θ1或第2误差信息中的θ2来作为θ，生成误差信息。校正装置1(参照图1)输出误差计算部16计算出的误差信息。在步骤S8中，校正装置1将误差计算部16计算出的误差信息存储在编码器装置EC的存储部4(参照图1)中。
在步骤S9中，编码器装置EC被从例如校正装置1拆下。从校正装置1拆下的编码器装置EC例如被安装于检测对象的旋转体SF2(参照图2)。编码器装置EC的检测部2的至少一部分检测安装于旋转体SF2的标尺S。例如可以是，图2所示的第1检测部11检测标尺S，输出检测信号S1a，第2检测部12和第3检测部13中的一者或两者不检测安装于旋转体SF2的标尺S。
处理部3基于从检测部2输出的检测信号，计算出旋转体SF2的第1旋转位置信息。例如，处理部3基于从第1检测部11输出的检测信号S1a，计算出旋转位置信息S1b。处理部3将计算出的旋转位置信息输出到修正部5。修正部5基于存储在存储部4中的误差信息，对处理部3计算出的旋转位置信息进行修正。然后，编码器装置EC将修正后的旋转位置信息输出至外部装置(例如控制部MC)。
另外，在图5的步骤S3中，位置计算部15也可以不计算第1检测部11与第3检测部13的相对位置(例如第2相对位置、φ2)。该情况下可以是，误差计算部16在步骤S4中计算出第1误差信息来作为误差信息，而不执行步骤S6的处理及步骤S7的处理。
另外，实施方式的编码器装置EC也可以具备校正装置1的至少一部分(例如位置计算部15、误差计算部16)。例如，编码器装置EC可以具备：安装于旋转体SF1的标尺S；对标尺S配置的第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13；基于分别从第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13得到的检测信号，计算出第1检测部11与第2检测部12的相对位置的位置计算部15；和基于位置计算部15计算出的相对位置、及检测信号，计算出相对于旋转体SF1的旋转位置信息的误差信息的误差计算部16。
另外，也可以在由第2检测部12进行的检测处理结束后，对标尺S配置第3检测部13。例如，可以在检测处理结束后改变第2检测部12的角度位置而作为第3检测部13进行配置。位置计算部15可以将从角度位置变更后的第2检测部12得到的检测信号用作从第3检测部13得到的检测信号，并计算第1检测部11与第2检测部12的相对位置。实施方式的校正装置1计算检测部2的相对位置，所以在第2检测部12的角度位置改变的情况下，也能够高精度地计算出误差信息。
另外，位置计算部15也可以使用检测信号S1a、检测信号S2a、及检测信号S3a作为从检测部2得到的检测信号来计算第1检测部11与第2检测部12的相对位置。
[第2实施方式]
接下来，对第2实施方式进行说明。在本实施方式中，对与上述实施方式相同的构成标注相同的附图标记并省略或简化其说明。图6是表示第2实施方式的编码器装置及校正装置的图。在本实施方式中，第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13中的至少一个能够从检测部2拆下。图6的(A)是在检测部2设置有第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13的状态。图6的(B)是从检测部2拆下第3检测部13的状态。
在图6的(A)的状态下，第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13分别检测标尺S。第1检测部11将检测信号S1a输出到处理部3。第2检测部12将检测信号S2a输出到处理部3。第3检测部13将检测信号S3a输出到处理部3。处理部3将基于检测信号S1a的旋转位置信息S1b、基于检测信号S2a的旋转位置信息S2b和基于检测信号S3a的旋转位置信息S3b作为从检测部2得到的检测信号输出到校正装置1。
校正装置1具备位置计算部15、误差计算部16及存储部17。校正装置1的位置计算部15基于旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b及旋转位置信息S3b，计算出第1检测部11与第2检测部12的相对位置(例如φ1)。位置计算部15将计算出的第1检测部11与第2检测部12的相对位置存储到存储部17中。此处，如图6的(B)所示，第3检测部13在获取了位置计算部15进行的相对位置的计算处理所使用的检测结果后，被从检测部2拆下。
在图6的(B)的状态下，第1检测部11及第2检测部12分别检测标尺S。第1检测部11将检测信号S1a输出到处理部3。第2检测部12将检测信号S2a输出到处理部3。处理部3将基于检测信号S1a的旋转位置信息S1b和基于检测信号S2a的旋转位置信息S2b作为从检测部2得到的检测信号输出到校正装置1。
校正装置1的误差计算部16基于在图6的(A)中位置计算部15计算出的相对位置、以及在图6的(B)中从处理部3输出的旋转位置信息S1b及旋转位置信息S2b，计算出误差信息。误差计算部16从存储部17读出位置计算部15在图6的(A)中计算出的相对位置，并基于读出的相对位置、旋转位置信息S1b及旋转位置信息S2b计算出误差信息。校正装置1将误差计算部16计算出的误差信息存储在编码器装置EC的存储部4中。
[第3实施方式]
接下来，对第3实施方式进行说明。在本实施方式中，对与上述实施方式相同的构成标注相同的附图标记并省略或简化其说明。图7是表示第3实施方式的编码器装置及校正装置的图。在本实施方式中，检测部2(第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13)被分给编码器装置EC和校正装置1。在图7中，编码器装置EC具备第1检测部11。此外，校正装置1具备第2检测部12及第3检测部13。第2检测部12及第3检测部13能够从检测部2拆下。
在图7的(A)中，标尺S安装于旋转体SF1(第1旋转体)。第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13分别检测标尺S。第1检测部11将检测信号S1a输出到处理部3。第2检测部12将检测信号S2a输出到处理部3。第3检测部13将检测信号S3a输出到处理部3。处理部3将基于检测信号S1a的旋转位置信息S1b、基于检测信号S2a的旋转位置信息S2b和基于检测信号S3a的旋转位置信息S3b作为从检测部2得到的检测信号输出到校正装置1。
校正装置1的位置计算部15基于旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b及旋转位置信息S3b，计算出第1检测部11与第2检测部12的相对位置(例如φ1)。误差计算部16基于位置计算部15计算出的相对位置、及检测部2检测标尺S所得到的检测信号(例如旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b、旋转位置信息S3b)，计算出误差信息。校正装置1将误差计算部16计算出的误差信息存储在编码器装置EC的存储部4中。
在存储部4存储误差信息后，从校正装置1拆下编码器装置EC。通过从校正装置1拆下编码器装置EC，如图7的(B)所示，成为从检测部2拆下了第2检测部12及第3检测部13的状态。在图7的(B)中，标尺S被安装在旋转体SF2(第2旋转体)上。旋转体SF2既可以与图7的(A)的旋转体SF1相同，也可以与旋转体SF1不同。
第1检测部11检测安装于旋转体SF2的标尺S。第1检测部11将检测信号S1a输出到处理部3。处理部3基于检测信号S1a，计算出旋转体SF2的旋转位置信息S1b。处理部3将计算出的旋转位置信息S1b输出到修正部5。修正部5从存储部4读出误差信息，并基于误差信息对旋转体SF2的旋转位置信息S1b进行修正。编码器装置EC向外部输出修正后的旋转位置信息。
[第4实施方式]
接下来，对第4实施方式进行说明。在本实施方式中，对与上述实施方式相同的构成标注相同的附图标记并省略或简化其说明。图8是表示第4实施方式的编码器装置及校正装置的图。在本实施方式中，编码器装置EC具备第1检测部11、处理部3、存储部4及修正部5。此外，在本实施方式中，校正装置1具备第2检测部12、第3检测部13、处理部18、位置计算部15及误差计算部16。
在图8的(A)中，编码器装置EC的第1检测部11检测标尺S。第1检测部11将检测信号S1a输出到处理部3。处理部3基于检测信号S1a，计算出旋转位置信息S1b。编码器装置EC(例如处理部3)将计算出的旋转位置信息S1b输出到校正装置1。
此外，校正装置1的第2检测部12及第3检测部13分别检测标尺S。第2检测部12及第3检测部13分别与由第1检测部11进行的标尺S的检测处理并行地检测标尺S。第2检测部12将检测信号S2a输出到处理部18。处理部18基于检测信号S2a，计算出旋转位置信息S2b。第3检测部13将检测信号S3a输出到处理部18。处理部18基于检测信号S3a，计算出旋转位置信息S3b。处理部18将旋转位置信息S2b及旋转位置信息S3b输出到位置计算部15和误差计算部16的每一个。
位置计算部15使用从编码器装置EC(例如处理部3)输出的旋转位置信息S1b、以及从校正装置1的处理部18输出的旋转位置信息S2b及旋转位置信息S3b作为分别从第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13得到的检测信号，计算出第1检测部11与第2检测部12的相对位置(例如φ1)。位置计算部15也可以计算出第1检测部11与第3检测部13的相对位置(例如φ2)。位置计算部15将计算出的相对位置输出到误差计算部16。
误差计算部16基于从编码器装置EC(例如处理部3)输出的旋转位置信息S1b、处理部18计算出的旋转位置信息S2b及位置计算部15计算出的相对位置(例如φ1)，计算出第1误差信息。误差计算部16基于旋转位置信息S1b、处理部18计算出的旋转位置信息S3b及位置计算部15计算出的相对位置(例如φ2)，计算出第2误差信息。误差计算部16基于第1误差信息及第2误差信息，计算出误差信息。另外，误差计算部16也可以计算出第1误差信息作为误差信息，而不再计算第2误差信息。校正装置1将误差计算部16计算出的误差信息存储在编码器装置EC的存储部4中。
在存储部4存储误差信息后，编码器装置EC如图8的(B)所示被从校正装置1拆下。在图8的(B)中，第1检测部11检测被安装于旋转体(第2旋转体)SF2的标尺S。第1检测部11将检测信号S1a输出到处理部3。处理部3基于检测信号S1a，计算出旋转位置信息S1b。处理部3将计算出的旋转位置信息S1b输出到修正部5。修正部5从存储部4读出误差信息，并基于误差信息对旋转位置信息S1b进行修正。编码器装置EC将修正后的旋转位置信息向外部输出。
本实施方式的编码器装置EC例如能够省去处理部3与第2检测部12的连接、及处理部3与第3检测部13的连接。此外，本实施方式的编码器装置EC例如能够省去检测信号S2a对处理部3的输入处理及检测信号S3a对处理部3的输入处理、以及从处理部3输出旋转位置信息S2b的处理及输出旋转位置信息S3b的处理，处理部3的处理得到简化。
[第5实施方式]
对第5实施方式进行说明。在本实施方式中，对与上述实施方式相同的构成标注相同的附图标记并省略或简化其说明。图9是表示第5实施方式的编码器装置及校正装置的图。在本实施方式中，校正装置1基于从编码器装置EC的修正部5输出的信息，计算出误差信息。编码器装置EC将存储在存储部4中的误差信息更新为校正装置1计算出的误差信息。此处，在图9的(A)中，设为在存储部4中存储有初始误差信息。初始误差信息是例如修正量为0的误差信息。
在图9的(A)中，编码器装置EC的第1检测部11检测安装于旋转体SF1的标尺S。第1检测部11将检测信号S1a输出到处理部3。处理部3基于检测信号S1a计算出旋转位置信息S1b。处理部3将计算出的旋转位置信息S1b输出到修正部5。修正部5基于存储在存储部4中的误差信息对旋转位置信息S1b进行修正。修正部5输出修正后的旋转位置信息。在基于存储在存储部4中的误差信息进行的修正量相当于0的情况下，修正后的旋转位置信息与修正前的旋转位置信息S1b相同。
此外，校正装置1的第2检测部12及第3检测部13分别检测安装于旋转体SF1的标尺S。第2检测部12将检测信号S2a输出到处理部18。处理部18基于检测信号S2a计算出旋转位置信息S2b。第3检测部13将检测信号S3a输出到处理部18。处理部18基于检测信号S3a计算出旋转位置信息S3b。处理部18将旋转位置信息S2b及旋转位置信息S3b输出到位置计算部15和误差计算部16的每一个。
位置计算部15使用从编码器装置EC(例如修正部5)输出的修正后的旋转位置信息(例如旋转位置信息S1b)、以及从处理部18输出的旋转位置信息S2b及旋转位置信息S3b作为分别从第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13得到的检测信号，计算出第1检测部11与第2检测部12的相对位置(例如φ1)。位置计算部15也可以计算出第1检测部11与第3检测部13的相对位置(例如φ2)。位置计算部15将计算出的相对位置输出到误差计算部16。
误差计算部16基于从编码器装置EC(例如处理部3)输出的旋转位置信息S1b、处理部18计算出的旋转位置信息S2b及位置计算部15计算出的相对位置(例如φ1)，计算出第1误差信息。误差计算部16基于旋转位置信息S1b、处理部18计算出的旋转位置信息S3b及位置计算部15计算出的相对位置(例如φ2)，计算出第2误差信息。误差计算部16基于第1误差信息及第2误差信息计算出误差信息。另外，误差计算部16也可以计算出第1误差信息作为误差信息而不再计算第2误差信息。校正装置1将误差计算部16计算出的误差信息输出到编码器装置EC。编码器装置EC将存储在存储部4中的误差信息更新为误差计算部16计算出的误差信息。
在误差信息更新后，编码器装置EC如图9的(B)所示被从校正装置1拆下。在图9的(B)中，第1检测部11检测标尺S。第1检测部11将检测信号S1a输出到处理部3。处理部3基于检测信号S1a，计算出旋转位置信息S1b。处理部3将计算出的旋转位置信息S1b输出到修正部5。修正部5从存储部4读出更新后的误差信息，并基于误差信息对旋转位置信息S1b进行修正。编码器装置EC将修正后的旋转位置信息向外部输出。
本实施方式的编码器装置EC中，修正部5的处理在图9的(A)和图9的(B)中相同，简化了修正部5中的与信号的输入及输出相关的处理。例如，编码器装置EC能够使用对图2所示的控制部MC输出修正后的旋转位置信息的输出***(例如外部输出端子)来作为对校正装置1输出旋转位置信息S1b的输出***，能够避免编码器装置EC的构成变得复杂。
另外，图9的(A)中的存储部4也可以存储校正装置1在上一次校正处理中计算出的误差信息。编码器装置EC也可以将存储在存储部4中的误差信息更新为校正装置1在此次校正处理中计算出的误差信息。
[第6实施方式]
对第6实施方式进行说明。在本实施方式中，对与上述实施方式相同的构成标注相同的附图标记并省略或简化其说明。图10是表示第6实施方式的编码器装置及校正装置的图。在本实施方式中，第1检测部11包含多个检测部(检测部21a、检测部21b)。位置计算部15及误差计算部16中的一者或两者将从多个检测部(检测部21a、检测部21b)得到的信号平均化所得的信号用作第1检测部11的检测信号。
图10的(B)是表示本实施方式的标尺及检测头的图。在编码器装置EC设置有第1读头6及第4读头9。检测部21a设置于第1读头6。检测部21b设置于第4读头9。第4读头9为与第1读头6相同的构成。检测部21a及检测部21b检测标尺S的增量图案INC及绝对图案ABS的每一个。
此处，将第1检测部11(参照图10的(A))所具备的检测部(例如检测部21a、检测部21b)的个数设为Sk(例如2)。以旋转轴AX为中心的第1读头6的检测位置与第4读头9的检测位置的角度Δθ(角度位置的差)被设定为例如2π/Sj[rad]。例如，在图10的(A)中Sj为2，Δθ被设定为π[rad](180°)。
图10的(A)的第1检测部11包含信号处理部22。检测部21a及检测部21b分别将与检测标尺S所得的检测结果相当的检测信号输出到信号处理部22。信号处理部22将来自检测部21a的检测信号和来自检测部21b的检测信号平均化。信号处理部22输出平均化后的信号来作为第1检测部11的检测信号S1a。在用傅立叶级数表示从检测信号S1a得到的旋转位置信息的情况下，奇数次的误差相抵消。因此，本实施方式的误差计算部16对用傅立叶级数表示从检测信号S1a得到的旋转位置信息时的偶数次的分量计算误差信息。
[第7实施方式]
对第7实施方式进行说明。在本实施方式中，对与上述实施方式相同的构成标注相同的附图标记并省略或简化其说明。图11是表示第7实施方式的编码器装置及校正装置的图。图11的(A)中示出了校正处理中的编码器装置EC及校正装置1。在本实施方式中，校正装置1具备检测部2及存储部25。检测部2包含第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13。
位置计算部15基于分别从第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13得到的检测信号(例如旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b、旋转位置信息S3b)，计算出第1检测部11与第2检测部12的相对位置。误差计算部16基于位置计算部15计算出的相对位置、及从检测部2得到的检测信号(例如旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b)，计算出误差信息。存储部25存储误差计算部16计算出的误差信息。校正装置1将存储在存储部25中的误差信息输出到编码器装置EC。编码器装置EC的存储部4存储从校正装置1输出的误差信息。在存储部4存储误差信息后(例如校正处理结束后)，编码器装置EC被从校正装置1拆下。
图11的(B)中示出了校正处理后的编码器装置EC及校正装置1。在图11的(B)中，编码器装置EC具备标尺S、存储部4、修正部5及检测部26。标尺S安装在旋转体SF2上。旋转体SF2既可以与图11的(A)的旋转体SF1相同，也可以与旋转体SF1不同。
对标尺S配置检测部26(第4检测部)。检测部26与图11的(A)示出的第1检测部11、第2检测部12及第3检测部13均不同。检测部26例如安装于从校正装置1拆下的编码器装置EC(例如校正处理后的编码器装置EC)。基于第1检测部11的位置来对标尺S配置检测部26。检测部26被定位为检测部26与标尺S的相对位置和第1检测部11与标尺S的相对位置相同。
图12是表示第7实施方式的编码器装置的检测部的配置方法的例子的图。图12的(A)是表示校正处理中的校正装置1的图。校正装置1具备第1读头6、第2读头7及第3读头8。第1检测部11设置于第1读头6。第2检测部12设置于第2读头7。第3检测部13设置于第3读头8。第1读头6由对准部件27进行定位。对准部件27例如包括定位销。第1读头6例如配置为与对准部件27接触，由此，第1读头6相对于标尺S被定位。通过将第1读头6定位，第1检测部11相对于标尺S被定位。
图12的(B)是表示图12的(A)的校正装置1被拆下后的编码器装置的图。编码器装置EC具备检测头28。检测头28为与图12的(A)的第1读头6相同的构成。检测头28具备检测部26及照射部29。照射部29对增量图案INC及绝对图案ABS的每一个照射光。检测部26分别检测来自增量图案INC的光及来自绝对图案ABS的光。
检测头28与图12的(A)的第1读头6同样，由对准部件27进行定位。检测头28例如配置为与对准部件27接触，由此，检测头28相对于标尺S被定位。通过将检测头28定位，检测部26相对于标尺S被定位。
返回图11的(B)的说明，检测部26检测安装于旋转体SF2的标尺S。检测部26将检测信号S4a输出到处理部3。处理部3基于检测信号S4a，计算出旋转体SF2的旋转位置信息S4b。处理部3将计算出的旋转位置信息S4b输出到修正部5。修正部5基于存储在存储部4中的误差信息，对根据检测部26的检测结果得到的旋转体SF2的旋转位置信息S4b进行修正。编码器装置EC将修正后的旋转位置信息向外部输出。
[第8实施方式]
对第8实施方式进行说明。在本实施方式中，对与上述实施方式相同的构成标注相同的附图标记并省略或简化其说明。图13是表示第8实施方式的编码器装置的图。在本实施方式中，编码器装置EC具备标尺S、检测部26、照射部29、处理部3、存储部4、修正部5、及编码器主体部51。
编码器主体部51被固定在驱动装置MTR的主体部BD上，其中编码器装置EC搭载于驱动装置MTR。主体部BD(驱动部)收纳驱动装置MTR的可动元件(例如电枢)和定子(例如永磁铁)。驱动装置MTR的可动元件相对于定子移动(例如旋转)。旋转体SF2与驱动装置MTR的可动元件连接，与可动元件一同移动(例如旋转)。
编码器主体部51包含第1支承部52(第1支承部件)及第2支承部53(第2支承部件)。第1支承部52与驱动装置MTR中的定子侧的部件(例如主体部BD)固定。第1支承部52含有例如模架或垫片。第1支承部52例如是中空的部件(例如圆筒状的部件)。第1支承部52将标尺S收纳在其内部。标尺S是例如法兰状的部件，经由轴承54支承于第1支承部52。标尺S可相对于第1支承部52旋转地被支承。
第2支承部53相对于第1支承部52配置在驱动装置MTR的相反侧(+Z侧)。第2支承部53固定于第1支承部52。第2支承部53例如设置为将圆筒状的第1支承部52的一侧的开口封闭。标尺S被配置(收纳)于由驱动装置MTR的主体部BD、第1支承部52及第2支承部53围成的空间。
第2支承部53包括处理基板(例如印刷基板)。在第2支承部53形成有例如处理电路、布线、端子等。在第2支承部53安装有例如包括处理电路在内的电子部件。检测头28(检测部26、照射部29)被支承在第2支承部53的与标尺S相对的面。图11的(B)所示的处理部3、存储部4、及修正部5分别安装于第2支承部53。
编码器装置EC例如通过将标尺S和编码器主体部51组装起来而制造。标尺S例如经由轴承54支承于编码器主体部51(例如第1支承部52)，由此，在与旋转轴AX垂直的方向(X方向、Y方向)上相对于检测部26被定位。
[第9实施方式]
对第9实施方式进行说明。在本实施方式中，对与上述实施方式相同的构成标注相同的附图标记并省略或简化其说明。图14是表示第9实施方式的校正装置的图。该校正装置1(例如校正***、制造装置)具备驱动装置61、移动装置62、检测装置63、对准装置64及处理装置65。
在图14的(A)的状态下，驱动装置61及检测装置63配置于检测区域ARa。驱动装置61具备旋转体SF1及驱动部66。编码器装置EC的标尺S安装于旋转体SF1。驱动部66包括例如电动马达，使旋转体SF1旋转。检测装置63具备图12的(A)所示的第1读头6、第2读头7及第3读头8。检测装置63配置在与安装于旋转体SF1的标尺S相对的位置。检测装置63检测标尺S，将检测信号S1a、检测信号S2a及检测信号S3a输出到处理装置65。
处理装置65具备位置计算部15、误差计算部16、处理部18、存储部25及控制部67。位置计算部15、误差计算部16、处理部18、及存储部25分别与图11的(A)相同。处理部18分别就从检测装置63输出的检测信号S1a、检测信号S2a、及检测信号S3a计算出旋转位置信息(例如图11的(A)的旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b、旋转位置信息S3b)。
位置计算部15基于从检测装置63(检测部)得到的检测信号，计算出第1检测部11(参照图12的(A))与第2检测部12(参照图12的(A))的相对位置。位置计算部15使用处理部18计算出的旋转位置信息来作为从检测装置63(检测部)得到的检测信号。误差计算部16基于从检测装置63(检测部2、检测***)得到的检测信号及位置计算部15计算出的相对位置，计算出误差信息。误差计算部16使用处理部18计算出的旋转位置信息来作为从检测装置63(检测部)得到的检测信号。误差计算部16将计算出的误差信息存储在存储部25中。
移动装置62使驱动装置61在检测区域ARa和组装区域ARb之间移动。在由检测装置63进行的标尺S的检测处理结束后，如图14(B)所示，移动装置62使安装有标尺S的驱动装置61从检测区域ARa移动至组装区域ARb。对准装置64配置于组装区域ARb。对准装置64具备保持部68及移动部69。保持部68保持编码器主体部51(参照图13)。
编码器主体部51与图11的(B)同样，支承处理部3、存储部4、修正部5及检测部26。保持部68将编码器主体部51保持在与标尺S相对的位置，所述标尺S安装在驱动装置61的旋转体SF1上。移动部69使保持有编码器主体部51的保持部68与安装于旋转体SF1的标尺S接近，对编码器装置EC的标尺S和编码器主体部51进行定位。例如，标尺S配置于编码器主体部51的下方，移动部69使保持有编码器主体部51的保持部68下降。
标尺S和编码器主体部51在组装区域ARb被组装起来。在标尺S与编码器主体部51被定位的状态下，标尺S例如经由图13所示的轴承54被安装于编码器主体部51。对准装置64也可以执行标尺S与编码器主体部51的组装处理的至少一部分。标尺S被安装于编码器主体部51，由此，编码器装置EC组装完成(制造完成)。
如图14的(C)所示，处理装置65经由接触探针70(例如外部连接端子)以可通讯的方式与编码器主体部51连接。处理装置65经由接触探针70将存储在存储部25中的误差信息输出到编码器主体部51。图11的(B)所示的存储部4经由接触探针70获取误差信息，并存储误差信息。
处理装置65的控制部67控制校正装置1的各部分。控制部67在图14的(A)的状态下控制驱动装置61，使安装有标尺S的旋转体SF1旋转。此外，控制部67控制检测装置63，使检测装置63对与旋转体SF1一同旋转的标尺S执行检测处理。控制部67使检测信号S1a、检测信号S2a及检测信号S3a分别从检测装置63输出。控制部67使位置计算部15执行相对位置的计算处理。此外，控制部67使误差计算部16执行误差信息的计算处理。
控制部67控制移动装置62，在由检测装置63进行的检测处理结束后使驱动装置61向组装区域ARb移动。控制部67控制对准装置64，例如使编码器装置EC在组装区域ARb组装。控制部67将存储在存储部25中的误差信息存储在编码器装置EC的存储部4(参照图11的(B))中。另外，控制部67也可以设置于处理装置65以外的装置(例如控制装置)。此外，控制部67也可以不执行上述控制的至少一部分。例如，可以由操作员来执行上述控制的至少一部分。
[第10实施方式]
对第10实施方式进行说明。在本实施方式中，对与上述实施方式相同的构成标注相同的附图标记并省略或简化其说明。图15是表示第10实施方式的校正装置的图。校正装置1具备驱动装置61、旋转体SF1、编码器装置EC2及处理装置65。校正装置1对编码器装置EC2执行校正处理。校正装置1基于校正后的编码器装置EC2检测到的旋转体SF1的旋转位置信息、和校正对象的编码器装置EC检测到的旋转体SF1的旋转位置信息，生成对于编码器装置EC的误差信息。
校正装置1的旋转体SF1经由动力传递部件75与驱动装置61连接。动力传递部件75为例如传动带等，挂设在旋转体SF1和驱动装置61的旋转体SF3上。驱动装置61使旋转体SF3旋转，由此经由动力传递部件75将驱动力(旋转力)供给至旋转体SF1，使旋转体SF1旋转。
校正对象的编码器装置EC为与图11的(B)同样的构成。编码器装置EC具备标尺S及编码器主体部51。标尺S安装于旋转体SF1。例如，标尺S安装于旋转体SF1的端部。编码器装置EC将检测安装于旋转体SF1的标尺S所得到的检测信号输出到处理装置65。
编码器装置EC2与校正对象的编码器装置EC分别设置。编码器装置EC2具备标尺SB及编码器主体部76。标尺SB与校正对象的编码器装置EC的标尺S同样，安装于旋转体SF1。例如，标尺SB安装于旋转体SF1的与标尺S相反侧的端部。在旋转体SF1旋转时，标尺SB旋转的角度与标尺S旋转的角度相同。
在编码器主体部76设有图12所示的第1读头6、第2读头7及第3读头8。编码器主体部76输出图12所示的第1读头6、第2读头7及第3读头8检测标尺SB所得到的检测信号。编码器主体部76将例如图11的(A)所示的旋转位置信息S1b、旋转位置信息S2b及旋转位置信息S3b作为检测标尺SB所得到的检测信号，输出到处理装置65。
处理装置65具备位置计算部15、误差计算部16、存储部25、控制部67及比较部77。位置计算部15基于从编码器装置EC2输出的检测信号，计算出图12所示的第1读头6与第2读头7的相对位置。误差计算部16基于位置计算部15计算出的相对位置，计算出对于编码器装置EC的误差信息。处理装置65将误差计算部16计算出的误差信息输出到编码器主体部76。编码器装置EC2基于误差信息，修正旋转位置信息。编码器装置EC2能够将修正后的旋转位置信息输出到处理装置65。
比较部77对从编码器装置EC输出的旋转位置信息和从编码器装置EC2输出的修正后的旋转位置信息进行比较。比较部77例如将从编码器装置EC输出的旋转位置信息作为读取值，将从编码器装置EC2输出的修正后的旋转位置信息作为校正值，计算出(生成)对于编码器装置EC的误差信息。例如，比较部77生成将从编码器装置EC输出的旋转位置信息(读取值)和从编码器装置EC2输出的修正后的旋转位置信息(校正值)设为一组的信息来作为对于编码器装置EC的误差信息。存储部25存储对于编码器装置EC的误差信息。
处理装置65将比较部77计算出的误差信息输出到编码器装置EC。编码器装置EC将从处理装置65输出的误差信息存储在存储部4(参照图11的(B))中。编码器装置EC的修正部5(参照图11的(B))基于存储在存储部4中的误差信息，修正根据检测部26的检测结果而得到的旋转位置信息。编码器装置EC将修正后的旋转位置信息向外部装置输出。
[驱动装置]
接下来，对实施方式的驱动装置进行说明。图16是表示实施方式的驱动装置的图。在以下说明中，对与上述实施方式相同或等同的构成部分标注相同的附图标记并省略或简化说明。该驱动装置MTR为包含电动马达在内的马达装置。驱动装置MTR具备旋转体SF、主体部BD和编码器装置EC。旋转体SF例如是图1所示的旋转体SF1或图2所示的旋转体SF2。
旋转体SF具有负载侧端部SFa和负载相反侧端部SFb。负载侧端部SFa与减速器等其他动力传递机构连接。在负载相反侧端部SFb经由固定部固定有标尺S。主体部BD驱动旋转体SF而使之旋转。与标尺S的固定一同，编码器装置EC被安装于主体部BD。编码器装置EC是上述实施方式或其组合得到的编码器装置。
驱动装置MTR使用编码器装置EC的检测结果，控制主体部BD。因为编码器装置EC输出修正后的旋转位置信息，所以驱动装置MTR能够高精度地控制旋转体SF的旋转。另外，驱动装置MTR不限于马达装置，也可以是具有利用液压或空压来进行旋转的轴部的其他驱动装置。
[载台装置]
接下来，对实施方式的载台装置进行说明。在以下说明中，对与上述实施方式相同或等同的构成部分标注相同的附图标记并省略或简化说明。图17是表示实施方式的载台装置的图。该载台装置STG是在图17所示的驱动装置MTR的旋转体SF中的负载侧端部SFa安装有载台(旋转台TB、移动物体)的构成。
载台装置STG驱动驱动装置MTR而使旋转体SF旋转。该旋转被传递至旋转台TB，编码器装置EC检测旋转体SF的旋转位置信息。载台装置STG使用来自编码器装置EC的输出来控制旋转台TB的位置。因为编码器装置EC输出修正后的旋转位置信息，所以载台装置STG能够高精度地控制旋转台TB的位置。
另外，也可以在驱动装置MTR的负载侧端部SFa与旋转台TB之间配置减速器等。此外，载台装置STG例如能够适用于车床等工作机械所具备的旋转台等。此外，载台装置STG也可以是将旋转体SF的旋转运动转换为直线运动而使载台移动的装置(例如X载台、XY载台、XYZ载台)。
[机械手装置]
接下来，对实施方式的机械手装置进行说明。图18是表示实施方式的机械手装置的图。图18中示出了机械手装置RBT的一部分(关节部分)。在以下说明中，对与上述实施方式相同或等同的构成部分标注相同的附图标记并省略装置或简化说明。该机械手装置RBT具有第1臂AR1、第2臂AR2和关节部JT。第1臂AR1经由关节部JT与第2臂AR2连接。
第1臂AR1具备臂部101、轴承101a及轴承101b。第2臂AR2具有臂部102及连接部102a。连接部102a在关节部JT配置于轴承101a与轴承101b之间。连接部102a与旋转体SFR一体地设置。旋转体SFR在关节部JT处***于轴承101a和轴承101b这两者。旋转体SFR中的***于轴承101b侧的端部贯穿轴承101b而与减速器RG连接。
减速器RG与驱动装置MTR连接。减速器RG将驱动装置MTR的旋转按规定变速比减速后传递到旋转体SFR。驱动装置MTR的旋转体的负载侧端部与减速器RG连接。此外，在驱动装置MTR的旋转体的负载相反侧端部安装有编码器装置EC的标尺。
关于机械手装置RBT，若驱动驱动装置MTR而使旋转体旋转，则该旋转经由减速器RG传递到旋转体SFR。通过旋转体SFR的旋转，连接部102a一体地旋转，第2臂AR2相对于第1臂AR1旋转。此时，编码器装置EC检测驱动装置MTR的旋转体的旋转位置信息。机械手装置RBT使用从编码器装置EC输出的旋转位置信息来控制第2臂AR2的位置。因为编码器装置EC输出修正后的旋转位置信息，所以机械手装置RBT能够高精度地控制第2臂AR2的位置。另外，机械手装置RBT不限定于上述构成，驱动装置MTR能够适用于具备关节的各种机械手装置。
在上述实施方式中，校正装置1包括例如计算机***。校正装置1读出存储在存储装置(例如图14的(A)的存储部25)中的校正程序，并根据该校正程序执行各种处理。该校正程序使计算机执行：基于分别从对标尺(其安装于旋转体)配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置；和基于检测信号及计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。该校正程序也可以记录在计算机可读取的存储介质(例如非暂态记录介质，non-transitory tangiblemedia)中来提供。
需要说明的是，本发明的技术范围不限定于上述实施方式等中说明的方式。有省略上述实施方式等中说明的1个以上要件的情况。此外，上述实施方式等中说明的要件能够适当地组合。此外，在法令允许的范围内，在上述实施方式等中援用所引用文献的公开内容而作为本文记载的一部分。
附图标记说明
1…校正装置，2…检测部，4…存储部，5…修正部，S…标尺，11…第1检测部，12…第2检测部，13…第3检测部，15…位置计算部，16…误差计算部，EC…编码器装置，EC2…编码器装置，MTR…驱动装置，RBT…机械手装置，SF1…旋转体，SF2…旋转体，STG…载台装置。

Claims (32)

1.一种编码器装置，其特征在于，具备：
标尺，其安装于旋转轴；
第1检测部，其检测所述标尺并输出第1检测信号；
存储部，其存储误差信息，所述误差信息是使用两个检测部中的至少一个检测部与所述第1检测部的相对位置而计算出的，其中，所述两个检测部是不同于所述第1检测部的检测部，所述两个检测部中的至少一个检测部与所述第1检测部的相对位置是基于所述第1检测信号、第2检测信号及第3检测信号计算出的，所述第2检测信号和所述第3检测信号是所述两个检测部检测所述标尺并输出的信号；和
修正部，其使用所述误差信息，修正从所述第1检测信号得到的所述旋转轴的旋转位置信息。
2.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，
具备处理部，所述处理部基于所述第1检测信号计算出所述旋转位置信息。
3.如权利要求1或2所述的编码器装置，其特征在于，
具备位置计算部，所述位置计算部计算出在从所述旋转轴的旋转轴方向观察时所述第1检测部与所述两个检测部中的一个检测部以所述旋转轴为中心所成的角来作为所述相对位置。
4.如权利要求3所述的编码器装置，其特征在于，
所述位置计算部基于所述第1检测信号与所述第2检测信号之差、及所述第1检测信号与所述第3检测信号之差，计算出所述相对位置。
5.如权利要求3或4所述的编码器装置，其特征在于，
所述位置计算部基于所述第1检测信号与所述第2检测信号之差的振幅及相位、以及所述第1检测信号与所述第3检测信号之差的振幅及相位，计算出所述相对位置。
6.一种编码器装置，计算旋转轴的旋转位置信息，所述编码器装置的特征在于，具备：
标尺，其安装于所述旋转轴；
被校正用检测部，其固定于基板，检测所述标尺并输出第1检测信号；
处理部，其基于所述第1检测信号计算出所述旋转位置信息；和
修正部，其使用存储于存储部的误差信息对所述旋转位置信息进行修正，
在计算所述误差信息的情况下，两个校正用检测部被安装于所述基板，所述误差信息是基于所述被校正用检测部与至少一个所述校正用检测部的相对位置而计算出的，所述被校正用检测部与至少一个所述校正用检测部的相对位置是使用所述第1检测信号、第2检测信号及第3检测信号而计算出的，所述第2检测信号和所述第3检测信号是所述两个校正用检测部检测所述标尺并输出的信号。
7.如权利要求6所述的编码器装置，其特征在于，
在计算所述旋转位置信息的情况下，在所述两个校正用检测部被从所述基板拆下的状态下，所述处理部使用所述第1检测信号计算出所述旋转位置信息。
8.如权利要求6或7所述的编码器装置，其特征在于，
具备位置计算部，所述位置计算部计算出在从所述旋转轴的旋转轴方向观察时所述被校正用检测部与所述两个校正用检测部中的一个校正用检测部以所述旋转轴为中心所成的角来作为所述相对位置。
9.如权利要求8所述的编码器装置，其特征在于，
所述位置计算部基于所述第1检测信号与所述第2检测信号之差、及所述第1检测信号与所述第3检测信号之差，计算出所述相对位置。
10.一种校正装置，其特征在于，具备：
位置计算部，其基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出所述第1检测部与所述第2检测部的相对位置，其中所述标尺安装于旋转体；和
误差计算部，其基于所述检测信号及所述位置计算部计算出的所述相对位置，计算出相对于所述旋转体的旋转位置信息的误差信息。
11.如权利要求10所述的校正装置，其特征在于，
所述位置计算部计算出在从所述旋转体的旋转轴方向观察时所述第1检测部与所述第2检测部以所述旋转体的旋转轴为中心所成的角来作为所述相对位置。
12.如权利要求10或11所述的校正装置，其特征在于，
所述位置计算部基于从所述第1检测部得到的第1检测信号与从所述第2检测部得到的第2检测信号之差、及所述第1检测信号与从所述第3检测部得到的第3检测信号之差，计算出所述相对位置。
13.如权利要求12所述的校正装置，其特征在于，
所述位置计算部基于所述第1检测信号与所述第2检测信号之差的振幅及相位、以及所述第1检测信号与所述第3检测信号之差的振幅及相位，计算出所述相对位置。
14.如权利要求10至13中任一项所述的校正装置，其特征在于，
所述误差计算部使用所述位置计算部计算出的所述相对位置，计算相对于从所述第1检测部得到的第1检测信号的第1误差信息来作为所述误差信息。
15.如权利要求14所述的校正装置，其特征在于，
所述位置计算部计算所述第1检测部与所述第3检测部的第2相对位置，
所述误差计算部使用所述位置计算部计算出的所述第2相对位置，计算相对于从所述第1检测部得到的第1检测信号的第2误差信息来作为所述误差信息。
16.如权利要求15所述的校正装置，其特征在于，
所述位置计算部基于从所述第1检测部得到的第1检测信号与从所述第2检测部得到的第2检测信号之差、及所述第1检测信号与从所述第3检测部得到的第3检测信号之差，计算出所述第2相对位置。
17.如权利要求15或16所述的校正装置，其特征在于，
所述误差计算部基于所述第1误差信息和所述第2误差信息，计算出所述误差信息。
18.如权利要求17所述的校正装置，其特征在于，
所述误差计算部通过所述第1误差信息与所述第2误差信息的平均值来计算出所述误差信息。
19.如权利要求10至18中任一项所述的校正装置，其特征在于，
所述误差计算部基于从所述第1检测部得到的第1检测信号与从所述第2检测部得到的第2检测信号之差的振幅、及所述第1检测信号与从所述第3检测部得到的第3检测信号之差的振幅，计算出所述误差信息。
20.如权利要求10至19中任一项所述的校正装置，其特征在于，
所述误差计算部计算出对于所述旋转体的旋转位置信息的修正量来作为所述误差信息。
21.如权利要求10至20中任一项所述的校正装置，其特征在于，
所述第1检测部包含多个检测部，
所述位置计算部及所述误差计算部中的一者或两者将从所述多个检测部得到的信号平均化所得的信号用作所述第1检测部的检测信号。
22.如权利要求10至21中任一项所述的校正装置，其特征在于，
在将2以上的整数设为i时，所述误差计算部计算出表示所述第1检测部的检测结果的傅立叶级数的i次分量的误差，
在将2以上的整数设为j时，所述第1检测部与所述第2检测部在所述旋转体的旋转方向上的角度、和所述第1检测部与所述第3检测部在所述旋转体的旋转方向上的角度中的一者或两者被设定为2π/j×i[rad]以外的角度。
23.如权利要求10至22中任一项所述的校正装置，其特征在于，
具备包括所述第1检测部、所述第2检测部及所述第3检测部的检测部，
所述第1检测部、所述第2检测部及所述第3检测部中的至少一个能够从所述检测部拆下。
24.一种驱动装置，其特征在于，具备：
权利要求1至23中任一项所述的编码器装置；和
向所述旋转轴供给驱动力的驱动部。
25.一种载台装置，其特征在于，具备：
权利要求24所述的驱动装置；和
利用所述驱动装置而移动的载台。
26.一种机械手装置，其特征在于，具备：
权利要求24所述的驱动装置；和
利用所述驱动装置而移动的臂。
27.一种编码器装置的制造方法，其特征在于，包括：
基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出所述第1检测部与所述第2检测部的相对位置，其中所述标尺安装于旋转体；
基于所述检测信号及所计算出的所述相对位置，计算出相对于所述旋转体的旋转位置信息的误差信息；和
将所述误差信息存储到编码器装置的存储部中。
28.如权利要求27所述的编码器装置的制造方法，其特征在于，所述相对位置包括在从所述旋转体的旋转轴方向观察时，所述第1检测部与所述第2检测部所成的角的角度位置。
29.如权利要求27或28所述的编码器装置的制造方法，其特征在于，包括：
在计算出所述误差信息后，将所述第1检测部、所述第2检测部及所述第3检测部中的至少一个检测部从所述编码器装置拆下。
30.如权利要求27至29中任一项所述的编码器装置的制造方法，其特征在于，包括：
在计算出所述误差信息后，从所述编码器装置拆下所述第1检测部、所述第2检测部及所述第3检测部，在所述编码器装置中对所述标尺安装被校正用检测部。
31.如权利要求27至30中任一项所述的编码器装置的制造方法，其特征在于，
计算出所述第1检测部与所述第3检测部的第2相对位置，使用所述第2相对位置计算出第2误差信息来作为所述误差信息。
32.一种校正程序，其特征在于，使计算机执行：
基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出所述第1检测部与所述第2检测部的相对位置，其中所述标尺安装于旋转体；和
基于所述检测信号及所计算出的所述相对位置，计算出相对于所述旋转体的旋转位置信息的误差信息。
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