CN110954652B - 校验装置和校验方法 - Google Patents

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CN110954652B CN201911027869.4A CN201911027869A CN110954652B CN 110954652 B CN110954652 B CN 110954652B CN 201911027869 A CN201911027869 A CN 201911027869A CN 110954652 B CN110954652 B CN 110954652B
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Abstract

本发明适用于仪器仪表领域，提供了一种校验装置和校验方法，该装置包括：通过气体管路依次连接的气体混合模块、校验模块、尾气模块和气体循环模块；所述气体循环模块和所述气体混合模块通过气体管路连接；所述气体混合模块，用于配置混合气体；所述校验模块，用于通过所述混合气体对待校验设备进行校验；所述尾气模块，用于对所述校验模块使用后的混合气体进行存放；所述气体循环模块，用于将所述尾气模块存放的混合气体充入气体混合模块进行循环利用。本发明可以提高对混合气体混合比检测仪进行校验的精度、提高校验过程中混合气体的利用率并且不对环境造成污染。

Description

校验装置和校验方法
技术领域
本发明属于仪器仪表领域，具体涉及一种校验装置和校验方法。
背景技术
近年来，国内外对减少温室气体排放、保护环境工作越来越重视，为响应环保要求，各大相关行业均在减少六氟化硫温室气体的排放；在高压开关电气设备中也在减少SF6气体用量，推进混合绝缘气体在电气设备的应用，尤其是推动SF6和N2混合气体或SF6和CF4混合气体的使用。在使用中，为确保SF6混合气体的绝缘性能，需对SF6混合气体进行混合比检测，为了确保检测结果的准确性，需要对混合气体混合比检测仪进行校验。
目前均是通过标气，对混合气体混合比检测仪进行校验，其校验结果的准确程度取决于标气的准确程度。然而使用标气存在以下问题：第一，标气为一次性配成的混合气体，被存放于封闭罐体内，随着存放时间变长及环境影响，标气的体积混合比例会发生变化，导致在使用标气对混合气体混合比检测仪进行校验时，降低了校验的精确度；第二，应用过的标气直接排放到环境中，不仅浪费气体还会污染环境。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例提供了提供一种校验装置和校验方法，以解决现有的校验方式校验精确度低、浪费气体和污染环境的问题。
本发明实施例的第一方面提供了一种校验装置，包括通过气体管路依次连接的气体混合模块、校验模块、尾气模块和气体循环模块；所述气体循环模块和所述气体混合模块通过气体管路连接；
所述气体混合模块，用于配置混合气体；
所述校验模块，用于通过所述混合气体对待校验设备进行校验；
所述尾气模块，用于对所述校验模块使用后的混合气体进行存放；
所述气体循环模块，用于将所述尾气模块存放的混合气体充入气体混合模块进行循环利用。
本发明实施例的第二方面提供了一种应用于如第一方面所述校验装置的校验方法，所述校验方法包括：
通过气体混合模块配置混合气体；
通过所述混合气体对所述待校验设备进行校验；
通过尾气模块对所述校验模块使用后的混合气体进行存放；
通过气体循环模块将所述尾气模块存放的混合气体充入气体混合模块进行循环利用。
本发明中的校验装置，气体混合模块直接配制混合气体，避免了标气随着存放时间及环境影响体积混合比发生变化的问题，提高了校验的精度；气体循环模块将尾气模块存放的混合气体充入气体混合模块进行循环利用，提高了混合气体的利用效率，减少了混合气体的使用量；尾气模块对所述校验模块使用后的混合气体进行存放，避免了混合气体直接排放到环境中，从而解决了污染环境的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的校验装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的气体混合模块的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的校验模块的结构示意图；
图4为本发明实施例提供的尾气模块的结构示意图；
图5为本发明实施例提供的气体循环模块的结构示意图；
图6为本发明实施例提供的校验方法的流程示意图；
图7为本发明实施例提供的配置混合气体的流程示意图。
具体实施方式
以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定***结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本发明实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本发明。在其它情况中，省略对众所周知的***、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本发明的描述。
为了说明本发明所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。
图1为本发明实施例提供的校验装置的结构示意图，参见图1，该校验装置可以包括通过气体管路依次连接的气体混合模块100、校验模块200、尾气模块300和气体循环模块400；所述气体循环模块400和所述气体混合模块100通过气体管路连接；
所述气体混合模块100，用于配置混合气体；
所述校验模块200，用于通过所述混合气体对待校验设备进行校验；
所述尾气模块300，用于对所述校验模块200使用后的混合气体进行存放；
所述气体循环模块400，用于将所述尾气模块300存放的混合气体充入气体混合模块100进行循环利用。
在本申请实施例中，气体混合模块100直接配制混合气体，避免了标气随着存放时间及环境影响体积混合比发生变化的问题，提高了校验的精度；气体循环模块400将尾气模块300存放的混合气体充入气体混合模块100进行循环利用，提高了混合气体的利用效率，减少了混合气体的使用量；尾气模块300对所述校验模块200使用后的混合气体进行存放，避免了混合气体直接排放到环境中，从而解决了污染环境的问题。
作为本申请另一实施例，所述气体混合模块可以包括：第一预设气体瓶、第二预设气体瓶、混合气体罐、第一自封接头和第二自封接头；所述第一预设气体瓶，与所述混合气体罐连接，用于向所述混合气体罐提供第一预设气体；所述第二预设气体瓶，与所述混合气体罐连接，用于向所述混合气体罐提供第二预设气体；所述混合气体罐，用于混合所述第一预设气体和所述第二预设气体形成所述混合气体；所述第一自封接头，设置在所述混合气体罐和所述校验模块之间，用于将所述混合气体罐内的混合气体充入所述校验模块；所述第二自封接头，设置在所述混合气体罐和所述气体循环模块之间，用于将流经所述气体循环模块的混合气体充入至所述混合气体罐；所述第一预设气体包括SF6气体，所述第二预设气体包括N2气体或CF4气体。
作为本申请另一实施例，所述气体混合模块还可以包括：设置在所述第一预设气体瓶底部的第一称重器、设置在所述第二预设气体瓶底部的第二称重器和设置在所述混合气体罐底部的第三称重器；设置在所述混合气体罐上的第一安全阀、第一压力传感器和温度传感器；第一单向阀、第一质量流量计、第二单向阀和第二质量流量计，其中，所述第一预设气体瓶、所述第一单向阀、所述第一质量流量计和所述混合气体罐的第一进气口依次通过气体管路连接；所述第二预设气体瓶、所述第二单向阀、所述第二质量流量计和所述混合气体罐的第二进气口依次通过气体管路连接；第一电磁阀、第二电磁阀，其中，所述混合气体罐的出气口、所述第一电磁阀和所述第一自封接头依次通过气体管路连接，所述第二自封接头、所述第二电磁阀和所述混合气体罐的循环进气口依次通过气体管路连接。
在本申请的一些实施例中，参见图2，气体混合模块100可以包括：第一预设气体瓶101、第二预设气体瓶109、混合气体罐104、第一自封接头106和第二自封接头107。其中，第一预设气体瓶101中装有第一预设气体，第二预设气体瓶109中装有第二预设气体，本申请实施例中，待校验设备为对SF6混合气体进行混合比检测的混合气体混合比检测仪，对应的，所述第一预设气体为SF6气体，所述第二预设气体为N2气体或CF4气体。在实际应用中，第一预设气体和第二预设气体的类别可以根据待校验仪器的改变而对应变化。混合气体罐104分别与第一预设气体瓶101和第二预设气体瓶109连接，用于混合所述第一预设气体和所述第二预设气体形成所述混合气体。第一自封接头106与混合气体罐104通过气体管路连接，设置在混合气体罐104和校验模块200之间，用于将混合气体罐内104的混合气体充入校验模块200。第二自封接头107，设置在混合气体罐104和气体循环模块400之间，用于将流经气体循环模块400的混合气体充入至混合气体罐104内。
为了在实际操作中控制第一预设气体和第二预设气体的输送和准确控制配置混合气体的质量流量，气体混合模块100还可以包括第一单向阀102、第一质量流量计103、第二单向阀111和第二质量流量计110，其中，第一预设气体瓶101、第一单向阀102、第一质量流量计103和混合气体罐104的第一进气口依次通过气体管路连接。为了在配置混合气体时监测混合气体罐104内混合气体的质量、第一预设气体瓶101内第一预设气体的质量和第二预设气体瓶109内第二预设气体的质量，气体混合模块100还可以包括设置在第一预设气体瓶101底部的第一称重器116、设置在第二预设气体瓶109底部的第二称重器117和设置在混合气体罐104底部的第三称重器115。气体混合模块100还可以包括设置在混合气体罐104上的第一安全阀113、第一压力传感器112和温度传感器114；其中，第一安全阀113在混合气体罐104内气体压力超过预设的压强时，对混合气体罐104进行放气，降低安全风险；第一压力传感器112监测混合气体罐104内的气体压强；温度传感器114监测混合气体罐104内的温度。为了控制第一自封接头106与混合气体罐104之间的气体管路和第二自封接头与混合气体罐104之间的气体管路，气体混合模块100还可以包括：第一电磁阀105和第二电磁阀108，其中，混合气体罐104的出气口、第一电磁阀105和所述第一自封接头106依次通过气体管路连接，所述第二自封接头107、第二电磁阀108和混合气体罐104的循环进气口依次通过气体管路连接。
作为本申请另一实施例，所述校验模块包括：第三自封接头、高低温箱、第四自封接头、放置平台、进气阀和尾气阀；所述第三自封接头，与所述气体混合模块连接；所述高低温箱，用于提供校验时的环境温度；所述进气阀，设置于所述高低温箱内，与所述第三自封接头通过气体管路连接，用于将所述气体混合模块中混合气体通过所述第三自封接头充入待校验设备进行校验；所述放置平台，设置于所述高低温箱内，用于放置待校验设备；所述尾气阀，设置于所述高低温箱内，用于将待校验设备校验过程中使用的混合气体流向所述第四自封接头；所述第四自封接头，与所述尾气模块连接，用于将经由所述尾气阀排出的混合气体充入所述尾气模块。
作为本申请另一实施例，所述校验模块还包括：第三预设气体瓶、减压阀、第一三通接头、第二三通接头和第一放气阀；第三预设气体瓶、减压阀和第一三通接头中的第三接头依次通过气体管路连接；其中，所述第三预设气体瓶用于盛放对所述待校验设备进行调零的第三预设气体；所述第三自封接头与第一三通接头中的第一接头连接，所述第一三通接头中的第二接头与所述进气阀连接；所述尾气阀与第二三通接头中的第一接头连接，所述第二三通接头中的第二接头与所述第四自封接头连接；所述第一放气阀和第二三通接头中的第三接头连接；对待校验设备调零时，所述第三预设气体瓶中的第三预设气体依次通过所述减压阀、所述第一三通接头和所述进气阀流入待校验设备；调零时的尾气依次通过所述尾气阀、所述第二三通接头和所述第一放气阀排放出。
在本申请的一些实施例中，参见图3，校验模块200可以包括：第三自封接头201，与气体混合模块100连接；高低温箱203，用于提供校验时的环境温度，可控制温度范围为-50℃～50℃，控制精度为±0.5℃；进气阀207，设置于高低温箱303内，与第三自封接头201通过气体管路连接，用于将气体混合模块100中混合气体通过第三自封接头201充入待校验设备进行校验；放置平台206，设置于所述高低温箱203内，用于放置待校验设备；尾气阀208，设置于高低温箱203内，用于将待校验设备校验过程中使用的混合气体流向第四自封接头205；第四自封接头205，与尾气模块300连接，用于将经由所述尾气阀208排出的混合气体充入尾气模块300。在校验时，待校验设备放置于放置平台206上，待校验设备的进气口连接进气阀207，待校验设备的出气口连接尾气阀208。
为了方便对待校验设备进行调零，校验模块200还可以包括第三预设气体瓶210、减压阀209、第一三通接头202、第二三通接头204和第一放气阀211；其中，第三预设气体瓶210、减压阀209和第一三通接头202中的第三接头依次通过气体管路连接；第三预设气体瓶210用于盛放对所述待校验设备进行调零的第三预设气体，本申请实施例中，第三预设气体为N2或CF4气体；第三自封接头201与第一三通接头202中的第一接头连接，第一三通接头202中的第二接头与进气阀207连接；尾气阀208与第二三通接头204中的第一接头连接，第二三通接头204中的第二接头与第四自封接头205连接；第一放气阀208和第二三通接头204中的第三接头连接。在对待校验设备调零时，第三预设气体瓶中的第三预设气体依次通过减压阀209、第一三通接头202和进气阀207流入待校验设备，调零时的尾气依次通过尾气阀208、第二三通接头204和第一放气阀211排放出。
作为本申请另一实施例，所述尾气模块可以包括：第五自封接头、尾气罐和第六自封接头；所述第五自封接头，与所述校验模块连接，用于将所述校验模块排出的混合气体充入所述尾气罐；所述尾气罐，与所述第五自封接头连接，用于收集所述校验模块排出的混合气体；所述第六自封接头，与所述尾气罐连接，用于将尾气罐中的混合气体充入所述气体循环模块。
作为本申请另一实施例，所述尾气模块还可以包括：设置在所述尾气罐与所述第五自封接头之间的第三电磁阀、设置在所述尾气罐与所述第六自封接头之间的第四电磁阀；第一压缩机、第三单向阀和混合气体瓶，其中，所述尾气罐、所述第一压缩机、所述第三单向阀和所述混合气体瓶通过气体管路依次连接；设置于所述尾气罐顶部的第二安全阀和设置于所述尾气罐顶部的第二压力传感器；在对混合气体回收时，所述尾气罐中的混合气体依次通过所述压缩机和所述第三单向阀充入所述混合气体瓶。
在本申请的一些实施例中，参见图4，尾气模块300可以包括：第五自封接头301、尾气罐303和第六自封接头307；第五自封接头301，与校验模块200连接，用于将校验模块200排出的混合气体充入尾气罐303；尾气罐303，与第五自封接头连接，用于收集校验模块200排出的混合气体；第六自封接头307，与尾气罐303连接，用于将尾气罐303中的混合气体充入气体循环模块400。
为了方便对尾气模块300的气体管路中流经的气体进行控制，尾气模块300还可以包括：设置在尾气罐303与第五自封接头301之间的第三电磁阀302、设置在尾气罐303与第六自封接头307之间的第四电磁阀308。为了对校验使用后的混合气体进行回收处理，尾气模块300还可以包括：第一压缩机304、第三单向阀305和混合气体瓶306，其中，尾气罐303、第一压缩机304、第三单向阀305和混合气体瓶306通过气体管路依次连接。在对混合气体回收时，在压缩机304的作用下，尾气罐303中的混合气体依次通过压缩机304和第三单向阀305充入混合气体瓶306。完成混合气体回收后，对充入混合气体瓶306的混合气体可以进行二次利用或者无害处理。出于安全考虑，尾气模块300还可以包括设置于所述尾气罐303上的第二安全阀309和设置于所述尾气罐303顶部第二压力传感器310。
作为本申请另一实施例，气体循环模块可以包括：第七自封接头、第二压缩机、第四单向阀和第八自封接头；所述第七自封接头，与所述尾气模块连接，所述第二压缩机，与所述第七自封接头连接，用于通过所述第七自封接头抽取所述尾气模块存放的混合气体；所述第四单向阀，设置于所述第二压缩机和所述第八自封接头之间，用于将所述第二压缩机抽取的混合气体向所述第八自封接头的方向传输；所述第八自封接头，与所述第四单向阀连接，用于将所述第四单向阀传输的混合气体充入所述气体混合模块进行循环利用。
作为本申请另一实施例，气体循环模块还可以包括：第三三通接头、第五电磁阀、第五三通接头、第四三通接头、真空泵、第五单向阀、吸附剂罐和第二放气阀；所述第三三通接头、所述第五电磁阀和所述第五三通接头设置于所述第七自封接头和所述第八自封接头之间通过气体管路依次连接；所述第四三通接头中的第一接头连接所述第三三通接头中的第三接头，所述第四三通接头中的第二接头连接所述第二压缩机，所述第四三通接头中的第三接头、所述真空泵、所述第五单向阀、所述吸附剂罐和所述第二放气阀通过气体管路依次连接；对校验装置进行抽真空时，所述校验装置中的气体依次通过所述第七自封接头、所述第三三通接头、所述第四三通接头、所述真空泵、所述第五单向阀、所述吸附剂罐和所述第二放气阀排出，或者，所述校验装置中的气体依次通过所述第八自封接头、所述第五三通接头、所述第五电磁阀、所述第三三通接头、第四三通接头、所述真空泵、所述第五单向阀、所述吸附剂罐和所述第二放气阀排出。
在本申请的一些实施例中，参见图5，气体循环模块400可以包括：第七自封接头401、第二压缩机404、第四单向阀405和第八自封接头407；第七自封接头401，与尾气模块300连接，第二压缩机404，与第七自封接头401连接，用于通过第七自封接头401抽取尾气模块300存放的混合气体；第四单向阀405，设置于第二压缩机404和第八自封接头407之间，用于将第二压缩机404抽取的混合气体向第八自封接头407的方向传输；第八自封接头407，与第四单向阀405连接，用于将第四单向阀405传输的混合气体充入气体混合模块100进行循环利用。在进行混合气体的循环利用时，通过第二压缩机404将尾气模块300存放的混合气体依次通过第七自封接头401、第二压缩机404、第四单向阀405和第八自封接头407充入气体混合模块100进行循环利用进行循环利用。
在对设备进行校验之前，对校验装置进行抽真空可以提高校验的精确度，为了方便对设备进行抽真空，气体循环模块400还可以包括：第三三通接头402、第五电磁阀408、第五三通接头406、第四三通接头403、真空泵409、第五单向阀410、吸附剂罐411和第二放气阀412；第三三通接头402、第五电磁阀408和第五三通接头406设置于第七自封接头401和第八自封接头407之间通过气体管路依次连接；第四三通接头403中的第一接头连接第三三通接头402中的第三接头，第四三通接头403中的第二接头连接第二压缩机404，第四三通接头403中的第三接头、真空泵409、第五单向阀410、吸附剂罐411和第二放气阀412通过气体管路依次连接；对校验装置进行抽真空时，校验装置中的气体依次通过第七自封接头401、第三三通接头402、第四三通接头403、真空泵409、第五单向阀410、吸附剂罐411和第二放气阀412排出，或者，校验装置中的气体依次通过第八自封接头407、第五三通接头406、第五电磁阀408、第三三通接头402、第四三通接头403、真空泵409、第五单向阀410、吸附剂罐411和第二放气阀412排出。
图6为本发明实施例提供的为本发明实施例提供的校验方法的流程示意图，参见图6，该校验方法可以包括：
步骤S601，通过气体混合模块配置混合气体。
步骤S602，通过所述混合气体对所述待校验设备进行校验。
步骤S603，通过尾气模块对所述校验模块使用后的混合气体进行存放。
步骤S604，通过气体循环模块将所述尾气模块存放的混合气体充入气体混合模块进行循环利用。
在本申请实施例中，通过气体混合模块直接配制混合气体，避免了标气随着存放时间及环境影响体积混合比发生变化的问题；使用气体混合模块直接配制的混合气体对所述待校验设备进行校验，因为混合气体较之以往更加精确，提高了校验的精度；尾气模块对所述校验模块使用后的混合气体进行存放，避免了混合气体直接排放到环境中，解决了污染环境的问题；通过气体循环模块将尾气模块存放的混合气体充入气体混合模块进行循环利用，减小了混合气体的使用量，从而提高了混合气体的利用效率。
作为本申请另一实施例，所述配置混合气体可以包括：
步骤S6011，计算所述第一预设气体的目标质量和所述第二预设气体的目标质量；其中，所述第一预设气体包括SF6气体，所述第二预设气体包括N2气体或CF4气体。
步骤S6012，计算所述气体混合模块中混合气体罐内所述第一预设气体的现存质量和所述第二预设气体的现存质量。
步骤S6013，根据所述第一预设气体的目标质量和所述第二预设气体的目标质量，所述第一预设气体的现存质量和所述第二预设气体的现存质量，计算配制所述混合气体需要的第一预设气体的配置质量和第二预设气体的配置质量。
步骤S6014，根据计算得到的所述第一预设气体的配置质量和所述第二预设气体的配置质量，向所述混合气体罐中充入第一预设气体和第二预设气体。
在本申请实施例中，配置多少混合气体一般根据实际需要或者实际条件决定，因此存在配置混合气体的目标质量。混合气体由第一预设气体和第二预设气体混合配置而成，因此若配置目标质量的混合气体，需要计算第一预设气体的目标质量和所述第二预设气体的目标质量。而在实际操作中，混合气体罐中一定会残余少量的第一预设气体和第二预设气体，为了提高配置的精确度，需要将混合气体管中残余的第一预设气体和第二预设气体的现存质量计算出来。在获取了第一预设气体的目标质量、第二预设气体的目标质量、第一预设气体的现存质量和第二预设气体的现存质量之后，就可以获取配制混合气体需要的第一预设气体的配置质量和第二预设气体的配置质量，即配第一预设气体和第二预设气体的实际需要量。根据计算出的第一预设气体的配置质量和第二预设气体的配置质量，向混合气体罐中充入第一预设气体和第二预设气体，配置得到校验用的混合气体。
作为本申请另一实施例，所述计算所述第一预设气体的目标质量和所述第二预设气体的目标质量，可以包括：根据P11＝P1C1计算所述第一预设气体的第一气体分压力，根据P12＝P1(1-C1)计算所述第二预设气体的第二气体分压力；基于第一预设模型，通过获取的第一气体分压力，计算所述第一预设气体的第一气体密度，基于P12M＝kT1d12和所述第二气体分压力，计算所述第二预设气体的第二气体密度；基于
Figure BDA0002249195070000121
和获取的所述第一气体密度，计算所述第一预设气体的目标质量，并基于MNC＝d12*L和获取的所述第二气体密度计算所述第二预设气体的目标质量；其中，所述第一预设模型为：
P11＝(RT1B-A)d11 2+RTd11
A＝73.882×10-5-5.132105×10-7d11
B＝2.50695×10-3-2.12283×10-6d11
R＝56.9502×10-5
式中，P11为所述第一预设气体的第一气体分压力，P12为所述第二预设气体的第二气体分压力，P1为所述混合气体罐内配制混合气体的目标压力，C1为所述第一预设气体在需配制的混合气体中所占的体积比，T1为所述温度传感器的测量值，L为所述混合气体罐的体积，M为所述第二预设气体的摩尔质量，k为理想气体常数，d11为所述第一预设气体的第一气体密度，d12为所述第二预设气体的第二气体密度，
Figure BDA0002249195070000122
为所述第一预设气体的目标质量，MNC为所述第二预设气体的目标质量。
在本申请的一些实施例中，混合气体的目标质量由混合气体罐内配制混合气体的目标压力决定，而第一预设气体和第二预设气体各自的质量则由预设的体积比决定，例如预设的C1，即第一预设气体在需配制的混合气体中所占的体积比，则可基于T1、P1、C1和L计算得出第一预设气体的目标质量和第二预设气体的目标质量，其中，T1为所述温度传感器的测量值，P1为所述混合气体罐内配制混合气体的目标压力，C1为所述第一预设气体在需配制的混合气体中所占的体积比，L为所述混合气体罐的体积。具体的计算过程如上文中实施例所述，在此不再赘述。
作为本申请另一实施例，所述计算所述气体混合模块中混合气体罐内所述第一预设气体的现存质量和所述第二预设气体的现存质量，可以包括：根据混合气体罐内现存的混合气体压力和现存的混合气体体积混合比，计算混合气体罐内现存的第一预设气体的第一现存气体分压力和混合气体罐内现存的第二预设气体的第二现存气体分压力；计算混合气体罐内现存的第一预设气体的第一现存气体密度和混合气体罐内现存的第二预设气体的第二现存气体密度；基于所述现存的第一预设气体的第一现存气体密度计算合气体罐内现存的第一预设气体的现存质量
Figure BDA0002249195070000131
基于所述现存的第二预设气体的第二现存气体密度计算所述第二预设气体的现存质量计算所述第二预设气体的现存质量
Figure BDA0002249195070000135
在本申请的一些实施例中，混合气体罐内现存的混合气体压力可以通过第一压力传感器获得，第一预设气体的现存质量和第二预设气体的现存质量则可基于混合气体罐内温度、合气体罐内现存的混合气体压力、现存的混合气体体积混合比和混合气体罐的体积计算得出，计算过程和上文实施例所述的计算第一预设气体的目标质量和第二预设气体的目标质量的过程相同，在此不再赘述。
作为本申请另一实施例，所述计算配制所述混合气体需要的第一预设气体的配置质量和第二预设气体的配置质量，可以包括：根据
Figure BDA0002249195070000133
和
Figure BDA0002249195070000132
计算配制所述混合气体需要的第一预设气体的配置质量
Figure BDA0002249195070000134
和第二预设气体的配置质量M'NC。
在本申请的一些实施例中，在获取了第一预设气体的目标质量、第二预设气体的目标质量、第一预设气体的现存质量和第二预设气体的现存质量之后，通过目标质量与现存质量相减获得配制混合气体需要的第一预设气体的配置质量和第二预设气体的配置质量。
作为本申请另一实施例，所述向所述混合气体罐中充入第一预设气体和第二预设气体，可以包括：打开第一单向阀和第二单向阀，关闭第一电磁阀和第二电磁阀，按照计算得到的所述第一预设气体的配置质量和所述第二预设气体的配置质量，向所述混合气体罐中充入第一预设气体和第二预设气体。
在本申请的一些实施例中，参见图2，打开第一单向阀102和第二单向阀111，关闭第一电磁阀105和第二电磁阀108，按照计算得到的所述第一预设气体的配置质量和所述第二预设气体的配置质量，向所述混合气体罐中充入第一预设气体和第二预设气体，同时根据第一质量流量计、第二质量流量计、第一称重器、第二称重器和第三称重器的读数实时控制第一单向阀102和第二单向阀111的开启或关闭，使第一预设气体和第二预设气体按照计算得出的配置质量准确充入混合气体罐中，配置混合气体。
作为本申请另一实施例，所述通过所述混合气体对所述待校验设备进行校验，可以包括：
对待校验设备进行调零。
将所述混合气体充入待校验设备，读取待校验设备的示值，并根据所述待校验设备的示值和预设的示值，计算待校验设备的校验参数；其中，所述预设的示值为所述气体混合模块配置的混合气体体积比，所述校验参数包括待校验仪器的响应时间、重复性和示值误差。
在本申请的一些实施例中，为了提高校验的准确性，在进行每一次检验时均需要对待校验设备调零。在完成调零后，将所述混合气体充入待校验设备，读取待校验设备的示值，计算待校验设备的校验参数。在本申请实施例中，所述预设的示值为所述气体混合模块配置的混合气体体积比，即待校验设备应该显示的标准读数，所述校验参数可以包括待校验仪器的响应时间、重复性和示值误差。
作为本申请另一实施例，所述对待校验设备进行调零，包括：
关闭第一电磁阀和第三电磁阀；打开减压阀和第一放气阀，打开待校验设备，充入第三预设气体瓶内的第三预设气体，使待校验设备的示值回到零点。
在本申请的一些实施例中，结合参见图2、图3和图4，关闭第一电磁阀105和第三电磁阀302，使校验模块与气体混合模块和尾气模块隔离开。打开减压阀209将第三预设气体瓶的第三预设气体放出，打开待校验设备，使之充入第三预设气体，从而使待校验设备的示值回到零点，同时调零用的第三预设气体通过第一放气阀211排出。在本申请实施例中，所述第三预设气体为N2或CF4气体。
作为本申请另一实施例，所述将所述混合气体充入待校验设备，读取待校验设备的示值，并根据所述待校验设备的示值和预设的示值，计算待校验设备的校验参数，包括：关闭减压阀、第一放气阀、第五电磁阀和第五单向阀，打开第一电磁阀和第三电磁阀；将所述混合气体通入待校验设备，记录从通入混合气体时刻到示值达到混合气体体积比标准值90％的时间，记录待校验仪器的示值稳定时的示值，完成一次检测；对所述待校验设备调零并进行重复检测；根据
Figure BDA0002249195070000151
计算待校验仪器的响应时间；根据
Figure BDA0002249195070000152
计算待校验仪器的重复性；根据
Figure BDA0002249195070000153
计算校验仪器的示值误差；其中，N为对待校验设备进行调零后再次进行检测的重复次数，N≥3，t为待校验仪器的响应时间，ti为第i次检测的响应时间，
Figure BDA0002249195070000154
C’i为校验设备的示值稳定时的第i次检测的示值，Sr为重复性，CS为所述预设的示值，ΔC为示值误差。
在本申请的一些实施例中，为了确保校验的准确性和获取更多的校验数据，对待校验设备进行多次校验，在完成一次设备的校验后，重新对设备调零，再次进行校验，重复至少3次。
作为本申请另一实施例，所述对所述校验模块使用后的混合气体进行存放和所述将所述尾气模块存放的混合气体充入气体混合模块进行循环利用，可以包括：当所述混合气体混合模块中的混合气体罐内气压与尾气罐内气压之差小于第一预设压强时，关闭第五电磁阀和第五单向阀，打开第四单向阀，启动第二压缩机，将尾气罐内气体充入所述混合气体罐内进行循环利用。
在本申请的一些实施例中，结合参见图2、图4和图5，当混合气体罐104内气压与尾气罐303内气压之差小于第一预设压强时，关闭第五电磁阀408和第五单向阀410，打开第四单向阀405，启动第二压缩机404，将尾气罐303内气体充入混合气体罐104内进行循环利用。本申请实施例中，第一预设压强可以为0.2Mpa。
作为本申请另一实施例，该校验方法还可以包括：
步骤S605，启动高低温箱，按照待校验仪器的高低温环境校验要求，设定高低温箱所要保持的温度值，待高低温箱的温度稳定后，重复步骤S602至步骤S604，进行待校验仪器的高低温环境校验。
作为本申请另一实施例，该校验方法还可以包括：
步骤S601’，在所述通过气体混合模块配置混合气体之前，将待校验设备连接至所述校验模块并对校验装置进行抽真空。
步骤S606，在对所述待校验设备进行校验之后，通过所述尾气模块对校验过程中使用的混合气体进行处理。
其中，所述将待校验设备连接至所述校验模块，包括：将所述待校验设备放置在高低温箱内的仪器放置平台上，将待校验设备的进气口连通进气阀，将待校验设备的尾气口连接尾气阀；其中，通过所述高低温箱保持对待检设备进行校验所需的预设温度。
所述对校验装置进行抽真空，可以包括：关闭第一单向阀、第二单向阀、减压阀和第一放气阀；打开第五单向阀、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀、第五电磁阀和第二放气阀；启动真空泵，使校验装置内的真空度不大于第一预设真空度并保持第一预设时间后停止。
所述在对所述待校验设备进行校验之后，通过所述尾气模块对校验过程中使用的混合气体进行处理，可以包括：打开第三单向阀，启动第一压缩机，将混合气体罐和尾气罐内的混合气体压充入混合气体瓶，进行回收处理。
在本申请的一些实施例中，结合参见图2、图3、图4和图5，首先将待校验设备放置在高低温箱203内的仪器放置平台206上，将待校验设备的进气口连通进气阀207，将待校验设备的尾气口连接尾气阀208。在对设备进行校验之前，对校验装置进行抽真空可以提高校验的精确度，所述对校验装置进行抽真空，可以包括：关闭第一单向阀102、第二单向阀111、减压阀209和第一放气阀211；打开第五单向阀410、第一电磁阀105、第二电磁阀108、第三电磁阀302、第四电磁阀308、第五电磁阀408和第二放气阀412；启动真空泵409，使校验装置内的真空度不大于第一预设真空度并保持第一预设时间后停止。其中，所述第一预设真空度为133Pa，所述第一预设时间为30min。在完成校验后，打开第三单向阀305，启动第一压缩机304，将混合气体罐104和尾气罐303内的混合气体压充入混合气体瓶306，对充入混合气体瓶306的混合气体可以进行二次利用或者无害处理。
作为本申请另一实施例，该校验方法还可以包括：重复步骤S601’至S605，将由不同混合比例的预设气体配置的混合气体充入待校验设备，进行多次校验，以提高校验的准确性。
本发明实施例提供的校验装置和校验方法，在气体混合模块中使用第一预设气体和第二预设气体直接配制校验所需的混合气体，避免了标气随温度变化导致校验精确度下降的问题，提高了校验的精确度。在进行混合气体的配置时，通过质量称重的方式进行混合气体的配置，其中，在进行预设气体的质量的计算时，考虑了不同的预设气体的质量与体积转换时遵循不同的气体状态方程，提高了混合气体的配制精度。尾气模块对校验完成后的尾气进行了回收，避免尾气排放到大气中，保护了环境。气体循环模块对混合气体进行循环使用，从而在校验过程中节减少混合气体的配置量，降低了成本。
以上所述实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种校验装置，其特征在于，包括通过气体管路依次连接的气体混合模块、校验模块、尾气模块和气体循环模块；所述气体循环模块和所述气体混合模块通过气体管路连接；
所述气体混合模块，用于配置混合气体；
所述校验模块，用于通过所述混合气体对待校验设备进行校验；
所述尾气模块，用于对所述校验模块使用后的混合气体进行存放；
所述气体循环模块，用于将所述尾气模块存放的混合气体充入气体混合模块进行循环利用；
所述气体混合模块包括：第一预设气体瓶、第二预设气体瓶、混合气体罐、第一自封接头和第二自封接头；
所述第一预设气体瓶，与所述混合气体罐连接，用于向所述混合气体罐提供第一预设气体；
所述第二预设气体瓶，与所述混合气体罐连接，用于向所述混合气体罐提供第二预设气体；
所述混合气体罐，用于混合所述第一预设气体和所述第二预设气体形成所述混合气体；
所述第一自封接头，设置在所述混合气体罐和所述校验模块之间，用于将所述混合气体罐内的混合气体充入所述校验模块；
所述第二自封接头，设置在所述混合气体罐和所述气体循环模块之间，用于将流经所述气体循环模块的混合气体充入至所述混合气体罐；
所述气体混合模块还包括：设置在所述混合气体罐上的温度传感器；
所述第一预设气体包括SF6气体，所述第二预设气体包括N2气体或CF4气体；
所述配置混合气体包括：
计算所述第一预设气体的目标质量和所述第二预设气体的目标质量；
计算所述气体混合模块中混合气体罐内所述第一预设气体的现存质量和所述第二预设气体的现存质量；
根据所述第一预设气体的目标质量和所述第二预设气体的目标质量，所述第一预设气体的现存质量和所述第二预设气体的现存质量，计算配制所述混合气体需要的第一预设气体的配置质量和第二预设气体的配置质量；
根据计算得到的所述第一预设气体的配置质量和所述第二预设气体的配置质量，向所述混合气体罐中充入第一预设气体和第二预设气体；
其中，
所述计算所述第一预设气体的目标质量和所述第二预设气体的目标质量，包括：
根据P11＝P1C1计算所述第一预设气体的第一气体分压力，根据P12＝P1(1-C1)计算所述第二预设气体的第二气体分压力；
基于第一预设模型，通过获取的第一气体分压力，计算所述第一预设气体的第一气体密度，基于P12M＝kT1d12和所述第二气体分压力，计算所述第二预设气体的第二气体密度；
基于MSF6＝d11*L和获取的所述第一气体密度，计算所述第一预设气体的目标质量，并基于MNC＝d12*L和获取的所述第二气体密度计算所述第二预设气体的目标质量；
其中，所述第一预设模型为：
P11＝(RT1B-A)d11 2+RTd11
A＝73.882×10-5-5.132105×10-7d11
B＝2.50695×10-3-2.12283×10-6d11
R＝56.9502×10-5
式中，P11为所述第一预设气体的第一气体分压力，P12为所述第二预设气体的第二气体分压力，P1为所述混合气体罐内配制混合气体的目标压力，C1为所述第一预设气体在需配制的混合气体中所占的体积比，T1为所述温度传感器的测量值，L为所述混合气体罐的体积，M为所述第二预设气体的摩尔质量，k为理想气体常数，d11为所述第一预设气体的第一气体密度，d12为所述第二预设气体的第二气体密度，MSF6为所述第一预设气体的目标质量，MNC为所述第二预设气体的目标质量；
所述计算所述气体混合模块中混合气体罐内所述第一预设气体的现存质量和所述第二预设气体的现存质量，包括：
根据混合气体罐内现存的混合气体压力和现存的混合气体体积混合比，计算混合气体罐内现存的第一预设气体的第一现存气体分压力和混合气体罐内现存的第二预设气体的第二现存气体分压力；
计算混合气体罐内现存的第一预设气体的第一现存气体密度和混合气体罐内现存的第二预设气体的第二现存气体密度；
基于所述现存的第一预设气体的第一现存气体密度计算混合气体罐内现存的第一预设气体的现存质量
Figure FDA0004081623830000031
基于所述现存的第二预设气体的第二现存气体密度计算所述第二预设气体的现存质量
Figure FDA0004081623830000032
所述计算配制所述混合气体需要的第一预设气体的配置质量和第二预设气体的配置质量，包括：
根据
Figure FDA0004081623830000033
和
Figure FDA0004081623830000034
计算配制所述混合气体需要的第一预设气体的配置质量M'SF6和第二预设气体的配置质量M'NC。
2.如权利要求1所述的校验装置，其特征在于，所述气体混合模块还包括：
设置在所述第一预设气体瓶底部的第一称重器、设置在所述第二预设气体瓶底部的第二称重器和设置在所述混合气体罐底部的第三称重器；
设置在所述混合气体罐上的第一安全阀和第一压力传感器；
第一单向阀、第一质量流量计、第二单向阀、第二质量流量计，其中，所述第一预设气体瓶、所述第一单向阀、所述第一质量流量计和所述混合气体罐的第一进气口依次通过气体管路连接；所述第二预设气体瓶、所述第二单向阀、所述第二质量流量计和所述混合气体罐的第二进气口依次通过气体管路连接；
第一电磁阀、第二电磁阀，其中，所述混合气体罐的出气口、所述第一电磁阀和所述第一自封接头依次通过气体管路连接，所述第二自封接头、所述第二电磁阀和所述混合气体罐的循环进气口依次通过气体管路连接。
3.如权利要求2所述的校验装置，其特征在于，所述校验模块包括：第三自封接头、高低温箱、第四自封接头、放置平台、进气阀和尾气阀；
所述第三自封接头，与所述气体混合模块连接；
所述高低温箱，用于提供校验时的环境温度；
所述进气阀，设置于所述高低温箱内，与所述第三自封接头通过气体管路连接，用于将所述气体混合模块中混合气体通过所述第三自封接头充入待校验设备进行校验；
所述放置平台，设置于所述高低温箱内，用于放置待校验设备；
所述尾气阀，设置于所述高低温箱内，用于将待校验设备校验过程中使用的混合气体流向所述第四自封接头；
所述第四自封接头，与所述尾气模块连接，用于将经由所述尾气阀排出的混合气体充入所述尾气模块；
所述校验模块还包括：第三预设气体瓶、减压阀、第一三通接头、第二三通接头和第一放气阀；
第三预设气体瓶、减压阀和第一三通接头中的第三接头依次通过气体管路连接；其中，所述第三预设气体瓶用于盛放对所述待校验设备进行调零的第三预设气体；
所述第三自封接头与第一三通接头中的第一接头连接，所述第一三通接头中的第二接头与所述进气阀连接；
所述尾气阀与第二三通接头中的第一接头连接，所述第二三通接头中的第二接头与所述第四自封接头连接；
所述第一放气阀和第二三通接头中的第三接头连接；
对待校验设备调零时，所述第三预设气体瓶中的第三预设气体依次通过所述减压阀、所述第一三通接头和所述进气阀流入待校验设备；调零时的尾气依次通过所述尾气阀、所述第二三通接头和所述第一放气阀排放出。
4.如权利要求3所述的校验装置，其特征在于，所述尾气模块包括：第五自封接头、尾气罐和第六自封接头；
所述第五自封接头，与所述校验模块连接，用于将所述校验模块排出的混合气体充入所述尾气罐；
所述尾气罐，与所述第五自封接头连接，用于收集所述校验模块排出的混合气体；
所述第六自封接头，与所述尾气罐连接，用于将尾气罐中的混合气体充入所述气体循环模块；
所述尾气模块还包括：
设置在所述尾气罐与所述第五自封接头之间的第三电磁阀、设置在所述尾气罐与所述第六自封接头之间的第四电磁阀；
第一压缩机、第三单向阀和混合气体瓶，其中，所述尾气罐、所述第一压缩机、所述第三单向阀和所述混合气体瓶通过气体管路依次连接；
设置于所述尾气罐顶部的第二安全阀和设置于所述尾气罐顶部的第二压力传感器；
在对混合气体回收时，所述尾气罐中的混合气体依次通过所述压缩机和所述第三单向阀充入所述混合气体瓶。
5.如权利要求4所述的校验装置，其特征在于，所述气体循环模块包括：第七自封接头、第二压缩机、第四单向阀和第八自封接头；
所述第七自封接头，与所述尾气模块连接；
所述第二压缩机，与所述第七自封接头连接，用于通过所述第七自封接头抽取所述尾气模块存放的混合气体；
所述第四单向阀，设置于所述第二压缩机和所述第八自封接头之间，用于将所述第二压缩机抽取的混合气体向所述第八自封接头的方向传输；
所述第八自封接头，与所述第四单向阀连接，用于将所述第四单向阀传输的混合气体充入所述气体混合模块进行循环利用；
所述气体循环模块还包括：第三三通接头、第五电磁阀、第五三通接头、第四三通接头、真空泵、第五单向阀、吸附剂罐和第二放气阀；
所述第三三通接头、所述第五电磁阀和所述第五三通接头设置于所述第七自封接头和所述第八自封接头之间通过气体管路依次连接；
所述第四三通接头中的第一接头连接所述第三三通接头中的第三接头，所述第四三通接头中的第二接头连接所述第二压缩机，所述第四三通接头中的第三接头、所述真空泵、所述第五单向阀、所述吸附剂罐和所述第二放气阀通过气体管路依次连接；
对校验装置进行抽真空时，所述校验装置中的气体依次通过所述第七自封接头、所述第三三通接头、所述第四三通接头、所述真空泵、所述第五单向阀、所述吸附剂罐和所述第二放气阀排出，或者，所述校验装置中的气体依次通过所述第八自封接头、所述第五三通接头、所述第五电磁阀、所述第三三通接头、所述第四三通接头、所述真空泵、所述第五单向阀、所述吸附剂罐和所述第二放气阀排出。
6.一种校验方法，其特征在于，应用于如权利要求5所述的校验装置，所述校验方法包括：
通过气体混合模块配置混合气体；
通过所述混合气体对所述待校验设备进行校验；
通过尾气模块对所述校验模块使用后的混合气体进行存放；
通过气体循环模块将所述尾气模块存放的混合气体充入气体混合模块进行循环利用；
所述配置混合气体包括：
计算所述第一预设气体的目标质量和所述第二预设气体的目标质量；
计算所述气体混合模块中混合气体罐内所述第一预设气体的现存质量和所述第二预设气体的现存质量；
根据所述第一预设气体的目标质量和所述第二预设气体的目标质量，所述第一预设气体的现存质量和所述第二预设气体的现存质量，计算配制所述混合气体需要的第一预设气体的配置质量和第二预设气体的配置质量；
根据计算得到的所述第一预设气体的配置质量和所述第二预设气体的配置质量，向所述混合气体罐中充入第一预设气体和第二预设气体；
其中，
所述计算所述第一预设气体的目标质量和所述第二预设气体的目标质量，包括：
根据P11＝P1C1计算所述第一预设气体的第一气体分压力，根据P12＝P1(1-C1)计算所述第二预设气体的第二气体分压力；
基于第一预设模型，通过获取的第一气体分压力，计算所述第一预设气体的第一气体密度，基于P12M＝kT1d12和所述第二气体分压力，计算所述第二预设气体的第二气体密度；
基于MSF6＝d11*L和获取的所述第一气体密度，计算所述第一预设气体的目标质量，并基于MNC＝d12*L和获取的所述第二气体密度计算所述第二预设气体的目标质量；
其中，所述第一预设模型为：
P11＝(RT1B-A)d11 2+RTd11
A＝73.882×10-5-5.132105×10-7d11
B＝2.50695×10-3-2.12283×10-6d11
R＝56.9502×10-5
式中，P11为所述第一预设气体的第一气体分压力，P12为所述第二预设气体的第二气体分压力，P1为所述混合气体罐内配制混合气体的目标压力，C1为所述第一预设气体在需配制的混合气体中所占的体积比，T1为所述温度传感器的测量值，L为所述混合气体罐的体积，M为所述第二预设气体的摩尔质量，k为理想气体常数，d11为所述第一预设气体的第一气体密度，d12为所述第二预设气体的第二气体密度，MSF6为所述第一预设气体的目标质量，MNC为所述第二预设气体的目标质量；
所述计算所述气体混合模块中混合气体罐内所述第一预设气体的现存质量和所述第二预设气体的现存质量，包括：
根据混合气体罐内现存的混合气体压力和现存的混合气体体积混合比，计算混合气体罐内现存的第一预设气体的第一现存气体分压力和混合气体罐内现存的第二预设气体的第二现存气体分压力；
计算混合气体罐内现存的第一预设气体的第一现存气体密度和混合气体罐内现存的第二预设气体的第二现存气体密度；
基于所述现存的第一预设气体的第一现存气体密度计算混合气体罐内现存的第一预设气体的现存质量
Figure FDA0004081623830000081
基于所述现存的第二预设气体的第二现存气体密度计算所述第二预设气体的现存质量
Figure FDA0004081623830000082
所述计算配制所述混合气体需要的第一预设气体的配置质量和第二预设气体的配置质量，包括：
根据
Figure FDA0004081623830000083
和
Figure FDA0004081623830000084
计算配制所述混合气体需要的第一预设气体的配置质量
Figure FDA0004081623830000085
和第二预设气体的配置质量M'NC。
7.如权利要求6所述的校验方法，其特征在于，所述向所述混合气体罐中充入第一预设气体和第二预设气体，包括：
打开第一单向阀和第二单向阀，关闭第一电磁阀和第二电磁阀，按照计算得到的所述第一预设气体的配置质量和所述第二预设气体的配置质量，向所述混合气体罐中充入第一预设气体和第二预设气体。
8.如权利要求6所述的校验方法，其特征在于，通过所述混合气体对所述待校验设备进行校验，包括：
对待校验设备进行调零；
将所述混合气体充入待校验设备，读取待校验设备的示值，并根据所述待校验设备的示值和预设的示值，计算待校验设备的校验参数；其中，所述预设的示值为所述气体混合模块配置的混合气体体积比，所述校验参数包括待校验仪器的响应时间、重复性和示值误差；
其中，所述对待校验设备进行调零，包括：
关闭第一电磁阀和第三电磁阀；打开减压阀和第一放气阀，打开待校验设备，充入第三预设气体瓶内的第三预设气体，使待校验设备的示值回到零点；
所述将所述混合气体充入待校验设备，读取待校验设备的示值，并根据所述待校验设备的示值和预设的示值，计算待校验设备的校验参数，包括：
关闭减压阀、第一放气阀、第五电磁阀和第五单向阀，打开第一电磁阀和第三电磁阀；
将所述混合气体通入待校验设备，记录从通入混合气体时刻到示值达到混合气体体积比标准值90％的时间，记录待校验仪器的示值稳定时的示值，完成一次检测；
对所述待校验设备调零并进行重复检测；
根据
Figure FDA0004081623830000091
计算待校验仪器的响应时间；
根据
Figure FDA0004081623830000092
计算待校验仪器的重复性；
根据
Figure FDA0004081623830000093
计算校验仪器的示值误差；
其中，N为对待校验设备进行调零后再次进行检测的重复次数，N≥3，t为待校验仪器的响应时间，ti为第i次检测的响应时间，
Figure FDA0004081623830000094
Ci为校验设备的示值稳定时的第i次检测的示值，Sr为重复性，CS为所述预设的示值，ΔC为示值误差。
9.如权利要求6所述的校验方法，其特征在于，所述对所述校验模块使用后的混合气体进行存放和所述将所述尾气模块存放的混合气体充入气体混合模块进行循环利用，包括：
当所述混合气体混合模块中的混合气体罐内气压与尾气罐内气压之差小于第一预设压强时，关闭第五电磁阀和第五单向阀，打开第四单向阀，启动第二压缩机，将尾气罐内气体充入所述混合气体罐内进行循环利用。
10.如权利要求6所述的校验方法，其特征在于，该校验方法还包括：
在所述通过气体混合模块配置混合气体之前，将待校验设备连接至所述校验模块并对校验装置进行抽真空；
在对所述待校验设备进行校验之后，通过所述尾气模块对校验过程中使用的混合气体进行处理；
其中，所述将待校验设备连接至所述校验模块，包括：
将所述待校验设备放置在高低温箱内的仪器放置平台上，将待校验设备的进气口连通进气阀，将待校验设备的尾气口连接尾气阀；
所述对校验装置进行抽真空，包括：
关闭第一单向阀、第二单向阀、减压阀和第一放气阀；打开第五单向阀、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀、第五电磁阀和第二放气阀；启动真空泵，使校验装置内的真空度不大于第一预设真空度并保持第一预设时间后停止；
所述在对所述待校验设备进行校验之后，通过所述尾气模块对校验过程中使用的混合气体进行处理，包括：
打开第三单向阀，启动第一压缩机，将混合气体罐和尾气罐内的混合气体压充入混合气体瓶，进行回收处理。
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