CN110895732A - 晶圆映射生产管理方法、装置、***、介质和计算机设备 - Google Patents
晶圆映射生产管理方法、装置、***、介质和计算机设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110895732A CN110895732A CN201811062303.0A CN201811062303A CN110895732A CN 110895732 A CN110895732 A CN 110895732A CN 201811062303 A CN201811062303 A CN 201811062303A CN 110895732 A CN110895732 A CN 110895732A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- production
- information
- data
- database server
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 388
- 238000013507 mapping Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 238000007726 management method Methods 0.000 title claims abstract description 52
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 128
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 75
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 18
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 320
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 23
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 17
- 230000008676 import Effects 0.000 claims description 7
- 230000003993 interaction Effects 0.000 abstract description 9
- 238000013523 data management Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 5
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 230000006855 networking Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q10/00—Administration; Management
- G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F9/00—Arrangements for program control, e.g. control units
- G06F9/06—Arrangements for program control, e.g. control units using stored programs, i.e. using an internal store of processing equipment to receive or retain programs
- G06F9/46—Multiprogramming arrangements
- G06F9/54—Interprogram communication
- G06F9/546—Message passing systems or structures, e.g. queues
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F9/00—Arrangements for program control, e.g. control units
- G06F9/06—Arrangements for program control, e.g. control units using stored programs, i.e. using an internal store of processing equipment to receive or retain programs
- G06F9/46—Multiprogramming arrangements
- G06F9/54—Interprogram communication
- G06F9/547—Remote procedure calls [RPC]; Web services
- G06F9/548—Object oriented; Remote method invocation [RMI]
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
- G06Q50/04—Manufacturing
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2209/00—Indexing scheme relating to G06F9/00
- G06F2209/54—Indexing scheme relating to G06F9/54
- G06F2209/544—Remote
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2209/00—Indexing scheme relating to G06F9/00
- G06F2209/54—Indexing scheme relating to G06F9/54
- G06F2209/548—Queue
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Human Resources & Organizations (AREA)
- Economics (AREA)
- Strategic Management (AREA)
- Marketing (AREA)
- General Business, Economics & Management (AREA)
- Entrepreneurship & Innovation (AREA)
- Tourism & Hospitality (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Development Economics (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Game Theory and Decision Science (AREA)
- Educational Administration (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Primary Health Care (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
本发明涉及一种晶圆映射生产管理方法、装置、***、介质和计算机设备，该方法包括：获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备，用作生产设备进行晶圆生产加工。将生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器，用作对数据库服务器存储的晶圆信息进行更新，作为后续的晶圆加工所需的数据。通过与生产设备和数据库服务器进行信息交互完成对生产数据的反馈和晶圆信息的存储更新，工作人员能够及对晶圆信息进行管理，方便信息的收集，提高了晶圆映射生产的管理便利性。
Description
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种晶圆映射生产管理方法、装置、***、介质和计算机设备。
背景技术
半导体封装是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。由于CPU(Central Processing Unit，中央处理器)和其他超大型集成电路在不断发展，集成电路的封装形式也不断作出相应的调整变化，而封装形式的进步又将反过来促进芯片技术向前发展。
目前，半导体封装设备如Die Bond(粘晶)设备、Flip Chip(倒装片)设备等都内置有晶圆映射***。传统的晶圆映射***是集成在设备内部，并且在生产开始时***直接读取硬盘上的Mapping(映射)文件，作业完成后再更新Mapping文件，无法知晓作业过程中的相关信息，不方便信息的收集。传统的晶圆映射***存在管理便利性低的缺点。
发明内容
基于此，有必要针对传统的晶圆映射***存在管理便利性低的技术问题，提供一种管理便利性高的圆映射生产管理方法、装置、***、介质和计算机设备。
一种晶圆映射生产管理方法，所述的方法包括：
获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至对应的生产设备，其中，所述晶圆信息用于所述生产设备进行晶圆生产加工；
将所述生产设备根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至所述数据库服务器，其中，所述生产数据用于对所述数据库服务器中存储的所述晶圆信息进行更新。
上述圆映射生产管理方法，获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备，用作生产设备进行晶圆生产加工。将生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器，用作对数据库服务器存储的晶圆信息进行更新，作为后续的晶圆加工所需的数据。通过与生产设备和数据服务器进行信息交互完成对生产数据的反馈和晶圆信息的存储更新，工作人员能够对晶圆的生产信息进行管理，方便信息的收集，提高了晶圆映射生产的管理便利性。
在一个实施例中，该方法还包括以下步骤：
接收终端远程控制指令，并根据所述终端远程控制指令获取目标终端标识；
根据所述目标终端标识从数据库服务器中获取目标终端数据；
根据所述目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端进行晶圆生产加工操作。
通过建立远程连接控制目标终端进行晶圆生产加工操作，工作人员可实现通过任意终端实时控制其他终端进行晶圆生产加工操作，进一步提高了晶圆加工管理便利性。
在一个实施例中，所述根据所述目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端进行晶圆生产加工操作，包括以下步骤：
根据所述目标终端数据反射创建远程对象操作目标终端进行晶圆生产加工操作。
通过反射创建远程对象远程控制目标终端进行晶圆加工，操作方便可靠。
在一个实施例中，根据所述目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端进行晶圆生产加工操作之后，还包括：
接收所述目标终端通过消息队列反馈的信息并更新前端界面。
接收目标终端反馈的消息进行显示，方便工作人员远程操作/查看其他终端的信息，同样可提高管理便利性。
在一个实施例中，在所述将所述生产设备根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至所述数据库服务器之后，还包括：
根据所述生产数据进行产品质量检测，并在出现不良品时输出报警提示信息。
在产品出现不良品时进行报警，以便工作人员及时处理，避免不良后流，提高了晶圆加工的可靠性。
一种晶圆映射生产管理装置，所述的装置包括：
数据导入模块，用于获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至对应的生产设备，其中，所述晶圆信息用于所述生产设备进行晶圆生产加工；
信息反馈模块，用于将所述生产设备根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至所述数据库服务器，其中，所述生产数据用于对所述数据库服务器中存储的所述晶圆信息进行更新。
上述圆映射生产管理装置，通过与生产设备和数据库服务器进行信息交互完成对生产数据的反馈和晶圆信息的存储更新，工作人员能够对晶圆的生产信息进行管理，方便信息的收集，提高了晶圆映射生产的管理便利性。
一种晶圆映射生产管理***，包括终端、数据库服务器和生产设备，所述终端连接所述数据库服务器和所述生产设备，
所述终端用于获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至对应的生产设备，还将所述生产设备根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至所述数据库服务器；
所述数据库服务器用于存储晶圆信息，并根据所述终端发送的生产数据对所述晶圆信息进行更新存储；所述生产设备用于根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工，并反馈加工后的生产数据至所述终端。
上述圆映射生产管理***，通过与生产设备和数据库服务器进行信息交互完成对生产数据的反馈和晶圆信息的存储更新，工作人员能够对晶圆的生产信息进行管理，方便信息的收集，提高了晶圆映射生产的管理便利性。
在一个实施例中，所述终端还用于接收终端远程控制指令，并根据所述终端远程控制指令获取目标终端标识；根据所述目标终端标识从数据库服务器中获取目标终端数据；根据所述目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制所述目标终端进行晶圆生产加工操作。
通过建立远程连接控制目标终端进行晶圆生产加工操作，工作人员可实现通过任意终端实时控制其他终端进行晶圆生产加工操作，进一步提高了晶圆加工管理便利性。
一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现以下步骤：
获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至对应的生产设备，其中，所述晶圆信息用于所述生产设备进行晶圆生产加工；
将所述生产设备根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至所述数据库服务器，其中，所述生产数据用于对所述数据库服务器中存储的所述晶圆信息进行更新。
上述计算机设备，通过与生产设备和数据库服务器进行信息交互完成对生产数据的反馈和晶圆信息的存储更新，工作人员能够对晶圆的生产信息进行管理，方便信息的收集，提高了晶圆映射生产的管理便利性。
一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至对应的生产设备，其中，所述晶圆信息用于所述生产设备进行晶圆生产加工；
将所述生产设备根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至所述数据库服务器，其中，所述生产数据用于对所述数据库服务器中存储的所述晶圆信息进行更新。
上述计算机可读存储介质，通过与生产设备和数据库服务器进行信息交互完成对生产数据的反馈和晶圆信息的存储更新，工作人员能够对晶圆的生产信息进行管理，方便信息的收集，提高了晶圆映射生产的管理便利性。
附图说明
图1为一实施例中晶圆映射生产管理方法的流程图；
图2为另一实施例中晶圆映射生产管理方法的流程图；
图3为一实施例中晶圆映射生产管理装置的结构框图；
图4为另一实施例中晶圆映射生产管理装置的结构框图；
图5为一实施例中晶圆映射生产***的结构框图；
图6为一实施例中终端的原理框图；
图7为一实施例中计算机设备的内部结构图。
具体实施方式
为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
在一个实施例中，提供了一种晶圆映射生产管理方法，如图1所示，该方法包括：
步骤S120：获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备，其中，晶圆信息用于生产设备进行晶圆生产加工。
通过终端从数据库服务器中获取晶圆信息并转发给对应的生产设备。终端具体可以是电脑、手机、笔记本等终端。终端的数量可以是一个或多个，以多个终端为例，每个终端均连接数据库服务器，且各终端分别连接对应的多个生产设备，对连接的生产设备进行晶圆加工控制。根据加工要求不同，生产设备的类型也会有所不同。终端从数据库服务器读取晶圆信息然后传输到生产设备，控制生产设备的生产加工晶圆。根据生产设备负责的加工工序的不同，终端下发至生产设备的晶圆信息也会不同，如果生产设备是负责晶圆的第一道加工工序，则终端是将数据库服务器中保存的晶圆厂发送的晶圆映射初始数据作为晶圆信息进行下发；若生产设备不是负责晶圆的第一道加工工序，则终端是将上一道加工工序完成后，对数据库服务器存储的数据进行更新得到的晶圆信息进行下发。
步骤S140：将生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器，其中，生产数据用于对数据库服务器中存储的晶圆信息进行更新。
首先，生产设备在根据晶圆信息对晶圆进行加工后，反馈生产数据至终端。生产数据的具体内容不是唯一的，本实施例中，生产数据可包括晶圆生产信息和生产设备状态信息。其中，晶圆生产信息是生产设备根据对应加工工序对晶圆进行加工的信息，例如可包括工序名称、晶圆加工后的数据等，可以理解，根据生产设备的加工工序不同，生成的晶圆生产信息也是不同的。生产设备状态信息是指生产设备进行加工生产相关的信息，例如可包括生产设备的作业进程以及生产设备具体状态。终端在接收到生产设备反馈的生产数据之后，然后终端将生产数据发送到数据库服务器，生产数据用于对数据库服务器中存储的晶圆信息进行更新，转换为其他后续生产设备所需的数据。此外，数据库服务器可用于存储终端信息、生产设备信息以及生产相关信息等数据。
进一步地，在步骤S120之前，该方法还包括步骤：数据管理工具自动读取晶圆厂发送的晶圆映射初始数据，并将晶圆映射初始数据存储到数据库服务器。
数据管理工具可以是设置于数据库服务器中，也可以是设置于其他外部设备中。数据管理工具用于对数据库服务器存储的数据进行管理。具体地，数据管理工具先自动读取晶圆厂发送过来的晶圆映射初始数据，再将晶圆映射初始数据发送至数据库服务器，最后由数据库服务器存储晶圆映射初始数据，晶圆映射初始数据作为晶圆加工的最原始数据，为第一道加工工序的晶圆信息。在进行晶圆加工的第一道生产工序时，终端将数据库服务器存储的晶圆映射初始数据作为晶圆信息传输到生产设备，控制生产设备的生产。
进一步地，在步骤S120之后，步骤S140之前，该方法还包括步骤：终端接收并显示生产数据。
终端接收生产设备反馈的生产数据，终端在接收到生产数据后可通过前端界面进行显示，以便工作人员查看。生产数据的具体内容不是唯一的，本实施例中，生产数据可包括晶圆生产信息和生产设备状态信息。
具体地，终端显示生产数据的方式并不唯一，可以是实时将生产设备反馈的生产数据进行显示，也可以是根据工作人员输入的查询指令显示对应的晶圆生产信息和/或生产设备状态信息。其中，显示的晶圆生产信息具体可包括晶圆排列/等级的图形化显示以及修改等。显示的生产设备状态信息具体可包括生产设备的作业进程以及生产设备具体状态，生产设备具体状态包括材料的使用次数，设备重要部件的特性和报警等。
进一步地，在步骤S140之后，该方法还包括步骤：数据管理工具从数据库服务器读取生产设备反馈的生产数据，并根据生产数据对数据库服务器存储晶圆信息进行更新，转换为其他后续生产设备所需的晶圆信息。
在数据库服务器接收到终端反馈的第一道加工工序对应的生产数据后，数据管理工具从数据库服务器读取生产设备反馈的生产数据，并对数据库服务器存储的晶圆映射初始数据进行更新，转换为更新后的晶圆信息作为下一道生产工序所需的晶圆信息。以此类推，每完成一道生产工序后数据管理工具都根据反馈的生产数据进行一次更新操作，更新得到的晶圆信息由终端下发至下一道生产工序所对应的生产设备，直至晶圆加工的所有生产工序完成。
在一个实施例中，如图2所示，步骤S120之后，步骤S140之前，该方法还包括步骤S130：发送加工控制指令至对应的生产设备。
加工控制指令用于控制生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工。操作人员可根据实际加工需要，通过终端发送加工控制指令至对应的生产设备，以控制生产设备进行相应类型的生产加工，提高了晶圆加工管理便利性。
在步骤S140之后，该方法还可包括步骤S150：根据生产数据进行产品质量检测，并在出现不良品时输出报警提示信息。
具体地，终端可预先存储晶圆不同加工工序的检测标准，在接收到生产设备发送的生产数据之后，结合生产数据中的晶圆生产信息和对应检测标准进行产品质量检测，当加工后的产品不符合标准时，则可认为出现了不良品，输出报警提示信息，以便工作人员及时处理，避免不良品后流，提高了晶圆加工的可靠性。输出报警提示信息进行报警的方式并不是唯一的，可以是通过终端的前端界面显示预设图片或文字信息进行报警，也可以是控制报警灯闪烁或控制扬声器发声等其他报警手段，或者是多种报警手段的结合。
此外，步骤S120之前，该方法还可包括步骤：将与生产设备连接的代码封装到DLL(Dynamic Link Library，动态链接库)文件，将各关联生产设备的信息编写至对应的DLL文件中。
其中，与生产设备连接的代码有多种，不同的代码表征对生产设备不同的执行指令。具体地，终端与生产设备使用GEM SECSII协议实现通信，终端在进行晶圆加工控制之前，按照SECS-II,SECE-I,HSMS协议要求将与设备连接的相关代码封装到DLL文件中，根据GEM协议将不同设备的消息处理编写对应的DLL文件，并继承自相同的基类。此外，终端还可将生产设备的相关选项保存在数据库服务器中。终端在连接生产设备时根据设备的相关选项先使用AppDomain.CreateInstanceAndUnwrap或者使用Assembly.LoadFrom加载程序集。然后在进行晶圆加工控制时，使用Type.GetType type.GetMethod加载不同的DLL执行指定的方法，实现对生产设备发送不同的加工控制指令以进行对应的生产加工控制。
上述晶圆映射生产管理方法，获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备，用作生产设备进行晶圆生产加工。将生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器，用作对数据库服务器存储的晶圆信息进行更新，作为后续的晶圆加工所需的数据。通过与生产设备和数据库服务器进行信息交互完成对生产数据的反馈和晶圆信息的存储更新，可以保存作业过程中的相关信息，便于映射信息的修改。工作人员能够对晶圆信息进行管理，方便信息的收集，利于工厂的自动化，提高了晶圆映射生产的管理便利性。
在一个实施例中，继续参照图2，该方法还包括以下步骤：
步骤S160：接收终端远程控制指令，并根据终端远程控制指令获取目标终端标识。
当工作人员需要选择某个终端(作为控制终端)远程操作/查看其他终端(作为目标终端)的连接以及生产信息时，可在控制终端输入远程控制指令，选定需要远程操作的目标终端。根据工作人员输入的终端远程控制指令提取目标终端标识，目标终端标识表征目标终端的唯一标识信息，终端标识的具体类型并不唯一，可以是终端名称、终端序列号或编号等。
步骤S170：根据目标终端标识从数据库服务器中获取目标终端数据。
可在数据库服务器中存储不同终端的相关数据，具体地，终端从数据库服务器中获取目标终端的IP(Internet Protocol，网络协议)地址信息，以便进行远程连接控制。
步骤S180：根据目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端进行晶圆生产加工操作。
具体地，控制终端根据目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端对相关的生产设备进行加工控制。此外，控制终端还可接收目标终端反馈的相关生产设备上传的生产数据以便工作人员查看。
本实施例中，通过建立远程连接控制目标终端进行晶圆生产加工操作，工作人员可实现通过任意终端实时控制其他终端进行晶圆生产加工操作，方便实现大规模的设备联网，提高了晶圆加工管理便利性。
进一步地，在一个实施例中，步骤S180包括：根据目标终端数据反射创建远程对象操作目标终端进行晶圆生产加工操作。
终端之间可使用.net Remoting的方法反射创建远程对象以及消息队列在任意终端实时操作/查看其他终端的连接以及生产信息。通过反射创建远程对象远程控制目标终端进行晶圆加工，操作方便可靠。
步骤S180之后，该方法还可包括步骤：接收所述目标终端通过消息队列反馈的信息并更新前端界面。
控制终端接收目标终端反馈的消息进行显示，方便工作人员远程操作/查看其他终端的信息，同样可提高管理便利性。
可以理解，步骤S120-步骤S150即是实现了终端对本地连接的生产设备的加工控制和信息反馈。步骤S160-步骤S180即是实现了通过终端远程对其他终端进行加工控制和信息查看。步骤S160-步骤S180具体可以是在步骤S120-步骤S150之前进行，也可以是在步骤S120-步骤S150之后进行，或者是与步骤S120-步骤S150同时进行。
应该理解的是，虽然图1-2的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，图1-2中的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段，这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些子步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
在一个实施例中，提供了一种晶圆映射生产管理装置，如图3所示，该装置包括数据导入模块120和信息反馈模块140。
数据导入模块120用于获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备，其中，晶圆信息用于生产设备进行晶圆生产加工。根据生产设备负责的加工工序的不同，下发至生产设备的晶圆信息也会不同，如果生产设备是负责晶圆的第一道加工工序，则将数据库服务器中保存的晶圆厂发送的晶圆映射初始数据作为晶圆信息进行下发；若生产设备不是负责晶圆的第一道加工工序，则将上一道加工工序完成后，对数据库服务器存储的数据进行更新得到的晶圆信息进行下发。
信息反馈模块140用于将生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器，其中，生产数据用于对数据库服务器中存储的晶圆信息进行更新。生产设备在根据晶圆信息对晶圆进行加工后，反馈生产数据至信息反馈模块140。生产数据的具体内容不是唯一的，本实施例中，生产数据可包括晶圆生产信息和设备状态信息。信息反馈模块140将生产设备反馈的生产数据发送到数据库服务器，生产数据用于对数据库服务器中存储的晶圆信息进行更新，转换为其他后续生产设备所需的数据。
其中，该***还可包括数据管理工具，数据管理工具在数据导入模块120获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备之前，自动读取晶圆厂发送的晶圆映射初始数据，并将晶圆映射初始数据存储到数据库服务器。数据管理工具用于对数据库服务器存储的数据进行管理。具体地，数据管理工具自动读取晶圆厂发送过来的晶圆映射初始数据存储到数据库服务器，作为晶圆加工的最原始数据。进一步地，数据管理工具还用于从数据库服务器读取生产设备反馈的生产数据，并根据生产数据对数据库服务器存储的数据进行更新，转换为其他后续生产设备所需的数据。
进一步地，信息反馈模块140在将生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器之前，还用于接收并显示生产数据。信息反馈模块140在接收到生产数据后可通过前端界面进行显示，以便工作人员查看。生产数据的具体内容不是唯一的，本实施例中，生产数据可包括晶圆生产信息和生产设备状态信息。
在一个实施例中，如图4所示，该装置还包括加工控制模块130，加工控制模块130用于在数据导入模块120获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备之后，信息反馈模块140将生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器之前，发送加工控制指令至对应的生产设备。
加工控制指令用于控制生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工。操作人员可根据实际加工需要，通过加工控制模块130发送加工控制指令至对应的生产设备，以控制生产设备进行相应类型的生产加工，提高了晶圆加工管理便利性。
此外，该装置还包括质量预警模块150，质量预警模块150用于在信息反馈模块140将生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器之后，根据生产数据进行产品质量检测，并在出现不良品时输出报警提示信息。
当加工后的产品不符合标准时，则可认为出现了不良品，输出报警提示信息，以便工作人员及时处理，避免不良品后流，提高了晶圆加工的可靠性。
此外，该装置还可包括数据封装模块，数据封装模块用于在数据导入模块120获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备之前，将与生产设备连接的代码封装到DLL文件，将各关联生产设备的信息编写至对应的DLL文件中。通过加载不同的DLL执行指定的方法，实现对生产设备发送不同的加工控制指令以进行对应的生产加工控制。
上述圆映射生产管理装置，通过与生产设备和数据库服务器进行信息交互完成对生产数据的反馈和晶圆信息的存储更新，可以保存作业过程中的相关信息，便于映射信息的修改。工作人员能够对晶圆信息进行管理，方便信息的收集，利于工厂的自动化，提高了晶圆映射生产的管理便利性。
在一个实施例中，如图4所示，该装置还包括远程控制模块160。远程控制模块160用于接收终端远程控制指令，并根据终端远程控制指令获取目标终端标识；根据目标终端标识从数据库服务器中获取目标终端数据；根据目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端进行晶圆生产加工操作。
本实施例中，通过建立远程连接控制目标终端进行晶圆生产加工操作，工作人员可实现通过任意终端实时控制其他终端进行晶圆生产加工操作，方便实现大规模的设备联网，提高了晶圆加工管理便利性。
进一步地，在一个实施例中，远程控制模块160根据目标终端数据反射创建远程对象操作目标终端进行晶圆生产加工操作。通过反射创建远程对象远程控制目标终端进行晶圆加工，操作方便可靠。
远程控制模块160根据目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端进行晶圆生产加工操作之后，还可用于接收目标终端通过消息队列反馈的信息并更新前端界面。接收目标终端反馈的消息进行显示，方便工作人员远程操作/查看其他终端的信息，同样可提高管理便利性。
关于圆映射生产管理装置的具体限定可以参见上文中对于圆映射生产管理方法的限定，在此不再赘述。上述圆映射生产管理装置中的各个模块可通过软件来实现。上述各模块可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。此外，上述圆映射生产管理装置的各模块也可以是以软件形式存储在终端中，使得终端可执行相应功能。
在一个实施例中，提供了一种晶圆映射生产管理***，如图5所示，该***包括终端210、数据库服务器220和生产设备230，终端210连接数据库服务器220和生产设备230。
终端210用于获取数据库服务器220中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备230；将生产设备230根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器220。数据库服务器220用于存储晶圆信息，并根据终端210发送的生产数据对晶圆信息进行更新存储；生产设备230用于根据晶圆信息进行晶圆生产加工，并反馈加工后的生产数据至终端210。
具体地，终端210的数量可以是一个或多个，以多个终端210为例，终端210装载有上述晶圆映射生产管理装置，每个终端210均连接数据库服务器220，且各终端210分别连接对应的多个生产设备230。数据库服务器220可通过内部设置的数据管理工具根据生产设备反馈的生产数据对存储的晶圆信息进行更新，转换为其他后续生产设备所需的数据。此外，数据库服务器220还可存储终端信息、生产设备的信息以及生产相关信息。终端210在接收到生产数据后可通过前端界面进行显示，以便工作人员查看。生产数据的具体内容不是唯一的，本实施例中，生产数据可包括晶圆生产信息和设备状态信息。终端210显示生产数据的方式并不唯一，可以是实时反馈的生产数据进行显示，也可以是根据工作人员输入的查询指令显示对应的晶圆生产信息和/或设备状态信息。
在一个实施例中，终端210在获取数据库服务器220中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备230之后，将生产设备230根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器220之前，还用于发送加工控制指令至对应的生产设备230。加工控制指令用于控制生产设备230根据晶圆信息进行晶圆生产加工。
在一个实施例中，终端210在将生产设备230根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器220之后，还用于根据生产数据进行产品质量检测，并在出现不良品时输出报警提示信息。
此外，终端210在获取数据库服务器220中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备230之前，还将与生产设备连接的代码封装到DLL文件，将各关联生产设备的信息编写至对应的DLL文件中。课通过加载不同的DLL执行指定的方法，实现对生产设备发送不同加工控制指令的以进行对应的生产加工控制。
数据库服务器220进行数据存储的方式并不唯一，晶圆信息的映射源文件格式可以是txt或xml格式。数据库服务器220根据文件名或映射源文件的产品ID(identify，身份标识)自动选择相应的转换Dll文件。若映射源文件为xml格式，则使用XmlTextReader读取相应的产品信息以及晶圆排列/等级信息；若映射源文件为txt格式，则截取文件名中的部分字符作为关键字，下载数据库中对应的产品信息，将txt中的信息1行1行读取，将晶圆排列/等级信息按照特定的顺序填入产品信息中的layout(布局)中。将晶圆排列/等级转换为byte[]数组，使用C1Zip对数组进行压缩并自定义映射数据的类，继承自IXmlSerializable。将产品信息以及压缩后晶圆排列/等级数据写入映射数据类的实例中，使用XmlWriter将映射数据的实例转换为xml格式，其中，晶圆排列/等级数据使用XmlWriter.WriteBase64方法生成。将XmlWriter生成的临时xml文件写入SqlParameter中，格式选择为SqlDbType.Ntext,使用sqlcommand.Executenonquery将文件传入到sqlserver数据库中，然后在SQL(Structured Query Language，结构化查询语言)中使用sp_xml_preparedocument将接收到的xml内容进行处理，再使用OPENXML(EcmaOfficeOpenXML，针对字处理文档、演示文稿和电子表格的国际化开放标准)将xml文档中的产品信息相关的元素读取并存储到相应表中，将晶圆排列/等级信息直接存储成Image格式。
上述晶圆映射生产管理***，通过与生产设备和数据库服务器进行信息交互完成对生产数据的反馈和晶圆信息的存储更新，可以保存作业过程中的相关信息，便于映射信息的修改。工作人员能够对晶圆信息进行管理，方便信息的收集，利于工厂的自动化，提高了晶圆映射生产的管理便利性。
在一个实施例中，终端210还用于接收终端远程控制指令，并根据终端远程控制指令获取目标终端标识。根据目标终端标识从数据库服务器中获取目标终端数据根据目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端进行晶圆生产加工操作。
具体地，工作人员可选择其中某个终端210作为控制终端，对其他终端210(目标终端)进行远程控制，操作/查看其他终端210的连接以及生产信息。通过建立远程连接控制目标终端进行晶圆生产加工操作，工作人员可实现通过任意终端实时控制其他终端的进行晶圆生产加工操作，方便实现大规模的设备联网，提高了晶圆加工管理便利性。
在一个实施例中，终端210根据目标终端数据反射创建远程对象操作目标终端进行晶圆生产加工操作。进一步地，终端210在控制目标终端进行晶圆生产加工操作之后，还可接收目标终端通过消息队列反馈的信息并更新前端界面。其中，终端210之间可使用.netRemoting的方法反射创建远程对象以及消息队列在任意终端实时操作/查看其他终端的连接以及生产信息。
如图6所示，终端210由后台服务和前端界面组成，可将一些重要的类继承System.MarshalByRefObject，后台服务启动时注册这些类为已知类型。以终端A远程控制终端B为例进行解释说明。当终端A要操作/查看终端B所连接的设备时，终端A先从数据库服务器220下载终端B的最新信息，然后使用.net Remoting的Activator.GetObject方法反射创建远程对象来操作终端B，并在终端B的监控列表中加入终端A的IP以及要监控的设备，当终端B从设备接收到重要信息时，终端B将信息使用消息队列发送到终端A，终端A再更新前端界面。
本实施例中，远程控制目标终端进行晶圆加工，并接收目标终端反馈的消息进行显示，方便工作人员远程操作/查看其他终端的信息，同样可提高管理便利性。
在一个实施例中，提供了一种计算机设备，该计算机设备可以是终端，其内部结构图可以如图7所示。该计算机设备包括通过***总线连接的处理器、存储器、网络接口、显示屏和输入装置。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作***和计算机程序。该内存储器为非易失性存储介质中的操作***和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的网络接口用于与外部的终端通过网络连接通信。该计算机程序被处理器执行时以实现一种晶圆映射生产管理方法。该计算机设备的显示屏可以是液晶显示屏或者电子墨水显示屏，该计算机设备的输入装置可以是显示屏上覆盖的触摸层，也可以是计算机设备外壳上设置的按键、轨迹球或触控板，还可以是外接的键盘、触控板或鼠标等。
本领域技术人员可以理解，图7中示出的结构，仅仅是与本申请方案相关的部分结构的框图，并不构成对本申请方案所应用于其上的计算机设备的限定，具体的计算机设备可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者具有不同的部件布置。
在一个实施例中，提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，存储器存储有计算机程序，处理器执行计算机程序时实现以下步骤：获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备，其中，晶圆信息用于生产设备进行晶圆生产加工；将生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器，其中，生产数据用于对数据库服务器中存储的晶圆信息进行更新。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：接收终端远程控制指令，并根据终端远程控制指令获取目标终端标识；根据目标终端标识从数据库服务器中获取目标终端数据；根据目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端进行晶圆生产加工操作。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：根据目标终端数据反射创建远程对象操作目标终端进行晶圆生产加工操作。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：接收目标终端通过消息队列反馈的信息并更新前端界面。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：发送加工控制指令至对应的生产设备，加工控制指令用于控制生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：根据生产数据进行产品质量检测，并在出现不良品时输出报警提示信息。
在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将晶圆信息发送至对应的生产设备，其中，晶圆信息用于生产设备进行晶圆生产加工；将生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至数据库服务器，其中，生产数据用于对数据库服务器中存储的晶圆信息进行更新。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：接收终端远程控制指令，并根据终端远程控制指令获取目标终端标识；根据目标终端标识从数据库服务器中获取目标终端数据；根据目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端进行晶圆生产加工操作。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：根据目标终端数据反射创建远程对象操作目标终端进行晶圆生产加工操作。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：接收目标终端通过消息队列反馈的信息并更新前端界面。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：发送加工控制指令至对应的生产设备，加工控制指令用于控制生产设备根据晶圆信息进行晶圆生产加工。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：根据生产数据进行产品质量检测，并在出现不良品时输出报警提示信息。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)或闪存。易失性存储器可包括随机存取存储器(RAM)或者外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM以多种形式可得，诸如静态RAM(SRAM)、动态RAM(DRAM)、同步DRAM(SDRAM)、双数据率SDRAM(DDRSDRAM)、增强型SDRAM(ESDRAM)、同步链路(Synchlink)DRAM(SLDRAM)、存储器总线(Rambus)直接RAM(RDRAM)、直接存储器总线动态RAM(DRDRAM)、以及存储器总线动态RAM(RDRAM)等。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种晶圆映射生产管理方法，其特征在于，所述的方法包括：
获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至对应的生产设备，其中，所述晶圆信息用于所述生产设备进行晶圆生产加工；
将所述生产设备根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至所述数据库服务器，其中，所述生产数据用于对所述数据库服务器中存储的所述晶圆信息进行更新。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括以下步骤：
接收终端远程控制指令，并根据所述终端远程控制指令获取目标终端标识；
根据所述目标终端标识从数据库服务器中获取目标终端数据；
根据所述目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制所述目标终端进行晶圆生产加工操作。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端进行晶圆生产加工操作，包括以下步骤：
根据所述目标终端数据反射创建远程对象操作目标终端进行晶圆生产加工操作。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制目标终端进行晶圆生产加工操作之后，还包括：
接收所述目标终端通过消息队列反馈的信息并更新前端界面。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述将所述生产设备根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至所述数据库服务器之后，还包括：
根据所述生产数据进行产品质量检测，并在出现不良品时输出报警提示信息。
6.一种晶圆映射生产管理装置，其特征在于，所述装置包括：
数据导入模块，用于获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至对应的生产设备，其中，所述晶圆信息用于所述生产设备进行晶圆生产加工；
信息反馈模块，用于将所述生产设备根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至所述数据库服务器，其中，所述生产数据用于对所述数据库服务器中存储的所述晶圆信息进行更新。
7.一种晶圆映射生产管理***，其特征在于，包括终端、数据库服务器和生产设备，所述终端连接所述数据库服务器和所述生产设备，
所述终端用于获取数据库服务器中存储的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至对应的生产设备，还将所述生产设备根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工后反馈的生产数据发送至所述数据库服务器；
所述数据库服务器用于存储所述晶圆信息，并根据所述终端发送的生产数据对所述晶圆信息进行更新存储；
所述生产设备用于根据所述晶圆信息进行晶圆生产加工，并反馈加工后的生产数据至所述终端。
8.根据权利要求7所述的晶圆映射生产管理***，其特征在于，所述终端还用于接收终端远程控制指令，并根据所述终端远程控制指令获取目标终端标识；根据所述目标终端标识从数据库服务器中获取目标终端数据；根据所述目标终端数据与目标终端建立远程连接，控制所述目标终端进行晶圆生产加工操作。
9.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至5中任一项所述方法的步骤。
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至5中任一项所述的方法的步骤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811062303.0A CN110895732A (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 晶圆映射生产管理方法、装置、***、介质和计算机设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811062303.0A CN110895732A (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 晶圆映射生产管理方法、装置、***、介质和计算机设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110895732A true CN110895732A (zh) | 2020-03-20 |
Family
ID=69784954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811062303.0A Pending CN110895732A (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 晶圆映射生产管理方法、装置、***、介质和计算机设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110895732A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114862295A (zh) * | 2022-02-28 | 2022-08-05 | 弥费实业(上海)有限公司 | 存储仓选择方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102024677A (zh) * | 2009-09-18 | 2011-04-20 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体器件的制造方法 |
| CN104283772A (zh) * | 2014-10-15 | 2015-01-14 | 浙江力太科技有限公司 | 生产车间实时消息互通方法 |
| CN105302104A (zh) * | 2015-11-24 | 2016-02-03 | 新奥光伏能源有限公司 | 一种太阳能电池生产线、其控制***及控制方法 |
| CN106292580A (zh) * | 2016-08-10 | 2017-01-04 | 深圳市益普科技有限公司 | 一种智能集成式半导体制造执行*** |
| CN107067181A (zh) * | 2017-04-25 | 2017-08-18 | 莆田市涵江区依吨多层电路有限公司 | 一种线路板生产管理***及方法 |
| CN107797525A (zh) * | 2016-08-31 | 2018-03-13 | 湖南中冶长天节能环保技术有限公司 | 一种生产参数智能管理方法、***和移动终端服务器 |
-
2018
- 2018-09-12 CN CN201811062303.0A patent/CN110895732A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102024677A (zh) * | 2009-09-18 | 2011-04-20 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体器件的制造方法 |
| CN104283772A (zh) * | 2014-10-15 | 2015-01-14 | 浙江力太科技有限公司 | 生产车间实时消息互通方法 |
| CN105302104A (zh) * | 2015-11-24 | 2016-02-03 | 新奥光伏能源有限公司 | 一种太阳能电池生产线、其控制***及控制方法 |
| CN106292580A (zh) * | 2016-08-10 | 2017-01-04 | 深圳市益普科技有限公司 | 一种智能集成式半导体制造执行*** |
| CN107797525A (zh) * | 2016-08-31 | 2018-03-13 | 湖南中冶长天节能环保技术有限公司 | 一种生产参数智能管理方法、***和移动终端服务器 |
| CN107067181A (zh) * | 2017-04-25 | 2017-08-18 | 莆田市涵江区依吨多层电路有限公司 | 一种线路板生产管理***及方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114862295A (zh) * | 2022-02-28 | 2022-08-05 | 弥费实业(上海)有限公司 | 存储仓选择方法、装置、计算机设备和存储介质 |
| WO2023160081A1 (zh) * | 2022-02-28 | 2023-08-31 | 弥费科技(上海)股份有限公司 | 存储仓选择方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108920354B (zh) | 埋点管理方法、装置、计算机设备和存储介质 | |
| WO2020015166A1 (zh) | 图表组件的创建方法、装置及计算机可读存储介质 | |
| US8229576B2 (en) | Field device management apparatus and field device management system | |
| CN108345511B (zh) | 一种应用数据校验方法、装置及电子设备 | |
| CN107958365B (zh) | 物料信息变更方法、装置、存储介质及电子设备 | |
| CN107958021B (zh) | 业务流程数据的处理方法、装置、存储介质及设备 | |
| CN112099972B (zh) | 基于rpa机器人的办公文件处理方法、装置和设备 | |
| CN114611481A (zh) | 模板的配置方法、装置、计算机设备、存储介质 | |
| CN111026439A (zh) | 应用程序的兼容方法、装置、设备及计算机存储介质 | |
| CN114465937A (zh) | 网卡测试方法、装置、服务器、介质和计算机程序产品 | |
| CN110895732A (zh) | 晶圆映射生产管理方法、装置、***、介质和计算机设备 | |
| CN112965721B (zh) | 基于Android的项目编译方法、装置、计算机设备及存储介质 | |
| CN112214256B (zh) | 机器学习的运行控制方法、装置、电子设备及存储介质 | |
| CN107423291A (zh) | 一种数据翻译方法以及客户端设备 | |
| CN106095886B (zh) | 一种数据处理方法及其装置 | |
| CN112016256A (zh) | 一种集成电路开发平台、方法、存储介质及设备 | |
| CN110865943A (zh) | 接口测试方法、装置、计算机设备和存储介质 | |
| CN112882708A (zh) | 列表界面的实现方法及装置、电子设备、存储介质 | |
| CN109871214B (zh) | 程序代码生成方法、装置、计算机设备和存储介质 | |
| CN112069078A (zh) | Esa接口压力测试方法、装置、测试设备及存储介质 | |
| CN111198676B (zh) | 资源数据的展示方法及装置、存储介质、终端 | |
| CN113128187B (zh) | 一种表单生成方法、装置及*** | |
| CN109445964B (zh) | 外部***中与sap***进行数据传输的方法及装置 | |
| CN110430233B (zh) | 场景文件上传方法、装置、计算机设备和存储介质 | |
| CN115619353A (zh) | 芯片制造数据处理方法、装置和计算机设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20200320 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |