CN110864677B - 基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置 - Google Patents

基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110864677B
CN110864677B CN201911219728.2A CN201911219728A CN110864677B CN 110864677 B CN110864677 B CN 110864677B CN 201911219728 A CN201911219728 A CN 201911219728A CN 110864677 B CN110864677 B CN 110864677B
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
line
square
convex lens
reflector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201911219728.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110864677A (zh
Inventor
郝雪弟
张中平
勒立坤
丁垚天
杨学强
孙磊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
China University of Mining and Technology Beijing CUMTB
Original Assignee
China University of Mining and Technology Beijing CUMTB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by China University of Mining and Technology Beijing CUMTB filed Critical China University of Mining and Technology Beijing CUMTB
Priority to CN201911219728.2A priority Critical patent/CN110864677B/zh
Publication of CN110864677A publication Critical patent/CN110864677A/zh
Priority to PCT/CN2020/097653 priority patent/WO2021109548A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110864677B publication Critical patent/CN110864677B/zh
Priority to ZA2022/05548A priority patent/ZA202205548B/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C15/00—Surveying instruments or accessories not provided for in groups G01C1/00 - G01C13/00
    • G01C15/002—Active optical surveying means
    • G01C15/004—Reference lines, planes or sectors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0927—Systems for changing the beam intensity distribution, e.g. Gaussian to top-hat
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938—Using specific optical elements
    • G02B27/095—Refractive optical elements
    • G02B27/0955—Lenses
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938—Using specific optical elements
    • G02B27/0977—Reflective elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置，本发明属于激光图案发生设备技术领域，尤其涉及一种对方形轮廓进行激光标示的方法及装置，共包括点线激光转换模块、线激光准直模块、线激光放大模块共计三个功能模块，将点状激光分别转换为发散线激光、准直线激光、放大线激光，最终实现了将一点状激光调整为一个方形激光图案的功能，解决了多点激光发射时装置繁多且难以识别的缺点，同时克服了已有的采用光栅技术实现方形轮廓激光标示时成本高、加工难的缺点，以低成本、原理更简易的方式实现了点激光到方形激光图案的转换。

Description

基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置
技术领域
本发明属于激光图案发生设备技术领域，尤其涉及一种对方形轮廓进行激光标示的方法及装置。
背景技术
在生产生活中，有多种工作场合需要对方形的轮廓进行激光标示，如矩形巷道的掘进过程中，若不对轮廓进行精准标示而由掘进机司机主观判断进行截割作业，往往会造成超挖欠挖等现象，巷道成型质量低且容易发生危险事故。
山东科技大学的李青海等人曾提出一种巷道掘进示阔装置及其操作方法(专利号CN105806256A)，该发明以呈矩形的主体框架和多个示阔激光管为主，能够实现轮廓为矩形的巷道示阔功能，但该装置结构复杂，示阔激光管繁多，每个激光管只能发射一点激光，装置成本极高，且所标示的方形轮廓并非一条连续的激光线，而是由多个点状光源发射成的多个点组成的一个近似矩形的点阵图案，成本高且轮廓标示效果不显著。
天地上海采掘装备科技有限公司的研究人员曾提出一种巷道轮廓发生装置(专利号CN103835724A)，该巷道轮廓发生装置主要包括光影发生器和距离测量装置，可把巷道轮廓用多点激光的方式照射到巷道尽头，形成可见的巷道轮廓光点，实现巷道示阔功能。但该装置发射的也只能为光点，而非连续的曲线，需要多个发光组件打出多个点，识别效果不如连续的激光线好，结构较复杂，成本高且轮廓标示效果不显著。
目前单激光源的点状激光变为方形线激光的技术中，光栅刻制的方法能实现点变方形图案的功能，但刻制光栅加工精度要求很高，成本较高。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中的激光多点发射，识别效果差，装置复杂繁多的缺点，克服光栅法将点激光变为方形激光时要求加工精度高、成本高的缺点，利用光学中反射与折射的原理以低成本的方式将点状激光变为方形的激光图案。为此，本发明提供了一种基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置。
基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置，其特征在于：该方法及装置能够实现将单个点状激光经所设计的光路调整为方形的激光图案，共包括三个功能模块，分别为：点线激光转换模块、线激光准直模块、线激光放大模块；其中，点线激光转换模块依次由激光发生装置、锥面反射镜、方形反射镜框架和反射镜片组成；线激光准直模块由方形凸透镜柱支撑架和凸透镜柱组成；线激光放大模块由圆形双面放大凸透镜组成。
通过该方法及装置将点状激光调整为放大的方形激光图案的具体步骤如下：
步骤一：点激光转换为四条发散的线激光：所述点线激光转换模块中，所述激光发生装置发出点状激光，经所述锥面反射镜反射成为一圈沿竖直平面向四周发散的连续线激光，该连续线激光均照射在所述方形反射镜框架上，其中激光入射至所述方形反射镜框架居中部位的四个所述反射镜片上时会再次发生反射，出射后形成四条连续线激光，实现点线激光转换的功能；
步骤二：发散的线激光转换为准直线激光：所述线激光准直模块中，入射光为四条发散的线激光，分别入射至安装在所述方形凸透镜柱支撑架上的四个所述凸透镜柱上，在所述凸透镜柱内发生折射，变为四条准直的线激光。
步骤三：四条准直线激光放大为方形图案：所述线激光放大模块中，四条经准直后的线激光入射至所述圆形双面放大凸透镜上，经其折射后，在大于焦距的距离后，上、下两条激光线交叉互换位置，左、右两条激光线交叉互换位置，实现线激光的放大功能，且距离越远方形图案的放大倍数越大。
进一步地，所述点线激光转换模块中，所述激光发生装置与所述锥面反射镜通过螺纹连接，所述锥面反射镜的圆锥母线与其圆锥底面的夹角为45°，所述激光发生装置的出光口中心正对所述锥面反射镜的锥顶，所出射的激光射至锥面反射镜并在其表面发生反射，其入射角、反射角均为45°。
进一步地，所述点线激光转换模块中，所述方形反射镜框架和所述反射镜片是通过内凹槽过盈配合或粘连方式于居中部位连接，所述反射镜片分为上下左右共计四个，经所述锥面反射镜反射后的激光入射至所述反射镜片上时，其入射角与反射角均为45度。
进一步地，所述点线激光转换模块中，所述激光发生装置与所述锥面反射镜组合成一个整体，所述方形反射镜框架和所述反射镜片组合成一个整体，这两个整体是通过所述激光发生装置的外径与所述方形反射镜框架的内孔过盈配合而安装的。
进一步地，所述线激光准直模块中，所述方形凸透镜柱支撑架和所述凸透镜柱通过内凹槽过盈配合或粘连方式于居中部位连接，所述凸透镜柱分为上下左右共计四个。
进一步地，所述线激光准直模块中，所述凸透镜柱光心与所述点线激光转换模块中的所述方形反射镜框架的安装距离应等于所述凸透镜柱焦距与所述方形反射镜框架边长一半的差值，以保证激光从所述锥面反射镜的锥顶出发，到达所述凸透镜柱光心的距离为所述凸透镜柱的焦距，四条发散线激光转化为四条准直线激光。
进一步地，所述线激光准直模块中，所述方形凸透镜柱支撑架与所述点线激光转换模块中的所述方形反射镜框架及所述激光发生装置、所述线激光放大模块中的所述圆形双面放大凸透镜应保持同心，即各部分的几何中心应位于同一直线上，该直线即最初点激光的前进方向所在的直线。
相比于以前的方形轮廓激光标示技术，本发明的有益效果是：
(1)本发明利用三个功能模块将点状激光分别转换为发散线激光、准直线激光、放大线激光，最终实现了将一点状激光调整为一个方形激光图案的功能，解决了多点激光发射时装置繁多且难以识别的缺点，提高了巷道轮廓的标示精度。
(2)本发明克服了已有的采用光栅技术实现方形轮廓激光标示时成本高、加工难的缺点，克服了多点激光发射效果差、成本高的缺点，以更低成本、原理更简易的方式实现了点激光到方形激光图案的转换。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：
图1是本发明中装置各部分组成及其各模块组成示意图。
其中，图1中：
1：点线激光转换模块 2：线激光准直模块
3：线激光放大模块 4：激光发生装置
5：锥面反射镜 6：方形反射镜框架
7：反射镜片 8：方形凸透镜柱支撑架
9：凸透镜柱 10：圆形双面放大凸透镜
具体实施方式
下面结合附图对本发明具体实施例作进一步详细描述。
在图1中，给出了基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示装置的整体布置情况，由图可知，从右向左，该装置共包括三个功能模块，分别为：点线激光转换模块1、线激光准直模块2、线激光放大模块3。
点线激光转换模块1依次由激光发生装置4、锥面反射镜5、方形反射镜框架6和反射镜片7组成。
线激光准直模块2由方形凸透镜柱支撑架8和凸透镜柱9组成。
线激光放大模块3由圆形双面放大凸透镜10组成。
通过该方法及装置将点状激光调整为放大的方形激光图案主要包括以下三个步骤：
步骤一：点激光转换为四条发散的线激光：点线激光转换模块1中，激光发生装置4发出点状激光，经锥面反射镜5反射成为一圈沿竖直平面向四周发散的连续线激光，该连续线激光均照射在方形反射镜框架6上，其中激光入射至方形反射镜框架6居中部位的四个反射镜片7上时会再次发生反射，出射后形成四条连续线激光，实现点线激光转换的功能；
步骤二：发散的线激光转换为准直线激光：线激光准直模块2中，入射光为四条发散的线激光，分别入射至安装在方形凸透镜柱支撑架8上的四个凸透镜柱9上，在凸透镜柱9内发生折射，变为四条准直的线激光。
步骤三：四条准直线激光放大为方形图案：线激光放大模块3中，四条经准直后的线激光入射至圆形双面放大凸透镜10上，经其折射后，在大于焦距的距离后，上、下两条激光线交叉互换位置，左、右两条激光线交叉互换位置，实现线激光的放大功能，且距离越远方形图案的放大倍数越大。
对于该方法与装置，点线激光转换模块1中，激光发生装置4与锥面反射镜5通过螺纹连接，锥面反射镜5的圆锥母线与其圆锥底面的夹角为45°，激光发生装置4的出光口中心正对锥面反射镜5的锥顶，所出射的激光射至锥面反射镜5并在其表面发生反射，其入射角、反射角均为45°。
对于该方法与装置，点线激光转换模块1中，方形反射镜框架6和反射镜片7是通过内凹槽过盈配合或粘连方式于居中部位连接，反射镜片7分为上下左右共计四个，经锥面反射镜5反射后的激光入射至反射镜片7上时，其入射角与反射角均为45度。
对于该方法与装置，点线激光转换模块1中，激光发生装置4与锥面反射镜5组合成一个整体，方形反射镜框架6和反射镜片7组合成一个整体，这两个整体是通过激光发生装置4的外径与方形反射镜框架6的内孔过盈配合而安装的。
对于该方法与装置，线激光准直模块2中，方形凸透镜柱支撑架8和凸透镜柱9通过内凹槽过盈配合或粘连方式于居中部位连接，凸透镜柱9分为上下左右共计四个。
对于该方法与装置，线激光准直模块2中，凸透镜柱9光心与点线激光转换模块1中的方形反射镜框架6的安装距离应等于凸透镜柱9焦距与方形反射镜框架6边长一半的差值，以保证激光从锥面反射镜5的锥顶出发，到达凸透镜柱9光心的距离为凸透镜柱9的焦距，四条发散线激光转化为四条准直线激光。
对于该方法与装置，线激光准直模块2中，方形凸透镜柱支撑架8与点线激光转换模块1中的方形反射镜框架6及激光发生装置4、线激光放大模块3中的圆形双面放大凸透镜10应保持同心，即各部分的几何中心应位于同一直线上，该直线即最初点激光的前进方向所在的直线。

Claims (5)

1.基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法，其特征在于：该方法能够实现将单个点状激光经所设计的光路调整为方形的激光图案，共包括三个功能模块，分别为：点线激光转换模块、线激光准直模块、线激光放大模块；其中，点线激光转换模块依次由激光发生装置、锥面反射镜、方形反射镜框架和反射镜片组成；线激光准直模块由方形凸透镜柱支撑架和凸透镜柱组成；线激光放大模块由圆形双面放大凸透镜组成；
通过该方法将点状激光调整为放大的方形激光图案的具体步骤如下：
步骤一：点激光转换为四条发散的线激光：点线激光转换模块中，激光发生装置发出点状激光，经锥面反射镜反射成为一圈沿竖直平面向四周发散的连续线激光，该连续线激光均照射在方形反射镜框架上，其中激光入射至方形反射镜框架居中部位的四个反射镜片上时会再次发生反射，出射后形成四条连续线激光，实现点线激光转换的功能；
步骤二：发散的线激光转换为准直线激光：线激光准直模块中，入射光为四条发散的线激光，分别入射至安装在方形凸透镜柱支撑架上的四个凸透镜柱上，在凸透镜柱内发生折射，变为四条准直的线激光；
步骤三：四条准直线激光放大为方形图案：线激光放大模块中，四条经准直后的线激光入射至圆形双面放大凸透镜上，经其折射后，在大于焦距的距离后，上、下两条激光线交叉互换位置，左、右两条激光线交叉互换位置，实现线激光的放大功能，且距离越远方形图案的放大倍数越大；
点线激光转换模块中，激光发生装置与锥面反射镜通过螺纹连接，锥面反射镜的圆锥母线与其圆锥底面的夹角为45°，激光发生装置的出光口中心正对锥面反射镜的锥顶，所出射的激光射至锥面反射镜并在其表面发生反射，其入射角、反射角均为45°；方形反射镜框架和反射镜片是通过内凹槽过盈配合或粘连方式于居中部位连接，反射镜片分为上下左右共计四个，经锥面反射镜反射后的激光入射至反射镜片上时，其入射角与反射角均为45度。
2.根据权利要求1所述的基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法，其特征在于：点线激光转换模块中，激光发生装置与锥面反射镜组合成一个整体，方形反射镜框架和反射镜片组合成一个整体，这两个整体是通过激光发生装置的外径与方形反射镜框架的内孔过盈配合而安装的。
3.根据权利要求1所述的基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法，其特征在于：线激光准直模块中，方形凸透镜柱支撑架和凸透镜柱通过内凹槽过盈配合或粘连方式于居中部位连接，凸透镜柱分为上下左右共计四个。
4.根据权利要求1所述的基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法，其特征在于：线激光准直模块中，凸透镜柱光心与点线激光转换模块中的方形反射镜框架的安装距离应等于凸透镜柱焦距与方形反射镜框架边长一半的差值，以保证激光从锥面反射镜的锥顶出发，到达凸透镜柱光心的距离为凸透镜柱的焦距，四条发散线激光转化为四条准直线激光。
5.根据权利要求1所述的基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法，其特征在于：线激光准直模块中，方形凸透镜柱支撑架与点线激光转换模块中的方形反射镜框架及激光发生装置、线激光放大模块中的圆形双面放大凸透镜应保持同心，即各部分的几何中心应位于同一直线上，该直线即最初点激光的前进方向所在的直线。
CN201911219728.2A 2019-12-03 2019-12-03 基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置 Active CN110864677B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911219728.2A CN110864677B (zh) 2019-12-03 2019-12-03 基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置
PCT/CN2020/097653 WO2021109548A1 (zh) 2019-12-03 2020-06-23 基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置
ZA2022/05548A ZA202205548B (en) 2019-12-03 2022-05-19 Method and device for laser marking of square contours based on optical reflection and refraction

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911219728.2A CN110864677B (zh) 2019-12-03 2019-12-03 基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110864677A CN110864677A (zh) 2020-03-06
CN110864677B true CN110864677B (zh) 2021-01-08

Family

ID=69658155

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911219728.2A Active CN110864677B (zh) 2019-12-03 2019-12-03 基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置

Country Status (3)

Country Link
CN (1) CN110864677B (zh)
WO (1) WO2021109548A1 (zh)
ZA (1) ZA202205548B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110864677B (zh) * 2019-12-03 2021-01-08 中国矿业大学(北京) 基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4494874A (en) * 1981-07-07 1985-01-22 Robotic Vision Systems, Inc. Detection of three-dimensional information using a projected point or line of light
JP2925084B1 (ja) * 1998-07-10 1999-07-26 トーヨーテクノ株式会社 開口レーザーラインマーカー
DE50303706D1 (de) * 2003-08-21 2006-07-20 Leister Process Tech Verfahren und Vorrichtung zum simultanen Erwärmen von Materialien
JP4291844B2 (ja) * 2006-10-24 2009-07-08 トーヨーテクノ株式会社 レーザー墨出し器用レーザーヘッド
US8284500B2 (en) * 2009-06-08 2012-10-09 Ayase Co., Ltd. Laser line-generator and laser line-generator module
DE102011089557A1 (de) * 2011-12-22 2013-06-27 Hilti Aktiengesellschaft Lasersystem zur Erzeugung einer linienförmigen Lasermarkierung
CN104515508A (zh) * 2013-09-30 2015-04-15 常州维尔曼光电仪器有限公司 一种四向激光投线仪
CN103835724A (zh) * 2014-03-20 2014-06-04 天地上海采掘装备科技有限公司 巷道轮廓发生装置
CN204376620U (zh) * 2014-09-23 2015-06-03 上海聚然智能科技有限公司 车轮发电机及采用车轮发电机的产品
CN206601533U (zh) * 2017-03-30 2017-10-31 青岛镭创光电技术有限公司 多维度标示激光模组及激光发射装置
CN107990847A (zh) * 2017-12-18 2018-05-04 中国矿业大学(北京) 一种基于激光光路调整的掘进巷道轮廓标示方法及装置
CN110220504A (zh) * 2019-07-09 2019-09-10 青岛镭创光电技术有限公司 反光元件及激光标线模组
CN110389494A (zh) * 2019-07-23 2019-10-29 傲基科技股份有限公司 激光装置及其激光投影图案尺寸的测算方法
CN110864677B (zh) * 2019-12-03 2021-01-08 中国矿业大学(北京) 基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021109548A1 (zh) 2021-06-10
CN110864677A (zh) 2020-03-06
ZA202205548B (en) 2022-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6469838B2 (en) Illumination device having light intensity distribution converting elements
CN105750729A (zh) 具有柱面分布微柱面透镜线阵光学镜头的激光加工装置
US20140003456A1 (en) Device For Converting The Profile of a Laser Beam Into a Laser Beam With a Rotationally Symmetrical Intensity Distribution
GB2062282A (en) Correcting non-uniform intensity distribution in light beams
CN110398842B (zh) 一种激光线性光斑整形光学***
CN110864677B (zh) 基于光学反射与折射的方形轮廓激光标示方法及装置
CN203811855U (zh) 一种将多束半导体激光耦合入单根光纤的耦合***
CN102334060B (zh) 用于使激光辐射均匀化的设备
CN102540471A (zh) 用于激光射束成形的光学***及包括此***的激光***
CN105189017A (zh) 用于产生具有线状强度分布的激光射线的设备
US11112615B2 (en) Device and method for the generation of a double or multiple spot in laser material processing
CN208758809U (zh) 一种激光打标设备的激光束能量控制结构
CN116136394B (zh) 一种集成点线双模式的激光测头装置及结构曲面测量方法
CN2847319Y (zh) 一种用于获得大面积均匀方形光斑的激光均束装置
CN205156922U (zh) 基于圆锥离轴反射的激光标线装置
CN102853278B (zh) 太阳光模拟装置用光源模组及该模拟测试装置
CN101586748A (zh) 一种照明装置
CN105371830A (zh) 基于圆锥离轴反射的激光标线装置
CN210776054U (zh) 一种360度反射式自由曲面整形激光模组
CN210243981U (zh) 一种激光线性光斑整形光学***
CN212083832U (zh) 激光开槽的光学***、激光器及带有激光器的设备
CN211317297U (zh) 一种线光源激光发射器
CN209784664U (zh) 一种产生环形光束的装置
CN112226761A (zh) 矩形匀化光斑激光熔覆头
CN105676598A (zh) 光线收集透镜、曝光光学***、曝光头及曝光装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant