CN110780089B - 可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计 - Google Patents
可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110780089B CN110780089B CN201911097156.5A CN201911097156A CN110780089B CN 110780089 B CN110780089 B CN 110780089B CN 201911097156 A CN201911097156 A CN 201911097156A CN 110780089 B CN110780089 B CN 110780089B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- resonator
- sensitive
- sensitivity
- coupling
- accelerometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims abstract description 65
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims abstract description 65
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims abstract description 65
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 73
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000004807 localization Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000001808 coupling effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0862—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with particular means being integrated into a MEMS accelerometer structure for providing particular additional functionalities to those of a spring mass system
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
一种可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计,包括:第一质量块结构、第二质量块结构和谐振结构,谐振结构分别与第一质量块结构和第二质量块结构相连;所述的谐振结构包括:电压相同的第一敏感谐振器、第二敏感谐振器和耦合谐振器,以及灵敏度调节谐振器。第一质量块结构包括:第一质量块、第一固定锚点和第一弹性梁;第二质量块结构包括:第二质量块、第二固定锚点和第二弹性梁。本发明通过三自由度的弱耦合结构设计和测量振幅比的模态局部化原理大大提高了加速度计的极限灵敏度,并在基础上额外附加了一个谐振器,通过调节该谐振器和另外两个谐振器间的静电耦合负刚度来调节加速度计的灵敏度,将量程扩大了50倍以上,使得本发明能适用于加速度变化范围很大的工作场景。
Description
技术领域
本发明涉及的是一种微机电***(MEMS)领域的技术,具体是一种可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计。
背景技术
近年来,国外期刊和国内专利中均报道了一种新型的MEMS谐振式加速度计,它基于曾于1977年获得诺贝尔物理学奖的模态局部化机理,通过测量两个弱耦合的谐振器的振幅比作为输出。采用该敏感机理的谐振式加速度计,其灵敏度相较于传统的频率输出的谐振式加速度计提高了两个数量级以上。但基于模态局部化机理的弱耦合谐振式加速度计离真正应用还存在着许多问题,其中最突出的一条在于其量程范围有限。在测量较大的加速度时,两个谐振器的振幅差距很大,计算振幅比时会出现大数除小数的情况,导致加速度计输出的误差急剧增大。而在惯性导航***中,加速度变化的范围往往很大,这导致了该敏感机理的加速度计无法同时兼顾高灵敏度和大的量程范围,大大限制了其投向实际应用。
发明内容
本发明针对现有技术存在的上述不足,提出一种弱耦合谐振式微加速度计,首先通过三自由度的弱耦合结构设计和测量振幅比的模态局部化原理大大提高了加速度计的极限灵敏度;其次在三自由度弱耦合谐振器的基础上额外附加了一个谐振器,通过调节该谐振器和另外两个谐振器间的静电耦合负刚度来调节加速度计的灵敏度,从而将加速度计的量程扩大了50倍以上,使得本发明能适用于加速度变化范围很大的工作场景。
本发明是通过以下技术方案实现的:
本发明包括:第一质量块结构、第二质量块结构和谐振结构,其中:谐振结构分别与第一质量块结构和第二质量块结构相连。
所述的第一质量块结构包括:第一质量块、第一固定锚点和第一弹性梁,其中:第一质量块通过第一弹性梁与第一固定锚点相连。
所述的第二质量块结构包括:第二质量块、第二固定锚点和第二弹性梁,其中:第二质量块通过第二弹性梁与第二固定锚点相连。
所述的谐振结构包括:电压相同的第一敏感谐振器、第二敏感谐振器和耦合谐振器,以及灵敏度调节谐振器,其中:第一敏感谐振器和第二敏感谐振器各自通过第一耦合梁和第二耦合梁与耦合谐振器相连,第一敏感谐振器和第二敏感谐振器对称设置于耦合谐振器两侧,灵敏度调节谐振器设置于第一和第二敏感谐振器之间并设置于耦合谐振器下。
所述的第一敏感谐振器与第一质量块结构之间为通过电势差静电耦合形成的第一负刚度弹簧。
所述的第二敏感谐振器与第二质量块结构之间为通过电势差静电耦合形成的第二负刚度弹簧。
所述的第一敏感谐振器与灵敏度调节谐振器之间为通过电势差静电耦合形成的第三负刚度弹簧。
所述的第二敏感谐振器与灵敏度调节谐振器之间为通过电势差静电耦合形成的第四负刚度弹簧。
技术效果
与现有技术相比,本发明通过三自由度的弱耦合结构设计和测量振幅比的模态局部化原理大大提高了加速度计的极限灵敏度;其次,本发明在三自由度弱耦合谐振器的基础上额外附加了一个谐振器,通过调节该谐振器和另外两个谐振器间的静电耦合负刚度来调节灵敏度,使加速度计的量程扩大了50倍以上,使得本发明能适用于加速度变化范围很大的工作场景。
附图说明
图1为本发明弱耦合谐振***的简化模型示意图;
图2为本发明总体结构示意图;
图3为本发明弱耦合谐振器的结构示意图;
图4为本发明灵敏度调节电压为123V时的频率响应曲线图;
其中:图4a为无加速度输入时传感器的输入输出特性曲线图;图4b为0.3g加速度输入时传感器的输入输出特性曲线图;
图5为本发明灵敏度调节电压为25V时的灵敏度曲线图;
其中:图5a为±1g加速度输入范围内的振幅比灵敏度线性坐标曲线;图5b为±1g加速度输入范围内的振幅比灵敏度指数坐标曲线;
图6为本发明灵敏度和灵敏度调节电压的关系曲线图;
其中:图6a为0到1g加速度输入范围内不同灵敏度调节电压下振幅比曲线;图6b为1g加速度输入下振幅比相对于灵敏度调节电压的变化曲线;
图中:第一质量块结构1、第二质量块结构2、谐振结构3、第一质量块4、第一固定锚点5、第一弹性梁6、第二质量块7、第二固定锚点8、第二弹性梁9、第一敏感谐振器10、第二敏感谐振器11、耦合谐振器12、灵敏度调节谐振器13、第一耦合梁14、第二耦合梁15、第一负刚度弹簧16、第二负刚度弹簧17、第三负刚度弹簧18、第四负刚度弹簧19、三自由度弱耦合谐振器等效模型20、灵敏度调节谐振器等效模型21、第一敏感谐振器的等效质量22、耦合谐振器的等效质量23、第二敏感谐振器的等效质量24、灵敏度调节谐振器的等效质量25、第一敏感谐振器的等效刚度26、耦合谐振器的等效刚度27、第二敏感谐振器的等效刚度28、灵敏度调节谐振器的等效刚度29、第一耦合梁的等效刚度30、第二耦合梁的等效刚度31、第三负刚度弹簧的等效刚度32、第四负刚度弹簧的等效刚度33、施加耦合电压锚点34、施加灵敏度调节电压锚点35、第一静电激励电极对36、第二静电激励电极对37、第一差分位移测量电极对38、第二差分位移测量电极对39。
具体实施方式
如图1所示,为本实施例涉及的一种弱耦合谐振式微加速度计,其中包含:第一质量块结构1、第二质量块结构2、谐振结构3,其中:
所述的第一质量块结构1包括:第一质量块4、第一固定锚点5和第一弹性梁6,其中:第一质量块4通过第一弹性梁6与第一固定锚点5相连。
所述的第二质量块结构2包括:第二质量块7、第二固定锚点8和第二弹性梁9,其中:第二质量块7通过第二弹性梁9与第二固定锚点8相连。
所述的谐振结构3包括:电压相同的第一敏感谐振器10、第二敏感谐振器11和耦合谐振器12,以及灵敏度调节谐振器13,其中:第一敏感谐振器10通过第一耦合梁14与耦合谐振器12相连,第二敏感谐振器11通过第二耦合梁15与耦合谐振器12相连,第一敏感谐振器10和第二敏感谐振器11对称设置于耦合谐振器12两侧,灵敏度调节谐振器13设置于第一和第二敏感谐振器之间并设置于耦合谐振器12下。
所述的第一敏感谐振器10与第一质量块4之间为通过电势差静电耦合形成的第一负刚度弹簧16。
所述的第二敏感谐振器11与第二质量块7之间为通过电势差静电耦合形成的第二负刚度弹簧17。
所述的第一敏感谐振器10与灵敏度调节谐振器13之间为通过电势差静电耦合形成的第三负刚度弹簧18。
所述的第二敏感谐振器11与灵敏度调节谐振器13之间为通过电势差静电耦合形成的第四负刚度弹簧19。
如图1所示,第一敏感谐振器的等效刚度26和第二敏感谐振器的等效刚度28大小相同,设为K;第一敏感谐振器10和耦合谐振器12之间的耦合刚度30与第二敏感谐振器11和耦合谐振器12之间的耦合刚度31大小相同,设为Kc,耦合谐振器的等效刚度27要比K大,设为K2;设第一敏感谐振器10受激振动的幅值为X1,第二敏感谐振器11受激振动的幅值为X2,当无加速度激励时,X1和X2大小接近;而当存在加速度激励时,在同一个模态中振动的能量向单个谐振器传递,从而X1和X2的比值产生大幅变化,大于1还是小于1取决于一阶模态还是二阶模态。当存在偏置的刚度扰动时,设第一敏感谐振器10的刚度变为K+ΔK,则第二敏感谐振器11的刚度变为K-ΔK,则此时灵敏度为:
可知:耦合刚度Kc越小,加速度计的灵敏度越大,当Kc<<K时,可以获得极大的灵敏度,因此在设计结构时,可以通过降低耦合刚度Kc的值来提升极限灵敏度。
如图1所示,灵敏度调节谐振器等效模型21主体结构为灵敏度调节谐振器13,灵敏度调节谐振器的等效质量25与第一敏感谐振器的等效质量22和第二敏感谐振器的等效质量24接近,灵敏度调节谐振器的等效刚度29略大于第一敏感谐振器的等效刚度26和第二敏感谐振器的等效刚度28。当第三负刚度弹簧的等效刚度32和第四负刚度弹簧的等效刚度33为0时,三自由度弱耦合谐振器等效模型20和灵敏度调节谐振器等效模型21无任何直接作用,此时加速度计的灵敏度最高,但有效量程范围也最小;当第三负刚度弹簧的等效刚度32和第四负刚度弹簧的等效刚度33不为0时,三自由度弱耦合谐振器等效模型20和灵敏度调节谐振器等效模型21产生耦合作用,灵敏度调节谐振器13的谐振频率只是略大于第一敏感谐振器10和第二敏感谐振器11,因此在第一敏感谐振器10和第二敏感谐振器11的谐振频率附近,其振动能量的很大一部分通过第三负刚度弹簧的等效刚度32和第四负刚度弹簧的等效刚度33分流到灵敏度调节谐振器13上,使得加速度计的灵敏度迅速下降,与此同时其有效量程范围也迅速增大。
如图2所示,当在敏感方向上存在加速度时,第一质量块4和第二质量块7向同一个方向偏移,产生的位移会改变第一负刚度弹簧16和第二负刚度弹簧17,变化量其中:V为质量块和谐振器之间的电势差,ε0为真空介电常数,A为电容极板间的重叠面积,Δg为质量块与谐振器之间的间隙大小。设图2中加速度朝右,则第一质量块4和第二质量块7均向右移动,即第一质量块4和第一敏感谐振器10之间的间隙减小,第二质量块7和第二敏感谐振器11之间的间隙增大。因此,第一负刚度弹簧16的刚度减小Δkelec,而第二负刚度弹簧17的刚度增大Δkelec,导致第一敏感谐振器10和第二敏感谐振器11的刚度差达到了2Δkelec,使得两个完全对称的谐振器出现了等效刚度不匹配的现象,从而诱发了模态局部化效应,改变了两个谐振器的振幅比。
如图3所示,第一敏感谐振器10和第二敏感谐振器11呈对称放置;第一敏感谐振器10、耦合谐振器12和第二敏感谐振器11通过施加耦合电压锚点34施加相同的电压,本实施例中为25V,通过施加灵敏度调节电压锚点35调节灵敏度调节谐振器12上的电压来改变第三负刚度弹簧18和第四负刚度弹簧19的大小,从而调节加速度计的灵敏度,上述两个负刚度弹簧大小均可近似为:其中:ΔV为第一敏感谐振器10、第二敏感谐振器11和灵敏度调节谐振器13之间的电势差,ε0为真空介电常数,A0为电容极板间的重叠面积,g为第一敏感谐振器10、第二敏感谐振器11和灵敏度调节谐振器13之间的间隙大小。第一敏感谐振器10通过第一静电激励电极对36驱动产生振动,再通过第一差分位移测量电极对38对其振动幅值进行差分测量,消除了驱动电极和检测电极间的电势差引起的馈通电容信号干扰;第二敏感谐振器11通过第二静电激励电极对37驱动产生振动,再通过第二差分位移测量电极对39对其振动幅值进行差分测量。
如图4(a)所示,当无加速度输入时,第一敏感谐振器10和第二敏感谐振器11在前二阶模态下的振幅几乎相同,振幅比约等于1;图4(b)所示,当有0.3g加速度输入时,第一敏感谐振器10的一阶模态振幅相对于第二敏感谐振器11明显下降,第一敏感谐振器10的二阶模态振幅相对于第二敏感谐振器11明显上升,两个谐振器的振幅比发生显著变化,即为模态局部化现象。
如图5(a)所示,在1g加速度下,第一敏感谐振器10和第二敏感谐振器11的一阶模态振幅比达到了220.4,并且一阶模态振幅比和0到1g范围内的加速度呈现出良好的线性相关性,而二阶模态振幅比和-1到0g范围内的加速度也呈现出了良好的线性相关性;图5(b)所示,为对数坐标,在-1到0g加速度范围内的一阶模态振幅比和0到1g加速度范围内的振幅比基本互为倒数,因此,当通过测量一阶模态振幅比得到加速度,当加速度反向时,只需要将振幅比的倒数作为结果输出即可,测量二阶模态的振幅比。
如图6(a)所示,当测量的振幅比在10以内能保持较好的测量精度,测量的加速度范围在0到1g,可通过调节灵敏度调节电压至123V使得振幅比在1g作用下刚好等于10,此时加速度计处于最佳量程范围,其灵敏度称之为最优灵敏度;如果灵敏度调节电压继续增大,此时加速度计的灵敏度降低,测量效果不如最优灵敏度;如果灵敏度调节电压减小,此时的加速度计灵敏度增加,但当加速度接近1g时,振幅比远远大于10,此时求得的振幅比会出现大数除小数的情况,导致数值不稳定和失真现象,测量效果同样不如最优灵敏度。图6(b)所示,当灵敏度调节电压和施加在第一敏感谐振器10、第二敏感谐振器11和耦合谐振器12上的耦合电压(25V)相等时,此时加速度计的灵敏度最大,振幅比为220.4。在25V附近,存在一个平台区间,此区间内灵敏度调节电压对振幅比的影响不大。当灵敏度调节电压继续增大时,振幅比迅速下降;当调节电压增大到150V时,振幅比下降至3.767,此时加速度计的灵敏度仅为最大值的1.7%,即加速度计的有效量程范围扩大了58.5倍。
上述具体实施可由本领域技术人员在不背离本发明原理和宗旨的前提下以不同的方式对其进行局部调整,本发明的保护范围以权利要求书为准且不由上述具体实施所限,在其范围内的各个实现方案均受本发明之约束。
Claims (5)
1.一种可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计,其特征在于,包括:第一质量块结构、第二质量块结构和谐振结构,其中:谐振结构分别与第一质量块结构和第二质量块结构相连;
所述的谐振结构包括:电压相同的第一敏感谐振器、第二敏感谐振器和耦合谐振器,以及灵敏度调节谐振器,其中:第一敏感谐振器和第二敏感谐振器各自通过第一耦合梁和第二耦合梁与耦合谐振器相连,第一敏感谐振器和第二敏感谐振器对称设置于耦合谐振器两侧,灵敏度调节谐振器设置于第一和第二敏感谐振器之间并设置于耦合谐振器下;
所述的第一敏感谐振器与第一质量块结构之间为通过电势差静电耦合形成的第一负刚度弹簧;所述的第一敏感谐振器与灵敏度调节谐振器之间为通过电势差静电耦合形成的第三负刚度弹簧;
所述的第二敏感谐振器与第二质量块结构之间为通过电势差静电耦合形成的第二负刚度弹簧;所述的第二敏感谐振器与灵敏度调节谐振器之间为通过电势差静电耦合形成的第四负刚度弹簧。
2.根据权利要求1所述的弱耦合谐振式微加速度计,其特征是,所述的第一质量块结构包括:第一质量块、第一固定锚点和第一弹性梁,其中:第一质量块通过第一弹性梁与第一固定锚点相连。
3.根据权利要求1所述的弱耦合谐振式微加速度计,其特征是,所述的第二质量块结构包括:第二质量块、第二固定锚点和第二弹性梁,其中:第二质量块通过第二弹性梁与第二固定锚点相连。
4.根据权利要求1~3中任一所述的弱耦合谐振式微加速度计,其特征是,当无加速度激励时,第一敏感谐振器受激振动的幅值X1和第二敏感谐振器受激振动的幅值X2大小接近;
当存在加速度激励时,在同一个模态中振动的能量向单个谐振器传递,发生模态局部化效应,第一敏感谐振器受激振动的幅值X1和第二敏感谐振器受激振动的幅值X2的比值产生大幅变化;
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911097156.5A CN110780089B (zh) | 2019-11-11 | 2019-11-11 | 可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911097156.5A CN110780089B (zh) | 2019-11-11 | 2019-11-11 | 可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110780089A CN110780089A (zh) | 2020-02-11 |
CN110780089B true CN110780089B (zh) | 2021-10-01 |
Family
ID=69391324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201911097156.5A Expired - Fee Related CN110780089B (zh) | 2019-11-11 | 2019-11-11 | 可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110780089B (zh) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111505334A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-08-07 | 东南大学 | 一种机械灵敏度和测量范围可调的硅微流速计 |
CN111487435B (zh) * | 2020-05-14 | 2022-03-11 | 东南大学 | 基于弱耦合谐振器组三种工作方式的空气流速测量装置 |
CN111766405B (zh) * | 2020-05-14 | 2022-03-11 | 东南大学 | 一种基于谐振器能量局部化效应的双轴硅微加速度计 |
CN111766402A (zh) * | 2020-07-01 | 2020-10-13 | 浙江大学 | 一种微机械加速度计的调谐控制方法 |
CN112230017B (zh) * | 2020-10-15 | 2022-04-01 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 弱耦合式mems加速度传感器 |
CN112285383B (zh) * | 2020-10-21 | 2023-03-10 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种非对称梁谐振式微机械加速度传感器、加速度测量方法 |
CN112710865B (zh) * | 2020-12-11 | 2022-02-25 | 大连理工大学 | 一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器 |
CN112573476B (zh) * | 2020-12-14 | 2023-10-03 | 华中科技大学 | 一种灵敏度及带宽可调的mems传感器 |
CN112881755B (zh) * | 2021-01-19 | 2022-06-14 | 西北工业大学 | 一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计 |
CN113030515B (zh) * | 2021-03-11 | 2022-04-22 | 东南大学 | 一种直接测量弱耦合谐振器的振幅比的装置 |
CN113514666B (zh) * | 2021-04-29 | 2022-08-02 | 东南大学 | 一种基于pt对称谐振器的微机械加速度计及其检测方法 |
FR3126778B1 (fr) * | 2021-09-09 | 2023-09-08 | Commissariat Energie Atomique | Capteur de force presentant une plage de fonctionnement augmentee |
FR3126777B1 (fr) | 2021-09-09 | 2023-09-08 | Commissariat Energie Atomique | Capteur microélectromécanique résonant a fonctionnement amelioré |
CN113848001B (zh) * | 2021-09-14 | 2023-12-15 | 东南大学 | 一种rf谐振压力传感器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109557336A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-04-02 | 南京理工大学 | 一种静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构及其使用方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1273835C (zh) * | 2003-08-05 | 2006-09-06 | 北京大学 | 一种高灵敏度谐振加速度计芯片 |
TWI522307B (zh) * | 2013-03-25 | 2016-02-21 | 財團法人工業技術研究院 | 複合材料的微機電裝置與其製作方法 |
US9689888B2 (en) * | 2014-11-14 | 2017-06-27 | Honeywell International Inc. | In-plane vibrating beam accelerometer |
CN106629571B (zh) * | 2016-09-20 | 2019-04-09 | 西北工业大学 | 一种基于模态局部化效应的弱耦合mems谐振式加速度计 |
CN107643423B (zh) * | 2017-10-26 | 2020-05-12 | 西北工业大学 | 一种基于模态局部化效应的三自由度弱耦合谐振式加速度计 |
CN108375371B (zh) * | 2018-01-11 | 2020-04-03 | 西北工业大学 | 一种基于模态局部化效应的四自由度弱耦合谐振式加速度计 |
CN109828141B (zh) * | 2019-02-27 | 2021-02-02 | 西北工业大学 | 基于弱耦合微机械谐振器的高灵敏度电压测量装置及测量方法 |
-
2019
- 2019-11-11 CN CN201911097156.5A patent/CN110780089B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109557336A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-04-02 | 南京理工大学 | 一种静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构及其使用方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110780089A (zh) | 2020-02-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110780089B (zh) | 可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计 | |
CN107643423B (zh) | 一种基于模态局部化效应的三自由度弱耦合谐振式加速度计 | |
Gallacher et al. | Electrostatic correction of structural imperfections present in a microring gyroscope | |
CN106629571B (zh) | 一种基于模态局部化效应的弱耦合mems谐振式加速度计 | |
US6598475B2 (en) | Micromechanical inertial sensor having increased pickoff resonance damping | |
CN111721971B (zh) | 高灵敏度mems谐振式加速度传感器 | |
CN108375371B (zh) | 一种基于模态局部化效应的四自由度弱耦合谐振式加速度计 | |
JP6172272B2 (ja) | 改良された振動ジャイロスコープ | |
EP2746780B1 (en) | Bias reduction in force rebalanced accelerometers | |
AU2002334586A1 (en) | Micromechanical inertial sensor having increased pickoff resonance damping | |
JP2015525872A5 (zh) | ||
CN102057250B (zh) | 漂移补偿的惯性旋转传感器 | |
CN109596115B (zh) | 一种嵌套环式振动陀螺非线性效应抑制方法 | |
CN105866470A (zh) | 一种一体式石英双振梁加速度计 | |
CN111929469B (zh) | 一种可调低刚度微机械加速度计 | |
CN112485469B (zh) | 一种谐振式微机械加速度计及其控制方法 | |
US8186225B2 (en) | MEMS vacuum sensor based on the friction principle | |
KR20010077832A (ko) | 진동형 마이크로자이로스코프 | |
US10001387B2 (en) | Mode-tuning sense interface | |
WO2023065834A1 (zh) | 一种适用于mems模态局部化传感器的环状耦合*** | |
US7134338B2 (en) | Sensor with symmetrical limiting of a signal | |
JP3307907B2 (ja) | マイクロジャイロスコープ | |
US20150114126A1 (en) | Vibrating reed, angular velocity sensor, electronic device, and moving object | |
US9488477B2 (en) | Vibrating reed, angular velocity sensor, electronic device, moving object, and method for manufacturing vibrating reed | |
JP2002039759A (ja) | 半導体角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20211001 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |