CN110712999A - 一种激光曝光机自动上料装置及其上料方法 - Google Patents

一种激光曝光机自动上料装置及其上料方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种激光曝光机自动上料装置及其上料方法,包括自动上料装置本体，夹料机构，在自动上料装置本体上设有夹料机构移动轨道，夹料机构移动轨道槽，夹料机构，轨道支架，控位气缸，一级上料传送带，推料气缸，二级上料传送带，移动块，滚轮，水平推动气缸，夹持杆A，升降伺服电机，夹头，夹持杆B，转向电机，吸盘，吸泵，伺服电机，自动上料装置本体的夹料机构移动支架内部装有夹料机构，夹料机构在伺服电机的驱动下在夹料机构移动轨道槽内部来回移动，实现自动上料，该装置设计合理，采用夹料机构上的吸盘与夹头实现自动上料，上料准确，避免人工上料导致的多余曝光。

Description

一种激光曝光机自动上料装置及其上料方法
技术领域
本发明涉及激光曝光机上料技术领域，具体为一种激光曝光机自动上料装置及其上料方法。
背景技术
曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。
常见曝光机有MYCRO美国制造的恩科优（N&Q）紫外曝光***，适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6***成功地应用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电***，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。
但是，有部分曝光机在使用的时候需要手动上料，纳闷在上料的过程中难免会有手接触到曝光片，也有可能导致曝光材料见光，导致曝光过度。
发明内容
本发明的目的在于提供一种激光曝光机自动上料装置及其上料方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种激光曝光机自动上料装置,包括自动上料装置本体，夹料机构，所述自动上料装置本体上设有机台，机台的一侧上方竖直方向设有轨道支架，所述轨道支架的底端与机台固定连接，轨道支架的顶部一侧设有夹料机构移动轨道，所述夹料机构移动轨道的内部下方设有夹料机构，所述机台的内部设有一级上料传送带与二级上料传送带，一级上料传送带与二级上料传送带在同一水平高度。
优选的，所述夹料机构上设有移动块，移动块的内部设有伺服电机，所述移动块的两侧中央设有滚轮，滚轮安装在伺服电机的转轴上，所述移动块的底部两端对称设有水平推动气缸，水平推动气缸通过螺丝固定在移动块的两侧，所述移动块的底部对称设有加持杆A与夹持杆B，夹持杆A与夹持杆B均安装在水平推动气缸的推轴上。
优选的，所述夹持杆A的中央设有升降伺服电机，升降伺服电机与夹持杆A的上方固定连接，所述升降伺服电机的转轴上设有夹头，夹头的上端与升降伺服电机的转轴连接。
优选的，所述夹持杆B的中央设有升降伺服电机，夹持杆B上的升降伺服电机的转轴上设有夹杆，夹杆的底部端头设有转向电机，所述转向电机下方的夹头内部设有吸泵，吸泵的泵头上设有吸盘。
优选的，所述一级上料传送带的上方两端对称设有控位气缸，控位气缸安装在机台的上方边缘。
优选的，所述二级上料传送带上设有传送皮带，传送皮带的内部设有推料气缸，所述推料气缸垂直安装在传送皮带的内部。
优选的，所述夹料机构移动轨道的内部设有夹料机构移动轨道槽，夹料机构移动轨道槽的两侧下方对称设有滚轮槽。
优选的，一种激光曝光机自动上料装置，其上料方法包括以下步骤：
A、先将物料放置在一级上料传送带上的一端，一级上料传送带将物料送至一级上料传送带的另一端；
B、一级上料传送带停止移动，夹料机构在夹料机构移动轨道槽内部移动到一级上料传送带的一端正上方；
C、夹料机构上的夹持杆A与夹持杆B在升降伺服电机的驱动下夹头下降，夹持杆A与夹持杆B上的夹头分置在物料的两侧，水平推动气缸将夹持杆A与夹持杆B靠拢推动，夹持杆B上的吸盘与物料表面紧贴后吸泵将吸盘内部的气体排出，使吸盘与物料表面紧紧吸在一起，升降伺服电机上升，将物料提起；
D、夹料机构在夹料机构移动轨道槽内部移动，夹料机构移动至二级上料传送带的左端，夹料机构将物料缓慢放下；
E、推料气缸的推头推出，二级上料传送带带动物料移动，将物料送至曝光机构，完成上料。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
该装置设计合理，采用夹料机构上的吸盘与夹头实现自动上料，上料准确，避免人工上料导致的多余曝光。
附图说明
图1为本发明自动上料装置本体结构示意图；
图2为本发明夹料机构示意图；
图3为本发明夹料机构移动轨道截面图。
图中：1、自动上料装置本体；2、夹料机构移动轨道；3、夹料机构移动轨道槽；4、夹料机构；5、轨道支架；6、控位气缸；7、一级上料传送带；8、推料气缸；9、二级上料传送带；10、移动块；11、滚轮；12、水平推动气缸；13、夹持杆A；14、升降伺服电机；15、夹头；16、夹持杆B；17、转向电机；18、吸盘；19、吸泵；20、伺服电机；21、机台。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种激光曝光机自动上料装置,包括自动上料装置本体1，夹料机构4，自动上料装置本体1上设有机台21，机台21的一侧上方竖直方向设有轨道支架5，轨道支架5的底端与机台21固定连接，轨道支架5的顶部一侧设有夹料机构移动轨道2，夹料机构移动轨道2的内部设有夹料机构移动轨道槽3，夹料机构移动轨道槽3的两侧下方对称设有滚轮槽。
夹料机构移动轨道2的内部下方设有夹料机构4，夹料机构4上设有移动块10，移动块10的内部设有伺服电机20，移动块10的两侧中央设有滚轮11，滚轮11安装在伺服电机20的转轴上，移动块10的底部两端对称设有水平推动气缸12，水平推动气缸12通过螺丝固定在移动块10的两侧，移动块10的底部对称设有加持杆A13与夹持杆B16。
夹持杆A13的中央设有升降伺服电机14，升降伺服电机14与夹持杆A13的上方固定连接，升降伺服电机14的转轴上设有夹头15，夹头15的上端与升降伺服电机14的转轴连接，夹持杆B16的中央设有升降伺服电机14，夹持杆B16上的升降伺服电机14的转轴上设有夹杆，夹杆的底部端头设有转向电机17，转向电机17下方的夹头内部设有吸泵19，吸泵19的泵头上设有吸盘18，夹持杆A13与夹持杆B16均安装在水平推动气缸12的推轴上。
机台21的内部设有一级上料传送带7与二级上料传送带9，一级上料传送带7与二级上料传送9带在同一水平高度，一级上料传送带7的上方两端对称设有控位气缸6，控位气缸6安装在机台21的上方边缘，二级上料传送带9上设有传送皮带，传送皮带的内部设有推料气缸8，推料气缸8垂直安装在传送皮带的内部。
上料方法：先将物料放置在一级上料传送带7上的一端，一级上料传送带7将物料送至一级上料传送带7的另一端，一级上料传送带7停止移动，夹料机构4在夹料机构移动轨道槽3内部移动到一级上料传送带7的一端正上方，夹料机构4上的夹持杆A13与夹持杆B16在升降伺服电机14的驱动下夹头15下降，夹持杆A13与夹持杆B16上的夹头分置在物料的两侧，水平推动气缸12将夹持杆A13与夹持杆B16靠拢推动，夹持杆B16上的吸盘18与物料表面紧贴后吸泵将吸盘18内部的气体排出，使吸盘18与物料表面紧紧吸在一起，升降伺服电机14上升，将物料提起，夹料机构4在夹料机构移动轨道槽3内部移动，夹料机构4移动至二级上料传送带9的左端，夹料机构4将物料缓慢放下，推料气缸8的推头推出，二级上料传送带7带动物料移动，将物料送至曝光机构，完成上料。
该装置设计合理，采用夹料机构上的吸盘与夹头实现自动上料，上料准确，避免人工上料导致的多余曝光。
一种激光曝光机自动上料装置，其上料方法包括以下步骤：
A、先将物料放置在一级上料传送带7上的一端，一级上料传送带7将物料送至一级上料传送带7的另一端；
B、一级上料传送带7停止移动，夹料机构4在夹料机构移动轨道槽3内部移动到一级上料传送带7的一端正上方；
C、夹料机构4上的夹持杆A13与夹持杆B16在升降伺服电机14的驱动下夹头15下降，夹持杆A13与夹持杆B16上的夹头分置在物料的两侧，水平推动气缸12将夹持杆A13与夹持杆B16靠拢推动，夹持杆B16上的吸盘18与物料表面紧贴后吸泵将吸盘18内部的气体排出，使吸盘18与物料表面紧紧吸在一起，升降伺服电机14上升，将物料提起；
D、夹料机构4在夹料机构移动轨道槽3内部移动，夹料机构4移动至二级上料传送带9的左端，夹料机构4将物料缓慢放下；
E、推料气缸8的推头推出，二级上料传送带7带动物料移动，将物料送至曝光机构，完成上料。
本发明的有益效果是：
该装置设计合理，采用夹料机构上的吸盘与夹头实现自动上料，上料准确，避免人工上料导致的多余曝光。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种激光曝光机自动上料装置,包括自动上料装置本体（1），夹料机构（4），其特征在于：所述自动上料装置本体（1）上设有机台（21），机台（21）的一侧上方竖直方向设有轨道支架（5），所述轨道支架（5）的底端与机台（21）固定连接，轨道支架（5）的顶部一侧设有夹料机构移动轨道（2），所述夹料机构移动轨道（2）的内部下方设有夹料机构（4），所述机台（21）的内部设有一级上料传送带（7）与二级上料传送带（9），一级上料传送带（7）与二级上料传送（9）带在同一水平高度。
2.根据权利要求1所述的一种激光曝光机自动上料装置，其特征在于：所述夹料机构（4）上设有移动块（10），移动块（10）的内部设有伺服电机（20），所述移动块（10）的两侧中央设有滚轮（11），滚轮（11）安装在伺服电机（20）的转轴上，所述移动块（10）的底部两端对称设有水平推动气缸（12），水平推动气缸（12）通过螺丝固定在移动块（10）的两侧，所述移动块（10）的底部对称设有加持杆A（13）与夹持杆B（16），夹持杆A（13）与夹持杆B（16）均安装在水平推动气缸（12）的推轴上。
3.根据权利要求2所述的一种激光曝光机自动上料装置，其特征在于：所述夹持杆A（13）的中央设有升降伺服电机（14），升降伺服电机（14）与夹持杆A（13）的上方固定连接，所述升降伺服电机（14）的转轴上设有夹头（15），夹头（15）的上端与升降伺服电机（14）的转轴连接。
4.根据权利要求2所述的一种激光曝光机自动上料装置，其特征在于：所述夹持杆B（16）的中央设有升降伺服电机（14），夹持杆B（16）上的升降伺服电机（14）的转轴上设有夹杆，夹杆的底部端头设有转向电机（17），所述转向电机（17）下方的夹头内部设有吸泵（19），吸泵（19）的泵头上设有吸盘（18）。
5.根据权利要求1所述的一种激光曝光机自动上料装置，其特征在于：所述一级上料传送带（7）的上方两端对称设有控位气缸（6），控位气缸（6）安装在机台（21）的上方边缘。
6.根据权利要求1所述的一种激光曝光机自动上料装置，其特征在于：所述二级上料传送带（9）上设有传送皮带，传送皮带的内部设有推料气缸（8），所述推料气缸（8）垂直安装在传送皮带的内部。
7.根据权利要求1所述的一种激光曝光机自动上料装置，其特征在于：所述夹料机构移动轨道（2）的内部设有夹料机构移动轨道槽（3），夹料机构移动轨道槽（3）的两侧下方对称设有滚轮槽。
8.实现权利要求1所述的一种激光曝光机自动上料装置，其上料方法包括以下步骤：
A、先将物料放置在一级上料传送带（7）上的一端，一级上料传送带（7）将物料送至一级上料传送带（7）的另一端；
B、一级上料传送带（7）停止移动，夹料机构（4）在夹料机构移动轨道槽（3）内部移动到一级上料传送带（7）的一端正上方；
C、夹料机构（4）上的夹持杆A（13）与夹持杆B（16）在升降伺服电机（14）的驱动下夹头（15）下降，夹持杆A（13）与夹持杆B（16）上的夹头分置在物料的两侧，水平推动气缸（12）将夹持杆A（13）与夹持杆B（16）靠拢推动，夹持杆B（16）上的吸盘（18）与物料表面紧贴后吸泵将吸盘（18）内部的气体排出，使吸盘（18）与物料表面紧紧吸在一起，升降伺服电机（14）上升，将物料提起；
D、夹料机构（4）在夹料机构移动轨道槽（3）内部移动，夹料机构（4）移动至二级上料传送带（9）的左端，夹料机构（4）将物料缓慢放下；
E、推料气缸（8）的推头推出，二级上料传送带（7）带动物料移动，将物料送至曝光机构，完成上料。
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