CN110706981A - 一种结合单刀四掷开关的射频mems四路蛇形延时器 - Google Patents

一种结合单刀四掷开关的射频mems四路蛇形延时器 Download PDF

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张世义
李孟委
吴倩楠
朱光州
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Abstract

本发明属于延时器技术领域，具体涉及一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，包括衬底、上电极、信号线、延时线、地线、锚点、触点、下电极，所述信号线、下电极、延时线、地线均固定在衬底上，所述信号线包括第一信号线和第二信号线，所述上电极的一端通过锚点固定在第一信号线上，所述下电极的一端固定有触点，所述上电极的另一端设置在触点的正上方，所述下电极的另一端通过第二信号线与延时线级联，所述地线至少有两条，所述地线位于信号线和延时线的两侧。本发明产生效延时信号时具有延时量大，***损耗小，每位递变误差小，可重构，体积小等优点。本发明用于信号的延时。

Description

一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器
技术领域
本发明属于延时器技术领域，具体涉及一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器。
背景技术
射频MEMS延时器作为一种无源器件，是射频***的基本组件之一，通过金属－金属接触或者金属－绝缘介质－金属形成的电容来传输或者隔离微波信号，具有***损耗低，延时性能好等良好的微波性能，它可以广泛应用在各种射频、微波和毫米波通讯***中，对雷达预警、战术战略侦察、卫星组网和制导等军事领域均有重要意义。
目前常用的延时器大多数采用混合集成的形成，延时单元采用电缆实现，其缺点是体积大、集成度低、产品一致性难以控制、高低温下性能变化较大难以满足未来产品需要。
发明内容
针对上述技术问题，提供了一种延时量大、***损耗小的结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：
一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，包括衬底、上电极、信号线、延时线、地线、锚点、触点、下电极，所述信号线、下电极、延时线、地线均固定在衬底上，所述信号线包括第一信号线和第二信号线，所述上电极的一端通过锚点固定在第一信号线上，所述下电极的一端固定有触点，所述上电极的另一端设置在触点的正上方，所述下电极的另一端通过第二信号线与延时线级联，所述地线至少有两条，所述地线位于信号线和延时线的两侧。
所述第一信号线为星型结构，所述第一信号线包括一条主路和四条支路，所述主路分别与四条支路连接，所述支路通过锚点固定有上电极。
所述延时线为蛇形结构，所述延时线有四组，每组延时线的长度不同。
所述地线与信号线、延时线之间的距离保持不变。
所述衬底采用玻璃、陶瓷或高阻硅。
所述上电极和下电极均为长方体结构。
所述信号线弯折处均采用弧形结构。
本发明与现有技术相比，具有的有益效果是：
本发明采用上下电极之间设置触点，并且下电极与信号线相级联，信号线与延时蛇形线级联，信号线弯折处均采用弧形结构，可有效降低***损耗，本发明产生效延时信号时具有延时量大，***损耗小，每位递变误差小，可重构，体积小等优点。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明延时器开关的结构示意图；
图3为本发明延时线的结构示意图；
其中：1为衬底，2为上电极，3为信号线，4为延时线，5为地线，6为锚点，7为触点，8为下电极。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，如图1、图2所示，包括衬底1、上电极2、信号线3、延时线4、地线5、锚点6、触点7、下电极8，所述信号线3、下电极8、延时线4、地线5均固定在衬底1上，信号线3包括第一信号线3-1和第二信号线3-2，上电极2的一端通过锚点6固定在第一信号线3-1上，下电极8的一端固定有触点7，上电极2的另一端设置在触点7的正上方，当上电极2弯曲时与触点7相接触，此时开关呈现闭合状态，当上电极2未发生弯曲时，即与触点7不接触，此时开关呈现打开状态。下电极8的另一端通过第二信号线3-2与延时线4级联，地线5至少有两条，地线5位于信号线3和延时线4的两侧。
进一步，优选的，第一信号线3-1为星型结构，第一信号线3-1包括一条主路3-1-1和四条支路3-1-2，主路3-1-1分别与四条支路3-1-2连接，支路3-1-2通过锚点6固定有上电极2。
进一步，优选的，延时线4为蛇形结构，延时线4有四组，每组延时线4的长度不同。不同的延时线4长度不同，对信号延时能力不同，以达到对信号延时功能。
进一步，优选的，地线5与信号线3、延时线4之间的距离保持不变。
进一步，优选的，衬底1采用玻璃、陶瓷或高阻硅，由于这些材料的导电率较低，保证了传输射频信号时的低损耗特性。
进一步，优选的，上电极2和下电极8均为长方体结构。
进一步，优选的，信号线3弯折处均采用弧形结构，可以有效地降低***损耗。
本发明的工作流程为：当上电极弯曲时，上电极与触点相接触，此时开关处于打开状态，当位于蛇形延时线两端的两个开关均导通时，此时信号通过开关进入不同的蛇形延时线，不同的蛇形延时线长度不同，对信号延时能力不同，以达到对信号延时功能。不同的开关导通会形成不同的延时效果。信号线弯折处均采用弧形结构，地线采用不规则形状结构，保证地线与信号线之间距离不变，改善整体***的***损耗。
上面仅对本发明的较佳实施例作了详细说明，但是本发明并不限于上述实施例，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化，各种变化均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，其特征在于：包括衬底（1）、上电极（2）、信号线（3）、延时线（4）、地线（5）、锚点（6）、触点（7）、下电极（8），所述信号线（3）、下电极（8）、延时线（4）、地线（5）均固定在衬底（1）上，所述信号线（3）包括第一信号线（3-1）和第二信号线（3-2），所述上电极（2）的一端通过锚点（6）固定在第一信号线（3-1）上，所述下电极（8）的一端固定有触点（7），所述上电极（2）的另一端设置在触点（7）的正上方，所述下电极（8）的另一端通过第二信号线（3-2）与延时线（4）级联，所述地线（5）至少有两条，所述地线（5）位于信号线（3）和延时线（4）的两侧。
2.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，其特征在于：所述第一信号线（3-1）为星型结构，所述第一信号线（3-1）包括一条主路（3-1-1）和四条支路（3-1-2），所述主路（3-1-1）分别与四条支路（3-1-2）连接，所述支路（3-1-2）通过锚点（6）固定有上电极（2）。
3.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，其特征在于：所述延时线（4）为蛇形结构，所述延时线（4）有四组，每组延时线（4）的长度不同。
4.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，其特征在于：所述地线（5）与信号线（3）、延时线（4）之间的距离保持不变。
5.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，其特征在于：所述衬底（1）采用玻璃、陶瓷或高阻硅。
6.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，其特征在于：所述上电极（2）和下电极（8）均为长方体结构。
7.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，其特征在于：所述信号线（3）弯折处均采用弧形结构。
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