CN110670026B - 一种带有调节功能oled蒸镀源及其使用方法 - Google Patents

一种带有调节功能oled蒸镀源及其使用方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种带有调节功能OLED蒸镀源及其使用方法，包括固定板、固定孔、支撑板、外壳体、第一耳板、第二耳板、连接孔、上盖板、导向孔、夹紧弹簧、调节螺母、第一螺杆、第一通孔、第二螺杆、固定螺母、电机、坩埚、圆盘、导向块、轴承、第二通孔、加热管、磁铁块、底座、第一环形板、卡槽、第二环形板、滚珠和连接轴。可直接将坩埚放置在外壳体的内部，第一环形板下表面的卡槽会卡合在第二环形板上表面的滚珠顶端，坩埚的底端会与磁铁块进行吸合，以此可将坩埚与底座快速固定；在外壳体的内部等距离分布有多个加热管，电机工作可驱动坩埚跟随底座匀速转动，在多个加热管与坩埚匀速转动的共同作用下使得坩埚内部的蒸镀物能够受热均匀。

Description

一种带有调节功能OLED蒸镀源及其使用方法
技术领域
本发明涉及一种OLED蒸镀源及其使用方法，具体是一种带有调节功能OLED蒸镀源及其使用方法，属于OLED蒸镀源应用技术领域。
背景技术
实验室一般选用手动的真空蒸镀设备进行单片样品蒸镀，以便于制作种类不同的实验样品；中试线一般采用半自动的真空蒸镀设备进行连续的多片样品蒸镀，以便于小批量产品的切换；量产线一般采用全自动的真空蒸镀设备进行流水样品蒸镀(或采用线蒸镀技术与工艺)，以便于提高良品率、降低产品成本。
在现有技术中，现有的实验室中使用的蒸镀源结构都较为简单，坩埚在固定时较为繁琐，同时蒸镀源在对坩埚内部蒸镀材料进行加热时容易出现受热不均匀的现象发生，会影响其蒸镀效果，且目前的蒸镀源不具有对蒸镀量调节的功能，无法根据需求进行调节。因此，针对上述问题提出一种带有调节功能OLED蒸镀源及其使用方法。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种带有调节功能OLED蒸镀源及其使用方法。
本发明通过以下技术方案来实现上述目的，一种带有调节功能OLED蒸镀源，包括从上到下依次安装的调节结构、上盖板、第二耳板、第一耳板、外壳体、坩埚、支撑板、电机驱动结构和固定板；
所述调节结构包括第一螺杆、圆盘、第一通孔和第二通孔，所述第二通孔开设在所述上盖板的上表面，所述第一螺杆底端与所述圆盘上表面固接，且所述第一螺杆的顶端贯穿所述第二通孔；所述第一螺杆的顶端螺有调节螺母，所述调节螺母底端设有夹紧弹簧，所述夹紧弹簧套接于所述第一螺杆表面，所述第一通孔位于所述第二通孔外侧，且所述上盖板与所述圆盘表面均开有所述第一通孔；
所述电机驱动结构包括电机、第一环形板、第二环形板、轴承和连接轴，所述连接轴底端通过所述轴承与所述外壳体内腔底端转动连接，所述电机固接在所述固定板上表面，且所述电机的输出轴末端与所述连接轴底端固接；所述连接轴顶端固接有底座，所述底座的上表面固接有磁铁块，且所述磁铁块与所述坩埚底端吸合；所述第一环形板套接于所述坩埚顶端侧面，所述第一环形板的下表面开有卡槽，所述第二环形板外侧面与所述外壳体内侧壁固接，所述第二环形板的上表面镶嵌有滚珠，且所述卡槽卡合在所述滚珠顶端。
优选的，所述外壳体与所述固定板之间固接有所述支撑板，且所述固定板的上表面开有固定孔。
优选的，所述第一耳板固接在所述外壳体的顶端两侧侧面，且所述第二耳板固接在所述上盖板的两侧侧面。
优选的，所述第一耳板的上表面固接有第二螺杆，所述第二耳板的表面开有连接孔，且所述第二螺杆顶端贯穿所述连接孔并螺有固定螺母。
优选的，所述外壳体为中空结构，且其内侧壁上固接有加热管。
优选的，所述上盖板的上表面开有导向孔，所述圆盘的上表面固接有导向块，且所述导向块卡合在所述导向孔内部。
优选的，所述第二环形板的上表面呈环形分布有多个所述滚珠，且所述第一环形板与所述第二环形板滚动连接。
优选的，所述上盖板与所述圆盘的上表面均呈环形分布有多个所述第一通孔，且上、下两个所述第一通孔相互对齐。
优选的，所述支撑板为半圆形结构，且所述电机位于所述支撑板内部。
优选的，一种带有调节功能OLED蒸镀源得出一种带有调节功能OLED蒸镀源使用方法，所述使用方法包括如下步骤：
一、首先将蒸镀材料放置在坩埚的内部，再将坩埚从外壳体的顶端放置在其内部，使得第一环形板下表面的卡槽与第二环形板上表面的滚珠卡合，同时坩埚的底端会与磁铁块吸合，然后再通过第一耳板与第二耳板之间的配合将上盖板与外壳体进行固定；
二、调节蒸镀量，人工转动第一螺杆，使得圆盘顺着上盖板表面上的导向孔转动，从而使得上盖板与圆盘表面上的第一通孔保持对齐或错开，以此来控制第一通孔的开关，同时可调整蒸镀量；
三、通过拧紧调节螺母可使得夹紧弹簧被压缩，在夹紧弹簧的反作用力下可增强圆盘与上盖板之间的贴合性，具有良好的密封性；在拆卸调节螺母后，可将圆盘与上盖板进行分离，便于两者的清洁清洗，组装时也较为简单；
四、驱动电机工作，电机工作会驱动连接轴缓慢转动，从而会带动底座转动，由于底座顶端的磁铁块与坩埚的底端吸合，此时底座会带动坩埚同步转动，在外壳体内部的加热管会对坩埚进行加热，使得坩埚内部能够受热均匀，提高了蒸镀效果。
本发明的有益效果是：
本发明可直接将坩埚放置在外壳体的内部，第一环形板下表面的卡槽会卡合在第二环形板上表面的滚珠顶端，同时坩埚的底端会与磁铁块进行吸合，以此可将坩埚与底座快速固定，放、取时都较为简单；
本发明通过人工转动第一螺杆，使得圆盘顺着上盖板表面上的导向孔转动，从而对上盖板与圆盘表面上的第一通孔进行对齐或错开，以此来控制第一通孔的开合，同时可调整蒸镀量；
本发明在外壳体的内部等距离分布有多个加热管，电机工作可驱动坩埚跟随底座匀速转动，在多个加热管与坩埚匀速转动的共同作用下使得坩埚内部的蒸镀物能够受热均匀，提高蒸镀效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明内部结构示意图；
图3为图2中A处结构放大示意图；
图4为本发明圆盘结构示意图。
图中：1、固定板，2、固定孔，3、支撑板，4、外壳体，5、第一耳板，6、第二耳板，61、连接孔，7、上盖板，71、导向孔，8、夹紧弹簧，9、调节螺母，10、第一螺杆，11、第一通孔，12、第二螺杆，13、固定螺母，14、电机，15、坩埚，16、圆盘，161、导向块，17、轴承，18、第二通孔，19、加热管，20、磁铁块，21、底座，22、第一环形板，221、卡槽，23、第二环形板，24、滚珠，25、连接轴。
具体实施方式
为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而非全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
请参阅图1-4所示，一种带有调节功能OLED蒸镀源，包括从上到下依次安装的调节结构、上盖板7、第二耳板6、第一耳板5、外壳体4、坩埚15、支撑板3、电机驱动结构和固定板1；
所述调节结构包括第一螺杆10、圆盘16、第一通孔11和第二通孔18，所述第二通孔18开设在所述上盖板7的上表面，所述第一螺杆10底端与所述圆盘16上表面固接，且所述第一螺杆10的顶端贯穿所述第二通孔18；所述第一螺杆10的顶端螺有调节螺母9，所述调节螺母9底端设有夹紧弹簧8，所述夹紧弹簧8套接于所述第一螺杆10表面，所述第一通孔11位于所述第二通孔18外侧，且所述上盖板7与所述圆盘16表面均开有所述第一通孔11；
所述电机驱动结构包括电机14、第一环形板22、第二环形板23、轴承17和连接轴25，所述连接轴25底端通过所述轴承17与所述外壳体4内腔底端转动连接，所述电机14固接在所述固定板1上表面，且所述电机14的输出轴末端与所述连接轴25底端固接；所述连接轴25顶端固接有底座21，所述底座21的上表面固接有磁铁块20，且所述磁铁块20与所述坩埚15底端吸合；所述第一环形板22套接于所述坩埚15顶端侧面，所述第一环形板22的下表面开有卡槽221，所述第二环形板23外侧面与所述外壳体4内侧壁固接，所述第二环形板23的上表面镶嵌有滚珠24，且所述卡槽221卡合在所述滚珠24顶端。
所述外壳体4与所述固定板1之间固接有所述支撑板3，且所述固定板1的上表面开有固定孔2。
所述第一耳板5固接在所述外壳体4的顶端两侧侧面，且所述第二耳板6固接在所述上盖板7的两侧侧面。
所述第一耳板5的上表面固接有第二螺杆12，所述第二耳板6的表面开有连接孔61，且所述第二螺杆12顶端贯穿所述连接孔61并螺有固定螺母13。
所述外壳体4为中空结构，且其内侧壁上固接有加热管19。
所述上盖板7的上表面开有导向孔71，所述圆盘16的上表面固接有导向块161，且所述导向块161卡合在所述导向孔71内部。
所述第二环形板23的上表面呈环形分布有多个所述滚珠24，且所述第一环形板22与所述第二环形板23滚动连接。
所述上盖板7与所述圆盘16的上表面均呈环形分布有多个所述第一通孔11，且上、下两个所述第一通孔11相互对齐。
所述支撑板3为半圆形结构，且所述电机14位于所述支撑板3内部。
一种带有调节功能OLED蒸镀源得出一种带有调节功能OLED蒸镀源使用方法，所述使用方法包括如下步骤：
一、首先将蒸镀材料放置在坩埚15的内部，再将坩埚15从外壳体4的顶端放置在其内部，使得第一环形板22下表面的卡槽221与第二环形板23上表面的滚珠24卡合，同时坩埚15的底端会与磁铁块20吸合，然后再通过第一耳板5与第二耳板6之间的配合将上盖板7与外壳体4进行固定；
二、调节蒸镀量，人工转动第一螺杆10，使得圆盘16顺着上盖板7表面上的导向孔71转动，从而使得上盖板7与圆盘16表面上的第一通孔11保持对齐或错开，以此来控制第一通孔11的开关，同时可调整蒸镀量；
三、通过拧紧调节螺母9可使得夹紧弹簧8被压缩，在夹紧弹簧8的反作用力下可增强圆盘16与上盖板7之间的贴合性，具有良好的密封性；在拆卸调节螺母9后，可将圆盘16与上盖板7进行分离，便于两者的清洁清洗，组装时也较为简单；
四、驱动电机14工作，电机14工作会驱动连接轴25缓慢转动，从而会带动底座21转动，由于底座21顶端的磁铁块20与坩埚15的底端吸合，此时底座21会带动坩埚15同步转动，在外壳体4内部的加热管19会对坩埚15进行加热，使得坩埚15内部能够受热均匀，提高了蒸镀效果。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
以上所述，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种带有调节功能OLED蒸镀源，其特征在于：包括从上到下依次安装的调节结构、上盖板(7)、第二耳板(6)、第一耳板(5)、外壳体(4)、坩埚(15)、支撑板(3)、电机驱动结构和固定板(1)；
所述调节结构包括第一螺杆(10)、圆盘(16)、第一通孔(11)和第二通孔(18)，所述第二通孔(18)开设在所述上盖板(7)的上表面，所述第一螺杆(10)底端与所述圆盘(16)上表面固接，且所述第一螺杆(10)的顶端贯穿所述第二通孔(18)；所述第一螺杆(10)的顶端螺有调节螺母(9)，所述调节螺母(9)底端设有夹紧弹簧(8)，所述夹紧弹簧(8)套接于所述第一螺杆(10)表面，所述第一通孔(11)位于所述第二通孔(18)外侧，且所述上盖板(7)与所述圆盘(16)表面均开有所述第一通孔(11)；
所述电机驱动结构包括电机(14)、第一环形板(22)、第二环形板(23)、轴承(17)和连接轴(25)，所述连接轴(25)底端通过所述轴承(17)与所述外壳体(4)内腔底端转动连接，所述电机(14)固接在所述固定板(1)上表面，且所述电机(14)的输出轴末端与所述连接轴(25)底端固接；所述连接轴(25)顶端固接有底座(21)，所述底座(21)的上表面固接有磁铁块(20)，且所述磁铁块(20)与所述坩埚(15)底端吸合；所述第一环形板(22)套接于所述坩埚(15)顶端侧面，所述第一环形板(22)的下表面开有卡槽(221)，所述第二环形板(23)外侧面与所述外壳体(4)内侧壁固接，所述第二环形板(23)的上表面镶嵌有滚珠(24)，且所述卡槽(221)卡合在所述滚珠(24)顶端。
2.根据权利要求1所述的一种带有调节功能OLED蒸镀源，其特征在于：所述外壳体(4)与所述固定板(1)之间固接有所述支撑板(3)，且所述固定板(1)的上表面开有固定孔(2)。
3.根据权利要求2所述的一种带有调节功能OLED蒸镀源，其特征在于：所述第一耳板(5)固接在所述外壳体(4)的顶端两侧侧面，且所述第二耳板(6)固接在所述上盖板(7)的两侧侧面。
4.根据权利要求3所述的一种带有调节功能OLED蒸镀源，其特征在于：所述第一耳板(5)的上表面固接有第二螺杆(12)，所述第二耳板(6)的表面开有连接孔(61)，且所述第二螺杆(12)顶端贯穿所述连接孔(61)并螺有固定螺母(13)。
5.根据权利要求4所述的一种带有调节功能OLED蒸镀源，其特征在于：所述外壳体(4)为中空结构，且其内侧壁上固接有加热管(19)。
6.根据权利要求5所述的一种带有调节功能OLED蒸镀源，其特征在于：所述上盖板(7)的上表面开有导向孔(71)，所述圆盘(16)的上表面固接有导向块(161)，且所述导向块(161)卡合在所述导向孔(71)内部。
7.根据权利要求6所述的一种带有调节功能OLED蒸镀源，其特征在于：所述第二环形板(23)的上表面呈环形分布有多个所述滚珠(24)，且所述第一环形板(22)与所述第二环形板(23)滚动连接。
8.根据权利要求7所述的一种带有调节功能OLED蒸镀源，其特征在于：所述上盖板(7)与所述圆盘(16)的上表面均呈环形分布有多个所述第一通孔(11)，且上、下两个所述第一通孔(11)相互对齐。
9.根据权利要求8所述的一种带有调节功能OLED蒸镀源，其特征在于：所述支撑板(3)为半圆形结构，且所述电机(14)位于所述支撑板(3)内部。
10.根据权利要求9所述的一种带有调节功能OLED蒸镀源得出一种带有调节功能OLED蒸镀源使用方法，其特征在于：所述使用方法包括如下步骤：
一、首先将蒸镀材料放置在坩埚(15)的内部，再将坩埚(15)从外壳体(4)的顶端放置在其内部，使得第一环形板(22)下表面的卡槽(221)与第二环形板(23)上表面的滚珠(24)卡合，同时坩埚(15)的底端会与磁铁块(20)吸合，然后再通过第一耳板(5)与第二耳板(6)之间的配合将上盖板(7)与外壳体(4)进行固定；
二、调节蒸镀量，人工转动第一螺杆(10)，使得圆盘(16)顺着上盖板(7)表面上的导向孔(71)转动，从而使得上盖板(7)与圆盘(16)表面上的第一通孔(11)保持对齐或错开，以此来控制第一通孔(11)的开关，同时可调整蒸镀量；
三、通过拧紧调节螺母(9)可使得夹紧弹簧(8)被压缩，在夹紧弹簧(8)的反作用力下可增强圆盘(16)与上盖板(7)之间的贴合性，具有良好的密封性；在拆卸调节螺母(9)后，可将圆盘(16)与上盖板(7)进行分离，便于两者的清洁清洗，组装时也较为简单；
四、驱动电机(14)工作，电机(14)工作会驱动连接轴(25)缓慢转动，从而会带动底座(21)转动，由于底座(21)顶端的磁铁块(20)与坩埚(15)的底端吸合，此时底座(21)会带动坩埚(15)同步转动，在外壳体(4)内部的加热管(19)会对坩埚(15)进行加热，使得坩埚(15)内部能够受热均匀，提高了蒸镀效果。
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