CN110527947A - 一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机 - Google Patents

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CN110527947A CN201910966883.4A CN201910966883A CN110527947A CN 110527947 A CN110527947 A CN 110527947A CN 201910966883 A CN201910966883 A CN 201910966883A CN 110527947 A CN110527947 A CN 110527947A
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唐波
费明跃
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Abstract

本发明公开了一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，包括底板、第二皮带轮、热蒸发模块和夹紧舒展装置，本发明通过在真空罐内部设置了夹紧机构，将镀膜元件放置于载物板上端，使载物板通过压杆压动弹簧产生形变，从而使压杆带动第一折叠杆往下移动，使第一折叠杆和第二折叠杆之间的间距缩小，从而往左端推动推杆，使推杆带动夹块在转动凸块上端进行摆动，从而使夹块对镀膜元件进行固定，达到了能够快速对镀膜元件进行固定，使镀膜元件镀膜稳固的优点。

Description

一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机
技术领域
本发明涉及真空镀膜机相关领域，具体是一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机。
背景技术
随着激光技术的不断发展，以准分子激光器、自由电子激光器以及全固态真空紫外激光器为代表的深紫外/真空紫外激光光源相继出现，这些深紫外/真空紫外激光光源在微电子器件制造、微机械加工、纳米材料处理和生物医学工程等领域都有着非常广阔的应用前景，深紫外/真空紫外激光光源的快速发展及其广泛应用对薄膜光学元件提出了迫切的需求，以半导体制造产业为例，性能优良的薄膜光学元件应该能承受1010-1011个能量密度高达50mJ/cm2的紫外波长(193nm、157nm等)激光脉冲照射后性能不产生明显改变。
当前用于提高薄膜光学元件抗激光损伤性能和使用寿命的主要技术途径是减少吸收损耗和降低缺陷密度，研究表明，深紫外/真空紫外薄膜光学元件暴露于空气中时，易受水蒸气和碳氢根化合物等污染而导致光谱性能及其稳定性下降，为降低薄膜光学元件在深紫外/真空紫外波段的光学损耗，应消除碳氢根化合物对深紫外/真空紫外薄膜光学元件的污染，现在的配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机存在以下问题：
1、在真空镀膜机在使用时，一般是直接将镀膜元件放置于真空镀膜机内部，由于镀膜元件形状不规则，使得镀膜元件偏移倾倒，现有真空镀膜机不易快速对镀膜元件进行固定，导致镀膜元件偏移倾倒；
2、在真空镀膜机在使用时，由于需要使用紫外光照射清洁，现在的紫外光照射清洁设备一般是固定不动或者进行折叠收缩，在使用时往往需要人为进行调节，现有真空镀膜机不易快速对紫外光照射清洁设备进行舒展调节，并且不易对紫外光照射清洁设备的高度进行调节，导致紫外光照射清洁设备使用不方便。
发明内容
因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机。
本发明是这样实现的，构造一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，该装置包括底板、第二皮带轮、热蒸发模块和夹紧舒展装置，所述底板通过螺钉与第一电机底部锁紧固定，所述第一电机后端安装固定有保护罩，所述第一电机输出端与第一皮带轮中部转动配合，所述第一皮带轮通过传动皮带与第二皮带轮内侧壁传动连接，所述第二皮带轮与真空泵输出端转动连接，所述真空泵前端设置有控制面板，所述控制面板前端安装有按钮，所述保护罩后端固定有电源导线，所述真空泵通过导管与真空罐右端无缝连接且呈贯通结构，所述真空罐与排气阀底部密封连接且相连通，所述真空罐与侧门左端铰链连接，所述真空罐通过电弧焊的方式与固定架顶部紧密固定，所述真空罐前端边缘等距分布有支撑板，所述支撑板中部贯穿有螺杆，并且支撑板中部与螺杆螺纹连接，所述螺杆通过螺钉紧固于手轮后端，所述侧门上端边缘等距分布有卡块，并且侧门与卡块为一体化结构。
优选的，所述夹紧机构包括载物板、压杆、弹簧、第一折叠杆、第二折叠杆、滑轴、推杆、夹块和转动凸块，所述载物板与压杆上端固定连接，并且压杆采用过盈配合的方式嵌入安装于真空罐内部上端，所述压杆通过弹簧与真空罐内部上端摊销连接，所述第一折叠杆通过转轴与压杆前端中部转动配合，所述第二折叠杆通过滑轴与压杆前端下侧三分之一处设置的滑槽内侧滑动配合，并且第一折叠杆和第二折叠杆均活动嵌套于推杆右端，所述夹块通过转轴与推杆左端活动配合，并且夹块前端上侧三分之一处与转动凸块内侧转动连接。
优选的，所述启动机构包括齿条、导向块、驱动齿轮、驱动块、第一驱动杆、第二驱动杆、第一滑块、第一滑轨、压板、复位开关、接线盒和第一电动推杆，所述齿条一端与夹块左下端紧密固定，并且齿条另一端采用间隙配合的方式嵌入于导向块内侧，所述齿条与驱动齿轮下端啮合传动，所述驱动齿轮与驱动块右下端转动连接，所述第一驱动杆一端随着驱动块上端转动配合，并且第一驱动杆另一端通过转轴与第二驱动杆下端转动连接，所述第二驱动杆远离第一驱动杆一端与第一滑块前端转动配合，所述第一滑块沿着第一滑轨上端滑动，所述第一滑块通过强力胶与压板下端无缝粘合，所述第一电动推杆通过螺钉紧固于真空罐内部左下端，所述接线盒固定安装于第一电动推杆右下端，所述接线盒左端设置有复位开关，所述第一电动推杆与控制面板电连接。
优选的，所述舒展机构包括第二滑块、第二滑轨、第一摆动杆、第二摆动杆、第一固定块、翻板、第三摆动杆、第二固定块、升降机构和定位槽，所述第二滑块与第一电动推杆输出端固定连接，所述第二滑块沿着第二滑轨上端滑动，所述第一摆动杆一端活动嵌套于第二滑块前端，并且第一摆动杆另一端通过转轴与第二摆动杆前端下侧三分之一处转动配合，所述第二摆动杆活动嵌套于第一固定块内侧，并且第二摆动杆远离第一固定块一端通过插销与翻板前端下侧四分之一处转动配合，所述第一固定块与真空罐内部左下端紧密固定，所述第二固定块与真空罐内部左下端固定连接，所述第三摆动杆一端活动嵌套于第二固定块内侧，并且第三摆动杆另一端延伸至翻板前端上侧转动连接，所述翻板内部设置有升降机构，所述真空罐内部左端设置有定位槽，并且翻板采用间隙配合的方式嵌套于定位槽内侧。
优选的，所述升降机构包括第二电动推杆、定位块、活动杆、竖杆、凸板、复位弹簧、外框和紫外光照射清洁模块，所述第二电动推杆通过螺钉紧固于翻板内部左下端，所述定位块通过螺钉与翻板内部左上端锁紧固定，所述活动杆左端活动嵌套于定位块内侧，并且第二电动推杆与活动杆前端左侧五分之一处固定连接，所述活动杆与竖杆上端紧密贴合，所述竖杆上端设置有凸板，并且竖杆与凸板为一体化结构，所述凸板通过复位弹簧与外框内部下端弹性连接，所述竖杆通过间隙配合的方式贯穿于外框中部，并且竖杆下端固定有紫外光照射清洁模块，所述第二电动推杆和紫外光照射清洁模块均与控制面板电连接。
优选的，所述弹簧的弹力为四牛，并且镀膜元件的重力大于弹簧的弹力。
优选的，所述第一折叠杆和第二折叠杆均有两根小折叠杆构成，并且两小折叠杆之间构成V字形夹角，所述夹块共设置有两个，并且夹块沿压杆中部左右两侧呈对称状分布，两个所述夹块上端均设置有推杆和转动凸块。
优选的，所述翻板呈内部空腔的长方体状，并且翻板最大的翻动角度为九十度，所述定位槽的尺寸比翻板的尺寸大三毫米。
优选的，所述压板和复位开关中心线处于同一水平方向上，所述第一滑轨右端设置有限位板，并且限位板与第一滑轨右端固定连接。
优选的，所述真空罐内部上端固定有热蒸发模块，所述夹紧舒展装置安装于真空罐内部，所述夹紧舒展装置包括夹紧机构、启动机构和舒展机构，所述夹紧机构安装固定于真空罐内部下端，所述启动机构随着夹紧机构输出端同步移动，所述舒展机构与真空罐内部左端固定连接，所述第一电机、按钮和热蒸发模块均与控制面板电连接，所述控制面板与电源导线电连接。
优选的，所述第一电动推杆和第二电动推杆1均为HTA1500系列，具体型号根据实际使用情况进行设计或定制。
优选的，所述复位弹簧为合金弹簧钢材质，耐腐蚀性强。
优选的，所述活动杆为不锈钢材质，耐腐蚀性强。
优选的，所述驱动齿轮为42CrMo齿轮钢材质，具有强度高、淬透性高、韧性好等优点。
本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，与同类型设备相比，具有如下改进：
优点一：本发明所述一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，通过在真空罐内部设置了夹紧机构，将镀膜元件放置于载物板上端，使载物板通过压杆压动弹簧产生形变，从而使压杆带动第一折叠杆往下移动，使第一折叠杆和第二折叠杆之间的间距缩小，从而往左端推动推杆，使推杆带动夹块在转动凸块上端进行摆动，从而使夹块对镀膜元件进行固定，达到了能够快速对镀膜元件进行固定，使镀膜元件镀膜稳固的优点。
优点二：本发明所述一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，通过在真空罐内部设置了启动机构和舒展机构，夹块摆动带动齿条向左端移动，从而使齿条通过驱动齿轮转动带动第一驱动杆进行摆动，从而使第一驱动杆通过第二驱动杆带动第一滑块进行移动，使第一滑块带动压板压动复位开关，使第一电动推杆通电进行工作，第一电动推杆推动第二滑块进行移动，使第二滑块带动第二摆动杆进行摆动，从而使第二摆动杆带动翻板进行翻动舒展，同时第二电动推杆通电进行工作，往下端进行收缩，从而带动活动杆进行摆动，使活动杆压动竖杆往下端进行移动，使竖杆带动紫外光照射清洁模块的高度进行调节，达到了能够快速对紫外光照射清洁设备进行舒展调节，并且能够对紫外光照射清洁设备的高度进行调节的优点。
附图说明
图1是本发明结构示意图；
图2是本发明真空罐内部结构示意图；
图3是本发明夹紧舒展装置剖面结构示意图；
图4是本发明保护罩内部剖面结构示意图；
图5是本发明夹紧机构剖面结构示意图；
图6是本发明启动机构剖面结构示意图；
图7是本发明舒展机构剖面结构示意图；
图8是本发明舒展机构侧视结构示意图；
图9是本发明升降机构剖面结构示意图；
图10是本发明升降机构侧视结构示意图；
图11是本发明第一电动推杆A处放大结构示意图。
其中：底板-1、第一电机-2、保护罩-3、真空泵-4、控制面板-5、按钮-6、电源导线-7、导管-8、真空罐-9、排气阀-10、侧门-11、固定架-12、支撑板-13、螺杆-14、手轮-15、卡块-16、夹紧舒展装置-17、第一皮带轮-18、传动皮带-19、第二皮带轮-20、热蒸发模块-21、夹紧机构-171、启动机构-172、舒展机构-173、载物板-1711、压杆-1712、弹簧-1713、第一折叠杆-1714、第二折叠杆-1715、滑轴-1716、推杆-1717、夹块-1718、转动凸块-1719、齿条-1721、导向块-1722、驱动齿轮-1723、驱动块-1724、第一驱动杆-1725、第二驱动杆-1726、第一滑块-1727、第一滑轨-1728、限位板-17281、压板-1729、复位开关-17210、接线盒-17211、第一电动推杆-17212、第二滑块-1731、第二滑轨-1732、第一摆动杆-1733、第二摆动杆-1734、第一固定块-1735、翻板-1736、第三摆动杆-1737、第二固定块-1738、升降机构-1739、定位槽-17310、第二电动推杆-17391、定位块-17392、活动杆-17393、竖杆-17394、凸板-17395、复位弹簧-17396、外框-17397、紫外光照射清洁模块-17398。
具体实施方式
下面将结合附图1-11对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明通过改进在此提供一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，包括底板1、第二皮带轮20、热蒸发模块21和夹紧舒展装置17，底板1通过螺钉与第一电机2底部锁紧固定，第一电机2后端安装固定有保护罩3，第一电机2输出端与第一皮带轮18中部转动配合，第一皮带轮18通过传动皮带19与第二皮带轮20内侧壁传动连接，第二皮带轮20与真空泵4输出端转动连接，真空泵4前端设置有控制面板5，控制面板5前端安装有按钮6，保护罩3后端固定有电源导线7，真空泵4通过导管8与真空罐9右端无缝连接且呈贯通结构，真空罐9与排气阀10底部密封连接且相连通，真空罐9与侧门11左端铰链连接，真空罐9通过电弧焊的方式与固定架12顶部紧密固定，真空罐9前端边缘等距分布有支撑板13，支撑板13中部贯穿有螺杆14，并且支撑板13中部与螺杆14螺纹连接，螺杆14通过螺钉紧固于手轮15后端，侧门11上端边缘等距分布有卡块16，并且侧门11与卡块16为一体化结构。
进一步的，所述夹紧机构171包括载物板1711、压杆1712、弹簧1713、第一折叠杆1714、第二折叠杆1715、滑轴1716、推杆1717、夹块1718和转动凸块1719，所述载物板1711与压杆1712上端固定连接，并且压杆1712采用过盈配合的方式嵌入安装于真空罐9内部上端，所述压杆1712通过弹簧1713与真空罐9内部上端摊销连接，所述第一折叠杆1714通过转轴与压杆1712前端中部转动配合，所述第二折叠杆1715通过滑轴1716与压杆1712前端下侧三分之一处设置的滑槽内侧滑动配合，并且第一折叠杆1714和第二折叠杆1715均活动嵌套于推杆1717右端，所述夹块1718通过转轴与推杆1717左端活动配合，并且夹块1718前端上侧三分之一处与转动凸块1719内侧转动连接。
进一步的，所述启动机构172包括齿条1721、导向块1722、驱动齿轮1723、驱动块1724、第一驱动杆1725、第二驱动杆1726、第一滑块1727、第一滑轨1728、压板1729、复位开关17210、接线盒17211和第一电动推杆17212，所述齿条1721一端与夹块1718左下端紧密固定，并且齿条1721另一端采用间隙配合的方式嵌入于导向块1722内侧，所述齿条1721与驱动齿轮1723下端啮合传动，所述驱动齿轮1723与驱动块1724右下端转动连接，所述第一驱动杆1725一端随着驱动块1724上端转动配合，并且第一驱动杆1725另一端通过转轴与第二驱动杆1726下端转动连接，所述第二驱动杆1726远离第一驱动杆1725一端与第一滑块1727前端转动配合，所述第一滑块1727沿着第一滑轨1728上端滑动，所述第一滑块1727通过强力胶与压板1729下端无缝粘合，所述第一电动推杆17212通过螺钉紧固于真空罐9内部左下端，所述接线盒17211固定安装于第一电动推杆17212右下端，所述接线盒17211左端设置有复位开关17210，所述第一电动推杆17212与控制面板5电连接。
进一步的，所述舒展机构173包括第二滑块1731、第二滑轨1732、第一摆动杆1733、第二摆动杆1734、第一固定块1735、翻板1736、第三摆动杆1737、第二固定块1738、升降机构1739和定位槽17310，所述第二滑块1731与第一电动推杆17212输出端固定连接，所述第二滑块1731沿着第二滑轨1732上端滑动，所述第一摆动杆1733一端活动嵌套于第二滑块1731前端，并且第一摆动杆1733另一端通过转轴与第二摆动杆1734前端下侧三分之一处转动配合，所述第二摆动杆1734活动嵌套于第一固定块1735内侧，并且第二摆动杆1734远离第一固定块1735一端通过插销与翻板1736前端下侧四分之一处转动配合，所述第一固定块1735与真空罐9内部左下端紧密固定，所述第二固定块1738与真空罐9内部左下端固定连接，所述第三摆动杆1737一端活动嵌套于第二固定块1738内侧，并且第三摆动杆1737另一端延伸至翻板1736前端上侧转动连接，所述翻板1736内部设置有升降机构1739，所述真空罐9内部左端设置有定位槽17310，并且翻板1736采用间隙配合的方式嵌套于定位槽17310内侧。
进一步的，所述升降机构1739包括第二电动推杆17391、定位块17392、活动杆17393、竖杆17394、凸板17395、复位弹簧17396、外框17397和紫外光照射清洁模块17398，所述第二电动推杆17391通过螺钉紧固于翻板1736内部左下端，所述定位块17392通过螺钉与翻板1736内部左上端锁紧固定，所述活动杆17393左端活动嵌套于定位块17392内侧，并且第二电动推杆17391与活动杆17393前端左侧五分之一处固定连接，所述活动杆17393与竖杆17394上端紧密贴合，所述竖杆17394上端设置有凸板17395，并且竖杆17394与凸板17395为一体化结构，所述凸板17395通过复位弹簧17396与外框17397内部下端弹性连接，所述竖杆17394通过间隙配合的方式贯穿于外框17397中部，并且竖杆17394下端固定有紫外光照射清洁模块17398，所述第二电动推杆17391和紫外光照射清洁模块17398均与控制面板5电连接。
进一步的，所述弹簧1713的弹力为四牛，并且镀膜元件的重力大于弹簧1713的弹力，利于起到压动压杆1711进行下移的作用。
进一步的，所述第一折叠杆1714和第二折叠杆1715均有两根小折叠杆构成，并且两小折叠杆之间构成V字形夹角，所述夹块1718共设置有两个，并且夹块1718沿压杆1712中部左右两侧呈对称状分布，两个所述夹块1718上端均设置有推杆1717和转动凸块1719，利于起到带动推杆1717往左端进行移动的作用，并且使夹块1718对镀膜元件进行夹持的作用。
进一步的，所述翻板1736呈内部空腔的长方体状，并且翻板1736最大的翻动角度为九十度，所述定位槽17310的尺寸比翻板1736的尺寸大三毫米，利于起到对翻板1736固定的作用。
进一步的，所述压板1729和复位开关17210中心线处于同一水平方向上，所述第一滑轨1728右端设置有限位板17281，并且限位板17281与第一滑轨1728右端固定连接，利于起到对第一滑块1727进行限位的作用。
进一步的，真空罐9内部上端固定有热蒸发模块21，夹紧舒展装置17安装于真空罐9内部，夹紧舒展装置17包括夹紧机构171、启动机构172和舒展机构173，夹紧机构171安装固定于真空罐9内部下端，启动机构172随着夹紧机构171输出端同步移动，舒展机构173与真空罐9内部左端固定连接，第一电机2、按钮6和热蒸发模块21均与控制面板5电连接，控制面板5与电源导线7电连接。
进一步的，所述第一电动推杆17212和第二电动推杆17391均为HTA1500系列，具体型号根据实际使用情况进行设计或定制。
进一步的，所述复位弹簧17396为合金弹簧钢材质，耐腐蚀性强。
根据上表得知，本案中复位弹簧17396采用合金弹簧钢材质，可使其耐热性和耐蚀性大大增强，增加了其使用寿命。
进一步的，所述活动杆17393为不锈钢材质，耐腐蚀性强。
根据上表得知，本案中活动杆17393采用不锈钢材质，可使其强度、耐磨性和耐腐蚀性大大增强，增加了其使用寿命。
进一步的，所述驱动齿轮1723为42CrMo齿轮钢材质，具有强度高、淬透性高、韧性好等优点。
根据上表得知，本案中驱动齿轮1723采用42CrMo齿轮钢材质，可使其强度、淬透性和韧性大大增强，增加了其使用寿命。
本发明通过改进提供一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，按照如下方式运行；
第一，在使用前，首先将配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机进行水平放置，使底板1对该真空镀膜机进行固定支撑；
第二，在使用时，通过电源导线7接通外接电源，给该真空镀膜机提供电源，随后打开侧门11，将镀膜元件放置于载物板1711上端，并且合上侧门11，使螺杆14贯穿于卡块16中，并且转动手轮15，使手轮15带动螺杆14在支撑板13内侧进行螺纹传动，对侧门11与真空罐9进行密封，同时按下控制面板5上端的按钮6，启动该真空镀膜机；
第三，镀膜元件往下端压动载物板1711，使载物板1711通过压杆1712压动弹簧1713产生形变，从而使压杆1712带动第一折叠杆1714往下移动，使第一折叠杆1714和第二折叠杆1715之间的间距缩小，从而往左端推动推杆1717，使推杆1717带动夹块1718在转动凸块1719上端进行摆动，从而使夹块1718对镀膜元件进行固定；
第四，同时夹块1718摆动带动齿条1721向导向块1722内侧左端移动，从而使齿条1721带动驱动齿轮1723进行转动，驱动齿轮1723转动通过驱动块1724带动第一驱动杆1725进行摆动，从而使第一驱动杆1725通过第二驱动杆1726带动第一滑块1727往第一滑轨1728右端进行移动，使第一滑块1727带动压板1729压动复位开关17210，使第一电动推杆17212通电进行工作，第一电动推杆17212推动第二滑块1731往第二滑轨1732右端进行移动，使第二滑块1731通过第一摆动杆1733带动第二摆动杆1734在第一固定块1735内侧进行摆动，从而使第二摆动杆1734带动翻板1736进行翻动舒展，并且翻板1736翻动时会带动第三摆动杆1737在第二固定块1738内侧进行摆动，使翻板1736翻动平稳，使紫外光照射清洁模块17398位于镀膜元件上方，对镀膜元件进行清理；
第五，并且可以通过按下按钮6，启动升降机构1739，第二电动推杆17391通电进行工作，往下端进行收缩，从而带动活动杆17393在定位块17392内侧进行摆动，使活动杆17393压动竖杆17394往下端进行移动，活动杆17393移动带动凸板17395压动复位弹簧17396产生形变，使竖杆17394带动紫外光照射清洁模块17398的高度进行调节，对照射范围进行调节；
第六，同时，第一电机2通电进行工作，通过前端设置的转子带动第一皮带轮18进行转动，使第一皮带轮18通过传动皮带19带动第二皮带轮20进行转动，使第二皮带轮20驱动真空泵4进行工作，通过导管8对真空罐9内部的空气进行抽离，热蒸发模块21通电进行工作，实现薄膜材料的热蒸发，从而进行镀膜；
第七外光照射清洁模块17398通过紫外光照射分解紫外光光源周围的氧分子产生氧原子，氧原子与放置在载物板1711上的镀膜元件上的碳氢污染物发生光敏氧化反应，实现对镀膜元件的清洁目的。
本发明通过改进提供一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，通过在真空罐9内部设置了夹紧机构171，将镀膜元件放置于载物板1711上端，使载物板1711通过压杆1712压动弹簧1713产生形变，从而使压杆1712带动第一折叠杆1714往下移动，使第一折叠杆1714和第二折叠杆1715之间的间距缩小，从而往左端推动推杆1717，使推杆1717带动夹块1718在转动凸块1719上端进行摆动，从而使夹块1718对镀膜元件进行固定，达到了能够快速对镀膜元件进行固定，使镀膜元件镀膜稳固的优点；通过在真空罐9内部设置了启动机构172和舒展机构173，夹块1718摆动带动齿条1721向导向块1722内侧左端移动，从而使齿条1721带动驱动齿轮1723进行转动，驱动齿轮1723转动通过驱动块1724带动第一驱动杆1725进行摆动，从而使第一驱动杆1725通过第二驱动杆1726带动第一滑块1727往第一滑轨1728右端进行移动，使第一滑块1727带动压板1729压动复位开关17210，使第一电动推杆17212通电进行工作，第一电动推杆17212推动第二滑块1731往第二滑轨1732右端进行移动，使第二滑块1731通过第一摆动杆1733带动第二摆动杆1734在第一固定块1735内侧进行摆动，从而使第二摆动杆1734带动翻板1736进行翻动舒展，并且翻板1736翻动时会带动第三摆动杆1737在第二固定块1738内侧进行摆动，使翻板1736翻动平稳，同时第二电动推杆17391通电进行工作，往下端进行收缩，从而带动活动杆17393在定位块17392内侧进行摆动，使活动杆17393压动竖杆17394往下端进行移动，使竖杆17394带动紫外光照射清洁模块17398的高度进行调节，达到了能够快速对紫外光照射清洁设备进行舒展调节，并且能够对紫外光照射清洁设备的高度进行调节的优点。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，包括底板(1)、第二皮带轮(20)和热蒸发模块(21)，所述底板(1)通过螺钉与第一电机(2)底部锁紧固定，所述第一电机(2)后端安装固定有保护罩(3)，所述第一电机(2)输出端与第一皮带轮(18)中部转动配合，所述第一皮带轮(18)通过传动皮带(19)与第二皮带轮(20)内侧壁传动连接，所述第二皮带轮(20)与真空泵(4)输出端转动连接，所述真空泵(4)前端设置有控制面板(5)，所述控制面板(5)前端安装有按钮(6)，所述保护罩(3)后端固定有电源导线(7)，所述真空泵(4)通过导管(8)与真空罐(9)右端无缝连接且呈贯通结构，所述真空罐(9)与排气阀(10)底部密封连接且相连通，所述真空罐(9)与侧门(11)左端铰链连接，所述真空罐(9)通过电弧焊的方式与固定架(12)顶部紧密固定；
其特征在于：还包括夹紧舒展装置(17)，所述夹紧舒展装置(17)安装于真空罐(9)内部，所述夹紧舒展装置(17)包括夹紧机构(171)、启动机构(172)和舒展机构(173)，所述夹紧机构(171)安装固定于真空罐(9)内部下端，所述启动机构(172)随着夹紧机构(171)输出端同步移动，所述舒展机构(173)与真空罐(9)内部左端固定连接，所述第一电机(2)、按钮(6)和热蒸发模块(21)均与控制面板(5)电连接，所述控制面板(5)与电源导线(7)电连接。
2.根据权利要求1所述一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，其特征在于：所述夹紧机构(171)包括载物板(1711)、压杆(1712)、弹簧(1713)、第一折叠杆(1714)、第二折叠杆(1715)、滑轴(1716)、推杆(1717)、夹块(1718)和转动凸块(1719)，所述载物板(1711)与压杆(1712)上端固定连接，并且压杆(1712)采用过盈配合的方式嵌入安装于真空罐(9)内部上端，所述压杆(1712)通过弹簧(1713)与真空罐(9)内部上端摊销连接，所述第一折叠杆(1714)通过转轴与压杆(1712)前端中部转动配合，所述第二折叠杆(1715)通过滑轴(1716)与压杆(1712)前端下侧三分之一处设置的滑槽内侧滑动配合，并且第一折叠杆(1714)和第二折叠杆(1715)均活动嵌套于推杆(1717)右端，所述夹块(1718)通过转轴与推杆(1717)左端活动配合，并且夹块(1718)前端上侧三分之一处与转动凸块(1719)内侧转动连接。
3.根据权利要求1所述一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，其特征在于：所述启动机构(172)包括齿条(1721)、导向块(1722)、驱动齿轮(1723)、驱动块(1724)、第一驱动杆(1725)、第二驱动杆(1726)、第一滑块(1727)、第一滑轨(1728)、压板(1729)、复位开关(17210)、接线盒(17211)和第一电动推杆(17212)，所述齿条(1721)一端与夹块(1718)左下端紧密固定，并且齿条(1721)另一端采用间隙配合的方式嵌入于导向块(1722)内侧，所述齿条(1721)与驱动齿轮(1723)下端啮合传动，所述驱动齿轮(1723)与驱动块(1724)右下端转动连接，所述第一驱动杆(1725)一端随着驱动块(1724)上端转动配合，并且第一驱动杆(1725)另一端通过转轴与第二驱动杆(1726)下端转动连接，所述第二驱动杆(1726)远离第一驱动杆(1725)一端与第一滑块(1727)前端转动配合，所述第一滑块(1727)沿着第一滑轨(1728)上端滑动，所述第一滑块(1727)通过强力胶与压板(1729)下端无缝粘合，所述第一电动推杆(17212)通过螺钉紧固于真空罐(9)内部左下端，所述接线盒(17211)固定安装于第一电动推杆(17212)右下端，所述接线盒(17211)左端设置有复位开关(17210)，所述第一电动推杆(17212)与控制面板(5)电连接。
4.根据权利要求1所述一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，其特征在于：所述舒展机构(173)包括第二滑块(1731)、第二滑轨(1732)、第一摆动杆(1733)、第二摆动杆(1734)、第一固定块(1735)、翻板(1736)、第三摆动杆(1737)、第二固定块(1738)、升降机构(1739)和定位槽(17310)，所述第二滑块(1731)与第一电动推杆(17212)输出端固定连接，所述第二滑块(1731)沿着第二滑轨(1732)上端滑动，所述第一摆动杆(1733)一端活动嵌套于第二滑块(1731)前端，并且第一摆动杆(1733)另一端通过转轴与第二摆动杆(1734)前端下侧三分之一处转动配合，所述第二摆动杆(1734)活动嵌套于第一固定块(1735)内侧，并且第二摆动杆(1734)远离第一固定块(1735)一端通过插销与翻板(1736)前端下侧四分之一处转动配合，所述第一固定块(1735)与真空罐(9)内部左下端紧密固定，所述第二固定块(1738)与真空罐(9)内部左下端固定连接，所述第三摆动杆(1737)一端活动嵌套于第二固定块(1738)内侧，并且第三摆动杆(1737)另一端延伸至翻板(1736)前端上侧转动连接，所述翻板(1736)内部设置有升降机构(1739)，所述真空罐(9)内部左端设置有定位槽(17310)，并且翻板(1736)采用间隙配合的方式嵌套于定位槽(17310)内侧。
5.根据权利要求4所述一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，其特征在于：所述升降机构(1739)包括第二电动推杆(17391)、定位块(17392)、活动杆(17393)、竖杆(17394)、凸板(17395)、复位弹簧(17396)、外框(17397)和紫外光照射清洁模块(17398)，所述第二电动推杆(17391)通过螺钉紧固于翻板(1736)内部左下端，所述定位块(17392)通过螺钉与翻板(1736)内部左上端锁紧固定，所述活动杆(17393)左端活动嵌套于定位块(17392)内侧，并且第二电动推杆(17391)与活动杆(17393)前端左侧五分之一处固定连接，所述活动杆(17393)与竖杆(17394)上端紧密贴合，所述竖杆(17394)上端设置有凸板(17395)，并且竖杆(17394)与凸板(17395)为一体化结构，所述凸板(17395)通过复位弹簧(17396)与外框(17397)内部下端弹性连接，所述竖杆(17394)通过间隙配合的方式贯穿于外框(17397)中部，并且竖杆(17394)下端固定有紫外光照射清洁模块(17398)，所述第二电动推杆(17391)和紫外光照射清洁模块(17398)均与控制面板(5)电连接。
6.根据权利要求2所述一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，其特征在于：所述弹簧(1713)的弹力为四牛，并且镀膜元件的重力大于弹簧(1713)的弹力。
7.根据权利要求2所述一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，其特征在于：所述第一折叠杆(1714)和第二折叠杆(1715)均有两根小折叠杆构成，并且两小折叠杆之间构成V字形夹角，所述夹块(1718)共设置有两个，并且夹块(1718)沿压杆(1712)中部左右两侧呈对称状分布，两个所述夹块(1718)上端均设置有推杆(1717)和转动凸块(1719)。
8.根据权利要求4所述一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，其特征在于：所述翻板(1736)呈内部空腔的长方体状，并且翻板(1736)最大的翻动角度为九十度，所述定位槽(17310)的尺寸比翻板(1736)的尺寸大三毫米。
9.根据权利要求3所述一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，其特征在于：所述压板(1729)和复位开关(17210)中心线处于同一水平方向上，所述第一滑轨(1728)右端设置有限位板(17281)，并且限位板(17281)与第一滑轨(1728)右端固定连接。
10.根据权利要求1所述一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，其特征在于：所述真空罐(9)前端边缘等距分布有支撑板(13)，所述支撑板(13)中部贯穿有螺杆(14)，并且支撑板(13)中部与螺杆(14)螺纹连接，所述螺杆(14)通过螺钉紧固于手轮(15)后端，所述侧门(11)上端边缘等距分布有卡块(16)，并且侧门(11)与卡块(16)为一体化结构，所述真空罐(9)内部上端固定有热蒸发模块(21)。
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