CN110501289B - 一种基于数字微镜阵列dmd的光谱展宽方法及装置 - Google Patents

一种基于数字微镜阵列dmd的光谱展宽方法及装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110501289B
CN110501289B CN201810470175.7A CN201810470175A CN110501289B CN 110501289 B CN110501289 B CN 110501289B CN 201810470175 A CN201810470175 A CN 201810470175A CN 110501289 B CN110501289 B CN 110501289B
Authority
CN
China
Prior art keywords
module
dispersion
dmd
digital micromirror
interference fringes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810470175.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110501289A (zh
Inventor
严强强
魏儒义
吴银花
李海巍
陈莎莎
于建东
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Original Assignee
XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS filed Critical XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Priority to CN201810470175.7A priority Critical patent/CN110501289B/zh
Publication of CN110501289A publication Critical patent/CN110501289A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110501289B publication Critical patent/CN110501289B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/255—Details, e.g. use of specially adapted sources, lighting or optical systems
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

本发明属于天文光学观测领域，特别涉及一种基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽方法及装置。首先，将目标光谱色散至数字微镜阵列DMD行或列方向上，DMD行或列方向与探测器行或列方向一致；其次，通过数字微镜阵列DMD将沿探测器行像元或列像元色散的光谱按照不同谱段切割并反射至同一平面的不同位置，实现光谱展宽；再次，将分割后的不同谱段压缩准直，进入干涉模块获得干涉条纹；最后，将干涉条纹沿探测器行或列方向进行二次色散实现高精度分光，获得高分辨光谱干涉条纹。在避免交叉色散引起的条纹弯曲和对比度下降等问题的同时实现了探测***的光谱展宽，并且解决了像切分器展宽方法在多目标探测情况下，光谱窄带切分时反射面不在同一像平面的问题。

Description

一种基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽方法及装置
技术领域
本发明属于天文光学观测领域，特别涉及一种基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽方法及装置。
背景技术
复色光经过色散***(如棱镜、光栅)分光后，被色散开的单色光按波长(或频率)大小而依次排列的图案，全称为光学频谱，简称光谱。光谱测量作为获取物质信息的重要手段，应用范围涵盖了高能物理、天文、环境、大气物理、海洋科学、生命科学、化工以及材料、农业科学等多个领域。
干涉光谱测量技术是一种将光学干涉测量技术和光谱技术相结合得测量方法，被广泛应用于系外恒星特征探测，系外行星探测，宇宙微弱信号检测，大气中高层风场等领域，用于多普勒频移信号的测量。
多普勒信号的测量主要通过视向速度法，目前，实现该方法的方式有两种。第一，通过高精度阶梯光栅和棱镜结合的交叉色散方法，直接测量目标的光谱频移，获得目标的视向速度。另一种是干涉和色散结合的色散固定延迟干涉测量方法，通过测量信号干涉条纹的相位变化，间接测量目标的视向速度。但目前高精度阶梯光栅交叉色散的方法，存在能量利用效率低，信噪比较低；高精度探测对环境的要求极度苛刻，观测费用高昂；只能单一目标观测，效率低下；设备研制技术复杂，费用昂贵，难以复制等缺点。色散固定延迟技术弥补了上述缺点，最早的色散固定延迟技术方案通过迈克尔逊干涉仪和中、低分辨阶梯光栅交叉色散的方案实现。其中交叉色散主要解决光谱展宽和分辨率的问题。但由于交叉色散方向和光谱干涉条纹分布方向一致，从而引入了条纹弯曲，干涉条纹对比度下降等问题。使得***的探测精度降低。之后，基于色散固定延迟技术，通过使用Sagnac干涉仪和Dyson色散模块结合的相干色散探测方式，优化了上述方案中存在的***抗环境干扰能力差，能量损失等问题，并且能够实现多目标观测。但该方案只使用一次色散，光谱范围和分辨率受到探测器像元数的限制。从而影响了***的探测精度和可探测目标的群体范围。目前采用像切分器的方案可以实现光谱展宽，通过像切分器中不同反射平面的反射角度不同，对色散的光谱段进行分割。理论上，在光学设计中认为像切分器的各个反射面近似在同一像平面，但实际情况下，各个反射平面不完全处于同一平面，，越靠近像切分器反射面两端，各平面和理论中心平面的差距越大。这种情况导致在多目标观测模式中，部分目标观测结果的误差较大。
发明内容
本发明的目的是提出一种基于空间光调制器DMD的光谱展宽方法及装置。在避免交叉色散引起的条纹弯曲和对比度下降等问题的同时实现了探测***的光谱展宽，并且解决了像切分器展宽方法在多目标探测情况下，光谱窄带切分时反射面不在同一像平面的问题。
数字微镜阵列DMD是一种空间光学调制器件，是多个微小的反射镜片和数字电路集成的MEMOS器件，能够通过数字电路控制各个微小镜片进行不同角度的偏转。其通常用于电子投影设备中，或用于光场调控仪器，用于光路开关。
相比像切分器，数字微镜阵列DMD的各个镜片的旋转轴位于同一平面，使得其对同一像面光的调制能力更加优秀。并且其反射角度能够实现8bit控制，调节精度高，可操控性强。
本发明采用的技术方案是提供一种基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽方法，包括以下步骤：
步骤一：将目标光准直后色散至数字微镜阵列DMD行单元或列单元上，DMD的行或列与探测器行或列的方向一致；
步骤二：利用数字微镜阵列DMD将沿数字微镜阵列DMD行单元或列单元上色散的光谱按照不同谱段反射至同一平面的不同位置；
步骤三：将步骤二中反射光束准直后进入干涉模块获得干涉条纹；
步骤四：将干涉条纹沿与干涉条纹垂直方向压缩；
步骤五：将步骤四中压缩后的干涉条纹沿探测器行像元方向或列像元方向进行二次色散，获得高分辨光谱干涉条纹。
优选地，上述目标为单个或多个点光源。
本发明还提供一种实现上述方法的基于空间光调制器DMD的光谱展宽装置，其特殊之处在于：包括沿光路依次设置的第一色散***、数字微镜阵列DMD、第一聚光模块、第二准直模块、干涉模块、光压缩模块、第三准直模块、第二色散***及探测器；
上述第一色散***包括沿光路依次设置的第一准直模块及第一色散模块；
第一准直模块将点目标扩展为面平行光进入第一色散模块进行分光，第一色散模块将面平行光沿探测器行像元或列像元方向色散，色散光束传播至数字微镜阵列DMD，数字微镜阵列DMD将色散光束进行切割，使不同谱段沿不同角度反射，反射方向垂直于第一色散模块色散方向且反射光束均位于同一平面；第一聚光模块将像数字微镜阵列DMD的反射光束进行汇聚后进入第二准直模块进行准直，获得不同谱段的平行光束；不同谱段的平行光束进入干涉模块获得垂直于第一色散模块色散方向的干涉条纹；光压缩模块将干涉模块出射的干涉条纹沿探测器行像元或列像元方向压缩后通过第三准直模块准直后进入第二色散***，第二色散***将平行光沿探测器行像元或列像元方向进行二次色散，在探测器不同区域上获得各个谱段的干涉条纹。
优选地，在第一色散模块与数字微镜阵列DMD之间还可以包括汇聚镜，上述汇聚镜用于对第一色散模块的光束按照不同谱段进行汇聚。
优选地，上述第二色散***可以包括沿光路依次设置的第二色散模块及第二聚光模块；
第二色散模块将平行光沿探测器行像元或列像元方向进行二次色散进入第二聚光模块汇聚后，在探测器不同区域上获得各个谱段的干涉条纹。
优选地，上述第二色散***还可以为曲面光栅。
优选地，第一色散模块与第二色散模块均为光栅或棱镜，也可以用其他一维色散元件代替，第二色散模块的分辨率大于第一色散模块的分辨率。
优选地，上述第一聚光模块为凸透镜或者凸透镜组，将不同角度的入射平行光汇聚在不同空间位置。
优选地，上述第二准直模块为微小透镜组，将不同谱段的光进行准直；上述光压缩模块为柱面镜，将干涉图沿光谱色散方向压缩。
优选地，上述干涉模块为Sagnac干涉仪、迈克尔逊干涉仪或马赫-曾德干涉仪等干涉仪器。
本发明的有益效果是：
1、实现了在探测器像元受限情况下的光谱展宽；
光栅对目标光谱色散时，在探测器行或列像元数目确定的情况下，光谱分辨率和光谱色散范围成反比，无法实现高分辨率宽谱段光谱测量。本发明所采用的方法首先通过光栅或棱镜将目标色散至数字微镜阵列DMD上，再通过数字微镜阵列DMD将沿行或列色散的光谱反射至同一平面的不同位置，使得不同谱段被排列在探测器不同行或列上，再通过高分辨率色散元件对位于同一平面不同行或列的窄带光谱沿行或列的方向进行二次色散，获得宽谱段高分辨率光谱谱线。
2、探测器像元的利用率高；
数字微镜阵列DMD具有十分优秀的光路调制能力，其每个镜片的角度控制为8bit，角度偏转范围最大为12°，使得多目标成像中，能够通过调节对窄带光谱的反射角度，使得不同窄带光谱干涉条纹在探测器上的分布更加紧凑，增加了探测器像元的利用率。
3、便于小型化和轻量化；
相比像切分器，数字微镜阵列具有更小的尺寸和更加轻的质量，有利于光路的小型化和轻量化。
4、能够优化成像质量
相比像切分器，数字微镜阵列DMD具有更好的操控性，通过调节数字微镜阵列DMD的反射角度能够实现对***成像的质量优化。
5、技术成熟、成本低
像切分器是一种专用器件，无批量生产，因此要进行光谱展宽需要根据指标要求进行设计研制，价格高，周期长。而数字微镜阵列DMD是批量化产品，相对而言，价格较低，并且采购周期短。另外，DMD的反射角度的可操作性强，降低了光谱展宽光路的设计难度。
6、多目标探测性能更好
像切分器由于各反射镜角度的差异，在多个目标观测时，不同目标色散后汇聚的光谱谱线反射位置不在同一平面，会造成***像差或其它成像质量问题。该装置采用数字微镜阵列DMD，其各个反射镜的偏转轴位于同一平面，避免了上述问题，具有更好的多目标探测的性能。
附图说明
图1为本发明一个实施例装置示意图；
图2为第二色散***示意图；
图中附图标记为：1-第一准直模块，2-第一色散模块，3-数字微镜阵列DMD，4-第一聚光模块，5-第二准直模块，6-干涉模块，7-光压缩模块，8-第三准直模块，9-第二色散***；
91-第二色散模块，92-第二聚光模块。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例对本发明做进一步的描述。
本发明采用一种先色散后干涉再色散的测量方法，首先，将目标光谱色散至数字微镜阵列DMD行或列方向上，DMD行或列方向与探测器行或列方向一致；其次，通过数字微镜阵列DMD将沿探测器行像元或列像元色散的光谱按照不同谱段切割并反射至同一平面的不同位置，实现光谱展宽；再次，将分割后的不同谱段压缩准直，进入干涉模块获得干涉条纹；最后，将干涉条纹沿探测器行或列方向进行二次色散实现高精度分光，获得高分辨光谱干涉条纹。
该实施例中可以通过图1所示的装置进行测量，从图1及图2可以看出，沿光路依次设置有第一准直模块1、第一色散模块2、数字微镜阵列DMD3、第一聚光模块4、第二准直模块5、干涉模块6、光压缩模块7、第三准直模块8、第二色散***9及探测器；在第一色散模块与数字微镜阵列DMD之间还可以包括汇聚镜，对第一色散模块的光束按照不同谱段进行汇聚。
在该实施例中，从图2可以看出，第二色散***9包括沿光路依次设置的第二色散模块91与第二聚光模块92，也可以直接用曲面光栅代替；第一色散模块2与第二色散模块91均为光栅，也可以用棱镜或其他以一维色散元件代替；数字微镜阵列DMD3，由角度可控的微小反射镜组成，其特点是将传播至反射镜面的光线沿一定角度反射，反射角度通过数字电路控制，角度控制精度高；并且所有微反射镜均位于同一平面上。第一聚光模块4将不同角度的入射平行光汇聚在不同空间位置，凸透镜等效聚光光路；第二准直模块5为柱面镜或者分光路微小透镜；干涉模块6可以是Sagnac干涉仪，迈克尔逊干涉仪，马赫-曾德干涉仪等干涉仪器；第二色散模块91的分辨率代表光谱仪实际分辨率，第二次色散和第一次色散方向一致。
具体的测量过程如下：
1)、其中目标为单个或多个点光源，通过物镜成像在焦面上，通过光纤或者物镜将目标引入第一准直模块1，继而点目标扩展成面平行光进入第一色散模块2进行分光。通过第一色散模块2将输入平行光沿探测器行像元或列像元方向色散，色散光束传播至数字微镜阵列DMD3。
2)、通过控制数字微镜阵列DMD3的各个微反射镜的反射角度，将目标色散谱线进行切割，使不同谱段沿不同角度反射，反射方向垂直于第一色散模块2的色散方向且反射谱段均位于同一平面上。
3)、通过第一聚光模块4将数字微镜阵列DMD3的反射光线汇聚，由于数字微镜阵列DMD3每一个反射镜反射谱段光线的角度不同，不同微反射镜对应波段被压缩在不同空间位置，压缩后光束进入第二准直模块5。
4)、通过第二准直模块5对入射光束进行准直，获得不同谱段的平行光束，进入干涉模块6。
5)、通过干涉模块6进行干涉获得干涉条纹，干涉条纹方向沿探测器列像元或行像元方向分布，垂直于第一次色散方向。
6)、通过光压缩模块7沿第一次色散方向将图像压缩，将能量汇聚，入射至第三准直模块8。
7)、通过第三准直模块8对入射光束进行准直，进入第二色散模块91进行分光。
8)、第二色散模块91将输入平行光沿垂直于干涉条纹方向进行二次色散后进入第二聚光模块92。
9)、经第二聚光模块将汇聚后，在探测器不同区域上获得各个谱段的干涉条纹。

Claims (10)

1.一种基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一：将目标光准直后色散至数字微镜阵列DMD行单元或列单元上,其中DMD的行或列与探测器行或列方向一致；
步骤二：利用数字微镜阵列DMD将沿数字微镜阵列DMD行单元或列单元上色散的光谱按照不同谱段反射至同一平面的不同位置，反射方向垂直于第一次色散的方向；
步骤三：将步骤二中反射光束准直后进入干涉模块获得干涉条纹，干涉条纹的方向垂直于第一次色散的方向；
步骤四：将干涉条纹沿与干涉条纹垂直方向压缩；
步骤五：将步骤四中压缩后的干涉条纹沿垂直于干涉条纹的方向进行二次色散，获得高分辨光谱干涉条纹，第二次色散的方向与第一次色散的方向一致。
2.根据权利要求1所述的基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽方法，其特征在于：所述目标为单个或多个点光源。
3.一种基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽装置，其特征在于：包括沿光路依次设置的第一色散***、数字微镜阵列DMD、第一聚光模块、第二准直模块、干涉模块、光压缩模块、第三准直模块、第二色散***及探测器；
所述第一色散***包括沿光路依次设置的第一准直模块及第一色散模块；
第一准直模块将点目标扩展为面平行光进入第一色散模块进行分光，第一色散模块将面平行光沿数字微镜阵列DMD行或列方向色散，色散光束传播至数字微镜阵列DMD，数字微镜阵列DMD将色散光束进行切割，使不同谱段沿不同角度反射，反射方向垂直于第一色散模块色散方向且反射光束均位于同一平面；第一聚光模块将像数字微镜阵列DMD的反射光束进行汇聚后进入第二准直模块进行准直，获得不同谱段的平行光束；不同谱段的平行光束进入干涉模块获得垂直于第一色散模块色散方向的干涉条纹；光压缩模块将干涉模块出射的干涉条纹沿与干涉条纹垂直的方向压缩后通过第三准直模块准直后进入第二色散***，第二色散***将平行光沿垂直于干涉条纹的方向进行二次色散，第二光栅的色散方向与第一光栅的色散方向一致，在探测器不同区域上获得各个谱段的干涉条纹。
4.根据权利要求3所述的基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽装置，其特征在于：在第一色散模块与数字微镜阵列DMD之间设有汇聚镜，汇聚镜用于对第一色散模块的光束按照不同谱段进行汇聚。
5.根据权利要求3或4所述的基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽装置，其特征在于：所述第二色散***包括沿光路依次设置的第二色散模块及第二聚光模块；
第二色散模块将平行光沿垂直于干涉条纹的方向进行二次色散进入第二聚光模块汇聚后，在探测器不同区域上获得各个谱段的干涉条纹。
6.根据权利要求3或4所述的基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽装置，其特征在于：所述第二色散***为曲面光栅。
7.根据权利要求5所述的基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽装置，其特征在于：第一色散模块与第二色散模块均为光栅或棱镜。
8.根据权利要求7所述的基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽装置，其特征在于：所述第一聚光模块为凸透镜或者凸透镜组，将不同角度的入射平行光汇聚在不同空间位置。
9.根据权利要求8所述的基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽装置，其特征在于：所述第二准直模块为微小透镜组，将不同谱段的光进行准直；所述光压缩模块为柱面镜，将干涉图沿光谱色散方向压缩。
10.根据权利要求9所述的基于数字微镜阵列DMD的光谱展宽装置，其特征在于：所述干涉模块为Sagnac干涉仪、迈克尔逊干涉仪或马赫-曾德干涉仪干涉仪器。
CN201810470175.7A 2018-05-16 2018-05-16 一种基于数字微镜阵列dmd的光谱展宽方法及装置 Active CN110501289B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810470175.7A CN110501289B (zh) 2018-05-16 2018-05-16 一种基于数字微镜阵列dmd的光谱展宽方法及装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810470175.7A CN110501289B (zh) 2018-05-16 2018-05-16 一种基于数字微镜阵列dmd的光谱展宽方法及装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110501289A CN110501289A (zh) 2019-11-26
CN110501289B true CN110501289B (zh) 2023-05-26

Family

ID=68583878

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810470175.7A Active CN110501289B (zh) 2018-05-16 2018-05-16 一种基于数字微镜阵列dmd的光谱展宽方法及装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110501289B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110967823B (zh) * 2019-12-16 2022-03-04 北京仿真中心 数字微镜阵列dmd扩束装置
CN111650180B (zh) * 2020-06-08 2021-07-16 西安电子科技大学 一种基于信号编码和空间压缩的拉曼光谱成像***
CN112067128A (zh) * 2020-09-15 2020-12-11 江苏师范大学 一种高速静态色散成像光谱装置及其使用方法
CN112763451A (zh) * 2020-12-24 2021-05-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种太赫兹拉曼光谱仪
CN113624339B (zh) * 2021-07-16 2023-02-03 吉林大学 一种基于dmd和中阶梯光栅的同向色散光谱分析仪及方法
CN114295593B (zh) * 2021-12-02 2023-06-02 中国科学院深圳先进技术研究院 基于dmd的荧光光谱探测方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1503192A1 (fr) * 2003-07-31 2005-02-02 Eads Astrium Sas Spectrophotomètre comprenant un interferomètre et un système dispersif
CN104006882A (zh) * 2014-05-23 2014-08-27 南京理工大学 一种基于dmd的空间调制阿达玛变换光谱仪及光谱重建方法
CN204964020U (zh) * 2015-06-02 2016-01-13 中国科学院上海技术物理研究所 带有冷光阑的红外高光谱成像***

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7180588B2 (en) * 1999-04-09 2007-02-20 Plain Sight Systems, Inc. Devices and method for spectral measurements
CN208270415U (zh) * 2018-05-16 2018-12-21 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种基于数字微镜阵列dmd的光谱展宽装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1503192A1 (fr) * 2003-07-31 2005-02-02 Eads Astrium Sas Spectrophotomètre comprenant un interferomètre et un système dispersif
CN104006882A (zh) * 2014-05-23 2014-08-27 南京理工大学 一种基于dmd的空间调制阿达玛变换光谱仪及光谱重建方法
CN204964020U (zh) * 2015-06-02 2016-01-13 中国科学院上海技术物理研究所 带有冷光阑的红外高光谱成像***

Also Published As

Publication number Publication date
CN110501289A (zh) 2019-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110501289B (zh) 一种基于数字微镜阵列dmd的光谱展宽方法及装置
CN103913227B (zh) 基于轻型分束器的红外成像光谱仪及制作方法
CN102782465B (zh) 紧凑式干涉仪分光计
CN101571421B (zh) 一种哈达码变换成像光谱仪
US6649895B1 (en) Dispersed Hartmann sensor and method for mirror segment alignment and phasing
CN107949776B (zh) 静态式傅立叶变换光谱仪
Szentgyorgyi et al. Hectochelle: a multiobject echelle spectrograph for the converted MMT
CN111551351B (zh) 一种相邻拼接镜间piston误差检测***
CN109579994A (zh) 基于微反射镜阵列的快照式光谱成像方法及其***
US7535647B1 (en) Beam splitters for, for instance, high efficiency spectral imagers
CN208270077U (zh) 高通量宽谱段高分辨率的相干色散光谱成像装置
CN110501074B (zh) 高通量宽谱段高分辨率的相干色散光谱成像方法及装置
US7167249B1 (en) High efficiency spectral imager
CN108362379B (zh) 一种宽谱段高分辨率光谱色散方法及装置
CN108507679B (zh) 一种宽谱段高分辨光谱干涉测量方法及装置
CN104406691B (zh) 一种基于单个自由曲面的成像光谱仪分光***
US4958931A (en) System utilizing an achromatic null lens for correcting aberrations in a spherical wavefront
CN209689751U (zh) 基于微反射镜阵列的快照式光谱成像***
CN106352985A (zh) 一种非对称空间外差光谱仪结构
CN112504457B (zh) 一种应用于dwdm***的空间外差光谱仪
CN208270415U (zh) 一种基于数字微镜阵列dmd的光谱展宽装置
CN210268902U (zh) 紧凑型折反射式平面光栅高光谱成像仪光学***
CN113566965A (zh) 一种紧凑型宽谱段偏振光谱成像***
CN113624339A (zh) 一种基于dmd和中阶梯光栅的同向色散光谱分析仪及方法
CN113280915B (zh) 一种傅里叶变换光谱仪及光谱重构方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant