CN110469160A - 一种具有二次加湿***的洁净室布置结构及洁净生产厂房 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及洁净生产厂房技术领域，公开了一种具有二次加湿***的洁净室布置结构及洁净生产厂房，该具有二次加湿***的洁净室布置结构包括：至少一组二次加湿***，每一组二次加湿***包括：加湿装置，设于洁净室的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或洁净生产区内；相对湿度传感器；与相对湿度传感器和加湿装置连接的湿度控制器，湿度控制器用于接收相对湿度传感器的湿度信号以根据湿度信号控制加湿装置工作。该具有二次加湿***的洁净室布置结构中，在洁净室内设置有二次加湿***，有效对室内空气进行二次加湿，增加洁净生产区的环境相对湿度，使产品的生产环境的相对湿度达到最佳值，有利于保证良好的生产工序制造环境，提高产品良率。
Description
技术领域
本发明涉及洁净生产厂房技术领域，特别涉及一种具有二次加湿***的洁净室布置结构及洁净生产厂房。
背景技术
目前电子工业的主流产品显示器件(TFT-LCD)生产厂房阵列曝光区(ArrayPhoto)、彩膜曝光区(CF Photo)涂胶与烘烤生产工序，以及配向膜(PI区)PI涂布、烘烤、PI重工生产工序在有机溶剂清洗过程产生的有机废气通过废气管道接至屋面沸石转轮机组、蓄热燃烧炉进行集中处理；但仍存在一部分挥发性有机物(VOC)遗留在上述产VOC生产工序的洁净室内，对人体及制造环境均有一定的不良影响；尤其是某些生产工序(如液晶滴注ODF区)对VOC比较敏感，当产VOC生产工序区遗留VOC浓度较高且通过空气流扩散至ODF区时，会严重影响产品良率；目前去除洁净室内VOC的有效措施是在产VOC生产工序的洁净区下技术夹层设置沸石转轮机组对空气中的VOC进行持续吸附再生的去除方法，将浓缩脱附后的VOC排放至屋面有机废气处理主***。但处理空气通过沸石转轮机组的转轮(Rotor)时，约会发生0.5g/kg减湿，沸石转轮设置区洁净室内的相对湿度相应被降低。比如，洁净室温/湿度要求：23±1℃/55％±5％，如果洁净室现有温/湿度为23℃/55％状态，处理空气通过沸石转轮机组发生减湿后温/湿度变化为：23℃/52.25％；温湿度变化后不是最佳的生产环境温湿度状态，进而会对产品良率产生一定的影响。
另外，随着高世代TFT-LCD显示器行业的发展，洁净厂房面积需求越来越大；例如：第11代显示器生产厂房一般包括两层核心生产区，单层核心生产区洁净室面积可达到12万㎡，每层根据各生产工序洁净等级、温湿度、VOC浓度管控等不同的需求设置多个独立的洁净生产房间(简称独立分区)；目前此类高世代TFT-LCD项目一般采用洁净新风处理机组(MAU)+干盘管(DCC)+风机过滤器机组(FFU)净化空调送风***；项目为节省支持区辅助空调机房面积，一般在生产厂房支持区集中设置空调机房，空调机房内布置多台洁净新风处理机组；室外空气经洁净新风处理机组集中降温除湿(或加热加湿)处理后进入各独立分区，由洁净新风处理机组确保洁净室所需要的相对湿度。无足够的空间条件针对各独立分区不同的相对湿度要求设置不同的新风处理***；通过集中新风处理机组供应新风至各独立分区，只能实现各独立分区同一种温湿度需求。
针对上述生产环境湿度变化或者对生产环境相对湿度要求不同的情况，现有技术中针对湿度变化明显或湿度要求较高的洁净室的房间，在不增加室内空气含湿量(即室内空气含湿量保持不变)的情况下仅通过设低洁净室内的温度值来提高相对湿度的措施来接近室内温湿度需求值，但是实施该措施之后室内温湿度值始终会与生产需求温湿度值具有一定的偏差，对生产环境具有一定的影响，容易造成产品良率降低，所以，现在怎样可以维持洁净室内温湿度值满足产品生产要求是目前亟需解决的问题。
发明内容
本发明提供了一种具有二次加湿***的洁净室布置结构及洁净生产厂房，该具有二次加湿***的洁净室布置结构中，在洁净室内设置有二次加湿***，可以有效对室内空气进行二次加湿，可以增加洁净生产区的环境相对湿度，以使产品的生产环境的相对湿度达到最佳值，有利于保证良好的生产工序制造环境，提高产品良率。
为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：
一种具有二次加湿***的洁净室布置结构，包括：至少一组二次加湿***，每一组所述二次加湿***包括：
加湿装置，设于所述洁净室的上技术夹层、下技术夹层或回风夹道或洁净生产区内；
用于检测所述洁净室内的空气湿度的相对湿度传感器；
与所述相对湿度传感器和所述加湿装置连接的湿度控制器，所述湿度控制器用于接收所述相对湿度传感器的湿度信号以根据所述湿度信号控制所述加湿装置工作。
上述具有二次加湿***的洁净室布置结构中，在洁净室内设置有至少一组二次加湿***，其中，每一组二次加湿***包括：设置在洁净室内用于检测室内的空气湿度的相对湿度传感器，其中，可以将相对湿度传感器设置在洁净室的洁净生产区内，洁净生产区即放置生产设备的地方，在洁净生产区设置相对湿度传感器可以对洁净生产区的湿度进行检测，即对产品的生产环境进行湿度检测，可以更加准确的确定产品的制作环境的实际湿度，另外，加湿装置用于对室内空气进行直接加湿，其中，加湿装置可以设置在洁净室的上技术夹层内，也可以设置在洁净室的下技术夹层内，或者设置在洁净室的回风夹道内，或者设置在洁净室的洁净生产区内，被加湿的空气可以进入到洁净室内的风***中可以对整个洁净室内的环境进行加湿，当然，加湿的空气可以在洁净室内风***流通过程中进入到洁净生产区，洁净室内的生产环境得到二次加湿的效果，湿度控制器与相对湿度传感器信号连接且与加湿装置电连接，可以通过接收相对湿度传感器检测到的湿度信号，并通过该湿度信号对加湿装置进行控制，且湿度信号为洁净生产区的相对湿度值，根据洁净生产区生产的产品对洁净生产区的湿度要求设定一个预设值，当相对湿度传感器检测到洁净生产区内湿度值小于预设值时，湿度控制器控制加湿装置进行工作，对室内空气进行加湿，可实现加湿量的比例调节；当相对湿度传感器检测到洁净生产区内的湿度值大于或等于预设值时，湿度控制器控制加湿装置比例调小加湿量至恒定持续加湿状态或不启动工作，因此，湿度控制器通过接收相对湿度传感器的湿度信号控制加湿装置对室内空气进行自动加湿，满足洁净生产区内生产环境的相对湿度要求，可以使洁净生产区内生产环境的相对湿度达到最佳值。
因此，上述具有二次加湿***的洁净室布置结构中，在洁净室内设置有二次加湿***，可以有效对室内空气进行二次加湿，可以增加洁净生产区的环境湿度，以使产品的生产环境的相对湿度达到最佳值，有利于保证良好的生产工序制造环境，提高产品良率。
可选地，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，所述二次加湿***设置于所述第一独立分区内。
可选地，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区之间设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，且所述二次加湿***设置至少两组，所述第一独立分区和第二独立分区均设置有所述二次加湿***。
可选地，所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间的一个间隔墙，所述间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，以将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔开；或者，
所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间、且并排设置的第一间隔墙和第二间隔墙，所述第一间隔墙和第二间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，已将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔，且所述第一间隔墙与所述第二间隔墙之间形成有回风夹道；或者，
所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间、且并排设置的第一间隔墙、第二间隔墙和第三间隔墙，所述第一间隔墙和第二间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，已将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔，所述第三间隔墙设于所述第一间隔墙与所述第二间隔墙之间，且所述第三间隔墙的顶部延伸至所述上技术夹层的顶板且与所述上技术夹层的顶板密封配合，所述第三间隔墙的底部延伸至所述下技术夹层的底板且与所述下技术夹层的底板密封配合；所述第一间隔墙与所述第三间隔墙之间形成有第三回风夹道，和/或，所述第二间隔墙与所述第三间隔墙之间形成有第四回风夹道。
可选地，当所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间、且并排设置的第一间隔墙、第二间隔墙和第三间隔墙，且所述第一间隔墙与所述第三间隔墙之间形成有第三回风夹道时，所述第三回风夹道内设有所述加湿装置。
可选地，所述第一独立分区的第一下技术夹层内设置有用于吸附所述挥发性有机物的沸石转轮机组。
可选地，所述第一独立分区与所述间隔墙之间形成有第一回风夹道，且所述第二独立分区之间形成有第二回风夹道，所述第一回风夹道内设有所述加湿装置。
可选地，所述相对湿度传感器设于所述洁净室的洁净生产区。
可选地，每一组所述二次加湿***中，所述相对湿度传感器设置为一个或多个，且当所述相对湿度传感器设置为一个时，所述湿度信号为所述相对湿度传感器的感应值；当所述相对湿度传感器设置为多个时，所述湿度信号为所述多个相对湿度传感器的湿度感应值的平均值。
基于相同的发明构思，本发明还提供了一种洁净生产厂房，包括如上述技术方案提供的任意一种具有二次加湿***的洁净室布置结构。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图2为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图3为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图4为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图5为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图6为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图7为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图8为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图9为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图10为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图11为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图12为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图13为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图14为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构的侧视图；
图15为本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室内的风***流通示意图；
图16为本发明实施例提供的一种洁净生产厂房的布置结构俯视示意图；
图17为本发明实施例提供的空间型二流体加湿***的结构示意图；
图18为本发明实施例提供的空间型高压微雾加湿***的结构示意图；
图标：1-加湿装置；2-相对湿度传感器；3-湿度控制器；4-上技术夹层；5-下技术夹层；6a-第一回风夹道；6b-第二回风夹道；7-生产设备；8-第一独立分区；9-第二独立分区；10-第一上技术夹层；11-第一洁净生产区；12-第一下技术夹层；13-第二上技术夹层；14-第二洁净生产区；15-第二下技术夹层；16-沸石转轮机组；17-间隔墙；18-第三回风夹道；19-第四回风夹道；20-喷嘴；21-进气管；22,36-进水管；23-压缩空气进气口；24-进气辅助单元；25-压缩空气过滤器；26,38-水过滤器；27-进水辅助单元；28，37-进水口；29-排水口；30-电控箱；31-喷头支架；32-喷雾管；33-不锈钢喷嘴；34-加湿管道；35-高压微雾加湿主机；39-洁净新风主管道；40-洁净新风支管道；41-第一间隔墙；42-第二间隔墙；43-第三间隔墙。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参考图1，其中，图1中将加湿装置设置在洁净室的上技术夹层内，本发明实施例提供的一种具有二次加湿***的洁净室布置结构，包括：至少一组二次加湿***，每一组二次加湿***包括：加湿装置1，设于洁净室的上技术夹层4、下技术夹层5或回风夹道或洁净生产区内；用于检测洁净室内的空气湿度的相对湿度传感器2；与相对湿度传感器2和加湿装置1连接的湿度控制器3，湿度控制器3用于接收相对湿度传感器2的湿度信号以根据湿度信号控制加湿装置1工作。
上述具有二次加湿***的洁净室布置结构中，在洁净室内设置有至少一组二次加湿***，其中，每一组二次加湿***包括：设置在洁净室内用于检测室内的空气湿度的相对湿度传感器，其中，可以将相对湿度传感器设置在洁净室的洁净生产区内，洁净生产区即放置生产设备的地方，在洁净生产区设置相对湿度传感器可以对洁净生产区的湿度进行检测，即对产品的生产环境进行相对湿度检测，可以更加准确的确定产品的制作环境的实际相对湿度，另外，加湿装置用于对室内空气进行直接加湿，其中，加湿装置可以设置在洁净室的上技术夹层内，也可以设置在洁净室的下技术夹层内，或者设置在洁净室的回风夹道内，或者设置在洁净室的洁净生产区内，被加湿的空气可以进入到洁净室内的风***中可以对整个洁净室内的环境进行加湿，当然，加湿的空气可以在洁净室内风***流通过程中进入到洁净生产区，洁净室内的生产环境得到二次加湿的效果，湿度控制器与相对湿度传感器信号连接且与加湿装置电连接，可以通过接收相对湿度传感器检测到的湿度信号，并通过该湿度信号对加湿装置进行控制，且湿度信号为洁净生产区的相对湿度值，根据洁净生产区生产的产品对洁净生产区的相对湿度要求设定一个预设值，当相对湿度传感器检测到洁净生产区内湿度值小于预设值时，湿度控制器控制加湿装置进行工作，对室内空气进行加湿，可实现加湿量的比例调节；当相对湿度传感器检测到洁净生产区内的湿度值大于或等于预设值时，湿度控制器控制加湿装置比例调小加湿量至恒定持续加湿或不启动工作，因此，湿度控制器通过接收相对湿度传感器的湿度信号控制加湿装置对室内空气进行自动加湿，满足洁净生产区内生产环境的湿度要求，可以使洁净生产区内生产环境的相对湿度达到最佳值。
因此，上述具有二次加湿***的洁净室布置结构中，在洁净室内设置有二次加湿***，可以有效对室内空气进行二次加湿，可以增加洁净生产区环境的相对湿度，以使产品的生产环境的相对湿度达到最佳值，有利于保证良好的生产工序制造环境，提高产品良率。
具体地，上述具有二次加湿***的洁净室布置结构中，每一组二次加湿***中，相对湿度传感器设置为一个或多个，且当相对湿度传感器设置为一个时，湿度信号为相对湿度传感器的感应值；当相对湿度传感器设置为多个时，湿度信号为多个相对湿度传感器的湿度感应值的平均值，其中，将相对湿度传感器设置为多个，以多个相对湿度传感器的感应值的平均值作为湿度信号，可以更精确的测试室内相对湿度，有利于提高二次加湿***对室内加湿的准确性，有利于保证室内环境的湿度在生产的最佳相对湿度值。
需要说明的是，参考图1至图3所示，上述具有二次加湿***的洁净室布置结构中可以设置多组二次加湿***，有利于提高对洁净室内的生产环境的加湿速率，可以使环境湿度更快的达到生产环境需求的相对湿度值，该多组二次加湿***中的加湿装置1可以设置在洁净室的上技术夹层4、下技术夹层5、回风夹道或洁净生产区中的任意一处，或者其中的任意两处、三处或四处，例如，该多组二次加湿***中的加湿装置1可以全部设置在洁净室的上技术夹层4内、也可以全部设置在洁净室的回风夹道内，或者全部设置在洁净室的下技术夹层5内，或者全部设置在洁净室的洁净生产区内；另外，该多组二次加湿***中的加湿装置中可以一部分设置在上技术夹层内，同时一部分设置在回风夹道中；或者，该多组二次加湿***中的加湿装置中一部分设置在下技术夹层内，同时一部分设置在回风夹道内；或者，该多组二次加湿***中的加湿装置中一部分设置在上技术夹层内，同时一部分设置在下技术夹层内，或者一部分设置在回风夹道内，同时一部分设置在洁净室的洁净生产区内；或者，该多组二次加湿***中的加湿装置中的一部分设置在上技术夹层内，同时一部分设置在下技术夹层内，并且同时一部分设置在回风夹道内，即在上技术夹层和下技术夹层以及回风夹道中均设置有加湿装置，上述关于二次加湿***中的加湿装置在上技术夹层、下技术夹层、回风夹道以及洁净生产区的设置方式有多种方式，在此不一一列举，需要说明的是，对于多组二次加湿***中的每组二次加湿***的设置，可以根据实际需求进行合理安排，二次加湿***的数量也可以根据室内需求进行设置，本实施例不做局限。
另外，参考图16和图7所示，由于电子工业的主流产品显示器件的生产厂房内的生产产品的不同、生产工序的不同等因素，对生产环境的要求也不相同，所以生产厂房内会针对生产环境要求、制备工序的特殊需求等因素在生产厂房内划分多个独立分区，在不同的独立分区进行不同的环境要求的产品制备或工序制作，其中，可以根据湿度的不同可以将洁净室内设立第一独立分区8和第二独立分区9，即，多个独立分区中包括有第一独立分区和第二独立分区，其中，第一独立分区可以设置多个，第二独立分区也设置多个，第一独立分区与第二独立分区的数量以及布局可以根据实际需求设置，并且，在洁净室内设立第一独立分区和第二独立分区，二次加湿***的设置方式也会有多种选择方式，如：
方式一：
参考图4至图6所示，在洁净室内设置第一独立分区8和第二独立分区9，第一独立分区8与第二独立分区9之间设置有间隔墙组件以至少将洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区11和第二洁净生产区14，且第一独立分区8包括第一上技术夹层10、第一洁净生产区11、第一下技术夹层12和第一回风夹道6a，且第一回风夹道6a位于第一独立分区8背离第二独立分区9的一侧，第二独立分区9包括第二上技术夹层13、第二洁净生产区14、第二下技术夹层15和第二回风夹道6b，二次加湿***设置于第一独立分区内8，可以对第一独立分区的空气进行直接加湿，有效提高室内空气湿度，尤其是第一独立分区，有利于保证第一独立分区内的相对湿度是生产需求的最佳值。其中，在第一独立分区内可以设置一组二次加湿***，也可以设置多组二次加湿***，本实施例不做局限。
对于上述方式一的洁净室内的第一独立分区与第二独立分区的设置，也可以有多种设置选择方式，如：
独立分区设置方式一：
参考图13所示，间隔墙组件包括设置在第一独立分区8与第二独立分区9之间的一个间隔墙17，即第一独立分区8与第二独立分区9之间仅设置一个间隔墙17，且该间隔墙17至少与第一洁净生产区11和第二洁净生产区14对应，将第一洁净生产区11与第二生产区14分隔开，即第一洁净生产区与第二洁净生产区相邻且紧挨着，只有间隔墙隔开。
其中，该间隔墙可以仅与第一洁净生产区与第二洁净生产区对应，即，第一上技术夹层和第二上技术夹层之间可以连通，第一下技术夹层和第二下技术夹层之间也可以连通；另外，也可以设置间隔墙的底部延伸至下技术夹层的底板且与下技术夹层的底板密封配合，即，第一下技术夹层和第二下技术夹层之间被间隔墙隔开；除此之外，如图13所示，也可以设置间隔墙17的底部延伸至下技术夹层的底板且与下技术夹层的底板密封配合，同时间隔墙的顶部延伸至上技术夹层的顶板且与上技术夹层的顶板密封配合，即，第一下技术夹层12和第二下技术夹层15之间被间隔墙隔开，同时第一上技术夹层10和第二上技术夹层13之间也被间隔墙隔开，这样两个各独立分区之间完全被隔开，将第一独立分和第二独立分区设置为彼此互不相通的独立空间，可以使彼此之间环境条件不互相影响，更有利于保证各自的环境需求。
其中，在上述独立分区设置方式一中，当间隔墙第一独立分和第二独立分区设置为彼此互不相通的独立空间，可以使彼此之间环境条件不互相影响，更有利于保证各自的环境需求，且在第一独立分区内设置二次加湿***，可以在第一独立分区内进行相对湿度要求较高的生产工序，或生产相对湿度要求较高的产品，二次加湿***可以提高第一独立分区内空气的相对湿度值，则可以保证第一独立分区内空气的相对湿度达到产品生产的最佳需求值，有利于提高产品良率。
独立分区设置方式二：
参考图2至图6所示，间隔墙组件包括设置在第一独立分区8与第二独立分区9之间的两个并排的间隔墙，第一间隔墙41、第二间隔墙42，即第一独立分区8与第二独立分区9之间设置并排且相对的第一间隔墙41和第二间隔墙42，且该两个间隔墙至少与第一洁净生产区11和第二洁净生产14区对应，将第一洁净生产区11与第二生产区分14隔开，第一间隔墙41位于第一独立分区8，第二间隔墙42位于第二独立分区9，且第一间隔墙41与第二件隔墙42之间形成有回风夹道，其中，第一间隔墙与第二间隔墙可以仅与第一洁净生产区和第二洁净生产区对应，第一上技术夹层与第二上技术夹层连通，第一下技术夹层与第二下技术夹层连通；另外，也可以设置第一间隔墙的底部延伸至下技术夹层，且第二间隔墙的底部延伸至下技术夹层。
独立分区设置方式三：
参考图10、图11以及图12所示，为提高各独立分区内的环境要求精度，可以将各独立分区完全分隔开形成两个彼此互不相通的独立空间，则间隔墙组件包括在第一独立分区8与第二独立分区9之间的三个并排的间隔墙，第一间隔墙41、第二件隔墙42和第三间隔墙43，且第三间隔墙43位于第一间隔墙41与第二件隔墙42之间，第一间隔墙41位于第一独立分区8，第二件隔墙42位于第二独立分区9，第三间隔墙43的顶部延伸至上技术夹层的顶板且与上技术夹层的顶板密封配合，且第三间隔墙43的底部延伸至下技术夹层的底板且与下技术夹层的底板密封配合，将第一独立分区8和第二独立分区9分隔成两个彼此互不相通的独立空间，可以使彼此之间环境条件不互相影响，更有利于保证各自的环境需求，第一间隔墙与第一洁净生产区对应，且第一间隔墙的底部延伸至下技术夹层，第二间隔墙与第二洁净生产区对应，且第二间隔墙的底部延伸至下技术夹层，且第一间隔墙41与第三间隔墙43之间形成有第三回风夹道18，或者，第二间隔墙42与第三间隔墙43之间形成有第四回风夹道19，或者在第一间隔墙41与第三间隔墙43之间形成有第三回风夹道18，同时，在第二间隔墙42与第三间隔墙43之间形成有第四回风夹道19。
在上述独立分区设置方式三中，第一独立分区与第二独立分区设置为彼此互不相通的独立空间，可以使彼此之间环境条件不互相影响，更有利于保证各自的环境需求，且在第一独立分区内设置二次加湿***，可以在第一独立分区内进行相对湿度要求较高的生产工序，或生产相对湿度要求较高的产品，二次加湿***可以提高第一独立分区的空气相对湿度值，则可以保证第一独立分区内空气相对湿度达到产品生产的最佳需求值，有利于提高产品良率。
其中，如图9所示，在第一间隔墙41与第三间隔墙43之间形成有第三回风夹道18时，可以在第三回风夹道18内设置有加湿装置，便于对第一独立分区内进行加湿。
进一步地，在上述方式一中，参考图2、图3、图8、图9以及图13所示，第一独立分区8中的第一生产洁净区11内设有工作过程中产生挥发性有机物的生产设备7，第一下技术夹层12内设置有用于吸附挥发性有机物的沸石转轮机组16，沸石转轮机组16在工作过程中会使室内空气有一定的减湿，造成洁净室内，尤其是第一独立分区的环境湿度降低，偏离产品生产的环境湿度需求值，而在第一独立分区8设置有二次加湿***，可以对室内空气直接加湿，可以提高室内空气的相对湿度，有利于保证室内空气的相对湿度值维持在产品生产的最佳湿度需求值，有利于保证产品良率。
方式二：
如图1所示，在洁净室内设置第一独立分区8和第二独立分区9，第一独立分区8与第二独立分区9之间设有间隔墙组件以至少将洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且第一独立分区8包括第一上技术夹层10、第一洁净生产区11、第一下技术夹层12和第一回风夹道6a，第二独立分区9包括第二上技术夹层13、第二洁净生产区14、第二下技术夹层15和第二回风夹道6b，且二次加湿***设置为至少两组，第一独立分区8和第二独立分区9内均设置有二次加湿***，其中，二次加湿***可以设置为两组，在第一独立分区8和第二独立分区9内均设置为一组，或者，二次加湿***可以设置为多组，第一独立分区8和第二独立分区9内分别设置有多组。
其中，上述方式二中，在第一独立分区和第二独立分区内都设置有二次加湿***，即可以快速的提高第一独立分区内和第二独立分区内空气的相对湿度，有利于保证第一独立分区内和第二独立分区内空气的相对湿度在最佳需求值，保证产品良率。
对于上述方式二的洁净室内的第一独立分区与第二独立分区的设置，也可以有多种设置选择方式，如：
独立分区设置方式一：
参考图14所示，间隔墙组件包括设置在第一独立分区8与第二独立分区9之间的一个间隔墙17，即第一独立分区8与第二独立分区9之间仅设置一个间隔墙，且该间隔墙17至少与第一洁净生产区11和第二洁净生产区14对应，将第一洁净生产区11与第二生产区14分隔开，即第一洁净生产区11与第二洁净生产区14相邻且紧挨着，只有间隔墙17隔开。其中，该间隔墙可以仅与第一洁净生产区与第二洁净生产区对应，即，第一上技术夹层和第二上技术夹层之间可以连通，第一下技术夹层和第二下技术夹层之间也可以连通；另外，也可以设置间隔墙的底部延伸至下技术夹层的底板且与下技术夹层的底板密封配合，即，第一下技术夹层和第二下技术夹层之间被间隔墙隔开；除此之外，如图14所示，也可以设置间隔墙17的底部延伸至下技术夹层的底板且与下技术夹层的底板密封配合，同时间隔墙的顶部延伸至上技术夹层的顶板且与上技术夹层的顶板密封配合，即，第一下技术夹层12和第二下技术夹层15之间被间隔墙隔开，同时第一上技术夹层10和第二上技术夹层13之间也被间隔墙隔开，这样两个各独立分区之间完全被隔开，将第一独立分和第二独立分区设置为彼此互不相通的独立空间，可以使彼此之间环境条件不互相影响，更有利于保证各自的环境需求。
其中，在上述方式二的独立分区设置方式一中，当间隔墙第一独立分和第二独立分区设置为彼此互不相通的独立空间，可以使彼此之间环境条件不互相影响，更有利于保证各自的环境需求，且在第一独立分区和第二独立分区内均设置二次加湿***，可以在第一独立分区内进行相对湿度要求较高的生产工序，或生产相对湿度要求较高的产品，二次加湿***可以提高第一独立分区的空气的相对湿度值，则可以保证第一独立分区内空气的相对湿度达到产品生产的最佳需求值，有利于提高产品良率。
独立分区设置方式二：
如图1所示，间隔墙组件包括设置在第一独立分区8与第二独立分区9之间的两个并排的间隔墙，第一间隔墙41、第二间隔墙42，即第一独立分区8与第二独立分区9之间设置并排且相对的第一间隔墙41和第二间隔墙42，且该两个间隔墙至少与第一洁净生产区11和第二洁净生产区14对应，将第一洁净生产区11与第二生产区分14隔开，第一间隔墙41位于第一独立分区8，第二间隔墙42位于第二独立分区9，且第一间隔墙41与第二件隔墙42之间形成有回风夹道，其中，第一间隔墙与第二间隔墙可以仅与第一洁净生产区和第二洁净生产区对应，第一上技术夹层与第二上技术夹层连通，第一下技术夹层与第二下技术夹层连通；另外，也可以设置第一间隔墙的底部延伸至下技术夹层，且第二间隔墙的底部延伸至下技术夹层。
独立分区设置方式三：
参考图7所示，为提高各独立分区内的环境要求精度，可以将各独立分区完全分隔开形成两个彼此互不相通的独立空间，则间隔墙组件包括在第一独立分区8与第二独立分区9之间的三个并排的间隔墙，第一间隔墙41、第二件隔墙42和第三间隔墙43，且第三间隔墙43位于第一间隔墙41与第二件隔墙42之间，第一间隔墙41位于第一独立分区8内，第二件隔墙42位于第二独立分区9内，第三间隔墙43的顶部延伸至上技术夹层的顶板且与上技术夹层的顶板密封配合，且第三间隔墙43的底部延伸至下技术夹层的底板且与下技术夹层的底板密封配合，将第一独立分区和第二独立分区分隔成两个彼此互不相通的独立空间，可以使彼此之间环境条件不互相影响，更有利于保证各自的环境需求，第一间隔墙与第一洁净生产区对应，且第一间隔墙的底部延伸至下技术夹层，第二间隔墙与第二洁净生产区对应，且第二间隔墙的底部延伸至下技术夹层，且第一间隔墙41与第三间隔墙43之间形成有第三回风夹道18，或者，第二间隔墙42与第三间隔墙43之间形成有第四回风夹道19，或者在第一间隔墙与第三间隔墙之间形成有第三回风夹道，同时，在第二间隔墙与第三间隔墙之间形成有第四回风夹道。
在上述方式二的独立分区设置方式三中，第一独立分区与第二独立分区设置为彼此互不相通的独立空间，可以使彼此之间环境条件不互相影响，更有利于保证各自的环境需求，在第一独立分区内和第二独立分区内均设置二次加湿***，即第一独立分区和第二独立分区内可以进行相对湿度要求较高且相对湿度要求不同的制备工序，且可以保证在相对湿度要求较高的第一独立分区和第二独立分区内的相对湿度达到各自产品生产的最佳需求值，保证产品良率。
其中，在第一间隔墙与第三间隔墙之间形成有第三回风夹道时，可以在第三回风夹道内设置有加湿装置，便于对第一独立分区内进行加湿；在第二件隔墙与第三间隔墙之间形成有第四回风夹道时，可以在第四回风夹道内设置有加湿装置，便于对第二独立分区内进行加湿。
进一步地，在上述方式二中，参考图7所示，第一独立分区8中的第一生产洁净区11内设有工作过程中产生挥发性有机物的生产设备7，第一下技术夹层12内设置有用于吸附挥发性有机物的沸石转轮机组16，沸石转轮机组16在工作过程中会使室内空气有一定的减湿，造成洁净室内，尤其是第一独立分区的环境湿度降低，偏离产品生产的环境湿度需求值，而在第一独立分区和第二独立分区均设置有二次加湿***，可以对室内空气直接加湿，可以提高室内空气的相对湿度，有利于保证室内空气的相对湿度维持在产品生产的最佳需求值，有利于保证产品良率。
具体地，上述方式一和方式二中，参考图15和图16所示，上述具有二次加湿***的洁净室布置结构还包括：设于洁净室的上技术夹层4中的洁净新风主管道39、以及伸入各独立分区的回风夹道内且用于输出新风空气的洁净新风支管道40，给各独立分区提供新风空气。
具体地，上述二次加湿***可以为空间型二流体加湿***或空间型高压微雾加湿***，也可以为空间型电热加湿器或空间型电极加湿器，可以对洁净室室内空气进行直接加湿，提升室内湿度，并实现二次加湿的全自动控制，具体地，二次加湿***也可以是其他形式的加湿***，本实施例不做局限。
具体地，参考图17所示，空间型二流体加湿***包括相对湿度传感器、加湿装置和湿度控制器，空间型二流体加湿***的加湿装置包括多个喷嘴20，每个喷嘴20包括两个输入口，一个输入口连接并连通于进气管21，进气管21可以为不锈钢加湿管道，另一个输入口连接并连通于进水管22，进气管21的一端包括有用于与供气装置连接的压缩空气进气口23，且在进气管21的进气端设置有用于控制进气的进气辅助单元24和压缩空气过滤器25，进水管22的一端包括有用于与供水装置连接的进水口28，且进水管22的进水端设置有水过滤器26和进水辅助单元27，且进水辅助单元27设置有排水口29，其中，进水辅助单元27和进气辅助单元24均与电控箱30电连接，电控箱30即构成湿度控制器，电控箱30且与相对湿度传感器连接，可以通过接收相对湿度传感器的湿度信号对进水辅助单元27和进气辅助单元24进行控制以达到对加湿工作的控制，另外，也可以手动对进水辅助单元和进气辅助单元进行调节，以便于更好的对室内空气进行加湿，其中，空间型二流体加湿***可控压力设定，可控加湿覆盖范围，根据各区域加湿量需求不同喷嘴数量及间距配置可自由组合，有利于提高室内加湿效率，且以压缩空气作为动力，促进喷雾时空气的流动，加湿均匀；双联控设计，气、水管路混配，有效防止喷嘴堵塞，保证可以持续良好的加湿工作，另外，还具有压缩空气消耗量小，加湿效率高，有利于提高室内空气加湿效率，保证产品生产良率。
具体地，参考图18所示，空间型高压微雾加湿***包括相对湿度传感器、加湿装置和湿度控制器，空间型高压微雾加湿***的加湿装置包括喷头支架31，所述喷头支架31设有多个喷雾管32，每个喷雾管31上设有多个不锈钢喷嘴33，每个喷雾管31包括有一输入端口，且输入端口连接并连通于加湿管道34，加湿管道34的输入端连接于高压微雾加湿主机35，且高压微雾加湿主机35连接有进水管36，进水管36设有用于与供水装置连接的进水口37，且进水管36中连接有水过滤器38，高压微雾加湿主机35与温度控制器电连接，温度控制器可以根据相对湿度传感器的湿度信号对高压微雾加湿主机进行控制，以达到对加各不锈钢喷嘴的喷雾控制，其中，空间型高压微雾加湿***加湿量大，耗电量低，节约能源，且反应速度快，加湿效率高，有利于提高室内加湿效率，保证产品生产良率。
基于相同的发明构思，本发明实施例还提供了一种洁净生产厂房，包括如上述实施例提供的任意一种具有二次加湿***的洁净室布置结构。
显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (9)
1.一种具有二次加湿***的洁净室布置结构，其特征在于，包括：至少一组二次加湿***，每一组所述二次加湿***包括：
加湿装置，设于所述洁净室的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或洁净生产区内；
用于检测所述洁净室内的空气湿度的相对湿度传感器；
与所述相对湿度传感器和所述加湿装置连接的湿度控制器，所述湿度控制器用于接收所述相对湿度传感器的湿度信号以根据所述湿度信号控制所述加湿装置工作。
2.根据权利要求1所述的具有二次加湿***的洁净室布置结构，其特征在于，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区之间设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，所述二次加湿***设置于所述第一独立分区内。
3.根据权利要求1所述的具有二次加湿***的洁净室布置结构，其特征在于，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区之间设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，且所述二次加湿***设置有至少两组，所述第一独立分区和第二独立分区均设置有所述二次加湿***。
4.根据权利要求2或3所述的具有二次加湿***的洁净室布置结构，其特征在于，所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间的一个间隔墙，所述间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，以将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔开；或者，
所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间、且并排设置的第一间隔墙和第二间隔墙，所述第一间隔墙和第二间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，已将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔，且所述第一间隔墙与所述第二间隔墙之间形成有回风夹道；或者，
所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间、且并排设置的第一间隔墙、第二间隔墙和第三间隔墙，所述第一间隔墙和第二间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，已将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔，所述第三间隔墙设于所述第一间隔墙与所述第二间隔墙之间，且所述第三间隔墙的顶部延伸至所述上技术夹层的顶板且与所述上技术夹层的顶板密封配合，所述第三间隔墙的底部延伸至所述下技术夹层的底板且与所述下技术夹层的底板密封配合；所述第一间隔墙与所述第三间隔墙之间形成有第三回风夹道，和/或，所述第二间隔墙与所述第三间隔墙之间形成有第四回风夹道。
5.根据权利要求4所述的具有二次加湿***的洁净室布置结构，其特征在于，当所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间、且并排设置的第一间隔墙、第二间隔墙和第三间隔墙，且所述第一间隔墙与所述第三间隔墙之间形成有第三回风夹道时，所述第三回风夹道内设有所述加湿装置。
6.根据权利要求2或3所述的具有二次加湿***的洁净室布置结构，其特征在于，所述第一独立分区的第一下技术夹层内设置有用于吸附所述挥发性有机物的沸石转轮机组。
7.根据权利要求1所述的具有二次加湿***的洁净室布置结构，其特征在于，所述相对湿度传感器设于所述洁净室的洁净生产区。
8.根据权利要求1所述的具有二次加湿***的洁净室布置结构，其特征在于，每一组所述二次加湿***中，所述相对湿度传感器设置为一个或多个，且当所述相对湿度传感器设置为一个时，所述湿度信号为所述相对湿度传感器的感应值；当所述相对湿度传感器设置为多个时，所述湿度信号为所述多个相对湿度传感器的湿度感应值的平均值。
9.一种洁净生产厂房，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的具有二次加湿***的洁净室布置结构。
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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