CN110328451A - 一种介质滤波器的刻蚀加工方法及*** - Google Patents

一种介质滤波器的刻蚀加工方法及*** Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种介质滤波器的刻蚀加工方法及***。过程为：建立介质滤波器电气性能参数与刻蚀区域及对应刻蚀面积的关系模型库，测量待调试介质滤波器的电气性能参数，将测量的电气性能参数导入关系模型库，通过算法比对匹配得到待调试介质滤波器最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积，按照确定的刻蚀区域路线及刻蚀面积采用刻蚀装置依次刻蚀介质滤波器的各区域表面的金属层完成介质滤波器的加工。本发明可以提高介质滤波器的一致性，大幅提高介质滤波器的调试效率、降低生产成本。

Description

一种介质滤波器的刻蚀加工方法及***
技术领域
本发明属于通信技术领域，具体涉及一种介质滤波器的刻蚀加工方法及***。
背景技术
目前介质滤波器的大规模加工手段主要是依靠人工手持电磨头打磨介质滤波器表面金属层进行调试，打磨金属层的面积大小依赖于调试员的经验。介质滤波器的人工调试有别于常规金属腔滤波器调试，需要员工精神状态高度集中，稍有不慎容易将介质滤波器打磨报废；不同人员打磨金属层的面积大小不确定，使得调试效率及良品率无法得到保证，相同的技术指标下，不同调试员调试出的介质滤波器状态会差异较大。
发明内容
本发明的目的就是为了解决上述背景技术存在的不足，提供一种简单、效率高的介质滤波器的刻蚀加工方法及***。
本发明采用的技术方案是：一种介质滤波器的刻蚀加工方法，建立介质滤波器电气性能参数与刻蚀区域及对应刻蚀面积的关系模型库，测量待调试介质滤波器的电气性能参数，将测量的电气性能参数导入关系模型库，通过算法比对匹配得到待调试介质滤波器最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积，按照确定的刻蚀区域路线及刻蚀面积采用刻蚀装置依次刻蚀介质滤波器的各区域表面的金属层完成介质滤波器的加工。
进一步地，建立关系模型库的方法为：按照生产批次抽取若干件待调试介质滤波器，分别测量若干件待调试介质滤波器的电气性能参数，依次刻蚀若干件待调试介质滤波器使其均满足电气性能指标，分别测量若干件调试合格后的介质滤波器的各区域的刻蚀面积，确定各区域的刻蚀区域路线，分别将若干件介质滤波器的批次号、电气性能参数、刻蚀区域路线及对应区域的刻蚀面积进行绑定存储得到关系模型库。
进一步地，定义刻蚀装置上的刻蚀点为原点，以介质滤波器的各区域中心距离原点之间距离由近到远的顺序确定各区域的刻蚀区域路线。
进一步地，通过网络分析仪测量介质滤波器的电气性能参数，通过影像测量设备测量调试合格后的介质滤波器各区域的刻蚀面积。
进一步地，通过算法比对匹配得到最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积的过程为：所述介质滤波器的电气性能参数包括中心频率和平均***损耗，先将中心频率导入到关系模型库，获得多个相似的初始模型，然后导入平均***损耗到关系模型库匹配已经筛选出的多个初始模型，确定匹配的最终模型，该最终模型对应的刻蚀区域路线及各区域对应的刻蚀面积即为待调试介质滤波器最佳的刻蚀区域路线及各区域对应的刻蚀面积。
进一步地，所述中心频率f0为f0＝(f1+f2)/2，其中f1、f2为带通或带阻滤波器左、右相对下降3dB边频点；所述平均***损耗为fStart～fStop频率范围内，Nop个点对应的频率响应值的平均值，fStart为通带起始频率，fStop为通带结束频率，Nop为通带起始频率到通带结束频率的扫描点数。
更进一步地，所述刻蚀装置为激光刻蚀装置或磨头刻蚀装置。
一种介质滤波器的刻蚀加工***，包括
测量设备，用于测量待调试介质滤波器的电气性能参数并输出至控制器，
控制器，用于建立介质滤波器电气性能参数与刻蚀区域及对应刻蚀面积的关系模型库，将接收的电气性能参数导入关系模型库，通过算法比对匹配得到待调试介质滤波器最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积，向刻蚀装置发出刻蚀控制指令。
刻蚀装置，用于根据刻蚀控制器指令按照确定的刻蚀区域路线及刻蚀面积依次刻蚀介质滤波器的各区域表面的金属层完成介质滤波器的加工。
进一步地，所述控制器建立关系模型库的方法为：按照生产批次抽取若干件待调试介质滤波器，分别测量若干件待调试介质滤波器的电气性能参数，依次刻蚀若干件待调试介质滤波器使其均满足电气性能指标，分别测量若干件调试合格后的介质滤波器的各区域的刻蚀面积，确定各区域的刻蚀区域路线，分别将若干件介质滤波器的批次号、电气性能参数、刻蚀区域路线及对应区域的刻蚀面积进行绑定存储得到关系模型库。
更进一步地，控制器通过算法比对匹配得到最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积的过程为：所述介质滤波器的电气性能参数包括中心频率和平均***损耗，先将中心频率导入到关系模型库，获得多个相似的初始模型，然后导入平均***损耗到关系模型库匹配已经筛选出的多个初始模型，确定匹配的最终模型，该最终模型对应的刻蚀区域路线及各区域对应的刻蚀面积即为待调试介质滤波器最佳的刻蚀区域路线及各区域对应的刻蚀面积。
本发明建立介质滤波器电气性能参数与刻蚀区域及对应刻蚀面积的关系模型库，通过建立的关系模型库匹配出待调试介质滤波器最佳的刻蚀区域路线及各区域对应的刻蚀面积，然后采用刻蚀装置自动刻蚀滤波器上表面金属层，本发明的方法刻蚀速度快，能够有效提高刻蚀尺寸精度、刻蚀质量；并可以将人工从重复、枯燥的以及可能存在碎屑和烟尘污染风险的调试工作中解放出来，使待加工滤波器的一致性更好，大幅提高介质滤波器的调试效率、调试合格率及交付能力，降低生产成本，对于稳定及提高产能意义重大。
附图说明
图1为本发明加工方法的流程图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本发明，但并不构成对本发明的限定。
本发明提供一种介质滤波器的刻蚀加工***，包括
测量设备，用于测量待调试介质滤波器的电气性能参数并输出至控制器，测量设备包括网络分析仪，网络分析仪测量电气性能参数，网络分析仪通过网络或其他总线方式与控制器连接。测量设备还包括影像测量设备，影像测量设备测量调试合格后的介质滤波器各区域的刻蚀面积，发给控制器。
控制器，用于建立介质滤波器电气性能参数与刻蚀区域及对应刻蚀面积的关系模型库，将接收的电气性能参数导入关系模型库，通过算法比对匹配得到待调试介质滤波器最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积，向刻蚀装置发出刻蚀控制指令。
刻蚀装置，用于根据刻蚀控制器指令按照确定的刻蚀区域路线及刻蚀面积依次刻蚀介质滤波器的各区域表面的金属层完成介质滤波器的加工。刻蚀装置可以为激光刻蚀装置，激光刻蚀具有无接触性、柔性化程度高、刻蚀速度快、无噪声、热影响区小、可聚焦到激光波长级的极小光斑等优越特性。刻蚀装置还可以为磨头刻蚀装置。
根据上述的刻蚀加工***，本发明还提供一种介质滤波器的刻蚀加工方法，如图1所示，过程为：控制器建立介质滤波器电气性能参数与刻蚀区域及对应刻蚀面积的关系模型库，测量设备测量待调试介质滤波器的电气性能参数发给控制器，控制器将测量的电气性能参数导入关系模型库，通过算法比对匹配得到待调试介质滤波器最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积，按照确定的刻蚀区域路线及刻蚀面积采用刻蚀装置依次刻蚀介质滤波器的各区域表面的金属层完成介质滤波器的加工。介质滤波器的各区域是指滤波器上表面的任意内沉区域(即用于调试的内沉孔)的底部、内沉区域的侧壁以及上表面其它任意的区域。
上述方案中，控制器建立关系模型库的方法为：按照生产批次抽取若干件待调试介质滤波器，抽取的待调试介质滤波器的数量为50-300件，优选为100、150、200件，分别测量若干件待调试介质滤波器的电气性能参数，依次刻蚀若干件待调试介质滤波器使其均满足电气性能指标，分别测量若干件调试合格后的介质滤波器的各区域的刻蚀面积，确定各区域的刻蚀区域路线，分别将若干件介质滤波器的批次号、电气性能参数、刻蚀区域路线及对应区域的刻蚀面积进行绑定存储得到关系模型库，即每件介质滤波器的批次号、电气性能参数、刻蚀区域路线及对应区域的刻蚀面积一一对应。
上述方案中，定义刻蚀装置上的刻蚀点为原点，以介质滤波器的各区域中心距离原点之间距离由近到远的顺序确定各区域的刻蚀区域路线，以此方式确定的路线能够提高装置运动效率，减少重复运动。刻蚀装置为激光刻蚀装置时，刻蚀点为激光器输出的激光点；刻蚀装置为磨头刻蚀装置时，刻蚀点为磨头端部。
上述方案中，控制器通过算法比对匹配得到最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积的过程为：所述介质滤波器的电气性能参数包括中心频率和平均***损耗，先将中心频率导入到关系模型库，获得多个相似的初始模型，然后导入平均***损耗到关系模型库匹配已经筛选出的多个初始模型，确定匹配的最终模型，该最终模型对应的刻蚀区域路线及各区域对应的刻蚀面积即为待调试介质滤波器最佳的刻蚀区域路线及各区域对应的刻蚀面积。
上述方案中，中心频率f0为f0＝(f1+f2)/2，其中f1、f2为带通或带阻滤波器左、右相对下降3dB边频点；所述平均***损耗为fStart～fStop频率范围内，Nop个点对应的频率响应值的平均值，fStart为通带起始频率，fStop为通带结束频率，Nop为通带起始频率到通带结束频率的扫描点数。
本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

Claims (10)

1.一种介质滤波器的刻蚀加工方法，其特征在于：建立介质滤波器电气性能参数与刻蚀区域及对应刻蚀面积的关系模型库，测量待调试介质滤波器的电气性能参数，将测量的电气性能参数导入关系模型库，通过算法比对匹配得到待调试介质滤波器最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积，按照确定的刻蚀区域路线及刻蚀面积采用刻蚀装置依次刻蚀介质滤波器的各区域表面的金属层完成介质滤波器的加工。
2.根据权利要求1所述的介质滤波器的刻蚀加工方法，其特征在于：建立关系模型库的方法为：按照生产批次抽取若干件待调试介质滤波器，分别测量若干件待调试介质滤波器的电气性能参数，依次刻蚀若干件待调试介质滤波器使其均满足电气性能指标，分别测量若干件调试合格后的介质滤波器的各区域的刻蚀面积，确定各区域的刻蚀区域路线，分别将若干件介质滤波器的批次号、电气性能参数、刻蚀区域路线及对应区域的刻蚀面积进行绑定存储得到关系模型库。
3.根据权利要求2所述的介质滤波器的刻蚀加工方法，其特征在于：定义刻蚀装置上的刻蚀点为原点，以介质滤波器的各区域中心距离原点之间距离由近到远的顺序确定各区域的刻蚀区域路线。
4.根据权利要求2所述的介质滤波器的刻蚀加工方法，其特征在于：通过网络分析仪测量介质滤波器的电气性能参数，通过影像测量设备测量调试合格后的介质滤波器各区域的刻蚀面积。
5.根据权利要求1所述的介质滤波器的刻蚀加工方法，其特征在于：通过算法比对匹配得到最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积的过程为：所述介质滤波器的电气性能参数包括中心频率和平均***损耗，先将中心频率导入到关系模型库，获得多个相似的初始模型，然后导入平均***损耗到关系模型库匹配已经筛选出的多个初始模型，确定匹配的最终模型，该最终模型对应的刻蚀区域路线及各区域对应的刻蚀面积即为待调试介质滤波器最佳的刻蚀区域路线及各区域对应的刻蚀面积。
6.根据权利要求5所述的介质滤波器的刻蚀加工方法，其特征在于：所述中心频率f0为f0＝(f1+f2)/2，其中f1、f2为带通或带阻滤波器左、右相对下降3dB边频点；所述平均***损耗为fStart～fStop频率范围内，Nop个点对应的频率响应值的平均值，fStart为通带起始频率，fStop为通带结束频率，Nop为通带起始频率到通带结束频率的扫描点数。
7.根据权利要求1所述的介质滤波器的刻蚀加工方法，其特征在于：所述刻蚀装置为激光刻蚀装置或磨头刻蚀装置。
8.一种介质滤波器的刻蚀加工***，其特征在于：包括
测量设备，用于测量待调试介质滤波器的电气性能参数并输出至控制器，
控制器，用于建立介质滤波器电气性能参数与刻蚀区域及对应刻蚀面积的关系模型库，将接收的电气性能参数导入关系模型库，通过算法比对匹配得到待调试介质滤波器最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积，向刻蚀装置发出刻蚀控制指令。
刻蚀装置，用于根据刻蚀控制器指令按照确定的刻蚀区域路线及刻蚀面积依次刻蚀介质滤波器的各区域表面的金属层完成介质滤波器的加工。
9.根据权利要求8所述的介质滤波器的刻蚀加工***，其特征在于：所述控制器建立关系模型库的方法为：按照生产批次抽取若干件待调试介质滤波器，分别测量若干件待调试介质滤波器的电气性能参数，依次刻蚀若干件待调试介质滤波器使其均满足电气性能指标，分别测量若干件调试合格后的介质滤波器的各区域的刻蚀面积，确定各区域的刻蚀区域路线，分别将若干件介质滤波器的批次号、电气性能参数、刻蚀区域路线及对应区域的刻蚀面积进行绑定存储得到关系模型库。
10.根据权利要求8所述的介质滤波器的刻蚀加工***，其特征在于：控制器通过算法比对匹配得到最佳的调试区域路线及各区域对应的刻蚀面积的过程为：所述介质滤波器的电气性能参数包括中心频率和平均***损耗，先将中心频率导入到关系模型库，获得多个相似的初始模型，然后导入平均***损耗到关系模型库匹配已经筛选出的多个初始模型，确定匹配的最终模型，该最终模型对应的刻蚀区域路线及各区域对应的刻蚀面积即为待调试介质滤波器最佳的刻蚀区域路线及各区域对应的刻蚀面积。
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