CN110207859A - 一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平 - Google Patents

一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平 Download PDF

Info

Publication number
CN110207859A
CN110207859A CN201910406330.3A CN201910406330A CN110207859A CN 110207859 A CN110207859 A CN 110207859A CN 201910406330 A CN201910406330 A CN 201910406330A CN 110207859 A CN110207859 A CN 110207859A
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical lever
balance
electromagnetic
psd element
closed loop
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910406330.3A
Other languages
English (en)
Inventor
鲍丙豪
吴迪
张会玲
邓晓蓉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu University
Original Assignee
Jiangsu University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu University filed Critical Jiangsu University
Priority to CN201910406330.3A priority Critical patent/CN110207859A/zh
Publication of CN110207859A publication Critical patent/CN110207859A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01G—WEIGHING
    • G01G7/00—Weighing apparatus wherein the balancing is effected by magnetic, electromagnetic, or electrostatic action, or by means not provided for in the preceding groups
    • G01G7/02—Weighing apparatus wherein the balancing is effected by magnetic, electromagnetic, or electrostatic action, or by means not provided for in the preceding groups by electromagnetic action
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/08—Measuring force or stress, in general by the use of counterbalancing forces
    • G01L1/086—Measuring force or stress, in general by the use of counterbalancing forces using electrostatic or electromagnetic counterbalancing forces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

本发明提供一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平，包括光杠杆、PSD元件、电磁线圈和闭环检测***；所述光杠杆用于产生光束，并将光束反射到PSD元件上；所述PSD元件用于检测光杠杆反射光点的位移；所述PSD元件与闭环检测***连接，所述闭环检测***与电磁线圈连接。本发明巧妙地用光杠杆和PSD元件组成的位移检测***取代现有电子分析天平用于位移检测的光电***，通过把光杠杆技术及PSD元件与电磁力传感器相融合，进一步提升现有电子分析天平的检测灵敏度。

Description

一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平
技术领域
本发明属于传感器领域，具体涉及一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平。
背景技术
电子天平集传感技术、模拟电子技术、数字电子技术、计算机技术、智能信息处理技术、材料及精密制造技术于一身，也是诸多技术发展的综合产物，相较于机械式天平具有称量快速、操作简便、自动校准、故障自诊断等多种功能与优越性。电子天平一经问世，便迅速进入计量、称重领域，成为科研、生产、军工、医药等领域必备的检测仪器。
电子天平按其精度可分为超微量电子天平(最大称量2～5g，分辨力<1μg)、微量电子天平(最大称量3～50g，分辨力1μg)、半微量电子天平(最大称量20～100g，分辨力10μg)及常量电子天平(最大称量100～200g，分辨力0.1mg)四类。通常所说的电子分析天平，即超微量天平、微量天平、半微量天平和常量天平的总称。
电子分析天平通常包含一闭环调节***电磁力平衡传感器，具有准确度高，稳定性好的优点。传统的电子分析天平结构原理如图1所示，包括加载装置、电磁力加载装置、光电位移检测装置和光电池信号处理电路；所述加载装置包括待测物1、载物台2、竖直支撑杆3、水平支撑杆4和水平支撑杆弹簧5；所述电磁力加载装置包括水平横梁6、光阑7、支杆8、支杆弹簧9、线圈支架10、电磁线圈11、永磁12、磁轭13和支架连接件14；如图2所示，所述光电位移检测装置7包括光电发光管15、带矩形缺口的光阑16、光电转换器17、光电转换器18、光阑处于光束中央时光斑19和光阑位移后的光斑20。图1中，秤盘即载物台2置于竖直支撑杆3上，它通过含簧片的支架连杆与一个置于磁钢之中的电磁线圈11相连，通电磁线圈11处于永磁体产生的磁场中。通电磁线圈11受平行于线圈平面的磁场作用产生垂直向下的安培力。如图2所示，光电位移检测装置7包括光电发光管15、带矩形缺口的光阑16、光电转换器17、光电转换器18、光阑处于光束中央时光斑19和光阑位移后的光斑20；在一连杆的右端置一带矩形缺口的光阑16，在矩形缺口的光阑16的一边安装一光电发光管15，另一边安放性能一致的一对光电转换器17、18，当称盘上加载待测物1后，杠杆的位置即发生变化，光电转换器将检测到的位置变化量转化成对应的电信号输出，然后经过PID电路及驱动电路，将与位置信号相对应的电流加载在处于永磁材料产生磁场的线圈11上，产生一电磁力。通过自动调节，最终使得电磁力力矩与待测物1的重力力矩再次达到平衡，天平达到稳定，此时，流过线圈11的电流大小与载荷重力成正比，获取电流值即可计量出物体的重量或通过标定得到待测物1的质量。
瑞士、德国、美国、日本等最早开展电子天平的研制，在20世纪80年代初期，就具备大批量生产电子分析天平的能力。如德国的Sartorius、瑞士的METTLER TOLEDO和美国的Explorer是当今国际上电子天平生产和制造领域的三架马车，处于实验室天平和工业天平的领先地位。
随着新材料的不断涌现及先进制造技术的发展，电磁力平衡传感器的结构也处在不断的改进和发展中，从最初的电磁力直接驱动式，发展到单级杠杆式，再到多级杠杆式。国外先进电子分析天平企业攻克了敏感部件恒弹性簧片、先进永磁体材料的配方及热处理工艺难题，采取高精度线切割加工技术，对单块铝合金材料采用一次成型加工技术，制得了一体化结构的电磁力平衡传感器，即单模块(Mono-block)电磁力平衡传感器。瑞士METTLERTOLEDO率先将单模块传感器应用于电子分析天平上，使其称量精度达微量甚至超微量，如XP2U型超微量电子天平，最大称量值为2.1g，分辨力达0.1μg。
除在电磁力传感器的方面研究和发展外，发达国家在电子分析天平的电路设计、信息处理、漂移量的抑制、非线性修正等技术上也做出了诸多处于领先地位的研究。
我国对电子天平的研制始于20世纪70年代末，最初的产品由于生产技术不够成熟，无法形成规模生产。至20世纪80年代中期，通过引进并消化吸收德国赛多利斯公司以及日本岛津公司的先进技术，使我国的电子天平技术得以快速发展。在国内，湖南大学与湘西仪器仪表总厂合作，于1986年成功研制出量程为0～200g、精度为0.1mg的智能电子分析天平，达到了20世纪80年代初的国际先进水平。到20世纪90年代初期，上海天平仪器厂、常熟衡器厂、湘仪天平厂、沈阳龙腾电子称量仪器公司的多家电子天平厂商经过多年研究公关，已具备批量生产电子天平的能力。近年来，国内在电子天平研究中着重解决信号处理、温度漂移补偿、磁钢性能稳定及反馈控制问题，显著提升了我国电子分析天平的研制水平，使我国在万分之一精度的电子天平的研制上已经接近世界领先水平，但是由于受到材料及精密制造工艺等限制，我国电子天平的一致性与可靠性与国际先进水平仪器性能相比仍有差距，仍有很多技术有待深入研究和进一步改进。
发明内容
针对上述技术问题，本发明提供一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器，巧妙地用光杠杆和PSD元件组成的位移检测***取代现有电子分析天平用于位移检测的光电***，通过把光杠杆技术及PSD元件与电磁力传感器相融合，进一步提升现有电子分析天平的灵敏度。
本发明还提供一种包括所述基于光杠杆的电磁平衡式力传感器的电子天平。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器，包括光杠杆、PSD元件、电磁线圈和闭环检测***；
所述光杠杆用于产生光束，并将光束反射到PSD元件上；
所述PSD元件用于检测光杠杆反射光点的位移；
所述PSD元件与闭环检测***连接，所述闭环检测***与电磁线圈连接。
上述方案中，所述光杠杆包括激光器、光反射镜、聚焦透镜和滤光镜；
所述光反射镜用于反射激光器产生的激光束，所述聚焦透镜和滤光镜在光反射镜所发射的光束的光路上，经反射的光束照射在所述PSD元件上。
上述方案中，所述电磁线圈处于永磁、磁轭产生的沿径向的磁场中。
上述方案中，所述闭环检测***的输入端与PSD元件的输出连接，闭环检测***的输出端与电磁线圈连接，所述电磁线圈与取样电阻连接。
上述方案中，所述闭环检测***包括信号处理电路；
所述信号处理电路包括依次连接的电压放大、功率放大和PID电路。
一种电子天平，包括所述的基于光杠杆的电磁平衡式力传感器。
上述方案中，所述光反射镜和电磁线圈置于电子天平水平横梁的一端；
电子天平的载物台置于所述水平横梁的另一端。
上述方案中，还包括单片机和显示器；
所述取样电阻输出的信号经处理后输给单片机，所述单片机与显示器连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.本发明利用光杠杆和PSD元件组成的位移检测***取代现有电子分析天平用于位移检测的光电***，通过把光杠杆技术及PSD元件与电磁力传感器相融合，进一步提升现有电子分析天平的灵敏度。
2.本发明不改变原电子分析天平的电磁线圈的结构和横梁连杆结构，采用具有光放大作用的光杠杆技术取代原有的位移检测装置；通过把光杠杆技术及PSD元件与电磁力传感器相融合，所述光杠杆的激光器发射激光束，该激光束通过反射镜反射至一PSD元件上，当载物台上置一待测物时，横梁会产生瞬间位移，使PSD元件上的反射光点位置发生改变，这一位移变化量可通过PSD元件给出，本发明对被测物引起的位移检测精度更高，因此可提高电子分析电平的灵敏度。
3.本发明采用PSD元件取代光电池，PSD元件实现对光杠杆反射光点位移检测。
4.本发明用PSD信号处理电路取代原有的光电池信号处理电路。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是传统型电磁平衡式力传感器检测原理示意图；
图2是传统型电磁平衡式力传感器位移检测的光电检测部分；
图3是本发明一实施方式的采用光杠杆的电磁平衡式力传感器的检测原理示意图；
图4是本发明光杠杆对横梁产生的位移的放大作用示意图；
图5是本发明所述PSD元件信号处理电路原理图。
图中，1、待测物；2、载物台；3、竖直支撑杆；4、水平支撑杆；5、水平支撑杆弹簧；6、横梁；7、光电位移检测装置、8、支杆；9、支杆弹簧；10、线圈支架；11、电磁线圈；12、永磁；13、磁轭；14、支架连接件；15、光电发光管；16、带矩形缺口的光阑；17、光电转换器A；18、光电转换器B；19、光阑处于光束中央时光斑；20、光阑位移后的光斑；21、反射镜；22、激光器；23、透镜；24、滤光片；25、PSD元件；26、光点；27、除法器。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“轴向”、“径向”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
图3所示为本发明所述基于光杠杆的电磁平衡式力传感器的一种实施方式，所述基于光杠杆的电磁平衡式力传感器包括光杠杆、PSD元件25、电磁线圈11和闭环检测***。
所述光杠杆用于产生光束，并将光束反射到PSD元件25上；
所述PSD元件25用于检测经光杠杆反射至PSD元件25上光点26的位移；
所述PSD元件25与闭环检测***连接，所述闭环检测***与电磁线圈11连接。
所述光杠杆包括激光器22、反射镜21、聚焦透镜23和滤光镜24；所述激光器22为半导体激光器，用于产生激光束；所述光反射镜21用于反射激光器22产生的激光束，所述聚焦透镜23和滤光镜24在光反射镜21所发射的光束的光路上，所述聚焦透镜23实现对激光器22所产生的光束的聚焦，所述滤光镜24实现对外界光的滤波；经反射的光束照射在所述PSD元件25上。所述光杠杆光路中的反射光程大于入射光程，起到放大位移的作用。所述滤光镜24位于反射光路中，在光路中起到消除杂散光的作用。所述反射镜21为平面反射镜，置于横梁6的上表面，从激光器22发射的入射光经反射镜21反射获得反射光。所述PSD元件25为一维位置敏感器件，可对反射光的光点26位置进行准确测量。
所述电磁线圈11处于永磁12、磁轭13产生的恒磁场中；所述永磁12为NdFeB永磁、磁轭13为硅钢软磁。
所述闭环检测***的输入端与PSD元件25的输出连接，闭环检测***的输出端与电磁线圈11连接，所述电磁线圈11与取样电阻连接，所述取样电阻一端接地。
所述闭环检测***包括信号处理电路；所述信号处理电路包括依次连接的电压放大、功率放大和PID电路。
本发明所述基于光杠杆的电磁平衡式力传感器由半导体激光器发射一激光束，该激光束通过置于横梁6末端的反射镜21反射至一PSD元件25上。当载物台2上置一待测物1时，横梁6会产生瞬间位移，使PSD元件25上的反射光点26位置发生改变，这一位移变化量可通过PSD元件25给出。由图3的光路可见，该光路具有位移放大作用，因此称为光杠杆。利用光杠杆将位移放大可在不延长电子天平横梁6长度的前提下进一步提高电子天平的灵敏度。
一种电子天平，包括所述的基于光杠杆的电磁平衡式力传感器。
所述光反射镜21和电磁线圈11置于电子天平水平横梁6的一端；电子天平的载物台2置于所述水平横梁6的另一端。
所述电子天平还包括单片机和显示器；所述取样电阻两端获得的电压信号通过处理后再经过AD转换器传送给单片机，所述单片机与显示器连接，所述显示器用于显示被测物的质量。
如图4所示，当载物台2上施加一定质量的待测物1时，所述竖直支撑杆3将下降，使横梁6的右端上移，进而带动反射镜21一起上移，使由激光器22发射的入射光的入射角改变，经聚光透镜23和滤光镜24后的反射光的反射角也发生改变，从而使光点26照射在PSD元件25上的位置发生变化，由于使用光杠杆，使位移值得以放大，从而使电子天平灵敏度得以提高。
图5所示为位置敏感器件PSD元件25检测光点26位置的信号处理电路原理图，光点26位置决定的电流信号经电流/电压转换器后变成了电压信号ea和eb，再经过加减运算电路后的信号送给除法器27，这样可在一定程度上消除光点26亮度变化所引起的位移测量误差。
本发明所述反射镜21位于横梁6上，横梁6上安置一电磁线圈11，电磁线圈11处于永久磁铁和软磁磁轭构成的磁场中，通电的电磁线圈11在磁场中受安培力作用，该力的力矩与待测物1的质量产生的力矩相平衡，经反射镜21反射的光线再经聚光透镜23聚焦、滤光镜24滤波后投射到PSD元件25上，待测物1的质量变化则引起光点26移动，PSD元件25上输出电压经放大和PID电路后又反馈至电磁线圈11中，安培力改变可使天平再次平衡，通过检测与线圈串连的取样电阻上的电压即得到被测物体的质量。
本发明所用检测位移装置，明显不同于现有技术中图2所示的采用光电池的方式。
图4中，设在重力F的作用下，横梁6右端产生了位移d，该位移经图中所设计的光杠杆的作用后，在PSD元件25上对应的位移为L，由图可见L>>d，说明采用光杠杆可明显提高由载物台2所放置的待测物1质量所产生的重力F所引起的位移量，位移增大，使得电子天平的检测敏感度得以提高。
应当理解，虽然本说明书是按照各个实施例描述的，但并非每个实施例仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施例的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施例或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器，其特征在于，包括光杠杆、PSD元件(25)、电磁线圈(11)和闭环检测***；
所述光杠杆用于产生光束，并将光束反射到PSD元件(25)上；
所述PSD元件(25)用于检测光杠杆反射光点(26)的位移；
所述PSD元件(25)与闭环检测***连接，所述闭环检测***与电磁线圈(11)连接。
2.根据权利要求1所述的基于光杠杆的电磁平衡式力传感器，其特征在于，所述光杠杆包括激光器(22)、光反射镜(21)、聚焦透镜(23)和滤光镜(24)；
所述光反射镜(21)用于反射激光器(22)产生的激光束，所述聚焦透镜(23)和滤光镜(24)在光反射镜(21)所发射的光束的光路上，经反射的光束照射在所述PSD元件(25)上。
3.根据权利要求1所述的基于光杠杆的电磁平衡式力传感器，其特征在于，所述电磁线圈(11)处于永磁(12)、磁轭(13)产生的沿径向磁场中。
4.根据权利要求1所述的基于光杠杆的电磁平衡式力传感器，其特征在于，所述闭环检测***的输入端与PSD元件(25)的输出连接，闭环检测***的输出端与电磁线圈(11)连接，所述电磁线圈(11)与取样电阻连接。
5.根据权利要求1所述的基于光杠杆的电磁平衡式力传感器，其特征在于，所述闭环检测***包括信号处理电路；
所述信号处理电路包括依次连接的电压放大、功率放大和PID电路。
6.一种电子天平，其特征在于，包括权利要求1-5任意一项所述的基于光杠杆的电磁平衡式力传感器。
7.根据权利要求6所述的电子天平，其特征在于，所述光反射镜(21)和电磁线圈(11)置于电子天平水平横梁(6)的一端；
电子天平的载物台(2)置于所述水平横梁(6)的另一端。
8.根据权利要求6所述的电子天平，其特征在于，还包括单片机和显示器；
所述取样电阻两端获得的电压信号通过处理后再经过AD转换器传送给单片机，所述单片机与显示器连接。
CN201910406330.3A 2019-05-15 2019-05-15 一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平 Pending CN110207859A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910406330.3A CN110207859A (zh) 2019-05-15 2019-05-15 一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910406330.3A CN110207859A (zh) 2019-05-15 2019-05-15 一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110207859A true CN110207859A (zh) 2019-09-06

Family

ID=67787409

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910406330.3A Pending CN110207859A (zh) 2019-05-15 2019-05-15 一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110207859A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111257532A (zh) * 2020-03-30 2020-06-09 郑州轻工业大学 一种信息计量用信息处理平台
CN113624309A (zh) * 2021-08-16 2021-11-09 江苏大学 一种磁悬浮称重***及其控制方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1492221A1 (ru) * 1987-10-08 1989-07-07 Ленинградский Завод "Госметр" Весы с электромагнитным уравновешиванием
CN1782678A (zh) * 2004-12-02 2006-06-07 株式会社岛津制作所 电子天平
CN101140182A (zh) * 2006-09-05 2008-03-12 梅特勒-托利多公开股份有限公司 测力装置和基准单元
CN103292879A (zh) * 2012-02-29 2013-09-11 梅特勒-托利多公开股份有限公司 具有光电位置传感器的、基于磁力补偿原理的称量单元
CN105258767A (zh) * 2015-11-02 2016-01-20 天津众达精密机械有限公司 一种高精度电子天平称量***
CN105318941A (zh) * 2014-07-30 2016-02-10 徐亚珍 一种新型电子天平
WO2016157280A1 (ja) * 2015-03-27 2016-10-06 株式会社 エー・アンド・デイ 電子秤
CN207779520U (zh) * 2018-02-27 2018-08-28 山东省国衡环境检测有限公司 一种量程可调的智能型电子天平

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1492221A1 (ru) * 1987-10-08 1989-07-07 Ленинградский Завод "Госметр" Весы с электромагнитным уравновешиванием
CN1782678A (zh) * 2004-12-02 2006-06-07 株式会社岛津制作所 电子天平
CN101140182A (zh) * 2006-09-05 2008-03-12 梅特勒-托利多公开股份有限公司 测力装置和基准单元
CN103292879A (zh) * 2012-02-29 2013-09-11 梅特勒-托利多公开股份有限公司 具有光电位置传感器的、基于磁力补偿原理的称量单元
CN105318941A (zh) * 2014-07-30 2016-02-10 徐亚珍 一种新型电子天平
WO2016157280A1 (ja) * 2015-03-27 2016-10-06 株式会社 エー・アンド・デイ 電子秤
CN105258767A (zh) * 2015-11-02 2016-01-20 天津众达精密机械有限公司 一种高精度电子天平称量***
CN207779520U (zh) * 2018-02-27 2018-08-28 山东省国衡环境检测有限公司 一种量程可调的智能型电子天平

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
刘小进，石振刚，田孝军等: "AFM检测模块中PSD信号处理电路设计", 《仪器仪表学报》 *
刘晓旻，吴宇, 张攀峰等: "光杠杆式nm级微位移激光测量***的研究", 《光电子·激光》 *
吴宇，刘晓旻，杨国光: "光杠杆纳米微位移测量***中的信号处理", 《光电工程》 *
周光明，吴禹，鲍丙豪等: "基于光杠杆原理的微位移测量***设计", 《信息技术》 *
张攀峰,吴宇,刘晓旻等: "基于光杠杆原理的纳米级微位移测量***研究", 《光学仪器》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111257532A (zh) * 2020-03-30 2020-06-09 郑州轻工业大学 一种信息计量用信息处理平台
CN113624309A (zh) * 2021-08-16 2021-11-09 江苏大学 一种磁悬浮称重***及其控制方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110207859A (zh) 一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平
US9116031B2 (en) Weighing cell based on the principle of electromagnetic force compensation with optoelectronic position sensor
CN102768060B (zh) 一种高精度多功能电子天平
CN104457728A (zh) 一种无自旋交换弛豫的原子陀螺仪装置
CN115236391A (zh) 磁传感芯片及闭环反馈电流传感器
Fang et al. The BIPM Kibble balance for realizing the kilogram definition
CN101430347A (zh) 一种集磁反馈型光纤电流传感器
CN105487024A (zh) 基于磁光耦合的弱磁传感器及磁场测量方法
CN110068318A (zh) 一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置
CN1844937B (zh) 高灵敏度的微电子机械***的光电检流计、制作及其检测方法
CN110646750A (zh) 基于电子自旋反射对消的磁场检测***及方法
CN101408596B (zh) 弱磁材料相对磁导率和电工纯铁矫顽力的测量方法及装置
CN110631667B (zh) 用于求取称量对象的重量的称量装置
CN105258767A (zh) 一种高精度电子天平称量***
CN113899432B (zh) 一种磁悬浮天平及质量测量方法
US4276949A (en) Electromagnetic force-compensating weighing appliance
CN109324233A (zh) 基于多光束激光光谱技术的工频电场测量方法和装置
CN205562036U (zh) 基于光纤光栅传感技术的光照强度测量装置
Füßl et al. The influence of the force feed-in system on high-accuracy low force measurement
Diethold et al. Nanopositioning system with combined force measurement based on electromagnetic force compensated balances
CN216483397U (zh) 一种数字式pid参数整定电子天平
Diethold et al. Development of a force displacement measurement device for the determination of spring constants
CN107271007A (zh) 大量程高精度电磁测重传感器
Yang et al. Comparison of broadband performance of Current measurement technology
SU873142A1 (ru) Измеритель мощности сверхвысоких частот

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190906