CN110190019A - 基板运送模块以及包括该模块的基板处理*** - Google Patents

基板运送模块以及包括该模块的基板处理*** Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种基板运送模块，在多个基板安装在托盘的状态下执行基板处理的基板处理模块中将待执行基板处理的多个基板装载到托盘，包括：托盘安装部，安装有直角四边形托盘，所述托盘是以n×m行列的基板排列(n为2以上的自然数，m为2以上的自然数)装载多个基板；基板装载部，设置在所述托盘安装部的一侧，从载体导出待执行基板处理的多个基板并以n×k行列的基板排列(k为2以上的自然数)布置多个基板；第一基板运送部，具有多个第一基板运送工具，所述第一基板运送工具拾取位于所述基板装载部上的n×k行列的基板排列中一列的n个基板，运送至所述托盘安装部上的托盘。

Description

基板运送模块以及包括该模块的基板处理***
技术领域
本发明涉及基板运送模块以及包括该模块的基板处理***，更详细地说涉及使用于在托盘上安装多个基板之后执行基板处理的基板处理***的基板运送模块。
背景技术
与专利文献1以及2相同，基板处理***是指包括用于执行基板处理的基板处理模块等***，其中基板处理模块是在密封的处理空间对安装在基板支撑架的基板的表面执行沉积、蚀刻等基板处理工艺。
与专利文献2相同，基板处理***根据作为基板处理对象的基板种类、基板处理的种类等可具有多种结构，并且根据配置方式可具有各种结构，具体地说包括：装载/卸载基板的基板运送模块、从基板运送模块接收基板来执行基板处理等固定工艺的基板处理模块、在具有在基板运送模块与基板处理模块之间运送基板的运送机器人的运送模块等。
此时，对于作为基板处理对象的基板，通常是一张一张地运送，但是诸如太阳能电池用基板的小型基板的情况，考虑到工艺效率，可安装在托盘之后一次性运送多个基板。
另一方面，在如上所述的基板处理***中，由完成基板装载、基板处理直到卸载基板的所需时间定义的TACT(Turn Around Cycle Time，周转周期时间)是决定基板处理***的性能的重要要素之一。
(专利文献1)KR10-2013-0074145 A
(专利文献2)KR10-1624982B
发明内容
(要解决的问题)
本发明的目的在于提供如下的基板运送模块以及包括该模块的基板处理***：认识到如上所述的必要性，增加基板运送部可一次性运送的基板数量，最大限度地降低装载或者卸载基板的所需时间，并且可提高装置生产率。
(解决问题的手段)
本发明是为了达到如上所述的目的而提出的，公开了一种基板运送模块300，在多个基板10安装在托盘20的状态下执行基板处理的基板处理模块中将待执行基板处理的多个基板10装载到托盘20的基板运送模块300，包括：托盘安装部310，安装有直角四边形托盘20，所述托盘20是以n×m行列的基板排列(n为2以上的自然数，m为2以上的自然数)装载多个基板10；基板装载部320，设置在所述托盘安装部310的一侧，从载体30导出待执行基板处理的多个基板10并以n×k行列的基板排列(k为2以上的自然数)进行布置；第一基板运送部330，具有多个第一基板运送工具332，所述第一基板运送工具332拾取位于所述基板装载部320上的n×k行列的基板排列中一列的n个基板10，运送至所述托盘安装部310上的托盘20；其中，所述基板装载部320包括k个装载传送部322，所述装载传送部322沿着行方向隔着第一中心间距D，以对应于所述n×m行列的基板排列的各个列；在所述托盘20上n×m行列的基板排列中相邻的列之间的第二中心间距w小于所述第一中心间距D。
所述第一中心间距D可与在所述托盘20上n×m行列的基板排列(n为2以上的自然数，m为3以上的自然数)中的第p列以及第p+2列(p为(m-2)以下的自然数)之间的中心间距相同。
所述多个第一基板运送工具332隔着所述第一中心间距D，并且可分别具有多个拾取器334，所述拾取器334以用于在运送基板时拾取位于对应的装载传送部322的n个基板10。
所述第一基板运送部330可包括两个第一基板运送工具332。
在所述托盘20上n×m行列的基板排列中列的个数m可以是4的倍数。
所述第一基板运送部330可包括第一间距调节部336，所述第一间距调节部336用于调节所述多个第一基板运送工具332之间的中心间距。
所述第一间距调节部336可包括驱动部，所述驱动部在运送基板的过程中为使相邻的第一基板运送工具332之间的中心间距在所述第一中心间距D与所述第二中心间距w之间变化，使在所述多个第一基板运送工具332中的至少一个对于另一第一基板运送工具332进行相对移动。
所述基板运送模块300从托盘20卸载在所述基板处理模块中已执行基板处理的多个基板10，并将待执行基板处理的多个基板10装载于托盘20，可包括：基板卸载部350，以所述托盘安装部310为中心设置在与所述基板装载部320面对面的位置，并且从安装在所述托盘安装部310的托盘20接收已执行基板处理的多个基板10来装载到载体30；第二基板运送部360，具有多个第二基板运送工具362，所述第二基板运送工具362拾取位于所述托盘20上的n×m行列的基板排列中一列的n个基板10来运送到所述基板卸载部350。
所述基板卸载部350可包括卸载传送部352，设置有s个(s为2以上的自然数)所述卸载传送部352，并且所述卸载传送部352从所述第二基板运送工具362接收n个基板10，并且隔着所述第一中心间距D。
在所述托盘20上n×m行列的基板排列中相邻的列之间的第二中心间距w可小于所述第一中心间距D。
所述第一中心间距D在所述托盘20上n×m行列的基板排列(n为2以上的自然数，m为3以上的自然数)中可与第p列以及第p+2(p为(m-2)以下的自然数)之间的中心间距相同。
所述多个第二基板运送工具362隔着所述第一中心间距D，并且分别可具有多个拾取器364，所述拾取器364用于拾取在运送基板时位于对应的列的n个基板10。
所述第二基板运送部360还可包括第二间距调节部366，所述第二间距调节部366用于调节所述多个第二基板运送工具362之间的中心间距。
所述第二间距调节部366还可包括驱动部，所述驱动部为了在基板运送过程中使相邻第二基板运送工具362之间的中心间距在所述第一中心间距D与所述第二中心间距w之间变化，使所述多个第二基板运送工具362中的至少一个对于另一第二基板运送工具362进行相对移动。
所述第一基板运送部330以及所述第二基板运送部360在所述托盘安装部310上可轮流运送基板10，以使所述第一基板运送部330以及所述第二基板运送部360互不干涉。
另外，本发明公开了一种基板运送模块300，在多个基板10安装在托盘20的状态下执行基板处理的基板处理模块中从托盘20卸载已执行基板处理的多个基板10，包括：托盘安装部310，安装有直角四边形托盘20，所述托盘20以n×m行列的基板排列(n为2以上的自然数，m为2以上的自然数)装载多个基板10；基板卸载部350，设置在所述托盘安装部310的一侧，并且从安装在所述托盘安装部310的托盘20接收已执行基板处理的多个基板10来装载到载体30；第二基板运送部360，具有多个第二基板运送工具362，所述第二基板运送工具362拾取位于所述托盘20上n×m行列的基板排列中一列的n个基板10来运送至所述基板卸载部350；其中，所述基板卸载部350包括卸载传送部352，设置有s个(s为2以上的自然数)所述卸载传送部352，所述卸载传送部352从所述第二基板运送工具362接收n个基板10，并且隔着第一中心间距D；在所述托盘20上n×m行列的基板排列中相邻的列之间的第二中心间距w小于所述第一中心间距D。
所述多个第二基板运送工具362可隔着所述第一中心间距D，并且可分别具有多个拾取器364，所述拾取器364用于在运送基板时拾取位于对应的列的n个基板10。
所述第二基板运送部360可包括第二间距调节部366，所述第二间距调节部366用于调节所述多个第二基板运送工具362之间的中心间距。
另外，本发明公开了一种基板处理***，包括：一个以上的基板处理模块，在多个基板10以n×m的基板排列(n为2以上的自然数，m为2以上的自然数)安装在托盘20的状态下执行基板处理；基板运送模块300，执行对所述托盘20卸载基板以及装载基板中的至少一种。
(发明的效果)
根据本发明的基板运送模块以及包括该模块的基板处理***的优点如下：基板运送部具有多个基板运送工具，进而增加基板运送部可一次性运送的基板数量，最大限度地缩短装载基板以及卸载基板的所需时间，并且可提高装置生产率。
具体地说，根据本发明的基板运送模块以及包括该模块的基板处理***使多个基板运送工具具有与设置多列基板的装载传送部(或者卸载传送部)之间的中心间距相对应的间距，进而通过基板运送部能够在装载传送部(或者卸载传送部)与托盘之间能够一次性运送形成多列的多个基板，进而能够提高每单位时间可运送的基板数量。
另外，本发明的基板运送模块以及包括该模块的基板处理***包括能够改变多个基板运送工具之间的中心间距的间距调节部，进而即便多个装载传送部(或者多个卸载传送部)之间的中心间距与在托盘上安装在相邻的列的基板之间的中心间距相互不一致，也能够通过基板运送部在装载传送部(或者卸载传送部)与托盘之间一次性运送构成多列的多个基板，因此能够大幅度提高每单位时间可运送的基板数量。
附图说明
图1是示出本发明一实施例的基板运送模块的X-Y平面图。
图2a至图2e作为示出图1的基板运送模块的结构的一部分的X-Y平面图，是示出在向托盘装载基板以及卸载基板时通过基板运送部运送基板的过程的X-Y平面图。
图3作为图2的基板运送模块的托盘的变形例的X-Y平面图，是示出在向托盘装载基板以及卸载基板时通过基板运送部运送基板的过程的X-Y平面图。
图4是示出本发明另一实施例的基板运送模块运送基板的过程的X-Y平面图。
(附图标记说明)
10：基板 20：托盘
310：托盘安装部 320：基板装载部
330：第一基板运送部 350：基板卸载部
360：第二基板运送部
具体实施方法
以下，参照附图如下说明本发明的基板处理***。
如图1至图4所示，本发明的基板处理***包括：一个以上的基板处理模块，在多个基板10以n×m的基板排列(n为2以上的自然数，m为2以上的自然数)安装在直角四边形托盘20的状态下执行基板处理；基板运送模块300，执行对托盘20装载基板以及卸载基板中的至少一种。
在此，对于作为本发明的基板处理***的基板处理对象的基板，作为在托盘20安装多个的状态下通过基板处理模块要求执行蚀刻、沉积等的基板处理的基板，只要是要求太阳能电池用基板、OLED用基板、LCD用基板等的蚀刻、沉积等基板处理的基板，任意对象都可以。
另一方面，安装有多个所述基板10的托盘20在安装多个基板10的状态下用基板处理模块等运送的结构，可具有各种结构。
例如，对于所述托盘20，除了专利文件1至2以外，也可使用在韩国公开专利公报第1020130141740号、韩国公开专利公报第1020120122783号等公开的托盘等。
另一方面，所述托盘20安装有多个基板10，其中以n×m行列的基板排列(n为2以上的自然数，m为2以上的自然数)配置并安装。
即，所述托盘20在X-Y平面上平面形状具有直角四边形形状，多个基板10以X轴方向(行方向)以及Y轴方向(列方向)构成行列。在所述托盘20的各个列可沿着列方向布置n个基板10。在所述托盘20的各个列可沿着列方向布置n个基板10。
所述基板处理模块作为在多个基板10安装在直角四边形托盘20的状态下执行基板处理的结构，根据蚀刻、沉积等基板处理的种类、基板处理方式可具有各种结构。
例如，所述基板处理模块、除了专利文献1至2以外可以是韩国公开专利公报第1020130141740号、韩国公开专利公报第1020120122783号公开的工艺模块、基板处理模块等。
另一方面，对于所述基板处理模块，可设置一个以上的所述基板处理模块，并且可与基板运送模块300一同构成基板处理***，基板处理***可具有各种结构，具体地说基板运送模块300以及基板处理模块依次配置的生产线类型；以设置有运送机器人(未示出)的运送模块为中心结合多个基板处理模块以及基板运送模块300的集群类型等。
如图1所示，所述基板运送模块300是运送基板10以对基板执行装载基板以及卸载基板中的至少一种的结构，根据与基板处理模块的结合方式、基板交换方式可具有各种结构。
所述基板运送模块300可运送基板10，进而从托盘20卸载在基板处理模块中已执行基板处理的多个基板10或者将在基板处理模块中待执行基板处理的多个基板10装载于托盘20。
在第一实施例中，所述基板运送模块300作为从在多个基板10安装在托盘20的状态下执行基板处理的基板运送模块向托盘20装载多个基板10的基板运送模块300，可包括：托盘安装部310，安装有直角四边形托盘20，所述托盘20以n×m行列的基板排列(n为2以上的自然数，m为2以上的自然数)装载多个基板10；基板装载部320，设置在托盘安装部310的一侧，从载体30导出待执行基板处理的多个基板10，并以n×k行列的基板排列(k为2以上的自然数)进行布置；第一基板运送部330，具有多个第一基板运送工具332，所述第一基板运送工具332拾取位于基板装载部320上的n×k行列的基板排列中一列的n个基板10来运送至托盘安装部310上的托盘20。
所述托盘安装部310作为安装有托盘20的结构，根据托盘20的安装方式、交换方式可具有各种结构。
所述托盘20作为以n×m行列的基板排列(n为2以上的自然数，m为2以上的自然数)装载多个基板10的直角四边形托盘20，可具有各种结构。
例如，在所述托盘20根据行方向(X方向)以及列方向(Y方向)以10×10行列(10行10列)的基板-排列装载多个基板10。
所述基板装载部320作为设置在托盘安装部310的一侧并且从载体30导出待执行基板处理的多个基板10，并以n×k行列的基板排列(k为2以上的自然数)进行布置结构，可具有各种结构。
例如，所述基板装载部320可包括装载传送部322，所述装载传送部322根据n×k行列的基板排列的行方向隔着距离平行地设置k个，以对应于n×k行列的基板排列的各个列。
对于k个的所述装载传送部322，可沿着行方向隔着第一中心间距D且相互平行地进行设置。据此，在基板装载部320上多个基板10被布置成列与列之间的中心间距具有第一中心间距D。在此，中心间距是指连接位于一个列的n个基板10的中心的线与连接位于邻接的列的n个基板10的中心的线之间的隔着。
所述装载传送部322是对应于n×k行列的基板排列中的一列来支撑n个基板10的结构，可具有各种结构。
所述装载传送部322可由带(未示出)以及用于旋转驱动所述带的一对轮(未示出)构成。
另一方面，在所述带表面可凸出形成多个区划凸起(未示出)来对应于n个基板，进而沿着列方向依次布置n个基板10。
根据所述带的旋转，从载体30导出的n个基板10可依次位于带的上面。
另一方面，若完成n个基板10从所述载体30依次安装到装载传送部322上面，则由后述的第一基板运送部330被拾取安装在托盘20上。
所述第一基板运送部330作为将布置在基板装载部320上的基板10运送至托盘安装部310的托盘20的结构，可具有各种结构。
例如，所述第一基板运送部330可具有多个第一基板运送工具332，所述第一基板运送工具332拾取在基板装载部320上的n×k行列的基板排列中一列的n个基板10来运送至托盘安装部310上的托盘20。
所述第一基板运送部330可在基板装载部320与托盘20之间往返移动以及上下移动，通过真空压吸附拾取基板10后移动至托盘20来放置，可具有各种结构。
所述多个第一基板运送工具332可具有多个拾取器334，所述拾取器334用于拾取在运送基板时位于对应于的装载传送部322的n个基板10。
此时，本发明的基板处理***可包括：驱动在第一基板运送部330的基板装载部320与托盘20之间往返移动的第一驱动部(未示出)；为了引导第一基板运送部330的移动而沿着第一基板运送部330的移动路径设置的引导部400。
所述引导部400可与第一基板运送部330的移动块331结合。
所述第一基板运送部330具有多个第一基板运送工具332，进而通过基板装载部320上的多个装载传送部322可将布置成多列的基板10一次性运送至托盘20。
据此，在所述第一基板运送部330具有a个(a为2以上的自然数)第一基板运送工具332的情况下，基板装载部320包括比a多或者相同数量的装载传送部322，优选为可包括a*c个(c为1以上的自然数)的装载传送部322。
例如，在所述第一基板运送部330包括两个第一基板运送工具332的情况下，所述基板装载部320可包括4个装载传送部322，以防止在从载体30向装载传送部322导出基板10的所需时间期间中断基板的运送。
在第二实施例中，所述基板运送模块300从托盘20卸载在基板处理模块已执行基板处理的多个基板10，所述基板处理模块是在多个基板10安装在托盘20的状态下执行基板处理的基板运送模块300，可包括：托盘安装部310，安装有直角四边形托盘20，所述托盘20以n×m行列的基板排列(n为2以上的自然数，m为2以上的自然数)装载多个基板10；基板卸载部350，设置在托盘安装部310的一侧，从安装在托盘安装部310的托盘20接收已执行基板处理的多个基板10装载至载体30；第二基板运送部360，具有多个第二基板运送工具362，所述第二基板运送工具362拾取位于托盘20上的n×m行列的基板排列中一列的n个基板10来运送至基板卸载部350。
第一实施例与第二实施例的不同点在于基板10的运送流程，第一实施例的情况是待处理的基板10通过第一基板运送部330从基板装载部320运送至托盘安装部310上的托盘20；而第二实施例的情况是已执行基板处理的基板10从托盘安装部310上的托盘20运送至后述的基板卸载部350。
以下，以与第一实施例的不同点为中心详细说明第二实施例。
所述基板卸载部350作为设置在托盘安装部310的一侧并且从安装在托盘安装部310的托盘20接收已执行基板处理的多个基板10来装载至载体30的结构，可具有与基板装载部320相同或者类似的结构等的各种结构。
例如，如图1所示，对于所述基板卸载部350，实际上具有与基板装载部320相同或者类似的结构，因此省略详细说明。
但是，所述基板卸载部350与从载体30导出基板10的基板装载部320不同，基本不同点在于，所述基板卸载部350在通过后述的第二基板运送工具362接收基板10来装载于载体30。
例如，所述基板卸载部350可包括隔着距离的s个(s是2以上的自然数)卸载传送部352，所述卸载传送部352从后述的第二基板运送工具362接收n个基板10。
所述卸载传送部352可由带(未示出)以及用于旋转驱动所述带的一对轮(未示出)构成。
另一方面，在所述带表面可凸出形成多个区划凸起(未示出)来对应于n个基板10，进而使沿着列方向依次布置的n个基板10依次装载至载体30。
若通过后述的第二基板运送工具362，n个基板10安装在卸载传送部352上面，则根据所述带的旋转可向载体30依次装载n个基板10。
所述第二基板运送部360是将位于托盘20上且已执行基板处理的基板10运送至基板卸载部350的结构，可具有各种结构。
例如，所述第二基板运送部360可具有多个第二基板运送工具362，所述第二基板运送工具362拾取在托盘20上的n×m行列的基板排列中一列的n个基板10来运送至基板卸载部350。
所述第二基板运送部360可在托盘20与基板卸载部350之间往返移动以及上下移动地被安装，通过真空压吸附拾取基板10后移动至基板卸载部350来布置基板10等，可具有各种结构。
所述多个第二基板运送工具362可具有多个拾取器364，所述拾取器364用于拾取在运送基板时位于托盘20上对应的列的n个基板10。
此时，本发明的基板处理***可包括：驱动在第二基板运送部360的托盘20与基板卸载部350之间往返移动的第二驱动部(未示出)；为了引导第二基板运送部360的移动而沿着第二基板运送部360的移动路径设置的引导部400。
所述引导部400可与第二基板运送部360的移动块331结合。
所述第二基板运送部360具有多个第二基板运送工具362，进而可将位于托盘20上多个列的基板10一次性运送至基板卸载部350。
据此，在所述第二基板运送部360具有b个(b为2以上的自然数)第一基板运送工具332的情况下，基板卸载部350包括比b多或者相同数量的卸载传送部352，优选为可包括b*c个(c为1以上的自然数)的装载传送部322。
例如，在所述第二基板运送部360包括两个第二基板运送工具362的情况下，所述基板卸载部350可包括4个卸载传送部352，以防止向载体30装载基板10的时间期间中断基板的运送。
在第三实施例中，如图1所示，基板运送模块300从托盘20卸载在基板处理模块中已执行基板处理的多个基板10，并且可将待执行基板处理的多个基板10装载于托盘20。
此时，所述运送模块300在第一实施例的基板运送模块300的基础上还可包括：基板卸载部350，以托盘安装部310为中心设置在与基板装载部320面对面的位置，并且从安装在托盘安装部310的托盘20接收已执行基板处理的多个基板10来装载到载体30；第二基板运送部360，具有多个第二基板运送工具362，所述第二基板运送工具362拾取位于托盘20上的n×m行列的基板排列中一列的n个基板10来运送至基板卸载部350。
对于第三实施例的基板卸载部350以及第二基板运送部360，除了以托盘安装部310为中心设置在与基板装载部320面对面的位置以外，可具与第二实施例相同或者类似的结构，因此省略详细说明。
在第三实施例中，如图1所示，以X轴方向可依次设置基板装载部320、托盘安装部310以及基板卸载部350沿着X轴依次地被安装。此时，所述第一基板运送部330以及第二基板运送部360能够沿着X轴方向线性往返移动地被安装。
另外，对于第三实施例的基板运送模块300的情况，在通过第二基板运送部360将基板卸载全部完成之后也可通过第一基板运送部330执行基板的装载，但是如果为使第一基板运送部330以及第二基板运送部360互不干涉而在托盘安装部310上轮流运送基板10，则能够同时执行从托盘20卸载已执行基板处理的基板10与向托盘20装载待执行基板处理的基板10，因此具有能够改善基板处理效率的优点。
另外，如图2a至图2e所示，为了通过第二基板运送工具362卸载托盘20上的基板10以在该空位置(图面上的虚线)由第一基板运送工具332装载待执行基板处理的基板10，优选为第一基板运送工具332以及第二基板运送工具362具有相同个数。
但是，一般托盘20上的多个基板10相比于装载传送部322之间的间隔(或者多个卸载传送部352之间的间隔)具有非常窄的间隔，因此很难通过多个第一基板运送工具332从装载传送部322向托盘20一次性(同时)运送基板10，与此相同也存在通过多个第二基板运送工具362从托盘20向基板卸载部350一次性(同时)运送基板10的问题。
作为用于解决上述问题的第一方法，本发明使多个第一基板运送工具332隔着与装载传送部322的中心间距相同的第一中心间距D进行设置。
多个第一基板运送工具332之间的中心间距与装载传送部322之间的中心间距一致成第一中心间距D，因此可通过多个第一基板运送工具332能够一次性拾取安装在对应于多个装载传送部322的多个基板10。
此时，如图2a至图3所示，所述第一中心间距D可与在托盘20上n×m行列的基板布置中第p列以及第p+2列(p为(m-2)以下的自然数)之间的中心间距相同。但是，在这一情况下，托盘20上n×m行列的基板排列应布置3列以上。即，在托盘20上n×m行列的基板布置中，m应满足3以上的自然数。
参照图2a至图2e，两个第一基板运送工具332之间的第一中心间距D与托盘20上的第一列以及第三列(或者第二列以及第四列、第三列以及第五列等，以图面上左侧为基准)之间的中心间距相同，因此由两个第一基板运送工具332拾取的基板10无需另外的动作也能够一次性地安装在托盘20上对应的两个列。
如上所述，所述多个第二基板运送工具362可隔着与在托盘20上n×m行列的基板排列中可与第p列以及第p+2列(p为(m-2)以下的自然数)之间的中心间距相同的第一中心间距D被设置。但是，在这一情况下，对于托盘20上n×m行列的基板排列应布置3列以上。即，在托盘20上n×m行列的基板排列中m应满足3以上的自然数。
参照图2a至图2e，两个第二基板运送工具362之间的第一中心间距D与托盘20上的第一列以及第三列(或者第二列以及第四列、第三列以及第五列等，以图面上的左侧为基准)之间的中心间距相同，因此位于托盘20上对应的两个列的基板10无需另外的动作也能够一次性地被第二基板运送工具362拾取。
此时，上述的s个的卸载传送部352也可隔着与第二基板运送工具362之间的中心间距相同的第一中心间距D被设置。
多个第二基板运送工具362之间的中心间距与卸载传送部352之间的中心间距一致成第一中心间距D，因此由多个第二基板运送工具362拾取的基板10无需另外的动作也能够被一次性地安装在对应的多个卸载传送部352。
以下，参照图2a至图2e，说明具有上述结构的基板运送模块300的基板运送过程。
首先，在图2a中，在从基板处理模块排出的托盘20上以10×10行列的基板排列安装已执行基板处理的基板10。在此，10×10行列的基板排列的各个列可定义为从左侧开始的第一列至第十列。在各个列，沿着列方向(Y轴方向)配置十个基板。
此时，隔着第一中心间距D设置的两个第二基板运送工具362分别拾取在托盘20上位于第一例以及第三列的多个基板10来运送至基板卸载部350。第二基板运送工具362在从托盘20卸载已执行基板处理的基板10的期间，隔着第一中心间距D设置的两个第一基板运送工具332分别拾取位于装载传送部322上的基板10来运送至托盘20上第一列以及第三列。据此，在托盘20上位于第一例以及第三列的完成基板处理的基板10可被换成待执行基板处理的基板10。
然后，在图2b中，两个第二基板运送工具362分别拾取托盘20上位于第二列以及第四列的多个基板10来运送至基板卸载部350。在托盘20卸载第二基板运送工具362已执行基板处理的基板10的期间，两个第一基板运送工具332分别拾取位于装载传送部322上的基板10来运送至托盘20上第二列以及第四列。据此，位于托盘20上的第二列以及第四列的已完成基板处理的基板10可被换成待执行基板处理的基板10。
同样地，可交换在托盘20上位于第五列以及第七列的基板10(图2c)，以及可交换托盘20上位于第六列以及第八列的基板10(图2d)。
如图2a至图2d所示，经过四次的基板运送步骤，位于托盘20的第一列至第八列的基板10可被换成待执行基板处理的基板10。
但是，根据第一基板运送工具332以及第二基板运送工具362的个数、安装在托盘20的基板10的列的个数，可发生托盘20上的一部分列无法被第一基板运送工具332以及第二基板运送工具362一次性运送的情况。例如，未交换而剩下的托盘20上第九列以及第十列作为相邻的列，相邻的列之间的第二中心间距w小于第一中心间距D，因此通过隔着第一中心间距D设置的两个第一基板运送工具332以及第二基板运送工具362无法被一次性(同时)运送。
即，参照图2e，第二基板运送部360在托盘20上两个的第二基板运送工具362线性移动，依次拾取位于第九列的基板10与第十列的基板10，之后移动至基板卸载部350。
也就是说，无法通过第二基板运送部360同时执行对第九列以及第十列的拾取，而是按步骤(依次)执行，据此可相对降低元件运送效率。
如上所述，对于第一基板运送部330，在将从基板装载部320拾取的基板10装载于托盘20上第九列以及第十列时，两个第一基板运送工具332线性移动并且依次装载于第九列以及第十列之后移动至基板装载部320。
虽未示出，但是也可执行只利用两个第二基板运送工具362中的一个来卸载位于第九列的十个基板10，之后只利用两个第一基板运送工具332中的一个将位于第十列的十个基板10装载于第九列的方式(托盘20上第十列也以与第九列相同的方式执行)，但是为了对第九列以及第十列执行基板装载(或者基板卸载)，第一基板运送部330(或者第二基板运送部360)需在托盘20与基板装载部320之间(或者托盘20与基板卸载部350之间)往返移动两次，因此相比于在图2e说明的的方式可降低基板运送效率。
即，第一方法的情况，即使第一基板运送部330以及第二基板运送部360分别具有两个基板运送工具332、362，对于托盘20上的一部分可发生很难同时(一次性)执行对位于多列的多个基板10的拾取或者对多列的基板10的装载的情况。
据此，在具有第一基板运送部330以及第二基板运送部360的基板运送工具332、362的个数、托盘20上的n×m行列的基板排列中，适当地调节列的个数m可解决上述问题。
例如，第一基板运送部330以及第二基板运送部360分别具有两个基板运送工具332、362，在托盘20上的n×m行列的基板排列中，若列的个数m满足4的倍数，则托盘20上的两列基板10始终被同时(一次性)拾取或者装载。
具体地说，如图3所示，在托盘20上以10×12行列的基板排列装载基板10的情况下，可通过由两个基板运送工具332、362执行的六次基板运送过程可完成在托盘20上的装载以及卸载。
即，对于通过现有一个基板运送工具执行十二次的基板运送过程的基板的装载(或者基板的卸载)，本发明只以其一半次数，即六次的基板运送过程执行，可将运送基板的效率提高两倍。
作为用于解决上述问题的第二方法，本发明的第一基板运送部330还包括用于改变多个第一基板运送工具332之间的中心间距的第一间距调节部336。即，多个第一基板运送工具332之间的间隔不像第一方法是固定的，而是可变的由此能够解决上述的问题。
在第二方法中，对于托盘20上n×m行列的基板排列，至少布置两列就已足够，没有必要布置三列以上。即，第二方法的情况，在托盘20上n×m行列的基板排列中，也可实施m为2以上的自然数的情况。
所述第一间距调节部336作为用于改变配置在第一基板运送部330的第一基板运送工具332之间的中心间距的结构，可具有各种结构。
如图4所示，所述第一间距调节部336可包括驱动部，所述驱动部结合于第一基板运送工具332，以使第一基板运送工具332中的至少一个对于另一第一基板运送工具332进行相对移动。
当位于在托盘20上相邻的列的基板10之间的第二中心间距为w，并且相邻的装载传送部322之间的第一中心间距为D时，所述第一间距调节部336可在w与D之间改变相邻的第一基板运送工具332之间的间距。
与第一基板运送部330类似，本发明的第二基板运送部360还包括第二间距调节部366，以用于改变多个第二基板运送工具362之间的中心间距。
所述第二间距调节部366可与上述的第一间距调节部336相同或者类似，因此省略详细说明，
由于到达第一基板运送工具332之间的间距是可以改变的，因此即使装载传送部322之间的间距D与托盘20上相邻的列之间的间距w不同，也可通过多个第一基板运送工具332从相互不同的多个装载传送部322一次性(同时)拾取基板10，并且可将拾取的基板10一次性装载(安装)于在托盘20上相互不同的多个列。与此类似地，由于也可以改变多个第二基板运送工具362之间的间隔，因此通过多个第二基板运送工具362可一次性(同时)拾取位于托盘20上相互不同的多个列的基板10，并且可将拾取的多个基板10一次性(同时)装载于(安装)多个卸载传送部352上。
以下，参照图4，对于第一基板运送部330具有两个第一基板运送工具332，以及第二基板运送部360具有两个第二基板运送工具的实施例，详细说明第一间距调节部336以及第二间距调节部366的运作。
如图4所示，假设卸载在托盘20上位于相邻的第九列以及第十列的基板10的情况，第二间距调节部366将两个第二基板运送工具362之间的间距变成与第九列以及第十列之间的第二中心间距w相同的w。据此，两个第二基板运送工具362可同时拾取位于第九列以及第十列的两列基板10来运送至基板卸载部350。
若所述基板运送部360移动至基板卸载部350，则第二间距调节部366将两个第二基板运送工具362之间的间距变成与卸载传送部352之间的第一中心间距D的D。据此，由两个第二基板运送工具362拾取的基板10可分别同时安装在两个卸载传送部352。
在所述第二基板运送部360在托盘20上卸载基板10的期间，所述第一基板运送部330将基板10装载到托盘20的空位置(虚线，托盘20上第九列以及第十列)。此时，第一间距调节部336将两个第一基板运送工具332之间的间隔变成与装载传送部322之间的中心间距相同的D。据此，两个第一基板运送工具332可同时拾取位于两个卸载传送部352的两列基板10来运送至托盘20。
若所述第一基板运送部330移动至托盘20，则第一间距调节部336将两个第一基板运送工具332之间的间距调节成与第九列以及第十列之间的第二中心间距w相同的w。据此，两个第一基板运送工具332可将拾取的两列基板10同时分别装载于第九列以及第十列。
参照图4，主要说明了第一基板运送部330以及第二基板运送部360对托盘20上第九列以及第十列装载基板以及卸载基板的过程，但是对于托盘20上剩余列(第一列至第八列)的装载基板以卸载基板当然也可与对托盘20上的第九列以及第十列执行装载基板以及卸载基板的过程相同或者类似的方式执行。
例如，通过第一基板运送部330(或者第二基板运送部360)可依次执行对托盘20上第一例以及第二列装载基板(或者卸载基板)、对托盘20上第三列以及第四列装载基板(或者卸载基板)、对托盘20上第五列与第六列装载基板(或者卸载基板)、对托盘20上第七列以及第八列装载基板(或者卸载基板)、对托盘20上第九列以及第十列装载基板(或者卸载基板)。
第二方法的情况，由于能够改变第一基板运送工具332(或者第二基板运送工具362)之间的间距，因此与上述第一方法相同使多个装载传送部322之间的第一中心间距D与托盘20上第p列以及第p+2列(p为(m-2)以下打的自然数，m为3以上的自然数)之间的中心间距相同并不是必要结构。
但是，若多个装载传送部322之间的第一中心间距D与托盘20上第p列以及第p+2列之间的中心间距相同，则通过第一基板运送部330(或者第二基板运送部360)可依次执行对托盘20上第一列与第三列装载基板(或者卸载基板)、对托盘20上第二列与第四列装载基板(或者卸载基板)、对托盘20上第五列与第七列装载基板(或者卸载基板)、对托盘20上第六列与第八列装载基板(或者卸载基板)、对托盘20上第九列与第十列装载基板(或者卸载基板)。
此时，由于多个装载传送部322之间的第一中心间距D与托盘20上第p列以及p+2列之间的中心间距相同，因此除了在托盘20上执行对第九列与第十列装载基板(或者卸载基板)的情况以外，在对托盘20上第一例与第三列、第二列与第四列、第五列与第七列、第六列与第八列装载基板(或者卸载基板)时无需改变多个第一基板运送工具332(或者第二基板运送工具362)之间的间距，因此能够进一步改善基板运送效率。
在所述第二方法中，举例说明了几种基板运输顺序，但是通过由第一基板运送部330以及第二基板运送部360运送基板来对托盘20执行基板的装载以及基板的卸载当然可通过各种顺序以及方式执行。
即，本发明在基板10运送过程中可改变基板运送工具332、362之间的间距，进而能够一次性拾取、装载以及运送位于多列的多个基板10，因此能够大幅度提高每单位时间可运送的基板10数量，据此具有能够改善对托盘20装载基板以及卸载基板的速度的优点。
另一方面，本发明的基板处理***还可包括载体运送模块500，所述载体运送模块500用于对基板运送模块300从基板装载部320装载以及卸载载体30以及从基板卸载部350装载以及卸载载体30。
所述载体运送模块500可包括：在装载位置P1(从载体30导出待执行基板处理的多个基板10的位置)对基板交换模块300装载以及卸载载体30的第一载体控制部600；在卸载位置P2(向载体30装载已执行基板处理的多个基板10的位置)装载以及卸载载体30的第二载体控制部700。
另外，所述载体运送模块500可使载体30依次运送至装载位置P1以及卸载位置P2，进而从位于装载位置P1的载体30导出待执行基板处理的多个基板10，以及使已执行基板处理的多个基板10装载于位于卸载位置P2的载体30。
具体地说，如图1所示，所述载体运送模块500设置在基板运送模块300的一侧，以使载体30依次经过装载位置P1以及卸载位置P2。
此时，所述载体运送模块500根据载体30的运送方式可具有传送带等各种结构，并且可包括根据载体30的运送方向以装载位置P1以及卸载位置P2为基准依次设置的第一载体运送部510、第二载体运送部520以及第三载体运送部530。
所述第一载体运送部510、第二载体运送部520以及第三载体运送部530作为用于运送载体30的结构，根据载体30的运送方式可具有诸如传送带等各种结构。
以上，仅是能够通过本发明实现的优选实施例的一部分的相关说明，众所周知本发明的范围不得由上述的实施例限定，在以上说明的本发明的技术思想及其根本的技术思想应全部包括在本发明的范围内。

Claims (19)

1.一种基板运送模块(300)，在多个基板(10)安装在托盘(20)的状态下执行基板处理的基板处理模块中将待执行基板处理的多个基板(10)装载到托盘(20)的基板运送模块(300)，其特征在于，包括：
托盘安装部(310)，安装有直角四边形托盘(20)，所述托盘(20)是以n×m行列的基板排列装载多个基板(10)，其中，n为2以上的自然数，m为2以上的自然数；
基板装载部(320)，设置在所述托盘安装部(310)的一侧，从载体(30)导出待执行基板处理的多个基板(10)并以n×k行列的基板排列进行布置，其中，k为2以上的自然数；
第一基板运送部(330)，具有多个第一基板运送工具(332)，所述第一基板运送工具(332)拾取位于所述基板装载部(320)上的n×k行列的基板排列中一列的n个基板(10)，运送至所述托盘安装部(310)上的托盘(20)；
其中，所述基板装载部(320)包括k个装载传送部(322)，所述装载传送部(322)沿着行方向隔着第一中心间距(D)，以对应于所述n×m行列的基板排列的各个列；
在所述托盘(20)上n×m行列的基板排列中相邻的列之间的第二中心间距(w)小于所述第一中心间距(D)。
2.根据权利要求1所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述第一中心间距(D)与在所述托盘(20)上n×m行列的基板排列中的第p列以及第p+2列之间的中心间距相同，其中，n为2以上的自然数，m为3以上的自然数，p为(m-2)以下的自然数。
3.根据权利要求2所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述多个第一基板运送工具(332)隔着所述第一中心间距(D)被安装，并且分别具有多个拾取器(334)，所述拾取器(334)以用于在运送基板时拾取位于对应的装载传送部(322)的n个基板(10)。
4.根据权利要求3所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述第一基板运送部(330)包括两个第一基板运送工具(332)，
在所述托盘(20)上n×m行列的基板排列中列的个数(m)是4的倍数。
5.根据权利要求1所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述第一基板运送部(330)包括第一间距调节部(336)，所述第一间距调节部(336)用于调节所述多个第一基板运送工具(332)之间的中心间距。
6.根据权利要求5所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述第一间距调节部(336)包括驱动部，所述驱动部在运送基板的过程中为使相邻的第一基板运送工具(332)之间的中心间距在所述第一中心间距(D)与所述第二中心间距(w)之间变化，使在所述多个第一基板运送工具(332)中的至少一个对于另一第一基板运送工具(332)进行相对移动。
7.根据权利要求1所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述基板运送模块(300)从托盘(20)卸载在所述基板处理模块中已执行基板处理的多个基板(10)，并将待执行基板处理的多个基板(10)装载于托盘(20)，包括：
基板卸载部(350)，以所述托盘安装部(310)为中心设置在与所述基板装载部(320)面对面的位置，并且从安装在所述托盘安装部(310)的托盘(20)接收已执行基板处理的多个基板(10)来装载到载体(30)；
第二基板运送部(360)，具有多个第二基板运送工具(362)，所述第二基板运送工具(362)拾取位于所述托盘(20)上的n×m行列的基板排列中一列的n个基板(10)来运送到所述基板卸载部(350)。
8.根据权利要求7所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述基板卸载部(350)包括卸载传送部(352)，设置有s个所述卸载传送部(352)，并且所述卸载传送部(352)从所述第二基板运送工具(362)接收n个基板(10)，并且隔着所述第一中心间距(D)被安装，其中，s为2以上的自然数。
9.根据权利要求8所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
在所述托盘(20)上n×m行列的基板排列中相邻的列之间的第二中心间距(w)小于所述第一中心间距(D)。
10.根据权利要求8所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述第一中心间距(D)与在所述托盘(20)上n×m行列的基板排列中第p列以及第p+2列之间的中心间距相同，其中，n为2以上的自然数，m为3以上的自然数，p为(m-2)以下的自然数。
11.根据权利要求10所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述多个第二基板运送工具(362)隔着所述第一中心间距(D)被安装，并且分别具有多个拾取器(364)，所述拾取器(364)用于拾取在运送基板时位于对应的列的n个基板(10)。
12.根据权利要求9所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述第二基板运送部(360)还包括第二间距调节部(366)，所述第二间距调节部(366)用于调节所述多个第二基板运送工具(362)之间的中心间距。
13.根据权利要求12所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述第二间距调节部(366)包括驱动部，所述驱动部为了在基板运送过程中使相邻第二基板运送工具(362)之间的中心间距在所述第一中心间距(D)与所述第二中心间距(w)之间变化，使所述多个第二基板运送工具(362)中的至少一个对于另一第二基板运送工具(362)进行相对移动。
14.根据权利要求7至13中的任意一项所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述第一基板运送部(330)以及所述第二基板运送部(360)在所述托盘安装部(310)上轮流运送基板(10)，以使所述第一基板运送部(330)以及所述第二基板运送部(360)互不干涉。
15.一种基板运送模块(300)，在多个基板(10)安装在托盘(20)的状态下执行基板处理的基板处理模块中从托盘(20)卸载已执行基板处理的多个基板(10)的基板运送模块(300)，其特征在于，包括：
托盘安装部(310)，安装有直角四边形托盘(20)，所述托盘(20)以n×m行列的基板排列装载多个基板(10)，其中，n为2以上的自然数，m为2以上的自然数；
基板卸载部(350)，设置在所述托盘安装部(310)的一侧，并且从安装在所述托盘安装部(310)的托盘(20)接收已执行基板处理的多个基板(10)来装载到载体(30)；
第二基板运送部(360)，具有多个第二基板运送工具(362)，所述第二基板运送工具(362)拾取位于所述托盘(20)上n×m行列的基板排列中一列的n个基板(10)来运送至所述基板卸载部(350)；
其中，所述基板卸载部(350)包括卸载传送部(352)，设置有s个所述卸载传送部(352)，所述卸载传送部(352)从所述第二基板运送工具(362)接收n个基板(10)，并且隔着第一中心间距(D)，其中，s为2以上的自然数；
在所述托盘(20)上n×m行列的基板排列中相邻的列之间的第二中心间距(w)小于所述第一中心间距(D)。
16.根据权利要求15所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述第一中心间距(D)与在所述托盘(20)上n×m行列的基板排列中的第p列以及第p+2列之间的中心间距相同，其中，n为2以上的自然数，m为3以上的自然数，p为(m-2)以下的自然数。
17.根据权利要求16所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述多个第二基板运送工具(362)隔着所述第一中心间距(D)被安装，并且分别具有多个拾取器(364)，所述拾取器(364)用于在运送基板时拾取位于对应的列的n个基板(10)。
18.根据权利要求15所述的基板运送模块(300)，其特征在于，
所述第二基板运送部(360)包括第二间距调节部(366)，所述第二间距调节部(366)用于调节多个所述第二基板运送工具(362)之间的中心间距。
19.一种基板处理***，其特征在于，包括：
一个以上的基板处理模块，多个基板(10)以n×m的基板排列安装在托盘(20)的状态下执行基板处理，其中，n为2以上的自然数，m为2以上的自然数；
权利要求1至权利要求15中的任意一项所述的基板运送模块(300)，执行对所述托盘(20)的卸载基板以及装载基板中的至少一种。
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