CN110097828A - 柔性显示面板 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种柔性显示面板，包括柔性衬底、无机缓冲层、线路层和封装层，无机缓冲层形成在柔性衬底上；线路层形成于无机缓冲层上；封装层形成于线路层上；其中，无机缓冲层在弯折区内形成有通孔。由于在弯折区内，无机缓冲层在弯折区内形成有通孔，线路层直接形成在柔性衬底上，改善了柔性显示面板在弯折时易发生破裂的技术问题，提升了柔性显示面板的弯折特性。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板。
背景技术
随着显示行业技术的发展，全面屏技术成为主要的发展趋势，将非显示区弯折至显示屏背面的设计，成为当前设计的热点。
现有的柔性显示面板在柔性衬底上设置有起水汽阻隔作用的缓冲层，但缓冲层材料为无机材料，质地较脆，在非显示区弯折时易发生破裂。
因此，现有柔性显示面板存在弯折时缓冲层易损坏的技术问题，需要改进。
发明内容
本发明提供一种柔性显示面板，以缓解现有的柔性显示面板弯折时缓冲层易损坏的技术问题。
为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：
本发明提供一种柔性显示面板，包括：
柔性衬底；
无机缓冲层，形成在所述柔性衬底上；
线路层，形成于所述无机缓冲层上；
封装层，形成于所述线路层上；
其中，所述无机缓冲层在弯折区内形成有通孔。
在本发明的柔性显示面板中，所述通孔对应于所述线路层中的线路区域设置。
在本发明的柔性显示面板中，所述通孔对应于所述弯折区设置。
在本发明的柔性显示面板中，所述柔性衬底包括第一柔性衬底和第二柔性衬底，所述第二柔性衬底填充所述通孔。
在本发明的柔性显示面板中，所述第二柔性衬底的厚度和所述无机缓冲层的厚度相等。
在本发明的柔性显示面板中，所述第二柔性衬底形成于所述无机缓冲层远离所述第一柔性衬底的一侧。
在本发明的柔性显示面板中，所述第一柔性衬底和所述第二柔性衬底的材料相同。
在本发明的柔性显示面板中，所述第一柔性衬底和所述第二柔性衬底的材料为聚酰亚胺。
在本发明的柔性显示面板中，所述第一柔性衬底和所述第二柔性衬底的材料不同。
在本发明的柔性显示面板中，所述第一柔性衬底材料为聚酰亚胺，所述第二柔性衬底材料为聚对苯二甲酸二乙醇酯。
本发明的有益效果为：本发明提供一种柔性显示面板，包括柔性衬底、无机缓冲层、线路层和封装层，所述无机缓冲层形成在所述柔性衬底上；所述线路层形成于所述无机缓冲层上；所述封装层形成于所述线路层上；其中，所述无机缓冲层在弯折区内形成有通孔。由于在弯折区内，无机缓冲层在弯折区内形成有通孔，线路层直接形成在柔性衬底上，改善了柔性显示面板在弯折时易发生破裂的技术问题，提升了柔性显示面板的弯折特性。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的柔性显示面板的第一种结构示意图；
图2为本发明实施例提供的柔性显示面板弯折状态下的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的柔性显示面板的第二种结构示意图；
图4为本发明实施例提供的柔性显示面板的第三种结构示意图；
图5为本发明实施例提供的柔性显示面板的第四种结构示意图；
图6为本发明实施例提供的柔性显示面板的第五种结构示意图；
图7为本发明实施例提供的柔性显示面板的第六种结构示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
本发明提供一种柔性显示面板，以缓解现有的柔性显示面板弯折时缓冲层易损坏的技术问题。
如图1所示，为本发明实施例提供的柔性显示面板的第一种结构示意图。柔性显示面板包括柔性衬底10、无机缓冲层20、线路层30、封装层40。
柔性衬底10用于阻挡氧和湿气，防止湿气或杂质通过柔性基底扩散。为实现显示器件的弯折、卷曲等特性，通常将薄膜晶体管及显示器件制作于柔性衬底10上，柔性衬底10可伸展、可折替、可弯曲或可卷曲，使得柔性显示面板也可伸展、可折叠、可弯曲或可卷曲。
柔性衬底10可以由具有柔性的任意合适的绝缘材料形成，例如可以由聚酰亚胺(PI)、聚碳酸酯(PC)、聚醚砜(PES)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、多芳基化合物(PAR)或玻璃纤维增强塑料(FRP)等聚合物材料形成，柔性衬底10可以是透明的、半透明的或不透明的。
在本实施例中，柔性衬底10为聚酰亚胺。由于聚酰亚胺具有易弯曲、韧性好的特点，在器件制作过程中无法作为承载基板使用，需要将聚酰亚胺涂覆在玻璃基板上，完成显示器件制作后，再用激光剥离技术将柔性衬底10从玻璃基板上分离，获得柔性显示面板。
无机缓冲层20可以由氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SioxNy)、氧化铝(AlOx)和氮化铝(AlNx)中的至少一种组成，可以是单层或多层结构。无机缓冲层20可以起到隔绝水汽的作用，也可以阻挡柔性衬底10中的杂质向其他膜层扩散。
柔性显示面板包括显示区100和非显示区200。随着柔性显示技术的发展，为了使柔性显示屏达到全面屏显示效果，通常采用将非显示区200弯折的办法实现，即将柔性显示面板的非显示区200弯折到柔性显示面板的背面，从而缩小屏体边框宽度，提高屏占比。
非显示区200包括弯折区210和非弯折区220，在将柔性显示面板的非显示区200弯折到柔性显示面板的背面时，弯曲的部分为弯折区210，弯折到柔性显示面板背面且与显示区100内的柔性显示面板平行的区域为非弯折区220，在后序制程中，非弯折区220内的柔性显示面板与驱动IC进行绑定。
无机缓冲层20设置在柔性衬底10上，且在弯折区210内形成有通孔21，线路层30形成于无机缓冲层20上。
在一种实施例中，通孔21对应于线路层30中的线路区域设置。线路层30由各种线路组成，各线路之间存在间隙，即线路层30包括设置有线路的线路区域和未设置线路的非线路区域，通孔21对应于线路层30中的线路区域设置，也即在弯折区210内，线路直接形成于柔性衬底10上。
在一种实施例中，通孔21对应于弯折区210设置。无机缓冲层20在柔性衬底10上整面覆盖，在整个弯折区210内形成通孔21，即在整个弯折区210内，线路层30直接形成于柔性衬底10上。
在本实施例中，无机缓冲层20整面设置在柔性衬底10上，在弯折区210内形成有通孔21，即在显示区100和非弯折区220内均设置有无机缓冲层20。
由于无机缓冲层20的质地较脆，在弯折时易发生膜裂，尤其是在小曲率半径弯曲时甚至会产生剥落现象。在柔性显示面板中，非显示区200对于水汽的影响不如显示区100敏感，水汽入侵非显示区200不影响柔性显示面板整体显示效果。在本实施例中，无机缓冲层20设置在柔性衬底10上，且在弯折区210内形成有通孔21，即弯折区210内未设置无机缓冲层20，因此提升了柔性显示面板的弯折特性，有利于将非显示区200内柔性显示面板弯折至背面，实现柔性显示面板窄边框化，提升柔性显示面板的屏占比。
在显示区100内，无机缓冲层20上还设置有其他膜层，以顶栅结构的薄膜晶体管为例，包括位于无机缓冲层20上的有源层、栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层、源极、漏极和钝化层(图均未示出)。
有源层包括通过掺杂N型杂质离子或P型杂质离子而形成的源极区域和漏极区域、以及位于源极区域和漏极区域之间的沟道区域。有源层可以是非晶硅材料、多晶硅材料或金属氧化物材料等，其中有源层采用多晶硅材料时可以采用低温非晶硅技术形成，即将非晶硅材料通过该激光熔融形成多晶硅材料。此外，还可以利用诸如快速热退火(RTA)法、固相结晶(SPC)法、准分子激光退火(ELA)法、金属诱导结晶(MIC)法、金属诱导横向结晶(MILC)法或连续横向固化(SLS)法等各种方法。
栅极绝缘层的材料通常为氧化硅、氮化硅等，并且可以是单层或多层结构。栅极位于栅极绝缘层上，栅极可以是包括金(Au)、银(Ag)、铜(Cu)、镍(Ni)、铂(Pt)、钯(Pd)、铝(Al)、钼(MO)或铬(Cr)的单层或多层结构，或者诸如铝(Al)：钕(Nd)合金以及钼(MO):钨(W)合金的合金。
层间绝缘层位于栅极上，层间绝缘层可以由氧化硅或氮化硅等绝缘材料形成。
源极和漏极位于层间绝缘层上，源极和漏极分别通过贯穿栅极绝缘层和层间绝缘层的过孔电连接到源极区域和漏极区域。
钝化层位于源极和漏极上，钝化层可以由氧化硅或氮化硅等无机材料形成。
需要说明的是，膜层结构不以此为限，还可以是其他结构，例如底栅结构等。
在弯折区210内，线路层30远离柔性衬底10的一侧还形成有封装层40，用于对线路层30进行保护，防止线路层30损坏。
在一种实施例中，封装层40的材质为紫外光敏胶。
在本实施例中，先在玻璃基板上涂布聚酰亚胺溶液，并烘烤固化形成柔性衬底10，接着在柔性衬底10上沉积无机缓冲层20，无机缓冲层20整面覆盖柔性衬底10，再通过光罩进行曝光、显影，保留显示区100和非弯折区220内的无机缓冲层20，通过干法刻蚀在弯折区210内形成通孔21，然后通过成膜、曝光、显影及刻蚀工艺制作线路层30和其他膜层，并进行后续工艺，制作完成后激光剥离玻璃基板，再将非显示区200内的柔性显示面板弯折至背面，完成窄边框柔性显示面板的制作，弯曲状态下的柔性显示面板的结构如图2所示。
在本实施例中，柔性显示面板的弯折区210内未设置无机缓冲层20，也未设置其他缓冲层，因此线路层30直接形成于柔性衬底20上。在柔性显示面板进行弯折时，由于弯折区210未设置无机缓冲层20，不会产生膜裂的现象，且弯折区210内的膜层减小，膜厚减小，还能减小弯折半径，实现柔性显示面板窄边框化，提升柔性显示面板的屏占比。
如图3所示，为本发明实施例提供的柔性显示面板的第二种结构示意图。柔性显示面板包括柔性衬底10、无机缓冲层20、线路层30、封装层40，此外，柔性显示面板包括显示区100和非显示区200，非显示区200包括弯折区210和非弯折区220。
与图1中的结构不同之处在于，柔性衬底10包括第一柔性衬底11和第二柔性衬底12，无机缓冲层20设置在第一柔性衬底10上，且在弯折区210内形成有通孔(图未示出)，第二柔性衬底12填充在通孔内，线路层30形成于无机缓冲层20上，且覆盖第二柔性衬底12，封装层40形成于线路层30远离第二柔性衬底12的一侧，且位于弯折区210内。
无机缓冲层20可以由氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SioxNy)、氧化铝(AlOx)和氮化铝(AlNx)中的至少一种组成，可以是单层或多层结构。无机缓冲层20可以起到隔绝水汽的作用，也可以阻挡柔性衬底10中的杂质向其他膜层扩散。
在一种实施例中，第二柔性衬底12的厚度与通孔的深度相等，即显示区100和非弯折区220内的无机缓冲层20、以及第二柔性衬底12的高度相等，二者远离第一柔性衬底10的一侧组成一个平面。
在一种实施例中，第二柔性衬底12可完全覆盖弯折区210内的通孔，也可只覆盖通孔的一部分。
在一种实施例中，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料相同。第一柔性衬底11和第二柔性衬底12均为聚酰亚胺，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料相同，在柔性显示面板弯折时，弯折能力一致，提升了产品的弯折性能和使用寿命。
在一种实施例中，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料不同。第一柔性衬底11的材料为聚酰亚胺，第二柔性衬底12的材料为聚对苯二甲酸二乙醇酯(PET)、三醋酸纤维素(TAC)等有机材料。
第二柔性衬底12可采用涂布、CVD(化学气相沉积法)或IJP(喷墨印刷成型)工艺形成，其中，CVD是把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在基板表面发生化学反应生成薄膜的过程；IJP则是直接将墨水颗粒喷射到基板上完成输出的过程。
在本实施例中，先在玻璃基板上涂布聚酰亚胺溶液，并烘烤固化形成第一柔性衬底11，接着在第一柔性衬底11上沉积无机缓冲层20，无机缓冲层20整面覆盖第一柔性衬底11，再通过光罩进行曝光、显影，保留显示区100和非弯折区220内的无机缓冲层20，通过干法刻蚀在弯折区210内形成通孔，通过涂布、烘烤在弯折区210内形成第二柔性衬底12，然后通过成膜、曝光、显影及刻蚀工艺制作线路层30和其他膜层，并进行后续工艺，制作完成后激光剥离玻璃基板，再将非显示区200内的柔性显示面板弯折至背面，完成窄边框柔性显示面板的制作。
由于无机缓冲层20的质地较脆，在弯折时易发生膜裂，尤其是在小曲率半径弯曲时甚至会产生剥落现象。在柔性显示面板中，非显示区200对于水汽的影响不如显示区100敏感，水汽入侵非显示区200不影响柔性显示面板整体显示效果。在本实施例中，无机缓冲层20设置在第一柔性衬底10上，且在弯折区210内形成有通孔21，通孔内设置有第二柔性衬底20，即弯折区210内未设置无机缓冲层20，因此提升了柔性显示面板的弯折特性，有利于将非显示区200内柔性显示面板弯折至背面，实现柔性显示面板窄边框化，提升柔性显示面板的屏占比。
如图4所示，为本发明实施例提供的柔性显示面板的第三种结构示意图。柔性显示面板包括柔性衬底10、无机缓冲层20、线路层30、封装层40，此外，柔性显示面板包括显示区100和非显示区200，非显示区200包括弯折区210和非弯折区220。
在本实施例中，柔性衬底10包括第一柔性衬底11和第二柔性衬底12，无机缓冲层20设置在第一柔性衬底10上，且在弯折区210内形成有通孔(图未示出)，第二柔性衬底12形成无机缓冲层20远离第一柔性衬底10的一侧，且填充在通孔内，线路层30形成于第二柔性衬底12上，封装层40形成于线路层30远离第二柔性衬底12的一侧，且位于弯折区210内。
无机缓冲层20可以由氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SioxNy)、氧化铝(AlOx)和氮化铝(AlNx)中的至少一种组成，可以是单层或多层结构。无机缓冲层20可以起到隔绝水汽的作用，也可以阻挡柔性衬底10中的杂质向其他膜层扩散。
在一种实施例中，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料相同。第一柔性衬底11和第二柔性衬底12均为聚酰亚胺，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料相同，在柔性显示面板弯折时，弯折能力一致，提升了产品的弯折性能和使用寿命。
在一种实施例中，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料不同。第一柔性衬底11的材料为聚酰亚胺，第二柔性衬底12的材料为聚对苯二甲酸二乙醇酯(PET)、三醋酸纤维素(TAC)等有机材料。
第二柔性衬底12可采用涂布、CVD(化学气相沉积法)或IJP(喷墨印刷成型)工艺形成，其中，CVD是把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在基板表面发生化学反应生成薄膜的过程；IJP则是直接将墨水颗粒喷射到基板上完成输出的过程。
在一种实施例中，第二柔性衬底12可完全覆盖弯折区210内的通孔，也可只覆盖通孔的一部分。
在本实施例中，先在玻璃基板上涂布聚酰亚胺溶液，并烘烤固化形成第一柔性衬底11，接着在第一柔性衬底11上沉积无机缓冲层20，无机缓冲层20整面覆盖第一柔性衬底11，再通过光罩进行曝光、显影，保留显示区100和非弯折区220内的无机缓冲层20，通过干法刻蚀在弯折区210内形成通孔，通过涂布、烘烤在弯折区210内形成第二柔性衬底12，然后通过成膜、曝光、显影及刻蚀工艺制作线路层30和其他膜层，并进行后续工艺，制作完成后激光剥离玻璃基板，再将非显示区200内的柔性显示面板弯折至背面，完成窄边框柔性显示面板的制作。
其中，第二柔性衬底12可一体成型，即在无机缓冲层20和弯折区210内的第一柔性衬底11上整面涂布有机材料，形成第二柔性衬底12；也可独立成型，即先在弯折区210内的第一柔性衬底11上涂布有机材料，经烘烤等步骤成型，再在无机缓冲层20和弯折区210内成型的有机材料层上整面涂布有机材料，由两次独立的成型步骤，最终形成完整的第二柔性衬底12。
由于无机缓冲层20的质地较脆，在弯折时易发生膜裂，尤其是在小曲率半径弯曲时甚至会产生剥落现象。在柔性显示面板中，非显示区200对于水汽的影响不如显示区100敏感，水汽入侵非显示区200不影响柔性显示面板整体显示效果。在本实施例中，无机缓冲层20设置在第一柔性衬底10上，且在弯折区210内形成有通孔21，通孔内设置有第二柔性衬底20，即弯折区210内未设置无机缓冲层20，因此提升了柔性显示面板的弯折特性，有利于将非显示区200内柔性显示面板弯折至背面，实现柔性显示面板窄边框化，提升柔性显示面板的屏占比。
如图5所示，为本发明实施例提供的柔性显示面板的第四种结构示意图。柔性显示面板包括柔性衬底10、无机缓冲层20、线路层30、封装层40，此外，柔性显示面板包括显示区100和非显示区200，非显示区200包括弯折区210和非弯折区220。
在本实施例中，无机缓冲层20形成于柔性衬底10上，且无机缓冲层20在弯折区210和非弯折区220内均形成有通孔(图未示出)，线路层30形成于无机缓冲层20和非显示区200内的柔性衬底10上，封装层40形成于线路层30远离柔性衬底10的一侧，且位于弯折区210内。
无机缓冲层20可以由氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SioxNy)、氧化铝(AlOx)和氮化铝(AlNx)中的至少一种组成，可以是单层或多层结构。无机缓冲层20可以起到隔绝水汽的作用，也可以阻挡柔性衬底10中的杂质向其他膜层扩散。
在本实施例中，先在玻璃基板上涂布聚酰亚胺溶液，并烘烤固化形成柔性衬底10，接着在柔性衬底10上沉积无机缓冲层20，无机缓冲层20整面覆盖柔性衬底10，再通过光罩进行曝光、显影，保留显示区100内的无机缓冲层20，通过干法刻蚀在非显示区200内形成通孔，然后通过成膜、曝光、显影及刻蚀工艺制作线路层30和其他膜层，并进行后续工艺，制作完成后激光剥离玻璃基板，再将非显示区200内的柔性显示面板弯折至背面，完成窄边框柔性显示面板的制作。
在柔性显示面板中，非显示区200对于水汽的影响不如显示区100敏感，水汽入侵非显示区200不影响柔性显示面板整体显示效果。由于无机缓冲层20在非显示区200内设置有通孔，即弯折区210内未设置无机缓冲层20，提升了非显示区200的弯折特性，有利于将非显示200内的柔性显示面板弯折至背面，实现柔性显示面板窄边框化，提升柔性显示面板的屏占比。
如图6所示，为本发明实施例提供的柔性显示面板的第五种结构示意图。柔性显示面板包括柔性衬底10、无机缓冲层20、线路层30、封装层40，此外，柔性显示面板包括显示区100和非显示区200，非显示区200包括弯折区210和非弯折区220。
在本实施例中，柔性衬底10包括第一柔性衬底11和第二柔性衬底12，无机缓冲层20设置在第一柔性衬底10上，且在弯折区210和非弯折区220内形成有通孔(图未示出)，第二柔性衬底12填充在通孔内，线路层30形成于无机缓冲层20上，且覆盖第二柔性衬底12，封装层40形成于线路层30远离第二柔性衬底12的一侧，且位于弯折区210内。
无机缓冲层20可以由氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SioxNy)、氧化铝(AlOx)和氮化铝(AlNx)中的至少一种组成，可以是单层或多层结构。无机缓冲层20可以起到隔绝水汽的作用，也可以阻挡柔性衬底10中的杂质向其他膜层扩散。
在一种实施例中，第二柔性衬底12的厚度与通孔的深度相等，即显示区100内的无机缓冲层20、以及第二柔性衬底12的高度相等，二者远离第一柔性衬底10的一侧组成一个平面。
在一种实施例中，第二柔性衬底12可完全覆盖非显示区200内的通孔，也可只覆盖通孔的一部分。
在一种实施例中，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料相同。第一柔性衬底11和第二柔性衬底12均为聚酰亚胺，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料相同，在柔性显示面板弯折时，弯折能力一致，提升了产品的弯折性能和使用寿命。
在一种实施例中，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料不同。第一柔性衬底11的材料为聚酰亚胺，第二柔性衬底12的材料为聚对苯二甲酸二乙醇酯(PET)、三醋酸纤维素(TAC)等有机材料。
第二柔性衬底12可采用涂布、CVD(化学气相沉积法)或IJP(喷墨印刷成型)工艺形成，其中，CVD是把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在基板表面发生化学反应生成薄膜的过程；IJP则是直接将墨水颗粒喷射到基板上完成输出的过程。
在本实施例中，先在玻璃基板上涂布聚酰亚胺溶液，并烘烤固化形成第一柔性衬底11，接着在第一柔性衬底11上沉积无机缓冲层20，无机缓冲层20整面覆盖第一柔性衬底11，再通过光罩进行曝光、显影，保留显示区100和非弯折区22内的无机缓冲层20，通过干法刻蚀在非显示区200内形成通孔，通过涂布、烘烤在非显示区200内形成第二柔性衬底12，然后通过成膜、曝光、显影及刻蚀工艺制作线路层30和其他膜层，并进行后续工艺，制作完成后激光剥离玻璃基板，再将非显示区200内的柔性显示面板弯折至背面，完成窄边框柔性显示面板的制作。
由于无机缓冲层20的质地较脆，在弯折时易发生膜裂，尤其是在小曲率半径弯曲时甚至会产生剥落现象。在柔性显示面板中，非显示区200对于水汽的影响不如显示区100敏感，水汽入侵非显示区200不影响柔性显示面板整体显示效果。在本实施例中，无机缓冲层20设置在第一柔性衬底10上，且在非显示区200内形成有通孔21，通孔内设置有第二柔性衬底20，即弯折区210内未设置无机缓冲层20，因此提升了柔性显示面板的弯折特性，有利于将非显示区200内柔性显示面板弯折至背面，实现柔性显示面板窄边框化，提升柔性显示面板的屏占比。
如图7所示，为本发明实施例提供的柔性显示面板的第六种结构示意图。柔性显示面板包括柔性衬底10、无机缓冲层20、线路层30、封装层40，此外，柔性显示面板包括显示区100和非显示区200，非显示区200包括弯折区210和非弯折区220。
在本实施例中，柔性衬底10包括第一柔性衬底11和第二柔性衬底12，无机缓冲层20设置在第一柔性衬底10上，且在弯折区210和非弯折区220内形成有通孔(图未示出)，第二柔性衬底12形成无机缓冲层20远离第一柔性衬底10的一侧，且填充在通孔内，线路层30形成于第二柔性衬底12上，封装层40形成于线路层30远离第二柔性衬底12的一侧，且位于弯折区210内。
无机缓冲层20可以由氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SioxNy)、氧化铝(AlOx)和氮化铝(AlNx)中的至少一种组成，可以是单层或多层结构。无机缓冲层20可以起到隔绝水汽的作用，也可以阻挡柔性衬底10中的杂质向其他膜层扩散。
在一种实施例中，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料相同。第一柔性衬底11和第二柔性衬底12均为聚酰亚胺，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料相同，在柔性显示面板弯折时，弯折能力一致，提升了产品的弯折性能和使用寿命。
在一种实施例中，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12的材料不同。第一柔性衬底11的材料为聚酰亚胺，第二柔性衬底12的材料为聚对苯二甲酸二乙醇酯(PET)、三醋酸纤维素(TAC)等有机材料。
第二柔性衬底12可采用涂布、CVD(化学气相沉积法)或IJP(喷墨印刷成型)工艺形成，其中，CVD是把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在基板表面发生化学反应生成薄膜的过程；IJP则是直接将墨水颗粒喷射到基板上完成输出的过程。
在一种实施例中，第二柔性衬底12可完全覆盖非显示区200内的通孔，也可只覆盖通孔的一部分。
在本实施例中，先在玻璃基板上涂布聚酰亚胺溶液，并烘烤固化形成第一柔性衬底11，接着在第一柔性衬底11上沉积无机缓冲层20，无机缓冲层20整面覆盖第一柔性衬底11，再通过光罩进行曝光、显影，保留显示区100内的无机缓冲层20，通过干法刻蚀在非显示区200内形成通孔，通过涂布、烘烤在非显示区200内形成第二柔性衬底12，然后通过成膜、曝光、显影及刻蚀工艺制作线路层30和其他膜层，并进行后续工艺，制作完成后激光剥离玻璃基板，再将非显示区200内的柔性显示面板弯折至背面，完成窄边框柔性显示面板的制作。
其中，第二柔性衬底12可一体成型，即在无机缓冲层20和非显示区200内的第一柔性衬底11上整面涂布有机材料，形成第二柔性衬底12；也可独立成型，即先在非显示区200内的第一柔性衬底11上涂布有机材料，经烘烤等步骤成型，再在无机缓冲层20和非显示区200内成型的有机材料层上整面涂布有机材料，由两次独立的成型步骤，最终形成完整的第二柔性衬底12。
由于无机缓冲层20的质地较脆，在弯折时易发生膜裂，尤其是在小曲率半径弯曲时甚至会产生剥落现象。在柔性显示面板中，非显示区200对于水汽的影响不如显示区100敏感，水汽入侵非显示区200不影响柔性显示面板整体显示效果。在本实施例中，无机缓冲层20设置在第一柔性衬底10上，且在非显示区200内形成有通孔21，通孔内设置有第二柔性衬底20，即弯折区210内未设置无机缓冲层20，因此提升了柔性显示面板的弯折特性，有利于将非显示区200内柔性显示面板弯折至背面，实现柔性显示面板窄边框化，提升柔性显示面板的屏占比。
根据上述实施例可知：
本发明提供一种柔性显示面板，包括柔性衬底、无机缓冲层、线路层和封装层，无机缓冲层形成在柔性衬底上；线路层形成于无机缓冲层上；封装层形成于线路层上；其中，无机缓冲层在弯折区内形成有通孔。由于在弯折区内，无机缓冲层在弯折区内形成有通孔，线路层直接形成在柔性衬底上，改善了柔性显示面板在弯折时易发生破裂的技术问题，提升了柔性显示面板的弯折特性。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (10)
1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括：
柔性衬底；
无机缓冲层，形成在所述柔性衬底上；
线路层，形成于所述无机缓冲层上；
封装层，形成于所述线路层上；
其中，所述无机缓冲层在弯折区内形成有通孔。
2.如权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述通孔对应于所述线路层中的线路区域设置。
3.如权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述通孔对应于所述弯折区设置。
4.如权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性衬底包括第一柔性衬底和第二柔性衬底，所述第二柔性衬底填充所述通孔。
5.如权利要求4所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第二柔性衬底的厚度和所述无机缓冲层的厚度相等。
6.如权利要求4所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第二柔性衬底形成于所述无机缓冲层远离所述第一柔性衬底的一侧。
7.如权利要求4所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一柔性衬底和所述第二柔性衬底的材料相同。
8.如权利要求7所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一柔性衬底和所述第二柔性衬底的材料为聚酰亚胺。
9.如权利要求4所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一柔性衬底和所述第二柔性衬底的材料不同。
10.如权利要求9所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一柔性衬底材料为聚酰亚胺，所述第二柔性衬底材料为聚对苯二甲酸二乙醇酯。
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