CN110005809B - 一种用于密封真空电子器件的装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及真空密封设备技术领域,具体涉及一种用于密封真空电子器件的装置,包括:保护罩壳体(1)、内橡胶圈(3)、内固环(4)和壳体(6);保护罩壳体(1)呈圆筒状结构,且其一端开有圆孔,用于连接管路(5);管路(5)上设有阀门(2);保护罩壳体(1)的另一端为敞口,该敞口处向外延伸一环形凸台(9),其与保护罩壳体(1)为一体式结构;环形凸台(9)的外端面上设有内固环(4),内固环(4)的内侧设有内橡胶圈(3);壳体(6)的一端与保护罩壳体(1)的敞口端配合连接,形成密封;真空电子器件(10)放入壳体(6)的内部,但不接触保护罩壳体(1)的内壁,并在保护罩壳体(1)的内部形成一个密闭空间。
Description
技术领域
本发明属于真空密封设备技术领域,具体涉及一种用于密封真空电子器件的装置。
背景技术
目前,对于真空电子器件,例如,真空电离规、残余气体分析器、电子源、行波管等,这些真空电子器件不仅要求其工作在真空环境下,而且在其生产、保存和运输过程中也同样要求其工作在真空环境下,使其工作性能不受影响。因此,对电子器件的密封就显得尤为重要,但是,现有的密封真空电子器件的装置只是简单地通过螺纹连接,并无密封机构,也无阀门及管路,造成缝隙大漏率大,无法保持内部的密封,使内部器件受外部环境影响较大。
发明内容
本发明的目的在于,为解决现有密封装置存在上述缺陷,本发明提出了一种用于真空电子器件的密封装置,该装置可实现内部空间的密封,结构简单,方便拆卸,可重复使用,具有较好的气密性。
为了实现上述目的,本发明提供了一种用于密封真空电子器件的装置,该装置包括:保护罩壳体、内橡胶圈、内固环和壳体;
所述保护罩壳体呈圆筒状结构,且其一端开有圆孔,用于连接管路;所述管路上设有阀门,用于打开或关闭气路;保护罩壳体的另一端为敞口,该敞口处向外延伸一环形凸台,其与保护罩壳体为一体式结构;环形凸台的外端面上设有内固环,内固环的内侧设有内橡胶圈;壳体的一端与保护罩壳体的敞口端配合连接,形成密封;真空电子器件放入壳体的内部,但不接触保护罩壳体的内壁,并在保护罩壳体的内部形成一个密闭空间,并作为真空环境。
作为上述技术方案的改进之一,所述内橡胶圈和内固环均为环形结构,且内固环的环形半径大于内密封圈的环形半径。
作为上述技术方案的改进之一,所述壳体的一端与保护罩壳体的敞口端通过螺纹配合连接,并在该连接处,在壳体的外壁上向外延伸一环形结构的密封台阶;该密封台阶放置在内橡胶圈的下方,且与内橡胶圈紧密压实连接,用于完成对保护罩壳体的密封。其中,壳体的一端设有外螺纹,保护罩壳体的敞口处的内壁上设有内螺纹,壳体与保护罩壳体通过螺纹配合连接;密封台阶设置在靠近设有外螺纹的壳体的端部,并与内橡胶圈、内固环紧密连接。
作为上述技术方案的改进之一,所述密封台阶的环形半径与内橡胶圈的环形半径相同,且密封台阶的外圆周面与内固环的内圆周面紧密接触;通过内橡胶圈、内固环和密封台阶,使保护罩壳体在敞口处形成一个完全密封结构,利于形成一个密封的真空环境,使其具有良好的气密性。
作为上述技术方案的改进之一,所述壳体为中空的圆柱状结构;且壳体的轴向长度取决于带密封的真空电子器件的长度。
作为上述技术方案的改进之一,所述阀门上设有开关,通过顺时针或逆时针旋转开关,来对应地打开或关闭气路。
本发明相比于现有技术的有益效果在于:
本发明的密封装置通过内橡胶圈与密封台阶的紧密压实,并与环形凸台紧密连接,形成一个完全的密封结构,保证了保护罩壳体内部形成密闭的真空环境,使其具有良好的气密性。
附图说明
图1是本发明的一种用于密封真空电子器件的装置的结构示意图;
图2是本发明的一种用于密封真空电子器件的装置的剖面图;
图3是利用本发明的一种用于密封真空电子器件的装置密封真空电子器件的结构示意图。
附图标记:
1、保护罩壳体 2、阀门
3、内橡胶圈 4、内固环
5、管路 6、壳体
7、密封台阶 8、开关
9、环形凸台 10、真空电子器件
具体实施方式
现结合附图对本发明作进一步的描述。
如图1和2所示,本发明提供了一种用于密封真空电子器件的装置,该装置包括:保护罩壳体1、内橡胶圈3、内固环4和壳体6;
如图2所示,所述保护罩壳体1呈圆筒状结构,且其顶端开有圆孔,用于连接管路5;所述管路5上设有阀门2,用于打开或关闭气路;保护罩壳体1的底端为敞口,该敞口处向外延伸一环形凸台9,其与保护罩壳体1为一体式结构;环形凸台9的外端面上设有内固环4,内固环4的内侧设有内橡胶圈3;壳体6的顶端与保护罩壳体1的敞口端配合连接,形成密封;如图3所示,真空电子器件10放入壳体1的内部,但不接触保护罩壳体1的内壁,并在保护罩壳体1的内部形成一个密闭的真空空间,并作为真空环境。
作为上述技术方案的改进之一,所述内橡胶圈3和内固环4均为环形结构,且内固环3的环形半径大于内密封圈4的环形半径。
作为上述技术方案的改进之一,如图2所示,所述壳体6的顶端与保护罩壳体1的敞口端通过螺纹配合连接,并在该连接处,在壳体6的外壁上向外延伸一环形结构的密封台阶7;该密封台阶7放置在内橡胶圈3的下方,且与内橡胶圈3紧密压实连接,用于完成对保护罩壳体1的密封。其中,壳体6的顶端设有外螺纹,保护罩壳体1的敞口处的内壁上设有内螺纹,壳体6与保护罩壳体1通过螺纹配合连接;密封台阶7设置在靠近设有外螺纹的壳体6的端部,并与内橡胶圈3、内固环4紧密连接。
作为上述技术方案的改进之一,所述密封台阶7的环形半径与内橡胶圈3的环形半径相同,且密封台阶7的外圆周面与内固环4的内圆周面紧密接触;通过内橡胶圈3、内固环4和密封台阶7,使保护罩壳体1在敞口处形成一个完全密封结构,利于形成一个密封的真空环境,使其具有良好的气密性。
作为上述技术方案的改进之一,所述壳体6为中空的圆柱状结构;且壳体6的轴向长度取决于带密封的真空电子器件10的长度。
作为上述技术方案的改进之一,所述阀门2上设有开关8,通过顺时针或逆时针旋转开关8,来对应地打开或关闭气路,完成向保护罩壳体1内部充气的功能;同时,在管路5上还连接有抽真空设备,通过阀门2实现将保护罩壳体1内部的空气或气体抽出,使保护罩壳体1内部形成一个真空环境。
最后所应说明的是,以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制。尽管参照实施例对本发明进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,对本发明的技术方案进行修改或者等同替换,都不脱离本发明技术方案的精神和范围,其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
Claims (6)
1.一种用于密封真空电子器件的装置,其特征在于,该装置包括:保护罩壳体(1)、内橡胶圈(3)、内固环(4)和壳体(6);
所述保护罩壳体(1)呈圆筒状结构,且其一端开有圆孔,用于连接管路(5);所述管路(5)上设有阀门(2);保护罩壳体(1)的另一端为敞口,该敞口处向外延伸一环形凸台(9),其与保护罩壳体(1)为一体式结构;环形凸台(9)的外端面上设有内固环(4),内固环(4)的内侧设有内橡胶圈(3);壳体(6)的一端与保护罩壳体(1)的敞口端配合连接,形成密封;真空电子器件(10)放入壳体(6)的内部,但不接触保护罩壳体(1)的内壁,并在保护罩壳体(1)的内部形成一个密闭空间。
2.根据权利要求1所述的用于密封真空电子器件的装置,其特征在于,所述内橡胶圈(3)和内固环(4)均为环形结构,且内固环(4)的环形半径大于内橡胶圈(3)的环形半径。
3.根据权利要求1所述的用于密封真空电子器件的装置,其特征在于,所述壳体(6)的一端与保护罩壳体(1)的敞口端通过螺纹配合连接,并在该连接处,在壳体(6)的外壁上向外延伸一环形结构的密封台阶(7);该密封台阶(7)放置在内橡胶圈(3)的下方,且与内橡胶圈(3)紧密压实连接。
4.根据权利要求3所述的用于密封真空电子器件的装置,其特征在于,所述密封台阶(7)的环形半径与内橡胶圈(3)的环形半径相同,且密封台阶(7)的外圆周面与内固环(4)的内圆周面紧密接触。
5.根据权利要求1所述的用于密封真空电子器件的装置,其特征在于,所述壳体(6)为中空的圆柱状结构。
6.根据权利要求1所述的用于密封真空电子器件的装置,其特征在于,所述阀门(2)上设有开关(8)。
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