CN109990841A - 一种灰尘检测清洁装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种灰尘检测清洁装置，该装置设有机台，所述机台上并列设有检测装置和清洁装置，所述检测装置和清洁装置之间设有组件传送装置；所述检测装置包括组件中转机构、组件移动机构、位置检测模块、灰尘检测机构和组件承载机构，所述组件中转机构和组件承载机构平行设置，所述灰尘检测机构设置在组件承载机构的一侧，所述组件移动机构垂直设置在组件中转机构和组件承载机构的上方，所述位置检测模块安装在组件移动机构上；所述清洁装置包括除尘装置，所述除尘装置与组件移动机构平行设置；所述检测装置、清洁装置和组件传送装置均通过中控装置控制。本发明具有全自动在线干法清洗，靶向定点清洁，低水耗，低污染，低生产成本等优点。

Description

一种灰尘检测清洁装置

技术领域

本发明涉及清洁装置，具体为一种灰尘检测清洁装置。

背景技术

随着高科技产品技术发展，高精度产品生产过程中对部件的清洁度要求越来越高，如相机摄像头模组的滤光片和感光芯片的装配、半导体产品制备等，常规生产过程中并没有对相关部件进行清洁检测和清洁，直接使用制备导致部件表面粘附的细微颗粒和灰尘直接影响产品的质量和使用效果。但随着技术的发展，对工艺技术要求越来越高，例如对半导体芯片及光学部件表面质量要求越来越严格，主要是其表面的粉尘颗粒与杂质污染会严重影响产品的质量和成品率，目前的集成电路生产中，由于产品表面污染的问题导致约50%以上的材料损失，因此促进人们对硅片清洗工艺的研究。

目前已有的应用于半导体生产的 清洗工艺有湿法化学清洗、超声清洗等。其中，湿法化学清洗技术在硅片表面清洗中仍处于主导地位。然而据测算，目前某些半导体工厂用于超纯水的费用将接近30亿美元，且由于化学试剂的存放以及环境污染问题，湿法化学清洗技术将会逐渐减少使用。而目前国际上硅片的清洗标准是开盒即用，即经清洗封装后的硅片，从片盒里取出后即可以投入器件工艺中直接使用而无需额外的清洗步骤。国内硅片清洗多采用以湿法化学清洗为主的清洗工艺，由于设备、工艺方法等方面还比较落后，特别是超净环境往往达不到相应的级别，所以达不到开盒即用的标准。

虽然目前非在线式硅片清洗技术已有了很大的发展，但是清洗设备本身所产生的污染问题却一直没能彻底解决，从而成为影响成品率的一种重要因素。因此研发一种采用全自动在线干法清洗技术，低水耗，低污染，低生产成本的检测清洁装置，为目前迫切需要解决的技术问题。

发明内容

本发明提供了一种实现全自动在线干法清洗，靶向定点清洁，低水耗，低污染，低生产成本的灰尘检测清洁装置。

本发明可以通过以下技术方案来实现：

一种灰尘检测清洁装置，该装置设有机台，所述机台上并列设有检测装置和清洁装置，所述检测装置和清洁装置之间设有组件传送装置；

所述检测装置包括组件中转机构、组件移动机构、位置检测模块、灰尘检测机构和组件承载机构，所述组件中转机构和组件承载机构平行设置，所述灰尘检测机构设置在组件承载机构的一侧，所述组件移动机构垂直设置在组件中转机构和组件承载机构的上方，所述位置检测模块安装在组件移动机构上；

所述清洁装置包括除尘装置，所述除尘装置与组件移动机构平行设置；

所述检测装置、清洁装置和组件传送装置均通过中控装置控制。

本发明灰尘检测清洁装置通过中控装置控制组件传送装置将待清洁部件传送至特定位置，通过组件移动机构将待清洁部件转移至组件中转机构上，通过位置检测模块检测部件的厚度及表面平整度后，将相关组件参数通过中控装置传输至灰尘检测机构，所述灰尘检测机构根据组件参数自动调整检测参数条件，同时组件移动机构将待清洁部件移至组件承载机构上，并且通过组件承载机构调整待清洁部件与灰尘检测机构之间的位置，从而保证待清洁部件各个位置均被检测，实现定点检测，灰尘检测机构将检测到的灰尘位置数据传输至中控装置，由中控装置将分析处理后的灰尘位置数据形成工作指令传输至清洁装置，从而驱动除尘装置移动靶向定点将待清洁部件表面的灰尘除去。本发明通过精准定位灰尘位置，靶向除尘，实现全自动在线干法清洗，改变传统湿法化学清洗技术带来的水资源浪费和环境污染，全自动化清洁，减少人力投入，降低生产成本。

进一步地，所述灰尘检测机构包括固定架、异物检查相机和驱动异物检查相机上下移动的升降驱动装置，所述升降驱动装置固定在固定架上，所述升降驱动装置的一侧设有驱动连接板，所述驱动连接板上垂直设置相机安装平台，所述异物检查相机安装在相机安装平台上，所述安装平台下方设有与异物检查相机相适配的异物检查镜头，所述驱动连接板下端设有照明灯固定平台，所述照明灯固定平台下方设有照明灯。通过升降驱动装置使异物检查相机可根据待清洁部件的厚度及形状调整其与待清洁部件之间的距离，保证异物检查的准确度，同时可根据产品的灰尘粒径控制级别要求，更换不同焦距的异物检查镜头，使本发明适用性更强，在驱动连接板下端设有照明用的照明灯，为异物检查提供充足的光源，保证异物检查的准确度和清晰度。

进一步地，所述组件承载机构设有X轴移动机构、Y轴移动机构和样品承载座，所述X轴移动机构移动设置在Y轴移动机构上，所述样品承载座移动设置在X轴移动机构上，所述Y轴移动机构设有Y移动轴，所述Y移动轴上设有Y轴移动载板，所述Y轴移动载板通过Y轴驱动装置驱动沿Y移动轴移动，所述X轴移动机构固定在Y轴移动载板上，所述X轴移动机构包括X移动轴，所述X移动轴上设有X轴移动载板，所述X轴移动载板通过X轴驱动装置驱动沿X移动轴移动，所述样品承载座安装在X轴移动载板上。设置X轴移动机构和Y轴移动机构，使样品承载座可以在平面上沿X轴方向或Y轴方向任意移动，从而保证待检测部件的每个位置均被检测无遗漏，提高检测灵活度。

进一步地，所述组件移动机构包括对称设置的支撑架，所述支撑架上端设有位置平移轴，所述位置平移轴上设有沿位置平移轴移动的组件搬送模组，所述位置平移轴的一端设有位置检测模块和驱动组件搬送模组移动的平移驱动装置，所述位置检测模块的安装高度大于或等于组件中转机构的高度。组件搬送模组将组件传送装置上的待清洁部件搬送至组件中转机构，然后通过位置检测模块对待检测部件的厚度及表面平整度，从而将其相关参数反馈中控装置，由中控装置分析并传送指令至灰尘检测机构从而调整异物检查相机的位置，且由组件搬送模组将待检测部件搬送至相应检测位置，有效避免人工搬送导致待清洁部件的二次污染，位置检测模块可使用线性位移扫描感应器或其他可实现相同功能的扫描感应器。

进一步地，所述组件搬送模组包括安装在位置平移轴上的平移滑块，所述平移滑块一侧设有安装固定板，所述安装固定板上设有真空气缸，所述真空气缸连接有负压吸附板，所述负压吸附板下方设有吸附孔。以平移滑块沿位置平移轴移动，从而带动安装固定板移动，移动过程更加平稳，而安装固定板下方的负压吸附板通过负压吸附作用，将样品承载座移动搬送至相应检测或清洁位置。

进一步地，所述组件中转机构包括组件移动轴，所述组件移动轴上设有组件中转平台，所述组件移动轴的一端设有驱动组件中转平台沿组件移动轴移动的移动驱动装置。组件中转机构通过移动驱动装置驱动组件中转平台移动，可作为待清洁部件的中转平台和位置检测平台，保证部件清洁的连续性，提高清洁效率。

进一步地，所述除尘装置包括除尘位移轴、除尘模组，所述除尘位移轴固定在机台上，所述除尘模组通过位移滑块与除尘位移轴移动连接，所述位移滑块通过位移驱动装置驱动移动，所述除尘模组包括驱动气缸，所述驱动气缸一侧安装有清洁头安装板，所述清洁头安装板下方设有旋转气缸，所述旋转气缸通过基座连接件与清洁基座连接，所述清洁基座下方通过吸取头与清洁针安装支架连接，所述清洁针安装支架下方设有清洁针头。位移驱动装置驱动位移滑块沿除尘位移轴移动，从而带动除尘模组移动，并且根据检测装置反馈的信息调整除尘模组的移动位置，而除尘模组的驱动气缸驱动清洁头安装板实现升降移动，并且通过旋转气缸带动清洁基座旋转，从而使通过吸取头与清洁基座连接的清洁针安装支架带动清洁针头旋转，从而实现清洁针头对待清洁部件的清洁。

进一步地，所述清洁针头下方设有清洁药水储备装置，所述清洁药水储备装置包括清洁药水承载平台、清洁药水瓶和清洁针头检测相机，所述清洁药水承载平台上设有清洁药水瓶，所述清洁药水瓶的瓶口中心位于清洁针头的下方，所述清洁药水瓶一侧设有瓶盖板，所述瓶盖板通过旋转气缸驱动旋转，所述清洁针头检测相机与清洁针头水平设置，所述清洁药水瓶另一侧设有光源灯。清洁药水瓶中储存有清洁药水，对待清洁部件进行清洁前，清洁针头伸入清洁药水瓶内，蘸上清洁药水，为了避免清洁药水被污染，则在清洁药水瓶一侧的瓶盖板通过旋转气缸驱动旋转，从而使瓶盖板遮挡清洁药水瓶的瓶口，避免污染物落入清洁药水瓶内，在清洁药水瓶的一侧设有光源灯为清洁针头检测相机的检测提供光源，保证检测视野清晰，清洁针头检测相机主要有三个功能：第一为检测清洁针头所蘸的清洁药水是否已经干燥硬化达到使用要求；第二为实时监控清洁针头的清洁度，中控装置根据监控结果判断其是否变形，若其清洁度及形状变化已超出设定的可用范围，则中控装置发出更换清洁针头的提示；第三为监控清洁药水瓶内的药液高度，通过反馈药液高度信息至中控装置，由中控装置发出指令调整清洁针头的下降高度，保证清洁针头蘸上足够量的清洁药水。

进一步地，所述清洁药水储备装置的一侧设有清洁针头储备装置，所述清洁针头储备装置包括清洁针头储备盒和储备盒移动轴，所述储备盒移动轴的两端通过移动轴固定架固定在机台上，所述清洁针头储备盒通过移动轴滑块与储备盒移动轴连接，所述移动轴滑块通过滑块驱动装置驱动移动，所述清洁针头储备盒设有若干个与清洁针头相适配的清洁针头储藏孔。清洁针头储备盒起两个作用：（1）用于自然干燥蘸上清洁药水的清洁针头；（2）用于储备干净的清洁针头；当清洁针头需要更换时，中控装置直接控制清洁针头储备盒沿储备盒移动轴移动至合适的位置，除尘模组移动至清洁针头储备盒上方从而完成清洁针头的更换，提高清洁针头更换的便捷度。

进一步地，所述组件传送装置包括组件传入装置、组件传出装置、组件传送轴和组件传送载板，所述组件传入装置包括对称设置在组件传送轴一端部两侧的入口支撑板，所述两入口支撑板形成组件传入口，所述两入口支撑板的顶部相对设有第一承托块，所述第一承托块靠近组件传入口的一端设有第一传送轮，所述第一传送轮的顶部与第一承托块处于同一水平线，所述第一传送轮与第一传动电机连接，所述组件传出装置包括对称设置在组件传送轴另一端部两侧的出口支撑板，所述两出口支撑板形成组件传出口，所述两出口支撑板的顶部相对设有第二承托块，所述第二承托块的两端均设有第二传动轮，所述第二传动轮与第二传动电机连接，所述组件传送载板的底部设有真空吸附装置，所述组件传送载板设有与真空吸附装置连通的吸附孔，所述组件传送载板通过传送滑块与组件传送轴连接，所述传送滑块通过设置在组件传动轴一端的传送驱动装置驱动。。以第一传送电机驱动第一传送轮转动，从而带动放置在入口支撑板之间的产品向装置内部移动，到达组件传送载板，通过组件传送载板的真空吸附装置将产品吸附在组件传送载板上，通过传送驱动装置驱动传送滑块传送至组件传出装置，第二传动电机驱动第二传动轮转动将吸附在组件传送载板上的产品传送至出口支撑板上，从而通过第二传动轮转动的惯性使产品传输至组件传出口，实现待清洁产品的运输和清洁后产品的传送，无需人工取放料，减少人工搬运产生的二次污染。

本发明灰尘检测清洁装置，具有如下的有益效果：

第一、实现全自动在线干法清洗；本发明以中控装置分别控制检测装置、清洁装置和组件传送装置，通过组件传送装置将待清洁部件传送至检测装置取件的特定位置，由检测装置通过组件移动机构将待清洁部件转移至组件中转机构上，通过位置检测模块对其厚度和表面平整度进行检测，从而将参数传送至灰尘检测机构，调整灰尘检测机构的异物检测相机焦距，再由灰尘检测机构对待清洁部件表面的灰尘进行拍照成像分析，定位需清除的灰尘颗粒位置，将生成的灰尘颗粒位置坐标轴信息通过中控装置传输至清洁装置，从而控制清洁装置移动除尘模组至对应位置，通过黏附有清洁药水的清洁针头定点粘吸待清洁部件表面的灰尘，整个清洁过程全线自动化操作，无需人工处理，采用定点粘吸灰尘颗粒，无需采用化学试剂清洗，有效避免化学试剂对产品表面的腐蚀，实现全自动在线干法清洗；

第二、靶向定点清洁，避免产品表面受损；本发明通过检测装置定位待清洁部件表面的灰尘颗粒位置，控制清洁装置的除尘模组移动至灰尘颗粒位置，通过除尘模组的驱动气缸控制清洁针头的上下移动，清洁针头反复点粘灰尘颗粒位置，从而靶向定点清洁灰尘颗粒，且清洁针头所含有的清洁药水具有一定的黏性，通过黏附作用将灰尘颗粒清除，有效避免湿法化学清洗法的试剂残留腐蚀产品表面，降低产品的质量；

第三、清洁效率高；本发明通过检测装置检测待清洁部件表面的灰尘颗粒位置，同时除尘装置通过驱动气缸驱动清洁针头***清洁药水瓶中蘸上清洁药水后，由位移驱动装置驱动位移滑块带动蘸上清洁药水的清洁针头移动至清洁药水瓶一侧的清洁针头储备装置，把清洁针头***清洁针头储备装置的清洁针头储藏孔内并旋转，从而时清洁针头留在清洁针头储备装置内自然干燥硬化，有效避免清洁针头干燥硬化不充分影响清洁效率；

第四、低水耗、低污染；本发明通过控制具有黏附性的清洁针头对待清洁部件表面的灰尘颗粒进行黏附清除，当清洁针头的黏附力降低后，可通过更换清洁针头完成后续清洁工作，整个清洁过程无需使用化学试剂，也无需用水冲洗部件以避免化学试剂的残留腐蚀部件， 实现低水耗，低污染，符合国家绿色环保发展要求；

第五、降低生产成本；本发明采用干法清洗部件表面的灰尘颗粒，减少了湿法化学清洗技术所用到的化学试剂和大量水冲洗，且本发明可独立自动完成部件的搬运、检测及清洗，无需投入人力和辅助设备，大大降低生产成本。

附图说明

图1为本发明灰尘检测清洁装置结构示意图；

图2为本发明灰尘检测清洁装置灰尘检测机构局部放大结构示意图；

图3为本发明灰尘检测清洁装置除尘机构和清洁药水储备装置局部放大结构示意图；

图4为本发明灰尘检测清洁装置组件承载机构和清洁针头储备装置的结构示意图；

图5为本发明灰尘检测清洁装置组件移动机构的结构示意图；

图6为本发明灰尘检测清洁装置组件传送装置的结构示意图；

图7为本发明灰尘检测清洁装置整体外部结构示意图。

如附图所示：1、检测装置；11、组件中转机构；111、组件移动轴；112、组件中转平台；113、移动驱动装置；12、组件移动机构；121、支撑架；122、位置平移轴；123、组件搬送模组；1231、平移滑块；1232、安装固定板；1233、真空气缸；1234、负压吸附板；1235、吸附孔；124、平移驱动装置；13、位置检测模块；14、灰尘检测机构；141、固定架；142、异物检查相机；143、升降驱动装置；144、驱动连接板；145、相机安装平台；146、异物检查镜头；147、照明灯固定平台；148、照明灯；15、组件承载机构；151、X轴移动机构；1511、X移动轴；1512、X轴移动载板；1513、X轴驱动装置；152、Y轴移动机构；1521、Y移动轴；1522、Y轴移动载板；1523、Y轴驱动装置；153、样品承载座；2、组件传送装置；21、组件传入装置；211、入口支撑板；212、组件传入口；213、第一承托块；214、第一传送轮；215、第一传动电机；22、组件传出装置；221、出口支撑板；222、组件传出口；223、第二承托块；224、第二传动轮；225、第二传动电机；23、组件传送轴；24、组件传送载板；241、真空吸附装置；242、吸附孔；243、传送滑块； 25、传送驱动装置；3、清洁装置；31、除尘装置；311、除尘位移轴；312、除尘模组；3121、驱动气缸；3122、清洁头安装板；3123、旋转气缸；3124、基座连接件；3125、清洁基座；3126、吸取头；3127、清洁针安装支架；3128、清洁针头；313、位移滑块；314、位移驱动装置；32、清洁药水储备装置；321、清洁药水承载台；322、清洁药水瓶；323、清洁针头检测相机；324、瓶盖板；325、旋转气缸；326、光源灯；33、清洁针头储备装置；331、清洁针头储备盒；332、储备盒移动轴；333、移动轴固定架；334、移动轴滑块；335、滑块驱动装置；336、清洁针头储藏孔；4、中控装置；5、机台；6、防尘罩；7、显示屏。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合实施例及附图对本发明产品作进一步详细的说明。

如图1所示，一种灰尘检测清洁装置，其特征在于：该装置设有机台5，所述机台5上并列设有检测装置1和清洁装置3，所述检测装置1和清洁装置3之间设有组件传送装置2；

所述检测装置1包括组件中转机构11、组件移动机构12、位置检测模块13、灰尘检测机构14和组件承载机构15，所述组件中转机构11和组件承载机构15平行设置，所述灰尘检测机构14设置在组件承载机构15的一侧，所述组件移动机构12垂直设置在组件中转机构11和组件承载机构15的上方，所述位置检测模块13安装在组件移动机构12上；

所述清洁装置3包括除尘装置31，所述除尘装置31与组件移动机构12平行设置；

所述检测装置1、清洁装置3和组件传送装置2均通过中控装置4控制。通过中控装置4控制组件传送装置2将待清洁部件传送至特定位置，通过组件移动机构12将待清洁部件转移至组件中转机构11上，通过位置检测模块13检测部件的厚度及表面平整度后，将相关组件参数通过中控装置4传输至灰尘检测机构14，所述灰尘检测机构14根据组件参数自动调整检测参数条件，同时组件移动机构12将待清洁部件移至组件承载机构15上，并且通过组件承载机构15调整待清洁部件与灰尘检测机构14之间的位置，从而保证待清洁部件各个位置均被检测，灰尘检测机构14将检测到的灰尘位置数据传输至中控装置4，由中控装置4将分析处理后的灰尘位置数据形成工作指令传输至清洁装置3，从而驱动除尘机构31移动靶向定点将待清洁部件表面的灰尘除去。通过精准定位灰尘位置，靶向除尘，实现全自动在线干法清洗，改变传统湿法化学清洗技术带来的水资源浪费和环境污染，全自动化清洁，减少人力投入，降低生产成本。

如图1、图2和图3所示，所述灰尘检测机构14包括固定架141、异物检查相机142和驱动异物检查相机142上下移动的升降驱动装置143，所述升降驱动装置143固定在固定架141上，所述升降驱动装置143的一侧设有驱动连接板144，所述驱动连接板144上垂直设置相机安装平台145，所述异物检查相机142安装在相机安装平台145上，所述安装平台145下方设有与异物检查相机142相适配的异物检查镜头146，所述驱动连接板144下端设有照明灯固定平台147，所述照明灯固定平台147下方设有照明灯148。通过升降驱动装置143使异物检查相机142可根据待清洁部件的厚度及形状调整其与待清洁部件之间的距离，保证异物检查的准确度，同时可根据产品的灰尘粒径控制级别要求，更换不同焦距的异物检查镜头146和异物检查相机142，使本发明适用性更强，可达到微米级灰尘颗粒的检测，在驱动连接板144下端设有照明用的照明灯148，为异物检查提供充足的光源，保证异物检查的准确度和清晰度，照明灯148可以用环形照明灯、LED灯等，保证照射光源充足。

如图1和图5所示，所述组件承载机构15设有X轴移动机构151、Y轴移动机构152和样品承载座153，所述X轴移动机构151移动设置在Y轴移动机构152上，所述样品承载座153移动设置在X轴移动机构151上，所述Y轴移动机构152设有Y移动轴1521，所述Y移动轴1521上设有Y轴移动载板1522，所述Y轴移动载板1522通过Y轴驱动装置1523驱动沿Y移动轴1521移动，所述X轴移动机构151固定在Y轴移动载板1522上，所述X轴移动机构151包括X移动轴1511，所述X移动轴1511上设有X轴移动载板1512，所述X轴移动载板1512通过X轴驱动装置1513驱动沿X移动轴1511移动，所述样品承载座153安装在X轴移动载板1512上。设置X轴移动机构151和Y轴移动机构152，使样品承载座153可以在平面上沿X轴方向或Y轴方向任意移动，从而保证待检测部件的每个位置均被检测无遗漏，提高检测灵活度。

如图1和图6所示，所述组件移动机构12包括对称设置的支撑架121，所述支撑架121上端设有位置平移轴122，所述位置平移轴122上设有沿位置平移轴移动的组件搬送模组123，所述位置平移轴122的一端设有位置检测模块13和驱动组件搬送模组123移动的平移驱动装置124，所述位置检测模块13的安装高度大于或等于组件中转机构11的高度。组件搬送模组123将组件传送装置2上的待清洁部件搬送至组件中转机构11，然后通过位置检测模块13对待检测部件的厚度及表面平整度，从而将其相关参数反馈至灰尘检测机构14从而调整异物检查相机142的位置，且由组件搬送模组123将待检测部件搬送至相应检测位置，有效避免人工搬送导致待清洁部件的二次污染，位置检测模块可使用线性位移扫描感应器或其他可实现相同功能的扫描感应器。

如图6所示，所述组件搬送模组123包括安装在位置平移轴122上的平移滑块1231，所述平移滑块一侧设有安装固定板1232，所述安装固定板1232上设有真空气缸1233，所述真空气缸的下方连接有负压吸附板1234，所述负压吸附板1234下方设有吸附孔1235。以平移滑块1231沿位置平移轴122移动，从而带动安装固定板1232移动，移动过程更加平稳，以真空气缸1233抽真空使负压吸附板1234形成负压吸力，吸附待检测样品并将其搬送至相应检测或清洁位置。

如图1和图2所示，所述组件中转机构11包括组件移动轴111，所述组件移动轴111上设有组件中转平台112，所述组件移动轴111的一端设有驱动组件中转平台112沿组件移动轴移动的移动驱动装置113。组件中转机构11通过移动驱动装置113驱动组件中转平台112移动，可作为待清洁部件的中转平台和位置检测平台，保证部件清洁的连续性，提高清洁效率。

如图1、图2和图4所示，所述除尘装置31包括除尘位移轴311、除尘模组312，所述除尘位移轴311固定在机台5上，所述除尘模组312通过位移滑块313与除尘位移轴311移动连接，所述位移滑块313通过位移驱动装置314驱动移动，所述除尘模组312包括驱动气缸3121，所述驱动气缸3121一侧安装有清洁头安装板3122，所述清洁头安装板3122下方设有旋转气缸3123，所述旋转气缸3123通过基座连接件3124与清洁基座3125连接，所述清洁基座3125下方通过吸取头3126与清洁针安装支架3127连接，所述清洁针安装支架3127下方设有清洁针头3128。位移驱动装置314驱动位移滑块313沿除尘位移轴311移动，从而带动除尘模组312移动，并且根据检测装置1反馈的信息调整除尘模组312的移动位置，而除尘模组312的驱动气缸3121驱动清洁头安装板3122实现升降移动，并且通过旋转气缸3123带动清洁基座3125旋转，从而使通过吸取头3126与清洁基座3125连接的清洁针安装支架3127带动清洁针头3128旋转，从而实现清洁针头3128对待清洁部件的清洁。

如图1、图2和图4所示，所述清洁针头3128下方设有清洁药水储备装置32，所述清洁药水储备装置32包括清洁药水承载平台321、清洁药水瓶322和清洁针头检测相机323，所述清洁药水承载平台321上设有清洁药水瓶322，所述清洁药水瓶322的瓶口中心位于清洁针头3128的下方，所述清洁药水瓶322一侧设有瓶盖板324，所述瓶盖板324通过旋转气缸325驱动旋转，所述清洁针头检测相机323与清洁针头3128水平设置，所述清洁药水瓶322另一侧设有光源灯326。清洁药水瓶322中储存有清洁药水，对待清洁部件进行清洁前，清洁针头3128伸入清洁药水瓶322内，蘸上清洁药水，为了避免清洁药水被污染，则在清洁药水瓶322一侧的瓶盖板324通过旋转气缸325驱动旋转，从而使瓶盖板324遮挡清洁药水瓶322的瓶口，避免污染物落入清洁药水瓶322内，同时在清洁药水瓶一侧设置光源灯326提供照明，保证清洁针头检测相机323清晰检测清洁针头3128的洁净度、监控清洁药水瓶322内的药水量，同时通过清洁针头检测相机323实时监控清洁针头3128的清洁度，判断其是否变形，若其清洁度及形状变化已超出设定的可用范围，则中控装置4发出更换清洁针头的提示。

如图1和图5所示，所述清洁药水储备装置32的一侧设有清洁针头储备装置33，所述清洁针头储备装置33包括清洁针头储备盒331和储备盒移动轴332，所述储备盒移动轴332的两端通过移动轴固定架333固定在机台5上，所述清洁针头储备盒331通过移动轴滑块334与储备盒移动轴332连接，所述移动轴滑块334通过滑块驱动装置335驱动移动，所述清洁针头储备盒331设有若干个与清洁针头3128相适配的清洁针头储藏孔336。通过清洁针头储备盒331储备干净的清洁针头3128，当清洁针头3128需要更换时，中控装置4直接控制清洁针头储备盒331沿储备盒移动轴332移动至合适的位置，除尘模组移动至清洁针头储备盒331上方从而完成清洁针头3128的更换，提高清洁针头3128更换的便捷度。

如图1和图6所示，所述组件传送装置2包括组件传入装置21、组件传出装置22、组件传送轴23和组件传送载板24，所述组件传入装置21包括对称设置在组件传送轴23一端部两侧的入口支撑板211，所述两入口支撑板211形成组件传入口212，所述两入口支撑板211的顶部相对设有第一承托块213，所述第一承托块213靠近组件传入口212的一端设有第一传送轮214，所述第一传送轮214的顶部与第一承托块213处于同一水平线，所述第一传送轮214与第一传动电机215连接，所述组件传出装置22包括对称设置在组件传送轴23另一端部两侧的出口支撑板221，所述两出口支撑板221形成组件传出口222，所述两出口支撑板221的顶部相对设有第二承托块223，所述第二承托块223的两端均设有第二传动轮224，所述第二传动轮224与第二传动电机225连接，所述组件传送载板24的底部设有真空吸附装置241，所述组件传送载板24设有与真空吸附装置241连通的吸附孔242，所述组件传送载板24通过传送滑块243与组件传送轴23连接，所述传送滑块243通过设置在组件传动轴23一端的传送驱动装置25驱动。。以第一传送电机215驱动第一传送轮214转动，从而带动放置在入口支撑板211之间的产品向装置内部移动，到达组件传送载板24，通过组件传送载板24的真空吸附装置241将产品吸附在组件传送载板24上，通过传送驱动装置25驱动传送滑块243传送至组件传出装置22，第二传动电机225驱动第二传动轮224转动将吸附在组件传送载板24上的产品传送至出口支撑板221上，从而通过第二传动轮224转动的惯性使产品传输至组件传出口222，实现待清洁产品的运输和清洁后产品的传送，无需人工取放料，减少人工搬运产生的二次污染。

本发明还可根据生产工艺需求在机台上设置防尘罩，防尘罩顶部设置高效除尘过滤器，保证设备内部空气洁净度复合要求，中控装置4可设置在防尘罩6外部，并在防尘罩6上设有与中控装置4连接的显示屏7，方便监控设备各个部件参数。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制；凡本行业的普通技术人员均可按说明书附图所示和以上所述而顺畅地实施本发明；但是，凡熟悉本专业的技术人员在不脱离本发明技术方案范围内，可利用以上所揭示的技术内容而作出的些许更动、修饰与演变的等同变化，均为本发明的等效实施例；同时，凡依据本发明的实质技术对以上实施例所作的任何等同变化的更动、修饰与演变等，均仍属于本发明的技术方案的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种灰尘检测清洁装置，其特征在于：该装置设有机台，所述机台上并列设有检测装置和清洁装置，所述检测装置和清洁装置之间设有组件传送装置；

所述检测装置包括组件中转机构、组件移动机构、位置检测模块、灰尘检测机构和组件承载机构，所述组件中转机构和组件承载机构平行设置，所述灰尘检测机构设置在组件承载机构的一侧，所述组件移动机构垂直设置在组件中转机构和组件承载机构的上方，所述位置检测模块安装在组件移动机构上；

所述清洁装置包括除尘装置，所述除尘装置与组件移动机构平行设置；

所述检测装置、清洁装置和组件传送装置均通过中控装置控制。

2.根据权利要求1所述的灰尘检测清洁装置，其特征在于：所述灰尘检测机构包括固定架、异物检查相机和驱动异物检查相机上下移动的升降驱动装置，所述升降驱动装置固定在固定架上，所述升降驱动装置的一侧设有驱动连接板，所述驱动连接板上垂直设置相机安装平台，所述异物检查相机安装在相机安装平台上，所述安装平台下方设有与异物检查相机相适配的异物检查镜头，所述驱动连接板下端设有照明灯固定平台，所述照明灯固定平台下方设有照明灯。

3.根据权利要求2所述的灰尘检测清洁装置，其特征在于：所述组件承载机构设有X轴移动机构、Y轴移动机构和样品承载座，所述X轴移动机构移动设置在Y轴移动机构上，所述样品承载座移动设置在X轴移动机构上，所述Y轴移动机构设有Y移动轴，所述Y移动轴上设有Y轴移动载板，所述Y轴移动载板通过Y轴驱动装置驱动沿Y移动轴移动，所述X轴移动机构固定在Y轴移动载板上，所述X轴移动机构包括X移动轴，所述X移动轴上设有X轴移动载板，所述X轴移动载板通过X轴驱动装置驱动沿X移动轴移动，所述样品承载座安装在X轴移动载板上。

4.根据权利要求3所述的灰尘检测清洁装置，其特征在于：所述组件移动机构包括对称设置的支撑架，所述支撑架上端设有位置平移轴，所述位置平移轴上设有沿位置平移轴移动的组件搬送模组，所述位置平移轴的一端设有位置检测模块和驱动组件搬送模组移动的平移驱动装置，所述位置检测模块的安装高度大于或等于组件中转机构的高度。

5.根据权利要求4所述的灰尘检测清洁装置，其特征在于：所述组件搬送模组包括安装在位置平移轴上的平移滑块，所述平移滑块一侧设有安装固定板，所述安装固定板上设有真空气缸，所述真空气缸连接有负压吸附板，所述负压吸附板下方设有吸附孔。

6.根据权利要求4所述的灰尘检测清洁装置，其特征在于：所述组件中转机构包括组件移动轴，所述组件移动轴上设有组件中转平台，所述组件移动轴的一端设有驱动组件中转平台沿组件移动轴移动的移动驱动装置。

7.根据权利要求1所述的灰尘检测清洁装置，其特征在于：所述除尘装置包括除尘位移轴、除尘模组，所述除尘位移轴固定在机台上，所述除尘模组通过位移滑块与除尘位移轴移动连接，所述位移滑块通过位移驱动装置驱动移动，所述除尘模组包括驱动气缸，所述驱动气缸一侧安装有清洁头安装板，所述清洁头安装板下方设有旋转气缸，所述旋转气缸通过基座连接件与清洁基座连接，所述清洁基座下方通过吸取头与清洁针安装支架连接，所述清洁针安装支架下方设有清洁针头。

8.根据权利要求7所述的灰尘检测清洁装置，其特征在于：所述清洁针头下方设有清洁药水储备装置，所述清洁药水储备装置包括清洁药水承载平台、清洁药水瓶和清洁针头检测相机，所述清洁药水承载平台上设有清洁药水瓶，所述清洁药水瓶的瓶口中心位于清洁针头的下方，所述清洁药水瓶一侧设有瓶盖板，所述瓶盖板通过旋转气缸驱动旋转，所述清洁针头检测相机与清洁针头水平设置，所述清洁药水瓶另一侧设有光源灯。

9.根据权利要求8所述的灰尘检测清洁装置，其特征在于：所述清洁药水储备装置的一侧设有清洁针头储备装置，所述清洁针头储备装置包括清洁针头储备盒和储备盒移动轴，所述储备盒移动轴的两端通过移动轴固定架固定在机台上，所述清洁针头储备盒通过移动轴滑块与储备盒移动轴连接，所述移动轴滑块通过滑块驱动装置驱动移动，所述清洁针头储备盒设有若干个与清洁针头相适配的清洁针头储藏孔。

10.根据权利要求1所述的灰尘检测清洁装置，其特征在于：所述组件传送装置包括组件传入装置、组件传出装置、组件传送轴和组件传送载板，所述组件传入装置包括对称设置在组件传送轴一端部两侧的入口支撑板，所述两入口支撑板形成组件传入口，所述两入口支撑板的顶部相对设有第一承托块，所述第一承托块靠近组件传入口的一端设有第一传送轮，所述第一传送轮的顶部与第一承托块处于同一水平线，所述第一传送轮与第一传动电机连接，所述组件传出装置包括对称设置在组件传送轴另一端部两侧的出口支撑板，所述两出口支撑板形成组件传出口，所述两出口支撑板的顶部相对设有第二承托块，所述第二承托块的两端均设有第二传动轮，所述第二传动轮与第二传动电机连接，所述组件传送载板的底部设有真空吸附装置，所述组件传送载板设有与真空吸附装置连通的吸附孔，所述组件传送载板通过传送滑块与组件传送轴连接，所述传送滑块通过设置在组件传动轴一端的传送驱动装置驱动。