CN109974755A - 一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器及其制备 - Google Patents
一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器及其制备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109974755A CN109974755A CN201910274473.3A CN201910274473A CN109974755A CN 109974755 A CN109974755 A CN 109974755A CN 201910274473 A CN201910274473 A CN 201910274473A CN 109974755 A CN109974755 A CN 109974755A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fiber grating
- bare optical
- temperature
- pressure
- grating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title abstract description 6
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 claims abstract description 15
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 claims abstract description 15
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 claims abstract description 15
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 claims abstract description 15
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims abstract description 3
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 claims abstract description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 15
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 abstract description 2
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 abstract description 2
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 abstract description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 abstract 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000036541 health Effects 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000035807 sensation Effects 0.000 description 2
- 241000208340 Araliaceae Species 0.000 description 1
- 235000005035 Panax pseudoginseng ssp. pseudoginseng Nutrition 0.000 description 1
- 235000003140 Panax quinquefolius Nutrition 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 235000008434 ginseng Nutrition 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/353—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre
- G01D5/35306—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using an interferometer arrangement
- G01D5/35309—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using an interferometer arrangement using multiple waves interferometer
- G01D5/35316—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using an interferometer arrangement using multiple waves interferometer using a Bragg gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Abstract
本发明提供了一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器及其制备方法。所述传感器包括多条熔接在一起的裸光纤光栅,以及外封装层PDMS薄膜;所述熔接在一起的光纤光栅包括三条测温度,三条测压力以及三条测湿度的裸光纤光栅通道;所述外封装层包括将测量温度与压力的六处光纤光栅封装起来的高分子聚合物薄膜;本发明所用的高分子聚合物薄膜为有机硅,即聚二甲基硅氧烷,具有无毒、高透气性、疏水性、防水性高弹性,避免了湿度对温度压力测量的影响。所述每条通道的光纤光栅接头处分别引出,与宽带光源和探测头相连,有微小的温度压力湿度变化,就足以导致通道里的传播光波长的变化,采用光谱仪测量波长,从而检测出温度压力湿度的变化。
Description
技术领域
本发明涉及一种传感器,特别是一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器及其制备方法。
背景技术
常规传感器作为采集控制点数据的专业器件,常用的单一温度传感器单一压力传感器单一湿度计种类繁多。理想的温度压力湿度传感器应该具有成本低廉、制备简单和通用性强等特点。常规传感器在电力、汽车、家具、工业制造等行业具有广泛的应用前景,但是常规温度或压力或湿度传感器大都基于硬性材料制备而成,不适用于人体表面或具有不规则曲面的数据检测,存在加工成本高、流程复杂等问题。同时,常规的传感器大都相互分立单独测量,且单一测量一种参数或两种参数。一方面无法满足人们对多参数测量的需求,另一方面增加了后续设计成本。
综上,需要提供一种加工简易,成本低廉的同时满足多参数测量需求,可用于人体健康监测的柔性温度压力湿度传感器。
发明内容
为了满足现有技术的需要,本发明提供了一种实验室可行的基于光纤光栅原理的柔性多温度压力湿度传感器及其制备的方法。
本发明的技术方案是:
所述传感器包括测量温度、压力和湿度的三部分布拉格光纤光栅。所述柔性多参量传感器包括多条熔接在一起的布拉格光纤光栅,以及外封装层PDMS薄膜;所述熔接在一起的光纤光栅包括三条测温度的布拉格光纤光栅通道,三条测压力的布拉格光纤光栅通道以及三条测湿度的布拉格光纤光栅通道;所述外封装层包括将测量温度与压力的六处光纤光栅封装起来的PDMS薄膜;本发明所用的PDMS薄膜为有机硅,即聚二甲基硅氧烷,具有无毒、高透气性、疏水性、防水性高弹性,避免了湿度对温度压力测量的影响。所述每条通道的光纤光栅接头处分别引出,与宽带光源和探测头相连,有微小的温度压力湿度变化,就足以导致通道里的传播光波长的变化,采用光谱仪测量波长,从而检测出温度压力湿度的变化。
优选的,所述布拉格光纤光栅纤芯两侧长为300mm。
优选的,所述测量温度的三条布拉格光纤光栅竖排纵向分布位于左列,后一个与前一个相距4-5cm,如附图1所示。
优选的,所述测量压力的三条布拉格光纤光栅竖排纵向分布位于右列,后一个与前一个相距4-5cm,如附图1所示。
优选的,所述测量湿度的三条布拉格光纤光栅一条分布在两列中间位置的首端,另外两条对称分布在两列中间位置的尾端,左右分布,呈45°“八”字分布。
与现有技术相比,本发明的优异效果是:1.本发明的制作方法上运用了熔接技术以及光纤光栅原理,操作简单方便,原理易懂,测量数据单一,均为波长测量,便于计算和理解。
2.本发明的结构上可以实现多定点全方位多参数实时测量,测量得到的数据全面准确。
3.本发明的原材料上采用裸光纤光栅,成本低廉,可大规模生产;同时,裸光纤光栅可以实现柔性,完美与不规则表面如人体表面相贴合,应用在诸如智能可穿戴设备、电子皮肤等行业。
4.本发明的传感器制备方法为利用光纤熔接机将裸光纤光栅与探测头引线相熔接,并用PDMS薄膜将光纤光栅封装并固定,实现可以附着在织物上的柔性测量。
附图说明
下面结合附图对本发明进一步说明。
图1:本发明实施例中以测量足部健康参数为例,展示一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器结构分布示意图。
图2:本发明实施例中一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器结构立体剖面图。
其中,1:第一号温度光栅;2:第二号温度光栅;3:第三号温度光栅;4:第一号湿度光栅;5:第二号湿度光栅;6:第一号压力光栅;7:第二号压力光栅;8:第三号压力光栅;9:第三号温湿度光栅;10:PDMS薄膜。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例以足底的温度压力湿度参数以及传感器分布结构为例。实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的符号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。
本发明提供的一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器的实施例如图1所示,具体为:该传感器包括用做主体的九根裸布拉格光纤光栅和用作外封装层的PDMS薄膜,其中主体部分主要包括第一号温度光栅1、第二号温度光栅2、第三号温度光栅3、第一号湿度光栅4、第二号湿度光栅5、第一号压力光栅6、第二号压力光栅7、第三号压力光栅8和第三号湿度光栅9,外封装层是PDMS薄膜10。其中,第一号温度光栅1、第二号温度光栅2、第三号温度光栅3、第一号湿度光栅4位于左列,第三号压力光栅8、第二号压力光栅7、第一号压力光栅6、第二号湿度光栅5位于右列,四排光栅分为两列分别一一对应,呈对称分布,第三号湿度光栅9位于两列的首端中央位置,第一号湿度光栅4与第二号湿度光栅5对称分布在两列的尾端中央位置,左右分布,呈45°“八”字分布。PDMS薄膜10位于九根光纤光栅底部,同时将测量温度压力的六根布拉格光纤光栅外部封装起来。
本实施例中,将9根光纤光栅用光纤熔接机分别与探测头接头进行熔接。
将测量温度与压力的六根布拉格光纤光栅的纤芯部分进行封装,封装完进行各参数的标定测量,利用光谱仪分别单独测出不用温度压力湿度情况下的波长,计算出与之相对应的温度压力湿度参数,进行标定。
标定完成后,对传感器进行最后的外封装,对九根布拉格光纤光栅进行固定,同时以满足不规则表面温度压力的检测工况要求。
本实施例中,当温度变化时,温度光纤光栅中宽带光波长发生永久性改变,进而通过波长测量值的变化确定温度变化。
本实施例中,当压力改变时,压力光纤光栅中宽带光波长发生永久性改变,进而通过波长测量值的变化确定压力变化。
本实施例中,由于测量温度与压力的光纤光栅都由PDMS薄膜封装,故不会受到湿度改变的影响。
最后应当说明的是:所描述的实施例仅仅是对本发明的进一步解释,不代表本发明保护范围仅限于此,凡是以本发明的思路所做的等效替换均在本发明的保护范围。
Claims (3)
1.一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器,其特征在于:所述基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器包括多条熔接在一起的裸光纤光栅,以及外封装层PDMS薄膜;所述熔接在一起的光纤光栅包括三条测温度的裸光纤光栅通道,三条测压力的裸光纤光栅通道以及三条测湿度的裸光纤光栅通道;所述外封装层包括将测量温度与压力的六处光纤光栅封装起来的PDMS薄膜;所述PDMS薄膜为有机硅,即聚二甲基硅氧烷。
2.如权利要求1所述的一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器,其特征在于:所述光纤光栅是由裸布拉格光纤光栅与探测头熔接在一起的通道,保留主要部分以及两端接头,纤芯两端主要长为300mm。
3.如权利要求1所述的一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器,其特征在于:所述PDMS薄膜应封装在纤芯上,且测量温度与压力的六条布拉格光纤光栅的纤芯均加上PDMS薄膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910274473.3A CN109974755B (zh) | 2019-04-08 | 2019-04-08 | 一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器及其制备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910274473.3A CN109974755B (zh) | 2019-04-08 | 2019-04-08 | 一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器及其制备 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109974755A true CN109974755A (zh) | 2019-07-05 |
CN109974755B CN109974755B (zh) | 2021-07-30 |
Family
ID=67083332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910274473.3A Expired - Fee Related CN109974755B (zh) | 2019-04-08 | 2019-04-08 | 一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器及其制备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109974755B (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112212898A (zh) * | 2020-09-09 | 2021-01-12 | 山东科技大学 | 一种基于小尺寸分布式光纤传感阵列的智能皮肤 |
CN112641425A (zh) * | 2019-10-12 | 2021-04-13 | 四川大学 | 一种可穿戴柔性多参量传感器设计及制备 |
CN114018922A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-02-08 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种微纳光纤湿度传感器及其制备方法和应用 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004066194A1 (en) * | 2003-01-22 | 2004-08-05 | Nokia Corporation | Improved sensing arrangement |
CN102512185A (zh) * | 2011-12-16 | 2012-06-27 | 秦海琨 | 一种穿戴式足部健康测量方法 |
CN202451145U (zh) * | 2012-01-17 | 2012-09-26 | 北京奥飞搏世技术服务有限公司 | 基于光纤传感的煤层气井压力、温度监测*** |
CN202794029U (zh) * | 2012-08-14 | 2013-03-13 | 平湖波汇通信科技有限公司 | 一种湿度检测装置上用的光纤湿度传感器 |
WO2013144788A1 (en) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Technion Research And Development Foundation Ltd. | A platform unit for combined sensing of pressure, temperature and humidity |
CN204649334U (zh) * | 2015-04-30 | 2015-09-16 | 武汉理工大学 | 一种光纤光栅阵列传感器 |
CN105157892A (zh) * | 2015-04-30 | 2015-12-16 | 武汉理工大学 | 一种柔性分布力测量垫及其制作方法 |
CN106290251A (zh) * | 2016-08-03 | 2017-01-04 | 杭州美卜升医学科技有限公司 | 一种可变形光栅传感器及含其传感器的装置与应用 |
CN106568539A (zh) * | 2016-10-20 | 2017-04-19 | 上海交通大学 | 基于聚合物衬底的单片集成温湿压柔性传感器及制备方法 |
CN106595731A (zh) * | 2016-12-13 | 2017-04-26 | 山东大学 | 一种纤维复合材料热模压固化变形光纤监测装置及方法 |
CN106644156A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-05-10 | 北京信息科技大学 | 应用于真空环境温度测量的光纤光栅温度传感器 |
CN107121226A (zh) * | 2017-04-11 | 2017-09-01 | 东华大学 | 一种基于光纤光栅传感技术的服装压力舒适性的评价方法 |
CN107687817A (zh) * | 2017-07-20 | 2018-02-13 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种小型化柔性光纤光栅应变传感器 |
CN208333699U (zh) * | 2018-06-04 | 2019-01-04 | 南京邮电大学 | 一种基于pdms封装的高灵敏度光纤光栅温度传感器 |
-
2019
- 2019-04-08 CN CN201910274473.3A patent/CN109974755B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004066194A1 (en) * | 2003-01-22 | 2004-08-05 | Nokia Corporation | Improved sensing arrangement |
CN102512185A (zh) * | 2011-12-16 | 2012-06-27 | 秦海琨 | 一种穿戴式足部健康测量方法 |
CN202451145U (zh) * | 2012-01-17 | 2012-09-26 | 北京奥飞搏世技术服务有限公司 | 基于光纤传感的煤层气井压力、温度监测*** |
WO2013144788A1 (en) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Technion Research And Development Foundation Ltd. | A platform unit for combined sensing of pressure, temperature and humidity |
CN202794029U (zh) * | 2012-08-14 | 2013-03-13 | 平湖波汇通信科技有限公司 | 一种湿度检测装置上用的光纤湿度传感器 |
CN105157892A (zh) * | 2015-04-30 | 2015-12-16 | 武汉理工大学 | 一种柔性分布力测量垫及其制作方法 |
CN204649334U (zh) * | 2015-04-30 | 2015-09-16 | 武汉理工大学 | 一种光纤光栅阵列传感器 |
CN106290251A (zh) * | 2016-08-03 | 2017-01-04 | 杭州美卜升医学科技有限公司 | 一种可变形光栅传感器及含其传感器的装置与应用 |
CN106568539A (zh) * | 2016-10-20 | 2017-04-19 | 上海交通大学 | 基于聚合物衬底的单片集成温湿压柔性传感器及制备方法 |
CN106644156A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-05-10 | 北京信息科技大学 | 应用于真空环境温度测量的光纤光栅温度传感器 |
CN106595731A (zh) * | 2016-12-13 | 2017-04-26 | 山东大学 | 一种纤维复合材料热模压固化变形光纤监测装置及方法 |
CN107121226A (zh) * | 2017-04-11 | 2017-09-01 | 东华大学 | 一种基于光纤光栅传感技术的服装压力舒适性的评价方法 |
CN107687817A (zh) * | 2017-07-20 | 2018-02-13 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种小型化柔性光纤光栅应变传感器 |
CN208333699U (zh) * | 2018-06-04 | 2019-01-04 | 南京邮电大学 | 一种基于pdms封装的高灵敏度光纤光栅温度传感器 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
HO DH等: "Stretchable and Multimodal All Graphene Electronic Skin", 《ADVANCED MATERIALS》 * |
张智禹: "光纤光栅传感器封装技术的研究", 《中国优秀硕士论文全文数据库 信息科技辑》 * |
郭婷等: "FBG传感对应变,温度及湿度的同时测量", 《压电与声光》 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112641425A (zh) * | 2019-10-12 | 2021-04-13 | 四川大学 | 一种可穿戴柔性多参量传感器设计及制备 |
CN112212898A (zh) * | 2020-09-09 | 2021-01-12 | 山东科技大学 | 一种基于小尺寸分布式光纤传感阵列的智能皮肤 |
CN114018922A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-02-08 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种微纳光纤湿度传感器及其制备方法和应用 |
CN114018922B (zh) * | 2021-11-04 | 2024-05-24 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种微纳光纤湿度传感器及其制备方法和应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109974755B (zh) | 2021-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109974755A (zh) | 一种基于光纤光栅原理的柔性多参量传感器及其制备 | |
CN105953940B (zh) | 光纤光栅的温度、湿度和风速一体化复合传感*** | |
CN106595731B (zh) | 一种纤维复合材料热模压固化变形光纤监测装置及方法 | |
CN105352554B (zh) | 一种光纤光栅pH/温度传感器及制备方法和探测*** | |
CN105066898B (zh) | 一种表贴式光纤光栅应变传感器的标定方法 | |
CN206248102U (zh) | 一种纤维复合材料热模压固化变形光纤监测装置 | |
CN104888293B (zh) | 基于光纤光栅的可植入轴流式血泵温度检测***和方法 | |
CN113503917A (zh) | 一种基于微纳光纤的柔性温度和压力传感器 | |
CN205262638U (zh) | 用于对温度和应变同时测量的双芯光子晶体光纤传感器 | |
CN103398800A (zh) | 一种用于大型结构体准分布式光纤光栅温度应变测量*** | |
CN107941306B (zh) | 一种改进型双光纤光栅封装的液位传感器及液位测量方法 | |
CN103076108A (zh) | 一种基于fbg的新型电力电缆导体温度测量传感器 | |
CN110726681A (zh) | 用于温湿度、pH值检测的一体式光纤布拉格光栅传感器 | |
CN203303037U (zh) | 一种测量人体温度及呼吸频率光纤光栅传感器 | |
Xu et al. | Temperature-insensitive fiber-optic contact force sensor for steerable catheters | |
CN107702659A (zh) | 碳纤维预浸料封装的分布式温度‑应变传感器及制作方法 | |
CN110074772A (zh) | 一种预校准颅内压探头 | |
CN205958155U (zh) | 一种温度不敏感压力传感器 | |
CN105784758A (zh) | 一种测定纤维导热系数的方法 | |
CN106482658B (zh) | 一种光纤应变系数自动标定方法 | |
CN211602899U (zh) | 用于温湿度、pH值检测的一体式光纤布拉格光栅传感器及传感装置 | |
EP0464128B1 (en) | A conductivity or capacity cell and a method for producing the same and a probe including such a cell and a method for measuring of relative humidity with such a probe | |
CN105157873B (zh) | 圆环式光纤光栅温度传感器及封装方法 | |
CN103852190B (zh) | 一种测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器 | |
CN211717557U (zh) | 一种基于光纤光栅压力传感阵列的液位检测*** |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20210730 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |