CN109886438A - 一种射频电源的维修检测方法 - Google Patents

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陈杰
刘锐
徐美前
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Abstract

本发明公开了一种射频电源的维修检测方法,具体包括以下步骤:1)预先对产品的外观进行检测;2)维修前需要对各个连接口进行检查和测试步骤;3)按照电源模块、放大模块、控制模块的三个模块化分解作业并进行各个模块中零部件损害的检测步骤;4)根据步骤3的检测结果自动生成报告并联系客户;5)依据客户要求进行维修;6)拆解维修产品作业步骤;7)根据需要维修的零部件搜索零配件供应方;8)获取需要维修的零部件,并进行组合维修;9)对电源模块、放大模块、控制模块的三个模块进行一一测试,符合要求后,跳入步骤10;否,跳入步骤7;10)对整机安装进行测试,符合要求后,制作维修报告,并进行保存,然后交机;否,跳入步骤7。本发明提高生产效率。

Description

一种射频电源的维修检测方法
技术领域
本发明涉及一种维修检测方法的技术领域,尤其是一种射频电源的维修检测方法。
背景技术
射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中。现代的射频电源有了长足发展,由八十年代的电子管电源一步步的发展成现在的晶体管射频电源,功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦,频率有2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz/40.68Mhz等,而应用也从以前的真空领域扩展到其他领域,半导体、美容等。随着射频电源的不断发展,射频电源的好坏直接影响了其他设备的供电性能,因此在射频电源出现故障时需要返厂维修,并进行检测最终确保产品是否合格,但是目前的维修检测是通过工人直接检测射频电源的性能,无法与对应需要配套的产品进行联系,最终导致产品兼容性差,且无法满足客户的定制化需求又不能保障维修品出货的品质标准,且在维修时进行统一整体检测,导致工作效率低,同时在维修过程中需要根据不同机型选择不同维修方法,导致效率低下。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述现有技术的不足而提供一种提高产品质量,满足客户需求的射频电源的维修检测方法。
为了实现上述目的,本发明所设计的一种射频电源的维修检测方法,具体包括以下步骤:
1)预先对产品的外观进行检测;
2)维修前需要对各个连接口进行检查和测试步骤;
3)按照电源模块、放大模块、控制模块的三个模块化分解作业并进行各个模块中零部件损害的检测步骤;
4)根据步骤3的检测结果自动生成报告并联系客户;
5)依据客户要求进行维修;
6)拆解维修产品作业步骤;
7)根据需要维修的零部件搜索零配件供应方;
8)获取需要维修的零部件,并进行组合维修;
9)对电源模块、放大模块、控制模块的三个模块进行一一测试,符合要求后,跳入步骤10;否,跳入步骤7;
10)对整机安装进行测试,符合要求后,制作维修报告,并进行保存,然后交机;否,跳入步骤7。
进一步,在步骤2中加入步骤11,获取产品型号,根据产品型号搜索预先储存的产品维修方案,然后调取对应产品型号的产品维修方案。
进一步,所述产品维修方案是预先根据所有产品型号定制的维修方案。
进一步,所述产品维修方案中包含产品型号、对应的接口信号要求、产品二维码。
进一步,所述产品二维码中包含产品的生产日期、厂家、维修次数。
进一步,在步骤10中对生成的维修报告进行加密算法处理,然后发送给客户。
进一步,在步骤10中的加密算法采用MD5加密算法。
进一步,在步骤1前加入步骤12,对维修产品前的使用用户进行认证,具体步骤如下:
A)开始解锁:跳出矩阵文字图像界面,开始进行解锁图形,通过触摸文字图像点选中并按触摸顺序进行组合构成解锁图形并保存;
B)解锁图形完成后,开始进行解锁二进制,通过依次按音量 + 键、音量-键并进行组合构成二进制并保存;
C)判断上述步骤A构成的解锁图形以及步骤B构成的二进制是否正确;通过将输入的解锁图案与设置保存的解锁文字图形进行匹配,一旦匹配成功;
D)进入主步骤1;如有其中的一方不能够匹配;提示用户认证失败,重新进入步骤A;
E)判断认证次数,若超过预设值,跳出***,若未超出预设值,重新进入步骤A。
进一步,在步骤A中所述的解锁图形在后台能够更换。
进一步,在步骤A中的触摸文字图像点能够自动随机更换显示位置。
本发明得到的一种射频电源的维修检测方法,与现有技术相比具有以下优点:
1、射频电源的维修提供了统一的步骤和方法指导,便于对所有维修机型进行管理,并提高生产效率;
2、既满足客户的定制化需求又能保障维修品出货的品质标准;
3、且通过分离测试的方法进行创新,能够高效的排除射频电源个部分之间的干扰,迅速的缩小射频电源的故障范围,快速锁定故障点,大大提高维修效率及可靠性。
附图说明
图1是实施例1中一种射频电源的维修检测方法的流程示意图;
图2是实施例2中一种射频电源的维修检测方法的流程示意图;
图3是实施例3中一种射频电源的维修检测方法的流程示意图。
具体实施方式
下面结合实施例对发明创造作进一步说明。
实施例1:
如图1所示,本实施例提供的一种射频电源的维修检测方法,具体包括以下步骤:
1)预先对产品的外观进行检测;
2)维修前需要对各个连接口进行检查和测试步骤;
3)按照电源模块、放大模块、控制模块的三个模块化分解作业并进行各个模块中零部件损害的检测步骤;
4)根据步骤3的检测结果自动生成报告并联系客户;
5)依据客户要求进行维修;
6)拆解维修产品作业步骤;
7)根据需要维修的零部件搜索零配件供应方;
8)获取需要维修的零部件,并进行组合维修;
9)对电源模块、放大模块、控制模块的三个模块进行一一测试,符合要求后,跳入步骤10;否,跳入步骤7;
10)对整机安装进行测试,符合要求后,制作维修报告,并进行保存,然后交机;否,跳入步骤7。
实施例2:
如图2所示,本实施例提供的一种射频电源的维修检测方法,进一步,在步骤2中加入步骤11,获取产品型号,根据产品型号搜索预先储存的产品维修方案,然后调取对应产品型号的产品维修方案。
进一步,所述产品维修方案是预先根据所有产品型号定制的维修方案。
进一步,所述产品维修方案中包含产品型号、对应的接口信号要求、产品二维码。
进一步,所述产品二维码中包含产品的生产日期、厂家、维修次数。
进一步,在步骤10中对生成的维修报告进行加密算法处理,然后发送给客户。
进一步,在步骤10中的加密算法采用MD5加密算法。
实施例3:
如图3所示,本实施例提供的一种射频电源的维修检测方法,进一步,在步骤1前加入步骤12,对维修产品前的使用用户进行认证,具体步骤如下:
A)开始解锁:跳出矩阵文字图像界面,开始进行解锁图形,通过触摸文字图像点选中并按触摸顺序进行组合构成解锁图形并保存;
B)解锁图形完成后,开始进行解锁二进制,通过依次按音量 + 键、音量-键并进行组合构成二进制并保存;
C)判断上述步骤A构成的解锁图形以及步骤B构成的二进制是否正确;通过将输入的解锁图案与设置保存的解锁文字图形进行匹配,一旦匹配成功;
D)进入主步骤1;如有其中的一方不能够匹配;提示用户认证失败,重新进入步骤A;
E)判断认证次数,若超过预设值,跳出***,若未超出预设值,重新进入步骤A。
进一步,在步骤A中所述的解锁图形在后台能够更换。
进一步,在步骤A中的触摸文字图像点能够自动随机更换显示位置。
本实施例与现有技术相比具有以下优点:
1、射频电源的维修提供了统一的步骤和方法指导,便于对所有维修机型进行管理,并提高生产效率;
2、既满足客户的定制化需求又能保障维修品出货的品质标准;
3、且通过分离测试的方法进行创新,能够高效的排除射频电源个部分之间的干扰,迅速的缩小射频电源的故障范围,快速锁定故障点,大大提高维修效率及可靠性。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种射频电源的维修检测方法,其特征在于:具体包括以下步骤:
预先对产品的外观进行检测;
维修前需要对各个连接口进行检查和测试步骤;
按照电源模块、放大模块、控制模块的三个模块化分解作业并进行各个模块中零部件损害的检测步骤;
根据步骤3的检测结果自动生成报告并联系客户;
依据客户要求进行维修;
拆解维修产品作业步骤;
根据需要维修的零部件搜索零配件供应方;
获取需要维修的零部件,并进行组合维修;
对电源模块、放大模块、控制模块的三个模块进行一一测试,符合要求后,跳入步骤10;否,跳入步骤7;
对整机安装进行测试,符合要求后,制作维修报告,并进行保存,然后交机;否,跳入步骤7。
2.根据权利要求1所述的一种射频电源的维修检测方法,其特征在于,在步骤2中加入步骤11,获取产品型号,根据产品型号搜索预先储存的产品维修方案,然后调取对应产品型号的产品维修方案。
3.根据权利要求2所述的一种射频电源的维修检测方法,其特征在于,所述产品维修方案是预先根据所有产品型号定制的维修方案。
4.根据权利要求2或3所述的一种射频电源的维修检测方法,其特征在于,所述产品维修方案中包含产品型号、对应的接口信号要求、产品二维码。
5.根据权利要求4所述的一种射频电源的维修检测方法,其特征在于,所述产品二维码中包含产品的生产日期、厂家、维修次数。
6.根据权利要求1或2或3所述的一种射频电源的维修检测方法,其特征在于,在步骤10中对生成的维修报告进行加密算法处理,然后发送给客户。
7.根据权利要求6所述的一种射频电源的维修检测方法,其特征在于,在步骤10中的加密算法采用MD5加密算法。
8.根据权利要求1或2所述的一种射频电源的维修检测方法,其特征在于,在步骤1前加入步骤12,对维修产品前的使用用户进行认证,具体步骤如下:
开始解锁:跳出矩阵文字图像界面,开始进行解锁图形,通过触摸文字图像点选中并按触摸顺序进行组合构成解锁图形并保存;
解锁图形完成后,开始进行解锁二进制,通过依次按音量 + 键、音量-键并进行组合构成二进制并保存;
判断上述步骤A构成的解锁图形以及步骤B构成的二进制是否正确;通过将输入的解锁图案与设置保存的解锁文字图形进行匹配,一旦匹配成功;
进入主步骤1;如有其中的一方不能够匹配;提示用户认证失败,重新进入步骤A;
判断认证次数,若超过预设值,跳出***,若未超出预设值,重新进入步骤A。
9.根据权利要求8所述的一种射频电源的维修检测方法,其特征在于,在步骤A中所述的解锁图形在后台能够更换。
10.根据权利要求8所述的一种射频电源的维修检测方法,其特征在于,在步骤A中的触摸文字图像点能够自动随机更换显示位置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117639281A (zh) * 2024-01-26 2024-03-01 江苏神州半导体科技有限公司 一种射频电源的带载监测保护方法及***

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102323852A (zh) * 2011-08-22 2012-01-18 迈普通信技术股份有限公司 一种模块化电源及其状态及功率检测装置和方法
CN103014660A (zh) * 2012-12-14 2013-04-03 广东志成冠军集团有限公司 Pecvd镀膜装置及其射频电源与真空腔体的连接装置
WO2013136796A1 (ja) * 2012-03-14 2013-09-19 東京エレクトロン株式会社 太陽電池モジュールの効能監視システム及びその監視方法
JP2013252037A (ja) * 2012-06-04 2013-12-12 Sharp Corp 電力管理システムおよび電力管理装置の制御方法
CN103487764A (zh) * 2012-06-13 2014-01-01 上海唐盛信息科技有限公司 一种电源模块的维修方法
CN108234038A (zh) * 2018-01-09 2018-06-29 成都普诺科技有限公司 一种多功能模块测试***
CN108470193A (zh) * 2018-03-27 2018-08-31 国网河北省电力有限公司电力科学研究院 电能表故障诊断方法、***及终端设备
CN208014004U (zh) * 2018-04-11 2018-10-26 江苏网域科技有限公司 一种设备故障管理***
CN208076687U (zh) * 2018-03-27 2018-11-09 陕西省电子技术研究所 一种用于电源模块的老练测试工装
CN108959898A (zh) * 2018-07-02 2018-12-07 兰州交通大学 一种基于图形加算法的图形解锁密码认证方法
WO2019017504A1 (ko) * 2017-07-18 2019-01-24 이상훈 웨이퍼 레벨에서 온도 및 알에프 특성 모니터링이 가능한 알에프 파워 소자
CN109344982A (zh) * 2018-10-10 2019-02-15 海南安桥网络科技有限公司 一种用于汽车维修门店的互联网营销交易管理***
CN109975722A (zh) * 2019-03-17 2019-07-05 江苏神州半导体科技有限公司 一种射频电源的检测方法

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102323852A (zh) * 2011-08-22 2012-01-18 迈普通信技术股份有限公司 一种模块化电源及其状态及功率检测装置和方法
WO2013136796A1 (ja) * 2012-03-14 2013-09-19 東京エレクトロン株式会社 太陽電池モジュールの効能監視システム及びその監視方法
JP2013252037A (ja) * 2012-06-04 2013-12-12 Sharp Corp 電力管理システムおよび電力管理装置の制御方法
CN103487764A (zh) * 2012-06-13 2014-01-01 上海唐盛信息科技有限公司 一种电源模块的维修方法
CN103014660A (zh) * 2012-12-14 2013-04-03 广东志成冠军集团有限公司 Pecvd镀膜装置及其射频电源与真空腔体的连接装置
WO2019017504A1 (ko) * 2017-07-18 2019-01-24 이상훈 웨이퍼 레벨에서 온도 및 알에프 특성 모니터링이 가능한 알에프 파워 소자
CN108234038A (zh) * 2018-01-09 2018-06-29 成都普诺科技有限公司 一种多功能模块测试***
CN108470193A (zh) * 2018-03-27 2018-08-31 国网河北省电力有限公司电力科学研究院 电能表故障诊断方法、***及终端设备
CN208076687U (zh) * 2018-03-27 2018-11-09 陕西省电子技术研究所 一种用于电源模块的老练测试工装
CN208014004U (zh) * 2018-04-11 2018-10-26 江苏网域科技有限公司 一种设备故障管理***
CN108959898A (zh) * 2018-07-02 2018-12-07 兰州交通大学 一种基于图形加算法的图形解锁密码认证方法
CN109344982A (zh) * 2018-10-10 2019-02-15 海南安桥网络科技有限公司 一种用于汽车维修门店的互联网营销交易管理***
CN109975722A (zh) * 2019-03-17 2019-07-05 江苏神州半导体科技有限公司 一种射频电源的检测方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
马梅彦: "射频电源研究综述", 《电子测量技术》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117639281A (zh) * 2024-01-26 2024-03-01 江苏神州半导体科技有限公司 一种射频电源的带载监测保护方法及***
CN117639281B (zh) * 2024-01-26 2024-03-29 江苏神州半导体科技有限公司 一种射频电源的带载监测保护方法及***

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