CN109680278A - 一种fmm金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法 - Google Patents
一种fmm金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109680278A CN109680278A CN201910142687.5A CN201910142687A CN109680278A CN 109680278 A CN109680278 A CN 109680278A CN 201910142687 A CN201910142687 A CN 201910142687A CN 109680278 A CN109680278 A CN 109680278A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sheet metal
- etching
- fmm
- fmm sheet
- vertical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 179
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 179
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 177
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 49
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims abstract description 29
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 38
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 26
- 210000000481 breast Anatomy 0.000 claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M iron chloride Chemical compound [Cl-].[Fe] FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- 238000007665 sagging Methods 0.000 claims 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 68
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 8
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000013019 agitation Methods 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 229920001621 AMOLED Polymers 0.000 description 1
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010057855 Hypotelorism of orbit Diseases 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005660 chlorination reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N iron nickel Chemical compound [Fe].[Ni] UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-RNFDNDRNSA-N iron-60 Chemical compound [60Fe] XEEYBQQBJWHFJM-RNFDNDRNSA-N 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/10—Etching compositions
- C23F1/14—Aqueous compositions
- C23F1/16—Acidic compositions
- C23F1/28—Acidic compositions for etching iron group metals
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
本发明公开了一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法，蚀刻装置包括装有蚀刻液的蚀刻容器、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构；所述蚀刻容器上开设有进料槽与出料槽。本发明将整个FMM金属薄板的蚀刻装置呈竖直式排布，便于蚀刻液的注入与排出，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构，可减少蚀刻液在FMM金属薄板两面的滞留，进而改善蚀刻液滞留造成的蚀刻不均匀等现象，有利于改善FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性。
Description
技术领域
本发明涉及FMM金属薄板技术领域，具体是一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法。
背景技术
目前高阶手机使用的AMOLED面板的主要生产方法是采用真空蒸镀，而真空蒸镀必须用到精细金属遮罩FMM金属薄板，FMM金属薄板的材料主要是一种低膨胀金属。
一般FMM金属薄板使用因瓦金属(invar)制得，因瓦金属的成分主要为含36％镍的铁属合金，FMM金属薄板的厚度很薄，大约在20-30um。而很薄的因瓦金属生产困难、供应有限，一般都被国外企业限定只卖给特定公司，因此，在市场上只能买到厚度较厚的因瓦金属，为制得满足使用需求的、较薄的FMM金属薄板，急需一种可控的减薄装置与方法对较厚因瓦金属进行加工，以制得满足使用需求的FMM金属薄板。
发明内容
本发明的目的在于提供一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构；所述蚀刻容器上开设有进料槽与出料槽；
FMM金属薄板通过所述传送机构在蚀刻容器内呈凹字形或L形布置，并在传送机构带动下垂直通过所述进料槽进入蚀刻容器内、在传送机构带动下垂直通过所述出料槽输出蚀刻容器；
在蚀刻容器内呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设有喷液机构。
将FMM金属薄板的两端分别与传送机构固定连接、并使得FMM金属薄板在传送机构的带动下垂直通过进料槽进入蚀刻容器、经蚀刻后垂直通过出料槽输出蚀刻容器，实现对FMM金属薄板的平稳传送，确保FMM金属薄板蚀刻的均匀性，有效提高FMM金属薄板的蚀刻质量，满足使用需求。
具体使用时，在蚀刻容器内灌装一定量的蚀刻液，使得FMM金属薄板缠绕于传送机构并在蚀刻容器的蚀刻液中呈凹字形或L形布置，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构。在蚀刻过程中，喷液机构以一定的角度、一定的压力以及一定的速度喷出蚀刻液，实现对蚀刻容器内蚀刻液的搅动、并使得蚀刻液通过搅动产生紊流，进而实现对FMM金属薄板两面的均匀蚀刻。
设置在蚀刻容器内的喷液机构对称设置于FMM金属薄板呈竖直方向布置的两侧，且喷液机构可沿着竖直方向上下移动，喷液机构喷出的蚀刻液角度、压力以及速度均控制在一定范围内，并可根据具体使用需求进行调整，进一步确保对FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性，提高FMM金属薄板的蚀刻质量；将整个FMM金属薄板的蚀刻装置呈竖直式排布，便于蚀刻液的注入与排出，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构，可减少蚀刻液在FMM金属薄板两面的滞留，进而改善蚀刻液滞留造成的蚀刻不均匀等现象，有利于改善FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性。
作为本发明进一步的方案：所述喷液机构包括关于呈竖直方向布置的FMM金属薄板对称设置的左喷洒矩阵与右喷洒矩阵，左喷洒矩阵与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离、右喷洒矩阵与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离均为X；
所述距离X的取值范围为10cm≤X≤35cm。
作为本发明进一步的方案：所述左喷洒矩阵与所述右喷洒矩阵均包括在蚀刻液中竖直布置的固定支架、沿着所述固定支架上下移动的移动支架、以及设置于移动支架左表面或右表面的喷嘴；
所述移动支架与所述固定支架相互垂直。
作为本发明进一步的方案：两相邻所述喷嘴之间的间距Δh与所述喷嘴和FMM金属薄板之间的水平距离X之间存在Δh:X＝4:3的关系。
作为本发明进一步的方案：所述喷嘴为可摇摆式喷嘴；
所述喷嘴的摆动角度为α、且所述摆动角度α的取值范围为50°≤α≤130°。
作为本发明进一步的方案：当FMM金属薄板在蚀刻容器内呈凹字形布置时，所述进料槽与所述出料槽对称开设于蚀刻容器的上表面；
当FMM金属薄板在蚀刻容器内L形布置时，所述进料槽开设于蚀刻容器的上表面、所述出料槽开设于蚀刻容器的一侧面。
作为本发明进一步的方案：当FMM金属薄板在蚀刻容器内呈凹字形布置时，所述传送机构包括设置于进料槽上方的进料轮与进料支撑轮、设置于出料槽上方的出料轮与出料支撑轮、以及设置于蚀刻容器中的两中间轮，所述进料支撑轮与浸在蚀刻液中的其中一中间轮位于同一竖直线上、所述出料支撑轮与浸在蚀刻液中的另一中间轮位于同一竖直线上；
当FMM金属薄板在蚀刻容器内呈L形布置时，所述传送机构包括设置于进料槽上方的进料轮与进料支撑轮、设置于出料槽外侧的出料轮与出料支撑轮、以及设置于蚀刻容器中的中间轮，所述中间轮与所述进料支撑轮位于同一竖直线上、且所述中间轮与所述出料支撑轮位于同一水平线上。
本发明还提供了如下技术方案：
一种FMM金属薄板竖直式蚀刻装置的蚀刻方法，包括如下步骤：
(1)将FMM金属薄板通过传送机构在蚀刻容器内呈凹字形或L形布置、使得FMM金属薄板的下部浸入蚀刻容器的蚀刻液中；
(2)开启竖直式蚀刻装置的传送机构，并将FMM金属薄板的进料速度控制在0.2～0.4m/s范围内；
(3)开启喷液机构，并控制喷液机构的喷嘴压力在1.5～2kg/cm2范围内。
将FMM金属薄板的首端与设置于进料槽上方的进料轮相连、末端与设置于出料槽外侧的出料轮相连，并将FMM金属薄板的中间段依次缠绕于进料支撑轮、中间轮、以及出料支撑轮，使得FMM金属薄板在蚀刻容器的蚀刻液中呈凹字形或L形布置、并使得FMM金属薄板的下部浸入蚀刻容器的蚀刻液中。
具体使用时，开启传送机构实现FMM金属薄板的匀速进料，并将FMM金属薄板的进料速度控制在0.2～0.4m/s范围内，在一定程度上消除因进料速度过大造成FMM金属薄板两面蚀刻的不充分，同时，避免因进料速度过小造成FMM金属薄板蚀刻的效率低下；在蚀刻过程中，将喷液机构的喷嘴压力控制在1.5～2kg/cm2范围内，避免因喷嘴压力过大造成的FMM金属薄板两面蚀刻过度，以及喷嘴压力过小造成的FMM金属薄板两面蚀刻不充分，进而确保FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性，提高FMM金属薄板的蚀刻质量。
作为本发明进一步的方案：所述步骤(1)中，蚀刻容器中的蚀刻液按重量包含氯化铁60％～80％、盐酸2％～10％、水20％～39％；
所述蚀刻液体积V0与所述蚀刻容器总体积V之间存在0.8V≤V0≤0.9V的关系。
作为本发明进一步的方案：所述步骤(2)中，将FMM金属薄板的进料速度控制在0.2～0.4m/s范围内，使得FMM金属薄板的料带张力为60～70N；
所述步骤(3)中，喷液机构在使用前先用浓度为1％～30％的稀盐酸进行冲洗。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
(1)在蚀刻容器内灌装一定量的蚀刻液，使得FMM金属薄板缠绕于传送机构并在蚀刻容器的蚀刻液中呈凹字形或L形布置，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构，通过喷液机构实现对蚀刻容器内蚀刻液的搅动、并使得蚀刻液通过搅动产生紊流，进而实现对FMM金属薄板两面的均匀蚀刻；
(2)喷液机构对称设置于FMM金属薄板呈竖直方向布置的两侧，且喷液机构可沿着竖直方向上下移动，喷液机构喷出的蚀刻液角度、压力以及速度均控制在一定范围内，并可根据具体使用需求进行调整，进一步确保对FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性，提高FMM金属薄板的蚀刻质量；
(3)将整个FMM金属薄板的蚀刻装置呈竖直式排布，便于蚀刻液的注入与排出，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构，可减少蚀刻液在FMM金属薄板两面的滞留，进而改善蚀刻液滞留造成的蚀刻不均匀等现象，有利于改善FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性；
(4)通过控制蚀刻容器中蚀刻液的量、FMM金属薄板的进料速度在0.2～0.4m/s范围内、FMM金属薄板的料带张力为60～70N、以及喷液机构的喷嘴压力在1.5～2kg/cm2范围内，可稳定调控FMM金属薄板的蚀刻减薄厚度，保证FMM金属薄板的蚀刻减薄效果。
附图说明
图1为本发明具体实施例一的结构示意图；
图2为本发明具体实施例二的结构示意图；
图3为本发明左喷洒矩阵或右喷洒矩阵的侧面结构示意图。
图中：
1-蚀刻容器、11-进料槽、12-出料槽；
2-传送机构、21-进料轮、22-进料支撑轮、23-中间轮、24-出料轮、25-出料支撑轮；
3-喷液机构、31-左喷洒矩阵、32-右喷洒矩阵、301-固定支架、302-移动支架、303-喷嘴。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器1、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构2；所述蚀刻容器1上开设有进料槽11与出料槽12；
FMM金属薄板通过所述传送机构2在蚀刻容器1内呈凹字形或L形布置，并在传送机构2带动下垂直通过所述进料槽11进入蚀刻容器1内、在传送机构2带动下垂直通过所述出料槽12输出蚀刻容器1；
在蚀刻容器1内呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设有喷液机构3。
具体实施例一
请参阅图1，当FMM金属薄板在蚀刻容器1内呈凹字形布置时，所述进料槽11与所述出料槽12对称开设于蚀刻容器1的上表面，进料槽11与出料槽12分别靠近蚀刻容器1上表面的两端处，在一定程度上确保了FMM金属薄板在蚀刻液内浸润的长度，进而提高了FMM金属薄板的蚀刻效率。
当FMM金属薄板在蚀刻容器1内呈凹字形布置时，所述传送机构2包括设置于进料槽上方的进料轮21与进料支撑轮22、设置于出料槽上方的出料轮24与出料支撑轮25、以及设置于蚀刻容器中的两中间轮23，所述进料支撑轮22与浸在蚀刻液中的其中一中间轮23位于同一竖直线上、所述出料支撑轮25与浸在蚀刻液中的另一中间轮23位于同一竖直线上。在使用时，FMM金属薄板的首端与进料轮21相连接，并依次缠绕于进料支撑轮22、与进料支撑轮22位于同一竖直线上的一中间轮23、与出料支撑轮25位于同一竖直线上的另一中间轮23、以及出料支撑轮25，最终，FMM金属薄板的末端与出料轮24相连接，使得FMM金属薄板在经蚀刻装置进行蚀刻过程中，在蚀刻容器1内的中间段呈凹字形布置，且FMM金属薄板在传送机构2带动下平稳传送。
当FMM金属薄板在蚀刻容器1内呈凹字形布置时，FMM金属薄板位于进料槽11下方呈竖直方向布置的两侧对称设有喷液机构3、位于出料槽12下方呈竖直方向布置的两侧也对称设有喷液机构3。具体使用时，两喷液机构3同时启动，喷液机构3喷出的蚀刻液冲击FMM金属薄板的两面、并使得蚀刻容器1内的蚀刻液形成紊流，进一步对FMM金属薄板的两面进行冲击，实现对FMM金属薄板的两面进行蚀刻。在蚀刻容器1内呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧均分别对称设置一喷液机构3，沿着竖直方向布置的喷液机构3，可有效改善FMM金属薄板两面蚀刻液的排水性，避免积水效应造成FMM金属薄板两面的蚀刻不均匀，确保FMM金属薄板两面的蚀刻效果。
具体实施例二
请参阅图2，当FMM金属薄板在蚀刻容器1内L形布置时，所述进料槽11开设于蚀刻容器1的上表面、所述出料槽12开设于蚀刻容器1的一侧面。进料槽11开设于蚀刻容器1上表面靠近一端处、出料槽12开设于蚀刻容器1远离进料槽11一侧面的靠近下端处，在一定程度上增长了FMM金属薄板在蚀刻容器1内的浸润长度，提高了FMM金属薄板的蚀刻效率。
当FMM金属薄板在蚀刻容器1内呈L形布置时，所述传送机构2包括设置于进料槽上方的进料轮21与进料支撑轮22、设置于出料槽外侧的出料轮24与出料支撑轮25、以及设置于蚀刻容器中的中间轮23，
所述中间轮23与所述进料支撑轮22位于同一竖直线上、且所述中间轮23与所述出料支撑轮25位于同一水平线上。在使用时，FMM金属薄板的首端与进料轮21相连接，并依次缠绕于进料支撑轮22、与进料支撑轮22位于同一竖直线并与出料支撑轮25位于同一水平线上的中间轮23、以及出料支撑轮25，FMM金属薄板的末端与出料轮24相连接，最终使得FMM金属薄板在经蚀刻装置进行蚀刻过程中，在蚀刻容器1内的中间段呈L形布置，且FMM金属薄板在传送机构2带动下平稳传送。
当FMM金属薄板在蚀刻容器1内呈L形布置时，仅在FMM金属薄板位于进料槽11下方呈竖直方向布置的两侧对称设置喷液机构3。具体使用时，对称设置的喷液机构3喷出的蚀刻液冲击FMM金属薄板的两面、并使得蚀刻容器1内的蚀刻液形成紊流，进一步对FMM金属薄板的两面进行冲击，实现对FMM金属薄板的两面进行蚀刻，使得沿着竖直方向布置的喷液机构3，可有效改善FMM金属薄板两面蚀刻液的排水性，同样可有效避免积水效应造成FMM金属薄板两面的蚀刻不均匀，确保FMM金属薄板两面的蚀刻效果。
请参阅图3，每个所述喷液机构3包括关于呈竖直方向布置的FMM金属薄板对称设置的左喷洒矩阵31与右喷洒矩阵32，左喷洒矩阵31与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离、右喷洒矩阵32与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离均为X；所述距离X的取值范围为10cm≤X≤35cm。
具体使用时，喷液机构3的左喷洒矩阵31与右喷洒矩阵32关于竖直设置的FMM金属薄板对称设置，并控制左喷洒矩阵31与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离X、以及右喷洒矩阵32与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离X在10cm≤X≤35cm范围内，以使得左喷洒矩阵31、右喷洒矩阵32更好的实现喷洒工作，避免距离过近导致喷出蚀刻液的冲击力太大，导致FMM金属薄板表面蚀刻不均匀，同时，可有效防止左喷洒矩阵31、右喷洒矩阵32距离过远导致对FMM金属薄板表面蚀刻不充分，影响其蚀刻效果。具体的，优选左喷洒矩阵31与FMM金属薄板之间的水平距离X、以及右喷洒矩阵32与FMM金属薄板之间的水平距离X为30cm，使得左喷洒矩阵31、右喷洒矩阵32工作时喷出的蚀刻液既能对FMM金属薄板表面具有一定的冲击力，又能保证FMM金属薄板表面蚀刻均匀，提高FMM金属薄板表面的蚀刻效果。
喷液机构3的左喷洒矩阵31与右喷洒矩阵32在使用时，同时启动、同步工作，所述左喷洒矩阵31与所述右喷洒矩阵32均包括在蚀刻液中竖直布置的固定支架301、沿着所述固定支架上下移动的移动支架302、以及设置于移动支架左表面或右表面的喷嘴303；固定支架301固定设置于FMM金属薄板的两侧，且所述移动支架302与所述固定支架301相互垂直。具体使用时，移动支架302可沿着固定支架301上下移动，进而实现对喷液机构3高度的调整，提高对FMM金属薄板表面的蚀刻效果。
两相邻所述喷嘴303之间的间距Δh与所述喷嘴303和FMM金属薄板之间的水平距离X之间存在Δh:X＝4:3的关系。左喷洒矩阵31、右喷洒矩阵32上各自等间距的设置有多个喷嘴303，并使得相邻两喷嘴303之间的间距Δh与喷嘴303和FMM金属薄板之间的水平距离X之间存在Δh:X＝4:3的关系，多个等间距设置的喷嘴303同时工作时，在蚀刻容器1内产生紊流并对FMM金属薄板的两面具有微弱冲击，一方面，多个等间距设置的喷嘴303同时工作，可保证蚀刻容器1内紊流产生的均匀性，另一方面，使得各个喷嘴303喷出的蚀刻液冲击力适中。
所述喷嘴303为可摇摆式喷嘴；所述喷嘴303的摆动角度为α、且所述摆动角度α的取值范围为50°≤α≤130°。可摇摆式喷嘴可在一定的角度范围内摆动、且摆动的角度关于水平直线对称，通过设置的可摇摆式喷嘴、并将喷嘴303的摆动角度控制在一定角度范围内，进一步保证FMM金属薄板的蚀刻效果。
一种FMM金属薄板竖直式蚀刻装置的蚀刻方法，包括如下步骤：
(1)将FMM金属薄板通过传送机构在蚀刻容器内呈凹字形或L形布置、使得FMM金属薄板的下部浸入蚀刻容器的蚀刻液中；
所述步骤(1)中，蚀刻容器中的蚀刻液按重量包含氯化铁60％～80％、盐酸2％～10％、水20％～39％；该蚀刻液的蚀刻效果好、蚀刻效率高。
具体使用时，在蚀刻容器内灌装的所述蚀刻液体积V0与所述蚀刻容器总体积V之间存在0.8V≤V0≤0.9V的关系。适量的蚀刻液既保证喷洒机构在工作时能在蚀刻容器中产生紊流，又能确保喷洒出的蚀刻液以及紊流能对FMM金属薄板的两面进行稳定蚀刻，有效控制蚀刻减薄的厚度，使得FMM金属薄板更好的满足使用需求。
(2)开启竖直式蚀刻装置的传送机构，并将FMM金属薄板的进料速度控制在0.2～0.4m/s范围内；
所述步骤(2)中，将FMM金属薄板的进料速度控制在0.2～0.4m/s范围内，使得FMM金属薄板的料带张力为60～70N。
通过传送机构控制FMM金属薄板的进料速度在0.2～0.4m/s范围内，并确保FMM金属薄板的料带张力为60～70N，适当的料带张力既可使得FMM金属处于绷直状态、又能避免料带张力过大导致FMM金属薄板毁损；而适宜大小的进料速度既可使得FMM金属薄板两面蚀刻均匀，又能保证FMM金属薄板的蚀刻效率。
(3)开启喷液机构，并控制喷液机构的喷嘴压力在1.5～2kg/cm2范围内。
所述步骤(3)中，喷液机构在使用前先用浓度为1％～30％的稀盐酸进行冲洗。喷液机构在使用前，先用浓度为1％～30％的稀盐酸进行冲洗，可有效出去喷液机构内残留的杂质，进而确保喷液机构的使用效果；在使用过程中，控制喷液机构的喷嘴压力在1.5～2kg/cm2范围内，可稳定的控制FMM金属薄板两面的蚀刻厚度，提高FMM金属薄板的蚀刻质量，满足使用需求。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (10)
1.一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器(1)、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构(2)；其特征在于：所述蚀刻容器(1)上开设有进料槽(11)与出料槽(12)；
FMM金属薄板通过所述传送机构(2)在蚀刻容器(1)内呈凹字形或L形布置，并在传送机构(2)带动下垂直通过所述进料槽(11)进入蚀刻容器(1)内、在传送机构(2)带动下垂直通过所述出料槽(12)输出蚀刻容器(1)；
在蚀刻容器(1)内呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设有喷液机构(3)。
2.根据权利要求1所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：所述喷液机构(3)包括关于呈竖直方向布置的FMM金属薄板对称设置的左喷洒矩阵(31)与右喷洒矩阵(32)，左喷洒矩阵(31)与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离、右喷洒矩阵(32)与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离均为X；
所述距离X的取值范围为10cm≤X≤35cm。
3.根据权利要求2所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：所述左喷洒矩阵(31)与所述右喷洒矩阵(32)均包括在蚀刻液中竖直布置的固定支架(301)、沿着所述固定支架上下移动的移动支架(302)、以及设置于移动支架左表面或右表面的喷嘴(303)；
所述移动支架(302)与所述固定支架(301)相互垂直。
4.根据权利要求3所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：两相邻所述喷嘴(303)之间的间距Δh与所述喷嘴(303)和FMM金属薄板之间的水平距离X之间存在Δh:X＝4:3的关系。
5.根据权利要求3或4所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：所述喷嘴(303)为可摇摆式喷嘴；
所述喷嘴(303)的摆动角度为α、且所述摆动角度α的取值范围为50°≤α≤130°。
6.根据权利要求1所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：
当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈凹字形布置时，所述进料槽(11)与所述出料槽(12)对称开设于蚀刻容器(1)的上表面；
当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内L形布置时，所述进料槽(11)开设于蚀刻容器(1)的上表面、所述出料槽(12)开设于蚀刻容器(1)的一侧面。
7.根据权利要求1或6所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：
当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈凹字形布置时，所述传送机构(2)包括设置于进料槽上方的进料轮(21)与进料支撑轮(22)、设置于出料槽上方的出料轮(24)与出料支撑轮(25)、以及设置于蚀刻容器中的两中间轮(23)，所述进料支撑轮(22)与浸在蚀刻液中的其中一中间轮(23)位于同一竖直线上、所述出料支撑轮(25)与浸在蚀刻液中的另一中间轮(23)位于同一竖直线上；
当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈L形布置时，所述传送机构(2)包括设置于进料槽上方的进料轮(21)与进料支撑轮(22)、设置于出料槽外侧的出料轮(24)与出料支撑轮(25)、以及设置于蚀刻容器中的中间轮(23)，所述中间轮(23)与所述进料支撑轮(22)位于同一竖直线上、且所述中间轮(23)与所述出料支撑轮(25)位于同一水平线上。
8.一种权利要求1-7任意一项所述FMM金属薄板竖直式蚀刻装置的蚀刻方法，其特征在于：
包括如下步骤：
(1)将FMM金属薄板通过传送机构在蚀刻容器内呈凹字形或L形布置、使得FMM金属薄板的下部浸入蚀刻容器的蚀刻液中；
(2)开启竖直式蚀刻装置的传送机构，并将FMM金属薄板的进料速度控制在0.2～0.4m/s范围内；
(3)开启喷液机构，并控制喷液机构的喷嘴压力在1.5～2kg/cm2范围内。
9.根据权利要求8所述FMM金属薄板竖直式蚀刻装置的蚀刻方法，其特征在于：
所述步骤(1)中，蚀刻容器中的蚀刻液按重量包含氯化铁60％～80％、盐酸2％～10％、水20％～39％；
所述蚀刻液体积V0与所述蚀刻容器总体积V之间存在0.8V≤V0≤0.9V的关系。
10.根据权利要求8所述FMM金属薄板竖直式蚀刻装置的蚀刻方法，其特征在于：
所述步骤(2)中，将FMM金属薄板的进料速度控制在0.2～0.4m/s范围内，使得FMM金属薄板的料带张力为60～70N；
所述步骤(3)中，喷液机构在使用前先用浓度为1％～30％的稀盐酸进行冲洗。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910142687.5A CN109680278A (zh) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | 一种fmm金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910142687.5A CN109680278A (zh) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | 一种fmm金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109680278A true CN109680278A (zh) | 2019-04-26 |
Family
ID=66197208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910142687.5A Pending CN109680278A (zh) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | 一种fmm金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109680278A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115558928A (zh) * | 2022-08-31 | 2023-01-03 | 浙江众凌科技有限公司 | 一种基于表面平坦度的蒸镀基材蚀刻装置及蚀刻方法 |
Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0710309A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-13 | Toppan Printing Co Ltd | 金属薄板エッチング装置 |
| JPH09157868A (ja) * | 1995-12-08 | 1997-06-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 帯状金属薄板の処理装置 |
| JP2000017462A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-18 | Kenshin Ka | 銅エッチング方法及びその装置 |
| CN1326861A (zh) * | 2000-05-15 | 2001-12-19 | 富士胶片株式会社 | 平版印刷印版的支持体和感光性树脂平版 |
| CN1574251A (zh) * | 2003-06-03 | 2005-02-02 | 大日本网目版制造株式会社 | 基板的蚀刻处理方法及蚀刻处理装置 |
| TW200724509A (en) * | 2005-12-16 | 2007-07-01 | Onano Ind Corp | Method and appararus of panel etching process (the fifth invention) |
| CN101051604A (zh) * | 2006-04-07 | 2007-10-10 | 悦城科技股份有限公司 | 面板蚀刻制程的方法及其装置 |
| CN201864780U (zh) * | 2010-11-23 | 2011-06-15 | 黄佳佳 | 一种电子软标签的蚀刻设备 |
| CN102094199A (zh) * | 2010-11-23 | 2011-06-15 | 黄佳佳 | 一种电子软标签的蚀刻设备 |
| CN102161570A (zh) * | 2010-02-23 | 2011-08-24 | 株式会社M-M技术 | 上部向下喷射式基板蚀刻装置 |
| CN102453915A (zh) * | 2010-10-27 | 2012-05-16 | 富葵精密组件(深圳)有限公司 | 蚀刻装置及使用该蚀刻装置蚀刻基板的方法 |
| CN102560494A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-11 | 富葵精密组件(深圳)有限公司 | 蚀刻装置及蚀刻方法 |
| CN107236954A (zh) * | 2017-08-13 | 2017-10-10 | 安徽星光标识***有限公司 | 金属标牌蚀刻装置及其操作方法 |
| CN107572833A (zh) * | 2017-08-02 | 2018-01-12 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃板的蚀刻方法、蚀刻装置及显示面板 |
-
2019
- 2019-02-26 CN CN201910142687.5A patent/CN109680278A/zh active Pending
Patent Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0710309A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-13 | Toppan Printing Co Ltd | 金属薄板エッチング装置 |
| JPH09157868A (ja) * | 1995-12-08 | 1997-06-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 帯状金属薄板の処理装置 |
| JP2000017462A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-18 | Kenshin Ka | 銅エッチング方法及びその装置 |
| CN1326861A (zh) * | 2000-05-15 | 2001-12-19 | 富士胶片株式会社 | 平版印刷印版的支持体和感光性树脂平版 |
| CN1574251A (zh) * | 2003-06-03 | 2005-02-02 | 大日本网目版制造株式会社 | 基板的蚀刻处理方法及蚀刻处理装置 |
| TW200724509A (en) * | 2005-12-16 | 2007-07-01 | Onano Ind Corp | Method and appararus of panel etching process (the fifth invention) |
| CN101051604A (zh) * | 2006-04-07 | 2007-10-10 | 悦城科技股份有限公司 | 面板蚀刻制程的方法及其装置 |
| CN102161570A (zh) * | 2010-02-23 | 2011-08-24 | 株式会社M-M技术 | 上部向下喷射式基板蚀刻装置 |
| CN102453915A (zh) * | 2010-10-27 | 2012-05-16 | 富葵精密组件(深圳)有限公司 | 蚀刻装置及使用该蚀刻装置蚀刻基板的方法 |
| CN201864780U (zh) * | 2010-11-23 | 2011-06-15 | 黄佳佳 | 一种电子软标签的蚀刻设备 |
| CN102094199A (zh) * | 2010-11-23 | 2011-06-15 | 黄佳佳 | 一种电子软标签的蚀刻设备 |
| CN102560494A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-11 | 富葵精密组件(深圳)有限公司 | 蚀刻装置及蚀刻方法 |
| CN107572833A (zh) * | 2017-08-02 | 2018-01-12 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃板的蚀刻方法、蚀刻装置及显示面板 |
| CN107236954A (zh) * | 2017-08-13 | 2017-10-10 | 安徽星光标识***有限公司 | 金属标牌蚀刻装置及其操作方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115558928A (zh) * | 2022-08-31 | 2023-01-03 | 浙江众凌科技有限公司 | 一种基于表面平坦度的蒸镀基材蚀刻装置及蚀刻方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN205999474U (zh) | 真空蒸镀装置 | |
| CN112279521A (zh) | 一种碱性玻璃ag蚀刻工艺及装置 | |
| CN109680278A (zh) | 一种fmm金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法 | |
| CN103506720B (zh) | 金属线放电加工装置、金属线放电加工方法、加工物 | |
| CN209741272U (zh) | 一种fmm金属薄板的水平式蚀刻装置 | |
| CN108516692A (zh) | 炫光玻璃浸泡式蚀刻工艺 | |
| CN209741273U (zh) | 一种fmm金属薄板的竖直式蚀刻装置 | |
| CN101358327B (zh) | 一种印制线路板喷锡装置及方法 | |
| CN209349514U (zh) | 一种高速钢喷射成型装置 | |
| CN210614072U (zh) | 一种手机喷墨设备 | |
| CN102085641B (zh) | 多线切割机用防跳线喷砂装置 | |
| CN204046948U (zh) | 一种高阶高密度电路板蚀刻装置 | |
| CN206843324U (zh) | 一种液晶玻璃蚀刻机 | |
| CN207944153U (zh) | 一种铜带清洗装置 | |
| CN206646172U (zh) | 电解槽的分液装置 | |
| JPH06291101A (ja) | 板状物の洗浄方法、その方法に用いられる洗浄液槽及び洗浄装置 | |
| CN101660110B (zh) | 一种刀式喷嘴角度控制装置 | |
| CN208781751U (zh) | 一种透光字键加工工艺设备 | |
| CN206569600U (zh) | 一种气雾罐转向机 | |
| CN201294129Y (zh) | 一种自动上片机 | |
| CN213772242U (zh) | 一种玻璃封装件镀金设备 | |
| CN215030354U (zh) | 水转印纸生产用的喷镀装置 | |
| CN202643565U (zh) | 一种pcb玻纤蚀刻机 | |
| CN207856480U (zh) | 一种炭纤维块滤芯自动成型设备 | |
| CN219469933U (zh) | 一种玻璃加工设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20191025 Address after: Room 406, building 2, 181 Lane 2498, Wanfeng Road, Fengjing town, Jinshan District, Shanghai 201611 Applicant after: Shanghai Yuanlin Enterprise Management Co.,Ltd. Address before: 230000 Northeast corner of the junction of Zhucheng Road and Yingzhou Road, Xinzhan District, Hefei City, Anhui Province Applicant before: HEFEI YONGQI ZHICAI TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20190426 |