CN109554748A - 一种用于单晶炉的热场 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于单晶炉的热场,包括炉体、加热套筒和坩埚,所述的炉体的底部设置有支撑脚,所述的炉体的顶部安装有密封盖,所述的炉体内设置有分隔板,所述的分隔板将炉体1的内部空间分隔成上下两层,其中上层为加热室,下层为燃烧室,所述的加热套筒安装在加热室内,所述的坩埚通过高度调节机构连接在加热套筒内,分隔板的底部安装有抽风机,所述的抽风机通过送风管与加热套筒的内部空间相连通,所述的坩埚内还设置有搅拌装置。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
Description
技术领域
本发明涉及单晶炉技术领域,具体的涉及一种用于单晶炉的热场。
背景技术
目前,单晶80炉内一般使用的是18寸的热场,热场内的三瓣埚内径尺寸一般为57mm,最大装料量单晶炉一次55kg。而随着生产水平的提高,对生产设备的需求也在不断加大,所以现有的单晶80炉不仅容量不能满足生产需求,而且生产成本高,不能灵活地适应市场需求。
发明内容
本发明在坩埚内设置有搅拌装置,通过搅拌装置把坩埚内底层的原料翻转至上方,使坩埚内所有的原料都能够得到充分的加热,提高了热场的工作效率,而提供一种用于单晶炉的热场。
为解决上述的技术问题,本发明提供了一种用于单晶炉的热场,其特征在于:包括炉体、加热套筒和坩埚,所述的炉体的底部设置有支撑脚,所述的炉体的顶部安装有密封盖,所述的炉体内设置有分隔板,所述的分隔板将炉体1的内部空间分隔成上下两层,其中上层为加热室,下层为燃烧室,所述的加热套筒安装在加热室内,所述的坩埚通过高度调节机构连接在加热套筒内,分隔板的底部安装有抽风机,所述的抽风机通过送风管与加热套筒的内部空间相连通,所述的坩埚内还设置有搅拌装置。
进一步:所述的搅拌装置包括伺服电机、搅拌轴、连接筒和搅拌框架,所述的搅拌轴转动连接在坩埚内,所述的伺服电机安装在坩埚的外壁上,伺服电机的出轴端伸入至坩埚内并与搅拌轴相连,所述的搅拌框架通过连接筒连接在搅拌轴上。
又进一步:所述的加热套筒的内壁上嵌入式地连接有电加热管。
又进一步:所述的炉体1上端的侧壁上连接有热气回收管道,所述的热气回收管道的一端与加热室相连通,所述的炉体内壁内还开设有空腔,所述的热气回收管道的另一端与空腔相连通,所述的炉体下端的侧壁上还连接有尾气排放管,所述的尾气排放管也与空腔相连通。
再进一步:所述的高度调节机构包括安装在加热套筒内底部的气动缸、传动杆和连接座,所述的连接座安装在坩埚的底部,所述的连接座的下端开设有与传动杆相匹配的连接孔,所述的气动缸与传动杆相连,所述的传动杆的上端伸入至连接孔内,所述的连接座下端的侧壁上开设有螺纹孔,所述的螺纹孔内连接有顶紧螺栓,所述的顶紧螺栓穿过螺纹孔与传动杆相连,所述的传动杆相通过顶紧螺栓与连接座固定连接。
采用上述结构后,本发明在坩埚内设置有搅拌装置,通过搅拌装置把坩埚内底层的原料翻转至上方,使坩埚内所有的原料都能够得到充分的加热,提高了热场的工作效率;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1为本发明的结构示意图。
图2为坩埚内搅拌装置的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示的一种用于单晶炉的热场,包括炉体1、加热套筒9和坩埚6,所述的炉体1的底部设置有支撑脚11,所述的炉体1的顶部安装有密封盖5,所述的炉体1内设置有分隔板3,所述的分隔板3将炉体1的内部空间分隔成上下两层,其中上层为加热室,下层为燃烧室,所述的加热套筒9安装在加热室内,所述的坩埚6通过高度调节机构连接在加热套筒9内,分隔板3的底部安装有抽风机7,所述的抽风机7通过送风管8与加热套筒9的内部空间相连通,所述的坩埚6内还设置有搅拌装置,所述的加热套筒9的内壁上嵌入式地连接有电加热管4。本发明通过电加热管和燃烧所产生的热气同时对坩埚内的原料进行加热,起到了提高其加热效率的作用。
如图1和图2所示的搅拌装置包括伺服电机17、搅拌轴18、连接筒20和搅拌框架19,所述的搅拌轴18转动连接在坩埚内,所述的伺服电机17安装在坩埚的外壁上,伺服电机17的出轴端伸入至坩埚内并与搅拌轴18相连,所述的搅拌框架19通过连接筒20连接在搅拌轴18上。本发明在坩埚内设置有搅拌装置,通过搅拌装置把坩埚内底层的原料翻转至上方,使坩埚内所有的原料都能够得到充分的加热,提高了热场的工作效率。
如图1所示的炉体1上端的侧壁上连接有热气回收管道2,所述的热气回收管道2的一端与加热室相连通,所述的炉体1内壁内还开设有空腔12,所述的热气回收管道2的另一端与空腔12相连通,所述的炉体1下端的侧壁上还连接有尾气排放管10,所述的尾气排放管10也与空腔12相连通,本发明通过排放出的废气进行采集输送进空腔内,通过带有热量的废气对炉体进行保温。
如图1所示的高度调节机构包括安装在加热套筒9内底部的气动缸13、传动杆15和连接座14,所述的连接座14安装在坩埚的底部,所述的连接座14的下端开设有与传动杆15相匹配的连接孔,所述的气动缸13与传动杆15相连,所述的传动杆的上端伸入至连接孔内,所述的连接座14下端的侧壁上开设有螺纹孔,所述的螺纹孔内连接有顶紧螺栓16,所述的顶紧螺栓16穿过螺纹孔与传动杆15相连,所述的传动杆15相通过顶紧螺栓16与连接座14固定连接。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
Claims (5)
1.一种用于单晶炉的热场,其特征在于:包括炉体、加热套筒和坩埚,所述的炉体的底部设置有支撑脚,所述的炉体的顶部安装有密封盖,所述的炉体内设置有分隔板,所述的分隔板将炉体1的内部空间分隔成上下两层,其中上层为加热室,下层为燃烧室,所述的加热套筒安装在加热室内,所述的坩埚通过高度调节机构连接在加热套筒内,分隔板的底部安装有抽风机,所述的抽风机通过送风管与加热套筒的内部空间相连通,所述的坩埚内还设置有搅拌装置。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的热场,其特征在于:所述的搅拌装置包括伺服电机、搅拌轴、连接筒和搅拌框架,所述的搅拌轴转动连接在坩埚内,所述的伺服电机安装在坩埚的外壁上,伺服电机的出轴端伸入至坩埚内并与搅拌轴相连,所述的搅拌框架通过连接筒连接在搅拌轴上。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的热场,其特征在于:所述的加热套筒的内壁上嵌入式地连接有电加热管。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的热场,其特征在于:所述的炉体1上端的侧壁上连接有热气回收管道,所述的热气回收管道的一端与加热室相连通,所述的炉体内壁内还开设有空腔,所述的热气回收管道的另一端与空腔相连通,所述的炉体下端的侧壁上还连接有尾气排放管,所述的尾气排放管也与空腔相连通。
5.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的热场,其特征在于:所述的高度调节机构包括安装在加热套筒内底部的气动缸、传动杆和连接座,所述的连接座安装在坩埚的底部,所述的连接座的下端开设有与传动杆相匹配的连接孔,所述的气动缸与传动杆相连,所述的传动杆的上端伸入至连接孔内,所述的连接座下端的侧壁上开设有螺纹孔,所述的螺纹孔内连接有顶紧螺栓,所述的顶紧螺栓穿过螺纹孔与传动杆相连,所述的传动杆相通过顶紧螺栓与连接座固定连接。
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Citations (2)
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CN205635864U (zh) * | 2016-03-16 | 2016-10-12 | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 | 一种用于单晶炉的热场 |
CN205821511U (zh) * | 2015-10-13 | 2016-12-21 | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 | 一种用于单晶炉的搅拌冷却装置 |
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