CN109510508A - H型定子结构的驻波型直线超声波电机 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种H型定子结构的驻波型直线超声波电机，包括定子与动子，定子包括上表面压电陶瓷、左端压电陶瓷、右端压电陶瓷、左驱动足、右驱动足和金属弹性体，金属弹性体采用H型金属弹性体，金属弹性体包括弹性体中部和上凸出部、下凸出部，弹性体中部的两端分别设有伸出的上凸出部，且上凸出部均紧挨金属弹性体的上表面，弹性体中部的两端分别设有伸出的下凸出部，且下凸出部均紧挨金属弹性体的下表面，位于弹性体中部的一端的上凸出部、下凸出部与弹性体中部的端部形成左边槽，弹性体中部和凸出部整体呈现为H型结构；本发明与传统的单独在弹性体上表面粘结压电陶瓷相比，可以增大定子的振动幅度，体积小、结构紧凑、电机输出更大。
Description
技术领域
本发明涉及一种H型定子结构的驻波型直线超声波电机。
背景技术
目前流行的驻波型直线超声波电机主要是基于压电陶瓷的横向振动模式和纵向振动模式来激励出定子的复合模态，压电陶瓷主要粘贴于金属弹性体的顶部、底部和正面用以同时激发出两种工作模态来复合而成一种定子的新型工作模态，形成驱动足的椭圆运动，进而驱动动子直线运动。复合模态直线超声波电机定子结构必须同时考虑多个模态振型的激励，因此其定子设计过程相对复杂。单模态直线型超声波电机只需考虑一种模态的激励，定子设计过程相对简单。
目前对于绝大多数单模态驻波型直线超声波电机来说，压电陶瓷只粘贴弹性体上表面，利用压电陶瓷横向振动模式激发出定子的金属弹性体的一阶弯振模态，使驱动足产生斜直线运动，推动动子前进。这种结构方式下，存在着输出较小的问题。
上述问题是在驻波型直线超声波电机的设计过程中应当予以考虑并解决的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种H型定子结构的驻波型直线超声波电机，定子所包含的三片压电陶瓷一片粘贴于弹性体上表面，其余两片与弹性体两端部凹陷部位紧密粘结，与目前流行的直线型超声波电机相比，该电机结构紧凑、输出更大、适合小型精密装置的驱动，解决现有技术中存在的输出较小，相对不理想的问题。
本发明的技术解决方案是：
一种H型定子结构的驻波型直线超声波电机，包括定子与动子，定子包括上表面压电陶瓷、左端压电陶瓷、右端压电陶瓷、左驱动足、右驱动足和金属弹性体，金属弹性体采用H型金属弹性体，金属弹性体包括弹性体中部和上凸出部、下凸出部，弹性体中部的两端分别设有伸出的上凸出部，且上凸出部均紧挨金属弹性体的上表面，弹性体中部的两端分别设有伸出的下凸出部，且下凸出部均紧挨金属弹性体的下表面，位于弹性体中部的一端的上凸出部、下凸出部与弹性体中部的端部形成左边槽，位于弹性体中部的另一端的上凸出部、下凸出部与弹性体中部的另一端部形成右边槽，弹性体中部和凸出部整体呈现为H型结构，上表面压电陶瓷设于弹性体中部的上表面，弹性体中部的下表面两端分别设有左驱动足、右驱动足，且左驱动足、右驱动足均设于弹性体中部与动子间，左端压电陶瓷粘结在左边槽内，右端压电陶瓷粘结在右边槽内。
进一步地，左驱动足偏离定子左侧驻波波节位置，右驱动足偏离定子右侧驻波波节位置，偏离方向和偏离距离都相同，偏离距离均为八分之一基波波长，动子放置于左驱动足、右驱动足两驱动足下方。
进一步地，H型金属弹性体的上表面压电陶瓷极化方向为Z轴正方向，施加正方向为Z轴负方向的交变电场；左端压电陶瓷极化方向为Z轴正方向，施加正方向为X轴正方向的交变电场；右端压电陶瓷极化方向为Z轴正方向，施加正方向为X轴负方向的交变电场；在电场作用下，由于逆压电效应，上表面Z方向极化的上表面压电陶瓷发生横向振动，两端部Z方向极化的左端压电陶瓷、右端压电陶瓷发生扭转振动，共同在定子的H型金属弹性体中激发出一阶弯曲振动模态，继而驱使左驱动足、右驱动足进行斜直线运动，推动动子进行移动。
进一步地，上表面压电陶瓷、左端压电陶瓷和右端压电陶瓷上施加同时间相位、同频率的电源。
本发明的有益效果是：
一、该种H型定子结构的驻波型直线超声波电机，在电机定子的H型金属弹性体端部以及上表面粘贴压电陶瓷，利用端部压电陶瓷的扭转振动模式以及上表面压电陶瓷的横向振动模式共同在定子的H型金属弹性体中激发一阶弯振模态，与传统的单独在弹性体上表面粘结压电陶瓷相比，可以增大定子的振动幅度，电机输出更大。
二、该种H型定子结构的驻波型直线超声波电机，体积小、结构紧凑，利用端部布置扭转振动的两片陶瓷，因此在增加电机输出的同时，不会破坏电机结构的紧凑性。
三、本发明的H型金属弹性体端部的凸出部简单且能高效地将端部压电陶瓷的扭振转换为定子的H型金属弹性体的一阶弯振。
附图说明
图1是本发明实施例H型定子结构的驻波型直线超声波电机的结构示意图。
其中：1-弹性体中部，2-上表面压电陶瓷，3-右端压电陶瓷，4-左端压电陶瓷，5-右驱动足，6-左驱动足，7-动子，10-右上凸出部，11-左上凸出部，12-金右下凸出部，13-左下凸出部。
图2是实施例中左端压电陶瓷布置方案的说明示意图。
其中：1L、2L、3L、4L、5L、6L-左端压电陶瓷六个自由度方向，XYZ-空间笛卡尔坐标系。
图3是实施例中右端压电陶瓷布置方案的说明示意图。
其中：1R、2R、3R、4R、5R、6R-右端压电陶瓷六个自由度方向，XYZ-空间笛卡尔坐标系。
图4是实施例中上表面压电陶瓷布置方案的说明示意图。
其中：1T、2T、3T、4T、5T、6T-上表面压电陶瓷六个自由度方向，XYZ-空间笛卡尔坐标系。
图5是实施例中电机上拱阶段振动波型产生机理图。
其中：P-极化方向，E-电场方向，V-动子运动方向。
图6是实施例中电机下凹阶段振动波型产生机理图。
其中：P-极化方向，E-电场方向，V-动子运动方向。
图7是实施例中驱动足运动机理图。
其中：1-弹性体中部，2-上表面压电陶瓷，3-右端压电陶瓷，4-左端压电陶瓷，5-右驱动足，6-左驱动足，7-动子，8-振幅为零时的定子中性线，9-振幅最大时的定子中性线，10-右上凸出部，11-左上凸出部，12-右下凸出部，13-左下凸出部， A-定子左侧驻波波节位置，B-定子右侧驻波波节位置。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本发明的优选实施例。
实施例
一种H型定子结构的驻波型直线超声波电机，如图1，包括定子与动子7，定子包括上表面压电陶瓷2、左端压电陶瓷4、右端压电陶瓷3、左驱动足6、右驱动足5和金属弹性体，金属弹性体采用H型金属弹性体1，金属弹性体包括弹性体中部1和右上凸出部10、左上凸出部11、右下凸出部12和左下凸出部13，弹性体中部1的两端分别设有伸出的右上凸出部10、左上凸出部11、右下凸出部12和左下凸出部13，且右上凸出部10和左上凸出部11均紧挨金属弹性体的上表面，弹性体中部1的两端分别设有伸出的右下凸出部12和左下凸出部13，且右下凸出部12和左下凸出部13均紧挨金属弹性体的下表面，位于弹性体中部111的一端的左上凸出部11、左下凸出部13与弹性体中部1的左端形成左边槽，位于弹性体中部1的右上凸出部10、右下凸出部12与弹性体中部1的右端形成右边槽，弹性体中部1和凸出部整体呈现为H型结构，上表面压电陶瓷2设于弹性体中部1的上表面，弹性体中部1的下表面两端分别设有左驱动足6、右驱动足5，且左驱动足6、右驱动足5均设于弹性体中部1与动子7间，左端压电陶瓷4粘结在左边槽内，右端压电陶瓷3粘结在右边槽内。
该种H型定子结构的驻波型直线超声波电机，在电机定子的H型金属弹性体端部以及上表面粘贴压电陶瓷，利用端部压电陶瓷的扭转振动模式以及上表面压电陶瓷2的横向振动模式共同在定子的H型金属弹性体中激发一阶弯振模态，与传统的单独在弹性体上表面粘结压电陶瓷相比，可以增大定子的振动幅度，电机输出更大。
实施例中，定子弹性体的上表面压电陶瓷2极化方向为Z轴正方向，施加正方向为Z轴负方向的交变电场；左端压电陶瓷4极化方向为Z轴正方向，施加正方向为X轴正方向的交变电场；右端压电陶瓷3极化方向为Z轴正方向，施加正方向为X轴负方向的交变电场；在电场作用下，由于逆压电效应，上表面Z方向极化的上表面压电陶瓷2发生横向振动，两端部Z方向极化的左端压电陶瓷4、右端压电陶瓷3发生扭转振动，共同在定子的H型金属弹性体中激发出一阶弯曲振动模态，继而驱使左驱动足6、右驱动足5进行斜直线运动，推动动子7进行移动。
如图2，H型金属弹性体的左端压电陶瓷4处于空间笛卡尔坐标系XYZ中，左端压电陶瓷4极化方向为3L自由度方向，施加方向为1L自由度方向的交变电场，在电场作用下，由于逆压电效应，H型金属弹性体的左端压电陶瓷4发生扭转振动，产生5L自由度方向的形变，再经由左上凸出部11、左下凸出部13在定子弹性体中激发出一阶弯曲振动模态。
如图3，H型金属弹性体的右端压电陶瓷3处于空间笛卡尔坐标系XYZ中，右端压电陶瓷3极化方向为3R自由度方向，施加方向为1R自由度方向的交变电场，在电场作用下，由于逆压电效应，H型金属弹性体1的右端压电陶瓷3发生扭转振动，产生形变方向为5R的形变，再经由定子右上凸出部10、右下凸出部12在定子弹性体中激发出一阶弯曲振动模态。
如图4，H型金属弹性体1的上表面压电陶瓷2处于空间笛卡尔坐标系XYZ中，上表面压电陶瓷2极化方向为3T自由度方向，施加与之平行的交变电场，在电场作用下，由于逆压电效应，H型金属弹性体1的上表面压电陶瓷2发生横向振动，产生形变方向为1T的形变，在定子的H型金属弹性体1中激发出一阶弯曲振动模态。
工作时，对上表面压电陶瓷2、左端压电陶瓷4和右端压电陶瓷3三片压电陶瓷施加同时间相位、同频率的交变电压，在电场作用下，由于逆压电效应，弹性体上表面Z方向极化的压电陶瓷发生横向振动，在定子弹性体中激发出一阶弯曲振动模态，弹性体两端部Z方向极化的压电陶瓷发生扭转振动，再经由弹性体端部凸出部激发出定子的一阶弯曲振动模态，三片陶瓷的两种振动模式共同激励定子一阶弯曲振动，继而驱使驱动足进行斜直线运动，推动动子7进行移动。
如图5，电机上拱阶段振动波型产生机理，H型金属弹性体的上表面压电陶瓷2极化方向P为Z轴正方向，施加正方向为Z轴负方向的交变电场E，即上表面压电陶瓷2内部电场方向为3T自由度方向的反方向；H型金属弹性体1的左端压电陶瓷4极化方向P为Z轴正方向，施加正方向为X轴正方向的交变电场E，即左端压电陶瓷4内部电场方向为1L自由度方向；H型金属弹性体1的右端压电陶瓷3极化方向P为Z轴正方向，施加正方向为X轴负方向的交变电场E，即右端压电陶瓷3内部电场方向为1R自由度方向的反方向。在电场作用下，由于逆压电效应，H型金属弹性体1的上表面Z方向极化的压电陶瓷发生横向振动，在定子的H型金属弹性体1中激发出一阶弯曲振动模态，H型金属弹性体1的两端部Z方向极化的压电陶瓷发生扭转振动，再经由H型金属弹性体的右上凸出部10、左上凸出部11、右下凸出部12和左下凸出部13激发出定子的一阶弯曲振动模态，上表面压电陶瓷2、左端压电陶瓷4和右端压电陶瓷3，三片陶瓷的两种振动模式共同激励定子上拱，动子7向右，即V方向移动。
如图6，电机下凹阶段振动波型产生机理，H型金属弹性体的上表面压电陶瓷2极化方向P为Z轴正方向，施加正方向为Z轴正方向的交变电场E，即上表面压电陶瓷2内部电场方向为3T自由度方向；H型金属弹性体1的左端压电陶瓷4极化方向P为Z轴正方向，施加正方向为X轴负方向的交变电场E，即左端压电陶瓷4内部电场方向为1L自由度方向的反方向；H型金属弹性体的右端压电陶瓷3极化方向P为Z轴正方向，施加正方向为X轴正方向的交变电场E，即右端压电陶瓷3内部电场方向为1R自由度方向。在电场作用下，由于逆压电效应，H型金属弹性体1的上表面Z方向极化的上表面压电陶瓷2发生横向振动，在定子的H型金属弹性体1中激发出一阶弯曲振动模态，弹性体两端部Z方向极化的压电陶瓷发生扭转振动，再经由弹性体端部凸出部激发出定子的一阶弯曲振动模态，三片陶瓷的两种振动模式共同激励定子下凹，动子7向右，即V方向移动。
结合附图7电机驱动足运动机理如下：
A、B分别为定子振幅为零时的定子中性线8与定子振幅最大时的定子中性线9的左右交点，即定子左侧驻波波节位置与定子右侧驻波波节位置。
左驱动足6和右驱动足5偏离左侧定子驻波波节位置A与右侧定子驻波波节位置B，偏离方向相同，左驱动足6向左偏离定子驻波波节节点位置A八分之一基波波长，右驱动足5向左偏离定子驻波波节节点位置B八分之一基波波长，动子7放置于左驱动足6以及右驱动足5下方。
对左端压电陶瓷4、右端压电陶瓷3以及上表面压电陶瓷2施加激励电压，假设金属弹性体中部1首先中间向上拱起，则左驱动足6受到向右下方的推力，与动子7接触，右驱动足5受到向左上方的拉力，与动子7逐渐脱离，左驱动足6底部摩擦力大于右驱动足5底部的摩擦力，则动子7向右移动一步。
接下来金属弹性体中部1中间下凹两端上翘，左驱动足6受到向左上方的拉力，逐渐与动子7脱离，右驱动足5受到向右下方的推力，与动子7接触，动子7继续向右移动一步。
Claims (4)
1.一种H型定子结构的驻波型直线超声波电机，包括定子与动子，其特征在于：定子包括上表面压电陶瓷、左端压电陶瓷、右端压电陶瓷、左驱动足、右驱动足和金属弹性体，金属弹性体采用H型金属弹性体，金属弹性体包括弹性体中部和上凸出部、下凸出部，弹性体中部的两端分别设有伸出的上凸出部，且上凸出部均紧挨金属弹性体的上表面，弹性体中部的两端分别设有伸出的下凸出部，且下凸出部均紧挨金属弹性体的下表面，位于弹性体中部的一端的上凸出部、下凸出部与弹性体中部的端部形成左边槽，位于弹性体中部的另一端的上凸出部、下凸出部与弹性体中部的另一端部形成右边槽，弹性体中部和凸出部整体呈现为H型结构，上表面压电陶瓷设于弹性体中部的上表面，弹性体中部的下表面两端分别设有左驱动足、右驱动足，且左驱动足、右驱动足均设于弹性体中部与动子间，左端压电陶瓷粘结在左边槽内，右端压电陶瓷粘结在右边槽内。
2.如权利要求1所述的H型定子结构的驻波型直线超声波电机，其特征在于：左驱动足偏离定子左侧驻波波节位置，右驱动足偏离定子右侧驻波波节位置，两者偏离方向和偏离距离都相同，偏离距离均为八分之一基波波长，动子放置于左驱动足、右驱动足两驱动足下方。
3.如权利要求2所述的H型定子结构的驻波型直线超声波电机，其特征在于：H型金属弹性体的上表面压电陶瓷极化方向为Z轴正方向，施加正方向为Z轴负方向的交变电场；左端压电陶瓷极化方向为Z轴正方向，施加正方向为X轴正方向的交变电场；右端压电陶瓷极化方向为Z轴正方向，施加正方向为X轴负方向的交变电场；在电场作用下，由于逆压电效应，上表面Z方向极化的上表面压电陶瓷发生横向振动，两端部Z方向极化的左端压电陶瓷、右端压电陶瓷发生扭转振动，共同在定子的H型金属弹性体中激发出一阶弯曲振动模态，继而驱使左驱动足、右驱动足进行斜直线运动，推动动子进行移动。
4.如权利要求1-3任一项所述的H型定子结构的驻波型直线超声波电机，其特征在于：上表面压电陶瓷、左端压电陶瓷和右端压电陶瓷上施加同时间相位、同频率的电源。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112165274A (zh) * | 2020-09-24 | 2021-01-01 | 南京工程学院 | 基于同向偏心式定子的纵弯耦合型直线超声波电机 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2529448Y (zh) * | 2001-07-27 | 2003-01-01 | 南京航空航天大学 | 直线型驻波超声电机 |
| CN201252496Y (zh) * | 2008-08-08 | 2009-06-03 | 辽宁工业大学 | H形驻波直线超声电机振子 |
| CN101707445A (zh) * | 2009-11-12 | 2010-05-12 | 南京航空航天大学 | 薄板式双行波型旋转超声电机及其控制方法 |
| CN104967355A (zh) * | 2015-07-20 | 2015-10-07 | 哈尔滨工业大学 | 仿生爬行多足直线压电驱动器 |
-
2018
- 2018-12-12 CN CN201811519385.7A patent/CN109510508B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2529448Y (zh) * | 2001-07-27 | 2003-01-01 | 南京航空航天大学 | 直线型驻波超声电机 |
| CN201252496Y (zh) * | 2008-08-08 | 2009-06-03 | 辽宁工业大学 | H形驻波直线超声电机振子 |
| CN101707445A (zh) * | 2009-11-12 | 2010-05-12 | 南京航空航天大学 | 薄板式双行波型旋转超声电机及其控制方法 |
| CN104967355A (zh) * | 2015-07-20 | 2015-10-07 | 哈尔滨工业大学 | 仿生爬行多足直线压电驱动器 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 袁小红 等: "一种新型驻波直线超声电机的研究", 《压电与声光》 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112165274A (zh) * | 2020-09-24 | 2021-01-01 | 南京工程学院 | 基于同向偏心式定子的纵弯耦合型直线超声波电机 |
| CN112165274B (zh) * | 2020-09-24 | 2021-11-30 | 南京工程学院 | 基于同向偏心式定子的纵弯耦合型直线超声波电机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109510508B (zh) | 2020-05-26 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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