CN109425334A - 物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性计测单元 - Google Patents

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Abstract

一种物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性计测单元，使检测灵敏度和可靠性提高。物理量传感器(100)包括：可动体(20)，呈平板状，在贯穿该平板状的平板面(28)的方向上具有多个开口(26)，能够以转动轴为中心摆动；支承基板(10)，通过支柱(14)与平板面(28)的一部分连结而成，使得隔开间隔地支承可动体的平板面；以及突起(15)，在沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，在支承基板(10)的与可动体(20)隔开间隔而重叠的区域，向可动体一侧突出设置，在沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，当设突起的最大外形尺寸为D时，开口(26)设置于除从突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域。

Description

物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性计测单元
技术领域
本发明涉及物理量传感器、物理量传感器的制造方法、复合传感器、惯性计测单元、便携式电子设备、电子设备以及移动体。
背景技术
现有的检测作为物理量的加速度的方法，已知有按照摇臂原理而构成，根据随着在垂直方向上施加的加速度变化的静电电容来检测加速度的物理量传感器。例如，在专利文献1中，公开了由具备了可动电极部的可动体、支承可动体的梁部以及在基板上与可动电极部相对配置的固定电极构成的物理量传感器。当由于具备了物理量传感器的装置的下落冲击等而施加了过大的加速度时，物理量传感器需要防止可动体大幅度杠杆摆动(位移)，导致可动体与基板碰撞进而破损。在专利文献1记载的物理量传感器中，在基板(支承基板)上设置有用于限制可动***移的突起。
另一方面，对物理量传感器实施了提高加速度的检测灵敏度的改进。例如，在专利文献2记载的物理量传感器中，当可动体向配置了固定电极的基板位移时，为了降低由在可动体和基板之间产生的空气引起的阻力(压膜阻尼：以下，记为阻尼)，设置有贯穿可动体的开口。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2013-185959号公报
专利文献2：美国专利第8806940号说明书
在专利文献1记载的物理量传感器中，由于在可动体上未设置降低阻尼的开口，因此加速度的检测灵敏度低。此外，在专利文献2记载的物理量传感器中，存在如下问题：在可动体的整面上设置有开口，当在该物理量传感器的支承基板上设置专利文献1中记载的突起来限制可动体的位移时，在由相邻开口形成的网格状的框部和突起局部接触时，可动体的框部容易损坏。即，提供提高检测灵敏度和可靠性的物理量传感器存在困难。
发明内容
本发明用于解决上述技术问题的至少一部分而完成，可以通过下面的方式或应用例实现。
[应用例1]本应用例涉及的物理量传感器的特征在于：包括：可动体，呈平板状，在贯穿所述平板状的平板面的方向上具有多个开口，所述可动体能够以转动轴为中心摆动；支承基板，通过支柱与所述平板面的一部分连结而成，使得所述支承基板以与所述可动体的所述平板面隔开间隔的方式支承所述可动体的所述平板面；以及突起，在沿着与平板面垂直的方向观察所述支承基板时，所述突起在所述支承基板的与所述可动体隔开间隔而重叠的区域，向所述可动体一侧突出设置，在沿着与平板面垂直的方向观察所述支承基板时，当设所述突起的最大外形尺寸为D时，所述开口设置于除从所述突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域。
根据本应用例，物理量传感器的可动体在贯穿平板状的平板面的方向上有多个开口。可动体由支柱连结平板面的一部分和支承基板而与支承基板隔开间隔地被支承。当沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，在支承基板的与可动体重叠的区域设置有向可动体一侧突出的突起。当设突起的最大外形尺寸为D时，可动体的开口设置于除从突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域。换言之，由于在可动体摆动从而可动体和突起接触的区域未设置开口，因此该区域的刚度提高。由此，当对物理量传感器施加过大的加速度而可动体和突起接触时，能够抑制可动体损坏。此外，由于在可动体上，从突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域设置有开口，因此可动体的阻尼降低从而检测物理量的灵敏度提高。因此，能够提供提高可靠性和检测灵敏度的物理量传感器。
[应用例2]在上述应用例所述的物理量传感器中，优选设置有多个所述突起。
根据本应用例，从支承基板向可动体一侧突出的突起设置有多个。由此，能够分散可动体与突起接触时受到的冲击。
[应用例3]在上述应用例所述的物理量传感器中，优选所述突起相对于在所述转动轴的轴方向上将所述可动体二等分的中心线对称。
根据本应用例，从支承基板向可动体一侧突出的突起设置成相对于转动轴的轴方向上的将可动体二等分的中心线对称。由此，通过可动体与突起接触时可动体扭转，能够抑制可动体损坏。
[应用例4]在上述应用例所述的物理量传感器中，优选所述突起在与所述转动轴的轴方向交叉的方向上设置于所述转动轴和所述可动体的端部的间距的1/2以内。
根据本应用例，从支承基板向可动体一侧突出的突起设置于在与转动轴的轴方向交叉的方向上，转动轴和可动体的端部的间距的1/2以内。可动体受到的阻尼越向可动体的端部越大。因此，通过对应于突起，在阻尼的影响小的转动轴一侧形成未设置开口的区域，能够降低可动体受到的阻尼。
[应用例5]本应用例涉及的物理量传感器的制造方法的特征在于，物理量传感器包括：可动体，呈平板状，在贯穿所述平板状的平板面的方向上具有多个开口，所述可动体能够以转动轴为中心摆动；支承基板，通过支柱与所述平板面的一部分连结而成，使得所述支承基板以与所述可动体的所述平板面隔开间隔的方式支承所述可动体的所述平板面；以及突起，在沿着与所述平板面垂直的方向观察所述支承基板时，所述突起在所述支承基板的与所述可动体隔开间隔而重叠的区域，向所述可动体一侧突出设置，在沿着与所述平板面垂直的方向观察所述支承基板时，当设所述突起的最大外形尺寸为D时，所述开口设置于除从所述突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域，物理量传感器的制造方法包括：支承基板形成工序，形成所述支承基板及所述突起；基板接合工序，接合所述支承基板和硅基板；以及可动体形成工序，由所述硅基板形成具有所述开口的所述可动体。
根据本应用例，物理量传感器的制造方法包括：形成支承基板及突起的支承基板形成工序；接合支承基板和硅基板的基板接合工序；以及由硅基板形成具有开口的可动体的可动体形成工序。首先，在支承基板形成工序中，在支承基板上形成可动体能够摆动的空间(型腔)，并在该型腔内形成突起。接着，在基板接合工序中，将作为可动体的原材料的硅基板接合到支承基板。然后在可动体形成工序中，形成可动体的外形及开口。在本应用例的制造方法中，在支承基板上形成型腔之后形成开口。
另一方面，作为物理量传感器的制造方法，有隔着牺牲层接合使牺牲层形成的硅基板和支承基板，在牺牲层上形成可动体可摆动的型腔的方法。在该制造方法中，在硅基板上形成可动体之后，从形成于可动体的开口蚀刻牺牲层。为此，需要在可动体上无间隙地设置开口。
本应用例的制造方法为在形成型腔后接合硅基板，并形成可动体及开口。由此，可成为如下构成：在沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，当设突起的最大外形尺寸为D时，开口设置于除从突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域。换言之，可构成为在可动体和突起接触的区域不设置开口。由此，由于可动体和突起接触的区域的刚度提高，因此当对物理量传感器施加过大的加速度而可动体和突起接触时，能够抑制可动体损坏。此外，由于在可动体上，在从突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域设置有开口，因此可动体的阻尼降低从而检测物理量的灵敏度提高。因此，能够提供提高可靠性和检测灵敏度的物理量传感器的制造方法。
[应用例6]本应用例涉及的复合传感器的特征在于，具备：上述应用例所述的物理量传感器和角速度传感器元件。
根据本应用例，能够容易地构成复合传感器，例如，能够获取加速度数据、角速度数据。
[应用例7]本应用例涉及的惯性计测单元的特征在于，具备：上述应用例中任一例所述的物理量传感器；角速度传感器；以及控制所述物理量传感器及所述角速度传感器的控制部。
根据本应用例，通过提高了耐冲击性的物理量传感器，能够提供进一步高可靠性的惯性计测单元。
[应用例8]本应用例涉及的便携式电子设备的特征在于，具备：上述应用例中任一例所述的物理量传感器；壳体，容纳所述物理量传感器；处理部，容纳于所述壳体，处理来自所述物理量传感器的输出数据；容纳于所述壳体的显示部；以及封闭所述壳体的开口部的透光性罩。
根据本应用例，通过提高了耐冲击性的物理量传感器的输出数据，能够提供进一步提高了控制的可靠性的高可靠性便携式电子设备。
[应用例9]本应用例涉及的电子设备的特征在于，具备：上述应用例所述的物理量传感器和根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制的控制部。
根据本应用例，可提供具备提高了检测物理量的灵敏度和可靠性的物理量传感器的电子设备。
[应用例10]本应用例涉及的移动体的特征在于，具备：上述应用例所述的物理量传感器和根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制的控制部。
根据本应用例，可提供具备提高了检测物理量的灵敏度和可靠性的物理量传感器的移动体。
附图说明
图1是示意性地示出实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。
图2是沿图1的A-A线剖开的剖视图。
图3是示意性地示出物理量传感器的动作的剖视图。
图4是示意性地示出物理量传感器的动作的剖视图。
图5是示意性地示出物理量传感器的动作的剖视图。
图6是示意性地示出物理量传感器的动作的剖视图。
图7是说明物理量传感器的制造工序的流程图。
图8是物理量传感器的各制造工序的剖视图。
图9是物理量传感器的各制造工序的剖视图。
图10是物理量传感器的各制造工序的剖视图。
图11是物理量传感器的各制造工序的剖视图。
图12是物理量传感器的各制造工序的剖视图。
图13是示意性地示出变形例涉及的物理量传感器的俯视图。
图14是沿图13的B-B线剖开的剖视图。
图15是示出复合传感器的概略构成的功能框图。
图16是示出惯性计测单元的概略构成的分解立体图。
图17是示出惯性计测单元的惯性传感器元件的配置例的立体图。
图18是示意性地示出便携式电子设备的构成的俯视图。
图19是示出便携式电子设备的概略构成的功能框图。
图20是示出作为具备物理量传感器的电子设备的移动型(或笔记本型)个人电脑的概略构成的立体图。
图21是示出作为具备物理量传感器的电子设备的手机(还包括PHS)的概略构成的立体图。
图22是示出作为具备物理量传感器的电子设备的数码相机的概略构成的立体图。
图23是概略性地示出作为具备物理量传感器的移动体的汽车的立体图。
附图标记说明
10支承基板；11第一固定电极；12第二固定电极；14支柱；15、215突起；16型腔；17主表面；20可动体；20S硅基板；20a第一可动体；20b第二可动体；21第一质量部；22第二质量部；23第三质量部；24支承部；25梁部；26开口；27框部；28平板面；30盖体；100、200物理量传感器；900复合传感器；1100个人电脑；1200手机；1300数码相机；1500汽车；2000作为便携式电子设备的手腕设备；3000惯性计测单元。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要注意的是，在以下的各图中，为了提高能识别各层、各部件的程度而使各层、各部件的尺寸与实际不同。
此外，在图1至图6及图8至图14中，为了方便说明，图示相互正交的X轴、Y轴、Z轴3个轴，并且以图示轴方向的箭头的尖端一侧为“+侧”，以底端一侧为“-侧”。此外，在下文中，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”、将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”、将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。
实施方式
<物理量传感器的构成>
图1是示意性地示出实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。图2是沿图1中的A-A线剖开的剖视图。首先，参照图1以及图2来说明实施方式涉及的物理量传感器100的概略构成。需要注意的是，在图1中，为了方便说明，省略盖体30的图示。
本实施方式的物理量传感器100例如可用作惯性传感器。具体而言，例如，可利用用于测量铅垂方向(Z轴方向)的加速度的加速度传感器(静电电容型加速度传感器、静电电容型MEMS加速度传感器)。需要注意的是，在本实施方式中，将铅垂方向称为Z轴，将后述的转动轴(梁部25)的轴方向称为Y轴，将与Z轴及Y轴双方交叉的方向称为X轴。
如图1及图2所示，物理量传感器100包括：可动体20，呈平板状，具有平板状的平板面28；支承可动体20的支承基板10；以及将支承基板10和可动体20一起内包的盖体30。
支承基板10具有凹状的型腔16。在型腔16内的主表面17上具备第一固定电极11、第二固定电极12。进而，在第一固定电极11和第二固定电极12之间，设置有用于隔开间隔地支承可动体20的平板面28的支柱14。此外，在支柱14的X轴方向上的两侧设置有向可动体20一侧(+Z轴一侧)突出的突起15。支柱14及突起15与支承基板10一体地形成。支承基板10的材料没有特别限定，但在本实施方式中，作为优选例子，采用绝缘性材料的硼硅酸玻璃(以下称为玻璃)。
第一固定电极11在从Y轴方向的侧面观察中，位于支柱14的-X轴一侧，在从Z轴方向的俯视观察中，设置于与后述的第一质量部21重叠的区域。第二固定电极12在从Y轴方向的侧面观察中，位于支柱14的+X轴一侧，在从Z轴方向的俯视观察中，设置于与后述的第二质量部22重叠的区域。作为第一、第二固定电极11、12的材料，例如可采用Pt(铂)、Al(铝)、Mo(钼)、Cr(铬)、Ti(钛)、Ni(镍)、Cu(铜)、Ag(银)、Αu(金)或ITO(Indium Tin Oxide：氧化铟锡)等的导电膜。
可动体20包括支承部24、作为转动轴的梁部25。支承部24是平板面28的一部分，由支柱14与支承基板10连结。梁部25被支承部24支承，从支承部24向Y轴方向延伸。梁部25具有作为所谓的扭簧的功能。梁部25经由支承部24及支柱14支承可动体20整体可相对于支承基板10摆动。
可动体20具有第一可动体20a和第二可动体20b。第一可动体20a是从成为梁部25的转动中心的中心线CL2向-X轴方向一侧的区域，第二可动体20b是从成为梁部25的转动中心的中心线CL2向+X轴方向一侧的区域。在第一可动体20a上，从梁部25向-X轴方向依次设置有第一质量部21和第三质量部23。在第二可动体20b上设置有第二质量部22。在从Z轴方向的俯视观察中，第一质量部21位于与第一固定电极11重叠的区域，第二质量部22位于与第二固定电极12重叠的区域。
可动体20的材料没有特别限定，但在本实施方式中，作为优选例子，采用导电材料的硅。通过对可动体20使用导电材料，能够使第一质量部21和第二质量部22具有作为电极的功能。需要注意的是，也可以对可动体使用非导电性的基板，使第一、第二质量部由设置在非导电性基板之上的导电性电极层形成。
可动体20由梁部25支承，并且能够以梁部25为转动轴摆动。通过可动体20以梁部25为支点杠杆摆动(倾斜)，第一质量部21和第一固定电极11的间距(距离)及第二质量部22和第二固定电极12的间距(距离)变化。物理量传感器100根据可动体20的倾斜，从第一质量部21和第一固定电极11之间以及第二质量部22和第二固定电极12之间产生的静电电容C1、C2的变化求出加速度。
当对可动体20施加铅垂方向的加速度(例如重力加速度)时，第一可动体20a和第二可动体20b各自产生转动力矩(力的力矩)。在此，当第一可动体20a的转动力矩(例如逆时针旋转的转动力矩)和第二可动体20b的转动力矩(例如顺时针旋转的转动力矩)均衡时，可动体20的倾斜发生变化，无法检测加速度。因此，当施加了铅垂方向的加速度时，以使第一可动体20a的转动力矩和第二可动体20b的转动力矩不均衡，使可动体20发生规定的倾斜的方式设计可动体20。
物理量传感器100的梁部25配置于远离可动体20的X轴方向的重心的位置。换言之，由于在第一可动体20a上设置有第三质量部23，因此从成为梁部25的转动轴的中心线CL2到第一可动体20a的端面为止的距离Ra与从中心线CL2到第二可动体20b的端面为止的距离Rb不同。由此，第一可动体20a和第二可动体20b具有彼此不同的质量。即，可动体20以梁部25的中心线CL2为起点，一侧(第一可动体20a)和另一侧(第二可动体20b)质量不同。像这样，通过使第一可动体20a和第二可动体20b质量不同，能够使在对可动体20施加了铅垂方向的加速度时产生的第一可动体20a的转动力矩和第二可动体20b的转动力矩不均衡。由此，当对物理量传感器100施加了铅垂方向的加速度时，可动体20倾斜。
在第一质量部21和第一固定电极11之间构成有静电电容(可变静电电容)C1。此外，在第二质量部22和第二固定电极12之间构成有静电电容(可变静电电容)C2。静电电容C1根据第一质量部21和第一固定电极11之间的间距(距离)改变静电电容，静电电容C2根据第二质量部22和第二固定电极12之间的间距(距离)改变静电电容。
例如，当可动体20相对于支承基板10水平时，静电电容C1、C2成为彼此大致相等的静电电容值。详细而言，由于在从Z轴方向俯视观察下，第一质量部21和第一固定电极11的重合面积与第二质量部22和第二固定电极12的重合面积相等，在从Y轴方向的侧面观察下，第一质量部21和第一固定电极11之间的间距与第二质量部22和第二固定电极12之间的间距相等，因此静电电容C1、C2的静电电容值也相等。此外，例如，当对可动体20施加铅垂方向的加速度，可动体20以梁部25为转动轴倾斜时，静电电容C1、C2根据可动体20的倾斜改变静电电容C1、C2的静电电容值。由于在可动体20倾斜时，第一质量部21和第一固定电极11之间的间距与第二质量部22和第二固定电极12之间的间距不同，因此静电电容C1、C2的静电电容值也不同。
图3至图6是示意性地示出物理量传感器的动作的剖视图。在此，参照图3至图6说明物理量传感器的动作和静电电容的关系。需要注意的是，在图3至图6中，省略在动作的说明中不必要的构成的图示。
图3示出可动体20相对于支承基板10位于大致水平状态的状态。说明对该状态的物理量传感器100施加了+Z轴方向的加速度αu的情况。
可动体20成为具有同样的厚度(Z轴方向的尺寸)的平板状的长方形。第一可动体20a具有质量m1，其重心G1位于从由支持部24可转动地支承的梁部25的中心Q向-X轴方向的距离r1的位置。第二可动体20b具有质量m2，其重心G2位于从梁部25的中心Q向+X轴方向距离r2的位置。第一可动体20a具有第三质量部23，成为在X轴方向上比第二可动体20b长的长方形的形状。因此，第一可动体20a的质量m1大于第二可动体20b的质量m2，第一可动体20a的重心G1所在的距离r1比第二可动体20b的重心G2所在的距离r2长。
当相对于物理量传感器100施加从-Z轴方向向+Z轴方向的加速度αu时，对第一可动体20a沿以梁部25的中心Q为转动轴逆时针旋转的方向作用相当于质量m1、加速度αu和距离r1的乘积的第一转动力矩Nu1。另一方面，对第二可动体20b沿以梁部25的中心Q为转动轴顺时针旋转的方向作用相当于质量m2、加速度αu和距离r2的乘积的第二转动力矩Nu2。由于第一可动体20a的质量m1比第二可动体20b的质量m2大，第一可动体20a的重心G1所在的距离r1比第二可动体20b的重心G2所在的距离r2长，因此作用于第一可动体20a的第一转动力矩Nu1比作用于第二可动体20b的第二转动力矩Nu2大。
由此，如图4所示，对梁部25沿以梁部25的中心Q为转动轴逆时针旋转的方向作用相当于第一转动力矩Nu1(参照图3)和第二转动力矩Nu2(参照图3)的差的扭矩Nu，可动体20沿逆时针旋转倾斜。由此，第一可动体20a的第一质量部21和第一固定电极11之间的间距变小(变窄)，在第一质量部21和第一固定电极11之间形成的静电电容C1的静电电容值增加。另一方面，第二可动体20b的第二质量部22和第二固定电极12之间的间距变大(变宽)，在第二质量部22和第二固定电极12之间形成的静电电容C2的静电电容值减小。
图5示出可动体20相对于支承基板10位于大致水平状态的状态。说明对该状态的物理量传感器100施加了-Z轴方向的加速度αd的情况。
当相对于物理量传感器100施加从+Z轴方向向-Z轴方向的加速度αd时，对第一可动体20a沿以梁部25的中心Q为转动轴顺时针旋转的方向作用相当于质量m1、加速度αd和距离r1的乘积的第一转动力矩Nd1。另一方面，对第二可动体20b沿以梁部25的中心Q为转动轴逆时针旋转的方向作用相当于质量m2、加速度αd和距离r2的乘积的第二转动力矩Nd2。由于第一可动体20a的质量m1比第二可动体20b的质量m2大，第一可动体20a的重心G1所在的距离r1比第二可动体20b的重心G2所在的距离r2长，因此作用于第一可动体20a的第一转动力矩Nd1比作用于第二可动体20b的第二转动力矩Nd2大。
由此，如图6所示，对梁部25沿以梁部25的中心Q为转动轴顺时针旋转的方向作用相当于第一转动力矩Nd1(参照图5)和第二转动力矩Nd2(参照图5)的差的扭矩Nd，可动体20沿顺时针旋转倾斜。由此，第一可动体20a的第一质量部21和第一固定电极11之间的间距变大(变宽)，在第一质量部21和第一固定电极11之间形成的静电电容C1的静电电容值减小。另一方面，第二可动体20b的第二质量部22和第二固定电极12之间的间距变小(变窄)，在第二质量部22和第二固定电极12之间形成的静电电容C2的静电电容值增大。
物理量传感器100通过增大对梁部25作用的扭矩Nu、Nd，即扩大第一可动体20a和第二可动体20b之间的质量差，并且扩大从梁部25到第一可动体20a的重心G1为止的距离r1和从梁部25到第二可动体20b的重心G2为止的距离r2之间的差，能够使可动体20大幅度倾斜。由此，由于静电电容C1、C2的静电电容值的增减变大，因此能够使物理量传感器100检测物理量的灵敏度提高。此外，物理量传感器100通过缩窄作为扭簧发挥功能的梁部25的X轴方向的宽度，使弹簧的韧性降低，能够增大可动体20的倾斜。由此，还能够提高物理量的检测灵敏度。
接着，对设置于可动体的开口以及设置于支承基板的突起进行说明。如图1及图2所示，为了在施加了过大的加速度时，防止可动体20与支承基板10接触，物理量传感器100具有在支承基板10的主表面17上的限制可动体20的位移的突起15。在沿着与平板面28垂直的方向(Z轴方向)观察支承基板10时，突起15设置于支承基板10的与可动体20隔开间隔而重叠的区域。
在本实施方式中，突起15在支承基板10上与第一质量部21重叠的区域以及与第二质量部22重叠的区域设置有多个(各两个)。突起15成为圆柱状并且其直径大致为3μm至5μm。由此，可动体20的端部抑制碰撞并损坏支承基板10。此外，通过设置多个突起15，能够分散可动体20与突起15接触时受到的冲击。需要注意的是，虽然在本实施方式中示出了对应于第一、第二质量部21、22的位置各设置两个突起15的构成，但不限于此。也可以是突起15各设置有一个的构成、或各设置有三个以上的构成。此外，也可以是在第一可动体20a一侧，突起15设置于与第三质量部23对应的位置的构成。此外，说明了突起的形状为圆柱状的构成，但也可以是三棱柱、四棱柱等多棱柱，还可以是上表面被倒角的形状。此外，也可在突起15的表面形成有绝缘性的保护膜。由此，能够防止第一、第二质量部21、22与突起15接触时电短路。
另一方面，为了降低在向可动体20施加铅垂方向的加速度而可动体20摆动时，由气体的粘性产生的阻尼(用于阻止可动体的移动的能力、流动阻力)，在可动体20上沿贯穿平板面28的方向(Z轴方向)设置有多个开口26。在沿着与平板面28垂直的方向(Z轴方向)观察支承基板10时，当设突起15的最大外形尺寸为D时，开口26设置于除从突起15的外周向外侧D/2的范围(距离突起15的中心2D的范围)以外的区域。由此，降低可动体20的阻尼从而提高检测物理量的灵敏度。
在本实施方式中，在从Z轴方向的俯视观察中，在距离突起15的中心2D的范围以外的区域，正方形的开口26配置成矩阵状。换言之，在对物理量传感器100施加了过大的加速度时，在可动体20摆动从而可动体20和突起15接触的区域不设置开口26。
反之，当在距离突起15的中心2D的范围内也设置有开口26时，在通过相邻的开口26形成的网格状的框部27和突起15局部接触时，可动体20的框部27有可能会容易损坏。由于本实施方式的物理量传感器100在与突起15接触的区域没有设置开口26，因此该区域的刚度提高。由此，当对物理量传感器100施加过大的加速度，可动体20和突起15接触时，能够抑制可动体20损坏。需要注意的是，多个开口26可以是彼此不同的形状。此外，配置开口26的位置、数量也可以自由设定。
需要注意的是，在本实施方式中，说明了通过经由设置于支承基板10的支柱14等支承的梁部25可摆动地设置可动体20的构成，但不限于该构成。例如，可动体也可以是如下构成：通过梁部可摆动地设置，上述梁部在从Z轴方向的俯视观察中，从包围可动体的外周并且与可动体具有规定间隔地设置的框状支承体向Y轴方向延伸。
<物理量传感器的制造方法>
图7是说明物理量传感器的制造工序的流程图。图8至图12是物理量传感器的各制造工序的剖视图。接下来，参照图7至图12说明物理量传感器100的制造方法。
步骤S1是形成支承基板10及突起15的支承基板形成工序。首先准备玻璃基板。在支承基板形成工序中，通过采用光刻技术和蚀刻技术将玻璃基板图案化形成支承基板10及突起15。例如，玻璃基板可通过使用氟酸类蚀刻剂进行湿法蚀刻。由此，能够在图8所示那样的玻璃基板上获得形成了型腔16、支柱14以及突起15的支承基板10。
步骤S2是形成第一、第二固定电极11、12的固定电极形成工序。在固定电极形成工序中，通过溅射法在支承基板10的主表面17上成膜导电膜后，通过使用光刻技术及蚀刻技术(干法蚀刻、湿法蚀刻等)使导电膜图案化形成第一、第二固定电极11、12。由此，如图9所示，可在支承基板10的型腔16内的主表面17上设置第一、第二固定电极11、12。
步骤S3是接合支承基板10和硅基板20S的基板接合工序。如图10所示，在基板接合工序中，例如使用阳极接合、直接接合或粘合剂接合支承基板10和硅基板20S。
步骤S4是由硅基板20S形成具有开口26的可动体20的可动体形成工序。在可动体形成工序中，例如使用磨削机磨削硅基板20S薄膜化为规定的厚度。而且，通过采用光刻技术和蚀刻技术将硅基板20S图案化而形成可动体20。例如，硅基板20S可通过使用了RIE(Reactive Ion Etching：反应离子刻蚀)装置的Bosch工艺来蚀刻。由此，如图11所示，包括开口26、支承部24以及梁部25的可动体20一体地形成。
步骤S5是密封可动体20的密封工序。在密封工序中，在支承基板10上接合盖体30，在由支承基板10及盖体30形成的空间中容纳可动体20。支承基板10和盖体30例如使用阳极接合、粘合剂等接合。如图12所示，由以上可获得物理量传感器100。
在本实施方式中，示出了在支承基板10上形成可动体20可摆动的型腔16的物理量传感器100的制造方法。另一方面，作为物理量传感器的制造方法，还有隔着牺牲层接合使牺牲层形成的硅基板和支承基板，在牺牲层上形成可动体可摆动的型腔的方法。在该制造方法的情况下，通过在硅基板上形成可动体后，从同时形成的可动体的开口蚀刻由硅基板和支承基板夹着的牺牲层，而在牺牲层上形成可动体可摆动的型腔。为此，需要在可动体上呈矩阵状无间隙地设置开口。换言之，不能够成为在可动体和突起接触的区域不设置开口的构成。
本实施方式的制造方法为利用支承基板形成工序在支持基板10上形成型腔16和突起15后，利用基板接合工序接合支承基板10和硅基板20S，最后形成可动体20及开口26。根据该制造方法，可成为在可动体20和突起15接触的区域不设置开口26的构成。由此，由于可动体20和突起15接触的区域的刚度提高，因此当对物理量传感器100施加过大的加速度，可动体20和突起15接触时，能够抑制可动体20损坏。此外，由于在可动体20上，从突起15的外周向外侧D/2的范围以外的区域设置有开口26，因此可动体20的阻尼降低从而检测物理量的灵敏度提高。
如上所述，根据本实施方式涉及的物理量传感器100，能够取得如下的效果。
物理量传感器100具有从支承基板10上向可动体20一侧突出的突起15。此外，在可动体20上设置有贯穿平板面28的多个开口26。在沿着与平板面28垂直的方向观察支承基板10时，突起15设置于支承基板10的与可动体20隔开间隔而重叠的区域。在沿着与平板面28垂直的方向观察支承基板10时，当设突起15的最大外形尺寸为D时，开口26设置于除距离突起15的中心2D的范围以外的区域。换言之，开口26不设置于距离突起15的中心2D的范围内、即不设置在与突起15接触的位置。由此，由于该区域的刚度提高，因此当可动体20和突起15接触时，能够抑制可动体20损坏。此外，由于可动体20受到的阻尼因设置于除距离突起15的中心2D以外的范围的多个开口26而降低，因此物理量传感器100的检测灵敏度提高。因此，能够提供使可靠性和检测灵敏度提高的物理量传感器100。
此外，由于设置有多个从支承基板10向可动体20一侧突出的突起15，因此能够分散可动体20与突起15接触时受到的冲击。
物理量传感器100的制造方法包括：形成支承基板10及突起15的支承基板形成工序；接合支承基板10和硅基板20S的基板接合工序；以及由硅基板20S形成具有开口26的可动体20的可动体形成工序。该制造方法为在支承基板形成工序中在支持基板10上形成型腔16和突起15后，在基板接合工序中接合支承基板10和硅基板20S，最后形成可动体20及开口26。根据该制造方法，可成为在可动体20和突起15接触的区域(距离突起15的中心2D的区域)不设置开口26的构成。由此，由于该区域的刚度提高，因此当可动体20和突起15接触时，能够抑制可动体20损坏。此外，由于可动体20受到的阻尼因设置于除距离突起15的中心2D的范围以外的区域的多个开口26而降低，因此物理量传感器100的检测灵敏度提高。因此，能够提供使可靠性和检测灵敏度提高的物理量传感器100的制造方法。
需要注意的是，本发明不限于上述实施方式，可以对上述实施方式施加各种变更或改良等。
变形例
图13是示意性地示出变形例涉及的物理量传感器的俯视图。图14是沿图13中的B-B线剖开的剖视图。下面对变形例1涉及的物理量传感器200进行说明。需要注意的是，对于与实施方式相同的构成部位，使用相同附图标记并省略重复的说明。本变形例的物理量传感器200与实施方式中说明的物理量传感器100相比突起215的位置不同。
如图13及图14所示，为了在施加了过大的加速度时，防止可动体20与支承基板10接触，物理量传感器200具有在支承基板10的主表面17上的限制可动体20的位移的突起215。突起215设置于与作为转动轴的梁部25的轴方向(Y轴方向)交叉的X轴方向上，梁部25的中心线CL2和可动体20的端部的距离Ra的1/2以内。
详细而言，在本变形例中，突起215在支承基板10上与第一质量部21重叠的区域以及与第二质量部22重叠的区域各设置有两个。与第一质量部21重叠的突起215设置于从中心线CL2沿-X轴方向相距距离R1的位置。中心线CL2和突起215的距离R1比中心线CL2和第一可动体20a的端部的距离Ra的1/2还短。与第二质量部22重叠的突起215设置于从中心线CL2沿+X轴方向相距距离R2的位置。中心线CL2和突起215的距离R2比中心线CL2和第二可动体20b的端部的距离Rb的1/2还短。在本变形例中，将距离R1和距离R2设定成相同距离。即，突起215设置成关于中心线CL2线对称。
由于相距梁部25的中心(中心线CL2)的距离越长可动体20的移动速越快，因此可动体20受到的阻尼越向可动体的端部越大。由于与本变形例的突起215对应的、未设置有开口26的区域(距离突起215的中心2D的范围)位于X轴方向的阻尼的影响小且距离Ra/2以内及距离Rb/2以内的梁部25一侧，因此能够进一步降低可动体20受到的阻尼。
此外，突起215设置于相对于作为转动轴的梁部25的轴方向(Y轴方向)上的将可动体20二等分的中心线CL1对称的距离R3的位置。由此，通过可动体20与突起215接触时可动体20扭转，能够抑制可动体20损坏。
(复合传感器)
接下来，参照图15对具备了上述的物理量传感器100、200的复合传感器的构成例进行说明。图15是示出复合传感器的概略构成的功能框图。需要注意的是，在下文中，示出使用了物理量传感器100的例子进行说明。
如图15所示，复合传感器900具备：上述那样的作为用于测量Z轴方向的加速度的加速度传感器的物理量传感器100；作为用于测量X轴方向的加速度的加速度传感器的物理量传感器101；作为用于测量Y轴方向的加速度的加速度传感器的物理量传感器102；以及角速度传感器103。角速度传感器103能够高效且高精度地检测需要的一个轴方向的角速度。需要注意的是，为了测量三个轴方向的角速度，角速度传感器103还可具备对应于各个轴方向的三个角速度传感器103。此外，复合传感器900可具备包括：例如驱动物理量传感器100、101、102、角速度传感器103的驱动电路；根据来自理量传感器100、101、102、角速度传感器103的信号检测X轴、Y轴以及Z轴的各轴方向的加速度、角速度的检测电路(信号处理部45a)；将来自检测电路的信号转换成规定的信号并输出的输出电路(输出部46a)等的IC40a。
通过物理量传感器100、101、102和角速度传感器103可容易地构成复合传感器900，通过一个传感器可容易地获得多个物理量数据，例如加速度数据、角速度数据。
(惯性计测单元)
接下来，参照图16及图17说明惯性计测单元(IMU：Inertial Measurement Unit：惯性测量单元)。图16是示出惯性计测单元的概略构成的分解立体图。图17是示出惯性计测单元的惯性传感器元件的配置例的立体图。需要注意的是，在下文中，示出使用了物理量传感器100的例子进行说明。
如图16所示，惯性计测单元3000由外壳301、接合部件310、包括惯性传感器元件的传感器模块325等构成。换言之，成为在外壳301的内部303经由接合部件310嵌合(***)传感器模块325的构成。传感器模块325由内壳320和基板315构成。需要注意的是，为了便于说明，将部位名作为外壳、内壳，但也可改称为第一壳体、第二壳体。
外壳301是将铝切割成箱状的底座。材质不限于铝，还可使用锌、不锈钢等其它金属，树脂或金属和树脂的复合材料等。外壳301的外形与上述的惯性计测单元3000的整体形状相同，是平面形状呈大致正方形的长方体，在位于正方形的对角线方向的两处的顶点附近分别形成有穿孔(螺钉孔)302。需要注意的是，不限于穿孔(螺钉孔)302，例如，可以是通过螺丝形成可螺合的切口(在穿孔(螺钉孔)302所在的外壳301的角部形成切口的结构)来螺合的构成，或者可以是在外壳301的侧面形成法兰盘(沿儿)，螺合法兰盘部分的构成。
外壳301呈外形为长方体且没有盖的箱状，其内部303(内侧)成为由底壁305和侧壁304包围的内部空间(容器)。换言之，外壳301成为以与底壁305相对的一面为开口面的箱状，并且以覆盖其开口面的开口部的大部分的方式(封闭开口部的方式)容纳传感器模块325，传感器模块325成为从开口部露出的状态(未图示)。在此，与底壁305相对的开口面与外壳301的上表面307是同一个面。此外，外壳301的内部303的平面形状是将正方形的两个顶点部分的角倒角后的六边形，倒角后的两个顶点部分与穿孔(螺钉孔)302的位置对应。此外，在内部303的截面形状(厚度方向)中，在底壁305形成有作为在内部303即内部空间的周边部比中央部高一段的底壁的第一接合面306。即，第一接合面306是底壁305的一部分，是在平面上包围底壁305的中央部形成为环状的一段阶梯状的部位，并且是比底壁305相距开口面(与上表面307相同的面)的距离小的面。
需要注意的是，对外壳301的外形呈平面形状是大致正方形的长方体并且没有盖的箱状的一个例子进行了说明，但不限于此，外壳301的外形的平面形状既可以是例如六边形、八边形等多边形，也可以是其多边形的顶点部分的角被倒角或各边为曲线的平面形状。此外，外壳301的内部303(内侧)的平面形状也不限于上述的六边形，可以是正方形等方形(四边形)、八边形等其它多边形状。此外，外壳301的外形与内部303的平面形状既可以是相似形状，也可以是非相似形状。
内壳320是支承基板315的部件，成为收进外壳301的内部303的形状。详细而言，在平面上是将正方形的两个顶点部分的角倒角后的六边形，其中，形成有作为长方形的贯穿孔的开口部321和设置于支承基板315的一侧的面的凹部331。被倒角后的两个顶点部分与外壳301的穿孔(螺钉孔)302的位置对应。厚度方向(Z轴方向)的高度比从外壳301的上表面307到第一接合面306为止的高度低。在优选的例子中，内壳320也是切割铝而形成，但也可以与外壳301同样地使用其它材质。
在内壳320的背面(外壳301一侧的面)形成有用于定位基板315的引导销、支承面(图中都未示出)。基板315安装于该引导销、支承面(定位搭载)并粘合于内壳320的里面。需要注意的是，关于基板315的详细情况在后面描述。内壳320的背面的周边部成为由环状的平面形成的第二接合面322。第二接合面322在平面上与外壳301的第一接合面306是大致相同的形状，在将内壳320安装到外壳301时，以夹持接合部件310的状态使两个面相对。需要注意的是，外壳301及内壳320的结构是一个实施例，不限于该结构。
参照图17，对安装了惯性传感器的基板315的构成进行说明。如图17所示，基板315是形成有多个通孔的多层基板，并且使用环氧玻璃基板。需要注意的是，不限于环氧玻璃基板，只要是可安装多个惯性传感器、电子零件、连接器等的刚度基板即可。例如，可使用复合基板、陶瓷基板。
在基板315的表面(内壳320一侧的面)安装有连接器316、角速度传感器317z、包括上述的作为用于测量Z轴方向的加速度的加速度传感器的物理量传感器100的加速度检测单元1等。连接器316是插头式(阳)连接器，具备在X轴方向上等间距地配置的两列连接端子。优选的是一列10个销，两列合计20个销的连接端子，端子数可根据设计规格适当变更。
作为惯性传感器的角速度传感器317z是检测Z轴方向的一个轴角速度的陀螺仪传感器。作为优选例子，使用将水晶用作振子，从对振动的物体施加的科里奥利力检测角速度的振动陀螺仪传感器。需要注意的是，不限于振动陀螺仪传感器，只要是可检测角速度的传感器即可。例如，可使用将陶瓷、硅用作振子的传感器。
此外，在基板315的X轴方向的侧面以安装面(搭载面)与X轴正交的方式安装有检测X轴方向的一个轴角速度的角速度传感器317x。同样地，在基板315的Y轴方向的侧面以安装面(搭载面)与Y轴正交的方式安装有检测Y轴方向的一个轴角速度的角速度传感器317y。
需要注意的是，角速度传感器317x、317y、317z不限于使用X轴、Y轴、Z轴的每个轴的三个角速度传感器的构成，也可以是可检测三个轴的角速度的传感器，例如可使用利用一个器件(封装体)检测(检知)三个轴的角速度的传感器器件。
加速度检测单元1至少包括上述的作为用于测量Z轴方向的加速度的加速度传感器的物理量传感器100，可根据需要检测一个轴方向(例如Z轴方向)的加速度，或检测两个轴方向(例如Z轴、Y轴或X轴、Y轴)、三个轴方向(X轴、Y轴、Z轴)的加速度。
在基板315的背面(外壳301一侧的表面)安装有作为控制部的控制IC319。控制IC319是MCU(Micro Controller Unit：微控制单元)，内置包括非易失性存储器的存储部、A/D转换器等，控制惯性计测单元3000的各部分。在存储部中存储有规定用于检测加速度以及角速度的顺序和内容的程序、将检测数据数字化装入数据包的程序、附加的数据等。需要注意的是，在基板315上还安装有其它的多个电子零件。
根据这样的惯性计测单元3000，由于使用包括物理量传感器100的加速度检测单元1，因此可提供耐冲击性优异，使可靠性提高的惯性计测单元3000。
(便携式电子设备)
接着，根据图18及图19详细地说明使用了物理量传感器100、200的便携式电子设备。需要注意的是，在下文中，示出使用了物理量传感器100的例子进行说明。以下，作为便携式电子设备的一个例子，示出手表型的活动***(activity tracker)进行说明。
如图18所示，作为活动***(activity tracker)的手腕设备2000通过带62、67等安装在用户的手腕等部位(被检测体)，具备数字显示的显示部150，并且能够无线通信。上述的本发明涉及的物理量传感器100作为测量加速度的传感器、计测角速度的传感器之一组装于手腕设备2000。
手腕设备2000具备：至少容纳有物理量传感器100的壳体60、容纳于壳体60并且处理来自物理量传感器100的输出数据的处理部190(参照图19)、容纳于壳体60的显示部150和封闭壳体60的开口部的透光性罩71。在壳体60的透光性罩71的外侧设置有表圈78。在壳体60的侧面设置有多个操作按钮80、81。以下，联合参照图19更详细地说明。
包括物理量传感器100的加速度传感器113检测互相交叉的(理想情况为正交的)三个轴方向各自的加速度，输出与检测到的三个轴加速度的大小以及方向对应的信号(加速度信号)。此外，角速度传感器114检测互相交叉的(理想情况为正交的)三个轴方向各自的角速度，输出与检测到的三个轴角速度的大小以及方向对应的信号(角速度信号)。
构成显示部150的液晶显示器(LCD)根据各种检测模式，显示有例如使用了GPS传感器110、地磁传感器111的位置信息，使用了包含于移动量、物理量传感器100的加速度传感器113、角速度传感器114等的运动量等的运动信息，使用了脉搏传感器115等的脉搏数等的生物体信息或当前时刻等的时刻信息等。需要注意的是，还可以显示使用了温度传感器116的环境温度。
通信部170进行用于建立用户终端和图中未示出的信息终端之间的通信的各种控制。通信部170例如包括与蓝牙(注册商标)(包括BTLE：Bluetooth Low Energy：低能耗蓝牙)、Wi-Fi(注册商标)(Wireless Fidelity：无线保真)、Zigbee(注册商标)、NFC(NearField Communication：近距离无线通信)、ANT+(注册商标)等近距离无线通信规格对应的收发机、通信部170与USB(Universal Serial Bus：通用串行总线)等通信总线规格对应的连接器构成。
处理部190(处理器)例如由MPU(Micro Processing Unit：微处理器)、DSP(Digital Signal Processor：数字信号处理器)、ASIC(Application SpecificIntegrated Circuit：专用集成电路)等构成。处理部190根据存储于存储部140的程序和从操作部120(例如操作按钮80、81)输入的信号执行各种处理。在通过处理部190的处理中，包括：对GPS传感器110、地磁传感器111、压力传感器112、加速度传感器113、角速度传感器114、脉搏传感器115、温度传感器116、计时部130的各输出信号的数据处理；使显示部150显示图像的显示处理；使声音输出部160输出声音的声音输出处理；经由通信部170与信息终端(图中未示出)进行通信的通信处理；以及将来自电池180的电力供给于各部的电力控制处理等。
这样的手腕设备2000可具有至少以下的功能。
1.距离：通过高精度的GPS功能计测从计测开始的合计距离。
2.步速：根据步速距离计测，显示当前的行走步速。
3.平均速度：计算并显示从平均速度行走开始到当前为止的平均速度。
4.海拔：通过GPS功能计测并显示海拔。
5.步幅：即使在GPS电波无法到达的隧道内等计测并显示步幅。
6.频率：计测并显示每一分钟的步数。
7.心率：通过脉搏传感器计测并显示心率。
8.坡度：当在山中锻炼、越野跑时，计测并显示地面的坡度。
9.自动圈数记录：当跑了预先设定的固定距离、固定时间时，自动进行圈数计测。
10.运动消耗能量：显示消耗的能量。
11.步数：显示从运动开始的步数的合计。
需要注意的是，手腕设备2000可广泛应用在运动手表、运动员手表、应对铁人两项或铁人三项等全能运动的运动员手表、户外手表以及搭载了卫星定位***，例如GPS的GPS手表等。
此外，在上述中，说明了使用GPS(Global Positioning System：全球定位***)作为卫星定位***，但也可以利用其它的全球导航卫星***(GNSS：Global NavigationSatellite System：全球导航卫星***)。例如，可以利用EGNOS(European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service：欧洲地球同步卫星导航增强***)、QZSS(QuasiZenith Satellite System：准天顶卫星***)、GLONASS(Global Navigation SatelliteSystem：全球导航卫星***)、GALILEO、BeiDou(BeiDou Navigation Satellite System：北斗导航卫星***)等卫星定位***中的一个或者两个以上。此外，也可以对卫星定位***的至少一个利用WAAS(Wide Area Αugmentation System：广域增强***)、EGNOS(EuropeanGeostationary-Satellite Navigation Overlay Service：欧洲地球同步卫星导航增强***)等静止卫星型卫星导航增强***(SBAS：Satellite-based Αugmentation System：星基增强***)。
由于这样的便携式电子设备(手腕设备2000)具备物理量传感器100及处理部190，因此具有优异的耐冲击性等的可靠性。
(电子设备)
接着，参照图20至图22说明具备本发明的实施方式涉及的物理量传感器100、200的电子设备。需要注意的是，在下文中，示出使用了物理量传感器100的例子进行说明。
图20是示出作为具备本发明的实施方式涉及的物理量传感器的电子设备的移动型(或笔记本型)个人电脑的概略构成的立体图。在该图中，个人电脑1100由具备键盘1102的主体部1104和具备显示部1000的显示单元1106构成，显示单元1106经由铰链结构部而相对于主体部1104可摆动地被支承。在这样的个人电脑1100中，内置有作为加速度传感器等发挥功能的物理量传感器100，并且控制部(图中未示出)能够根据来自物理量传感器100的检测信号进行例如姿态控制等的控制。
图21是示出作为具备本发明的实施方式涉及的物理量传感器的电子设备的手机(还包括PHS)的概略构成的立体图。在该图中，手机1200具备多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，在操作按钮1202与听筒1204之间配置有显示部1000。在这样的手机1200中，内置有作为加速度传感器等发挥功能的物理量传感器100，并且控制部(图中未示出)基于来自该物理量传感器100的检测信号，例如能够识别手机1200的姿态、举动，使显示于显示部1000的显示图像变化、响起警告音或效果音、或者驱动振动电机使主体振动。
图22是示出作为具备本发明的实施方式涉及的物理量传感器的电子设备的数码相机的概略构成的立体图。需要注意的是，在该图中还简易地示出有与外部设备的连接。在此，现有的胶片相机通过被拍摄体的光像感光银盐照片胶片，与此相对，数码相机1300通过CCD(电荷耦合器件(Charge Coupled Device))等拍摄元件对被拍摄体的光像进行光电转换而生成拍摄信号(图像信号)。
在数码相机1300的壳体(主体)1302的背面设置有显示部1000，成为根据由CCD生成的摄像信号进行显示的构成，显示部1000作为将拍摄对象以电子图像显示的取景器而发挥作用。此外，在壳体1302的正面一侧(图中背面一侧)设置有包括光学透镜(摄像光学***)和CCD等的光接收单元1304。
当拍摄者确认显示于显示部1000上的拍摄对象图像，按下快门按钮1306时，那一时刻的CCD摄像信号被转送、存储于存储器1308。此外，在该数码相机1300上，在壳体1302的侧面设置有视频信号输出端子1312和数字通信用的输入输出端子1314。而且，如图示那样，根据需要不同，电视监控器1430、个人电脑1440分别被连接于视频信号输出端子1312、数字通信用的输入输出端子1314。进而，成为通过规定的操作，储存于存储器1308中的摄像信号被输出至电视监控器1430或个人电脑1440的构成。在这样的数码相机1300中，内置有作为加速度传感器等发挥功能的物理量传感器100，并且控制部(图中未示出)能够根据来自物理量传感器100的检测信号进行例如手抖校正等控制。
以上那样的电子设备1100、1200、1300包含能够提高可靠性和检测灵敏度的物理量传感器100。由此，电子设备1100、1200、1300能够具有高可靠性和检测灵敏度。
需要注意的是，本发明的实施方式涉及的物理量传感器100除了能够应用于图20的个人电脑1100(移动型个人电脑)、图21的手机1200、图22的数码相机1300以外，还能够应用于例如喷墨式喷出装置(例如喷墨打印机)、台式个人电脑、电视机、摄像机、磁带录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括带有通信功能)、电子辞典、台式电子计算机、电子游戏机、文书处理机、工作站、可视电话、防盗用电视监控仪、电子双筒望远镜、POS终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内视镜)、鱼群探测器、各种测量设备、仪器类(例如车辆、飞机、船舶的仪器类)、飞行模拟装置等电子设备。
(移动体)
接着，参照图23说明具备本发明的实施方式涉及的物理量传感器100、200的移动体。需要注意的是，在下文中，示出使用了物理量传感器100的例子进行说明。
图23是概略性地示出作为具备本发明的实施方式涉及的物理量传感器的移动体的汽车的立体图。汽车1500搭载有实施方式涉及的物理量传感器100。例如，如图23所示，在作为移动体的汽车1500中，作为内置物理量传感器100控制轮胎等的控制部的电子控制单元1510搭载于车身。此外，物理量传感器100还能够广泛应用于无钥匙进入***、发动机防盗锁止、汽车导航***、汽车空调、防抱死制动***(ABS)、安全气囊、轮胎压力监测***(TPMS：Tire Pressure Monitoring System)、发动机控制、混合动力汽车和电动汽车的电池监控器、车身姿态控制***等电子控制单元(ECU：electronic control unit)。

Claims (10)

1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：
可动体，呈平板状，在贯穿所述平板状的平板面的方向上具有多个开口，所述可动体能够以转动轴为中心摆动；
支承基板，通过支柱与所述平板面的一部分连结而成，使得所述支承基板隔开间隔地支承所述可动体的所述平板面；以及
突起，在沿着与所述平板面垂直的方向观察所述支承基板时，所述突起在所述支承基板的与所述可动体隔开间隔而重叠的区域，向所述可动体一侧突出设置，
在沿着与所述平板面垂直的方向观察所述支承基板时，当设所述突起的最大外形尺寸为D时，所述开口设置于除从所述突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域。
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
所述突起设置有多个。
3.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，
所述突起设置成相对于在所述转动轴的轴方向上将所述可动体二等分的中心线对称。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，
所述突起在与所述转动轴的轴方向交叉的方向上设置于所述转动轴和所述可动体的端部的间距的1/2以内。
5.一种物理量传感器的制造方法，其特征在于，
所述物理量传感器包括：可动体，呈平板状，在贯穿所述平板状的平板面的方向上具有多个开口，所述可动体能够以转动轴为中心摆动；支承基板，通过支柱与所述平板面的一部分连结而成，使得所述支承基板以与所述可动体的所述平板面隔开间隔的方式支承所述可动体的所述平板面；以及突起，在沿着与所述平板面垂直的方向观察所述支承基板时，所述突起在所述支承基板的与所述可动体隔开间隔而重叠的区域，向所述可动体一侧突出设置，在沿着与所述平板面垂直的方向观察所述支承基板时，当设所述突起的最大外形尺寸为D时，所述开口设置于除从所述突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域，
所述物理量传感器的制造方法包括：
支承基板形成工序，形成所述支承基板及所述突起；
基板接合工序，接合所述支承基板和硅基板；以及
可动体形成工序，由所述硅基板形成具有所述开口的所述可动体。
6.一种复合传感器，其特征在于，具备：
权利要求1至4中任一项所述的物理量传感器；以及
角速度传感器。
7.一种惯性计测单元，其特征在于，具备：
权利要求1至4中任一项所述的物理量传感器；
角速度传感器；以及
控制部，控制所述物理量传感器及所述角速度传感器。
8.一种便携式电子设备，其特征在于，具备：
权利要求1至4中任一项所述的物理量传感器；
壳体，容纳所述物理量传感器；
处理部，容纳于所述壳体，并处理来自所述物理量传感器的输出数据；
显示部，容纳于所述壳体；以及
透光性罩，封闭所述壳体的开口部。
9.一种电子设备，其特征在于，具备：
权利要求1至4中任一项所述的物理量传感器；以及
控制部，根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。
10.一种移动体，其特征在于，具备：
权利要求1至4中任一项所述的物理量传感器；以及
控制部，根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。
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