CN109411396B - 一种六轴机器人辅助目检硅片装置及辅助检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种六轴机器人辅助目检硅片装置及辅助检测方法，包括框架、六轴机器人、辅助灯具和片篮，硅片放置在片篮中，六轴机器人、辅助灯具和片篮均位于框架内，辅助灯具包括荧光灯、条形灯、强光灯和光栅，六轴机器人与框架上底座连接，荧光灯和条形灯设置在框架顶上，且位于片篮上方，强光灯固定设置在片篮上面，强光灯的一侧竖直设置有光栅，六轴机器人与六轴鼠标连接。本发明利用六轴机器人辅助目检硅片表面质量，采用辅助目检方法，增加检测精度高、耗时短、可自动控制、减少人工参与、提高测试效率。

Description

一种六轴机器人辅助目检硅片装置及辅助检测方法
技术领域
本发明属于半导体硅片检测装置领域，尤其是涉及一种六轴机器人辅助目检硅片装置及辅助检测方法。
背景技术
在半导体硅单晶制造领域中,硅片手动目检，会直接影响产品合格率。现有测试技术检测硅片表面质量的缺点在于会产生人为目检误差，甚至会误操作。通过辅助目检设备的集成优化，可以减少人为目检误差，提高自动化程度。由此可见，准确、快速地目检硅片是否合格对批量目检硅片表面质量具有非常重要的应用价值。
发明内容
有鉴于此，本发明旨在提出一种六轴机器人辅助目检硅片装置及辅助检测方法，利用六轴机器人辅助目检硅片表面质量，采用辅助目检方法，增加检测精度高、耗时短、可自动控制、减少人工参与、提高测试效率。
为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：
一种六轴机器人辅助目检硅片装置，包括框架、六轴机器人、辅助灯具和片篮，硅片放置在片篮中，六轴机器人、辅助灯具和片篮均位于框架内，辅助灯具包括荧光灯、条形灯、强光灯和光栅，六轴机器人与框架上底座连接，荧光灯和条形灯设置在框架顶上，且位于片篮上方，强光灯固定设置在片篮上面，强光灯的一侧竖直设置有光栅，六轴机器人与六轴鼠标连接。六轴机器人可使硅片沿6个自由度转动和移动，控制硅片摆放位置。辅助灯具观测并识别硅片，当出现识别偏差时，人工利用六轴鼠标调节硅片摆放，对其进行识别，实现自动检测。
进一步的，强光灯的灯头倾斜向下，照射在从片篮取出的硅片上。
进一步的，强光灯的灯头位置向下倾斜60°。
进一步的，光栅型号F3SJ-A0295N30，厂家：欧姆龙。
进一步的，荧光灯型号TL5-HE-14W830，厂家：飞利浦。
进一步的，条形灯型号为HX-30120-38W，品牌环祥。
进一步的，六轴鼠标包括陀螺仪和惯性计。每个人观测角度不同，自动记录其高频出现的位置；另一个人观测自动记录另一个其高频出现的位置，不同角度的相互切换，便于每个人的重复性操作。
本发明还提供可一种六轴机器人辅助目检硅片装置辅助目检的方法，包括如下步骤：
步骤一：六轴机器人由HOME位置运动至右侧装满硅片的片篮工位，吸取硅片；
步骤二：六轴机器人跟随六轴鼠标随动，不断调节硅片的摆放位置，经过大量的学习，记录硅片出现的高频位置，便于人工不断进行操作；
步骤三：然后将取到的硅片分别送到指定位置，摆放位置出现偏差时，六轴机器人控制权交由人工六轴鼠标操控并记录，便于下次的自动控制；
步骤四：人工操控六轴机器人完成检测后***操作权限交由六轴机器人自动控制；人工按下合格或不合格按钮；
步骤五：合格的产品放到合格篮，不合格的放置到不合格篮，如此循环。
相对于现有技术，本发明所述的六轴机器人辅助目检硅片装置及辅助检测方法具有以下优势：
本发明所述的六轴机器人辅助目检硅片装置及辅助检测方法，可以实现硅片在各个角度、各种灯光下目检，有效地避免了人为目检误差、出错率高、采集不确定性等弊端，提高目检准确度，降低成本，节省时间，提高工作效率。
附图说明
构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1为本发明实施例所述的六轴机器人辅助目检硅片装置的结构示意图；
图2为本发明实施例所述的六轴机器人辅助目检硅片装置内部各部分的位置关系示意图。
附图标记说明：
1-框架；2-六轴机器人；3-荧光灯；4-条形灯；5-强光灯；6-光栅；7-片篮；8-六轴鼠标。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
如图1-2所示，一种六轴机器人辅助目检硅片装置，包括框架1、六轴机器人2、辅助灯具和片篮7，硅片放置在片篮7中，六轴机器人2、辅助灯具和片篮7均位于框架1内，辅助灯具包括荧光灯3、条形灯4、强光灯5和光栅6，六轴机器人2与框架1上底座连接，荧光灯3和条形灯4设置在框架1顶上，且位于片篮7上方，强光灯5固定设置在片篮7上面，强光灯5的一侧竖直设置有光栅6，六轴机器人2与六轴鼠标8连接。
上述强光灯5的灯头倾斜向下，照射在从片篮7取出的硅片上。
上述强光灯5的灯头位置向下倾斜60°。
上述光栅6型号F3SJ-A0295N30，厂家：欧姆龙。
上述荧光灯3型号TL5-HE-14W830，厂家：飞利浦。
上述条形灯4型号为HX-30120-38W，品牌环祥。
上述六轴鼠标8包括陀螺仪和惯性计。
工作原理：
包括以下步骤：
步骤一、六轴机器人2由HOME位置运动至右侧装满硅片的片篮7工位，吸取硅片；
步骤二、六轴机器人2跟随六轴鼠标8随动，不断调节硅片的摆放位置，经过大量的学习，记录硅片出现的高频位置，便于人工不断进行操作；
步骤三、然后将取到的硅片分别送到指定位置，摆放位置出现偏差时，六轴机器人2控制权交由人工六轴鼠标8操控并记录，便于下次的自动控制；
步骤四、人工操控六轴机器人2完成检测后***操作权限交由六轴机器人2自动控制；人工按下合格或不合格按钮；
步骤五、合格的产品放到合格篮，不合格的放置到不合格篮，如此循环。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (1)

1.一种六轴机器人辅助目检硅片装置，其特征在于：
包括框架(1)、六轴机器人(2)、辅助灯具和片篮(7)，硅片放置在片篮(7)中，六轴机器人(2)、辅助灯具和片篮(7)均位于框架(1)内，辅助灯具包括荧光灯(3)、条形灯(4)、强光灯(5)和光栅(6)，六轴机器人(2)与框架(1)上底座连接，荧光灯(3)和条形灯(4)设置在框架(1)顶上，且位于片篮(7)上方，强光灯(5)固定设置在片篮(7)上面，强光灯(5)的一侧竖直设置有光栅(6)，六轴机器人(2)与六轴鼠标(8)连接；
强光灯(5)的灯头倾斜向下，照射在从片篮(7)取出的硅片上；
强光灯(5)的灯头位置向下倾斜60°；
六轴鼠标(8)包括陀螺仪和惯性计；
六轴机器人辅助目检硅片装置的使用方法包括如下步骤：
步骤一：六轴机器人(2)由HOME位置运动至右侧装满硅片的片篮(7)工位，吸取硅片；
步骤二：六轴机器人(2)跟随六轴鼠标(8)随动，不断调节硅片的摆放位置，经过大量的学习，记录硅片出现的高频位置，便于人工不断进行操作；
步骤三：然后将取到的硅片分别送到指定位置，摆放位置出现偏差时，六轴机器人(2)控制权交由人工六轴鼠标(8)操控并记录，便于下次的自动控制；
步骤四：人工操控六轴机器人(2)完成检测后***操作权限交由六轴机器人(2)自动控制；人工按下合格或不合格按钮；
步骤五：合格的产品放到合格篮，不合格的放置到不合格篮，如此循环。
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